RU2497747C2 - Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates - Google Patents
Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates Download PDFInfo
- Publication number
- RU2497747C2 RU2497747C2 RU2011112865/28A RU2011112865A RU2497747C2 RU 2497747 C2 RU2497747 C2 RU 2497747C2 RU 2011112865/28 A RU2011112865/28 A RU 2011112865/28A RU 2011112865 A RU2011112865 A RU 2011112865A RU 2497747 C2 RU2497747 C2 RU 2497747C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- pores
- template
- polymer
- conical
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области микро- и нанотехнологии, а именно к получению металлических структур (острий, реплик), и может быть использовано для создания металлических подложек с остриями конической формы. Более конкретно изобретение относится к способу изготовления микро- и наноразмерных металлических реплик конической формы с переменным углом при вершине конуса на основе полимерных шаблонов.The invention relates to the field of micro- and nanotechnology, and in particular to the production of metal structures (points, replicas), and can be used to create metal substrates with conical points. More specifically, the invention relates to a method for the manufacture of micro- and nanoscale metal replicas of a conical shape with a variable angle at the apex of the cone based on polymer patterns.
Подложки с микро- или нанопроволоками (цилиндрами), благодаря большой площади поверхности, могут быть использованы в качестве катализаторов или в системах охлаждения [Schulz A., Akapiev G.N., Shirkova V.V., Rosier H., Dmitriev S.N. A new method of fabrication of heat transfer surfaces with micro-structured profile.// Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 2005. B. Vol.236. №1-4. P.254-258.]. Кроме того, подложки с остриями могут применяться в автоэмисионных системах для холодной эмиссии электронов [Maurer F., Dangwal A., Lysenkov D., Miiller G., Toimil-Molares M.E., Trautmann C, Brotz J., Fuess H. Field emission of copper nanowires grown in polymer ion-track membranes. // Nuclear instruments & methods in physics research. 2006. B.Vol.245. P. 337-341.] или для лазерной десорбции/ионизации биологических молекул [Oleinikov V.A., Zagorski D.L., Bedin S.A., Volosnikov A.A., Emelyanov P.A., Kozmin Y.P., Mchedlishvili B.V. The study of the desorption/ionization from the replicas of etched ion tracks.// Rad. Meas. 2008.; Vol.43. P.635-638]. Подложки с остриями могут также применяться для исследования свойств макромолекул методом гигантского комбинационного рассеяния [Олейников В.А., Первов Н.В., Мчедлишвили Б.В. Трековые мембраны в темплейтном синтезе ГКР-активных наноструктур.// Мембраны. 2004. №4. С.17-28], причем особый интерес представляют подложки с остриями из серебра.Due to the large surface area, substrates with micro- or nanowires (cylinders) can be used as catalysts or in cooling systems [Schulz A., Akapiev G.N., Shirkova V.V., Rosier H., Dmitriev S.N. A new method of fabrication of heat transfer surfaces with micro-structured profile.// Nuclear Instruments and Methods in Physics Research 2005. B. Vol.236. No. 1-4. P.254-258.]. In addition, spiked substrates can be used in field emission systems for cold electron emission [Maurer F., Dangwal A., Lysenkov D., Miiller G., Toimil-Molares ME, Trautmann C, Brotz J., Fuess H. Field emission of copper nanowires grown in polymer ion-track membranes. // Nuclear instruments & methods in physics research. 2006. B. Vol. 245. P. 337-341.] Or for laser desorption / ionization of biological molecules [Oleinikov V.A., Zagorski D.L., Bedin S.A., Volosnikov A.A., Emelyanov P.A., Kozmin Y.P., Mchedlishvili B.V. The study of the desorption / ionization from the replicas of etched ion tracks.// Rad. Meas. 2008 .; Vol. 43. P.635-638]. Substrates with tips can also be used to study the properties of macromolecules by giant Raman scattering [Oleinikov V.A., Pervov N.V., Mchedlishvili B.V. Track membranes in template synthesis of SERS active nanostructures. // Membranes. 2004. No4. P.17-28], and of particular interest are substrates with silver tips.
Технология получения металлических реплик на основе пористых шаблонов известна достаточно давно [Martin C.R. Nanomaterials: A membrane-based synthetic approach. // Science.1994. Vol.266. P.1961-1965; Chakarvarti S.K.; Vetter J. Template synthesis - a membrane based technology for generation of nano-/micro materials: a review. // Radiation Measurements. 1998. Vol.29. №2. P.149-159]. В последнее время достигнуты успехи в получении на основе шаблонов из трековых мембран (ТМ) металлических нано- и микрореплик в виде цилиндров (нано- и микропроволоок). Подобные нано- и микропроволоки могут обладать уникальными физическими, химическими механическими и механическими свойствами.The technology for producing metallic replicas based on porous patterns has been known for quite some time [Martin C.R. Nanomaterials: A membrane-based synthetic approach. // Science. 1994. Vol.266. P. 1961-1965; Chakarvarti S.K .; Vetter J. Template synthesis - a membrane based technology for generation of nano- / micro materials: a review. // Radiation Measurements. 1998. Vol. 29. No. 2. P.149-159]. Recently, successes have been achieved in obtaining, based on templates from track membranes (TM), metal nano- and microreplicates in the form of cylinders (nano- and microwires). Such nano- and microwires can have unique physical, chemical, mechanical and mechanical properties.
Известен способ получения металлических острий в виде конусов методом репликации пор трековых мембран [Oleinikov V.A., Tolmachyova Yu.V., Berezkin V.V., Vilensky, A.I., Mchedlishvili, B.V. Polyethileneterephthalate track membranes with conical pores: etching by water-alcohol alkali solutions. // Radiation Measurements. 1995. Vol.25. №1-4. P.713-714]. В этом случае использовали полимерный шаблон, полученный облучением на ускорителе полимерной пленки из полиэтилентерефталата (ПЭТФ) толщиной 10 мкм ионами аргона с флюенсом 105 ион/см2 и последующем одностороннем травлении в водно-спиртовом растворе щелочи КОН, получали микроразмерные конические поры.A known method of producing conical metal tips by replicating pores of track membranes [Oleinikov VA, Tolmachyova Yu.V., Berezkin VV, Vilensky, AI, Mchedlishvili, BV Polyethileneterephthalate track membranes with conical pores: etching by water-alcohol alkali solutions. // Radiation Measurements. 1995. Vol. 25. No. 1-4. P.713-714]. In this case, a polymer template was used, obtained by irradiating at the accelerator a polymer film of polyethylene terephthalate (PET) 10 μm thick with argon ions with a fluence of 10 5 ion / cm 2 and subsequent one-sided etching in a water-alcohol solution of KOH alkali, and micro-sized conical pores were obtained.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому способу является способ изготовления субмикронных трубчатых металлических реплик с трековых мембран [Патент РФ 2156328]. Способ включает в себя гальваническое осаждение металла в каналы шаблона в виде трековой мембраны с напыленным на одну из ее поверхностей металлическим слоем. Электрохимическую ячейку разделяют трековой мембраной на верхний и нижний объемы. Пристеночное гальваническое осаждение металла в каналах трековой мембраны осуществляют в условиях протока электролита через каналы мембраны из верхнего объема ячейки в нижний. На последней стадии формирования микротрубочек периодически подают положительный потенциал на напыленный металлический слой на трековой мембране по отношению к отрицательному потенциалу на электроде в нижнем объеме электрохимической ячейки. Обеспечено повышение эффективности получения микротрубочек из различных металлов и сплавов и увеличение их линейных размеровClosest to the technical nature of the claimed method is a method of manufacturing submicron tubular metal replicas from track membranes [RF Patent 2156328]. The method includes galvanic deposition of metal into the channels of the template in the form of a track membrane with a metal layer sprayed onto one of its surfaces. The electrochemical cell is separated by a track membrane into upper and lower volumes. The near-wall galvanic deposition of metal in the channels of the track membrane is carried out under conditions of electrolyte flow through the channels of the membrane from the upper volume of the cell to the lower. At the last stage of microtubule formation, a positive potential is periodically applied to the deposited metal layer on the track membrane with respect to the negative potential on the electrode in the lower volume of the electrochemical cell. EFFECT: increased efficiency of obtaining microtubules from various metals and alloys and an increase in their linear dimensions
Недостатками этого способа получения металлических реплик являются:The disadvantages of this method of producing metal replicas are:
- использование в качестве полимерного шаблона промышленно выпускаемых ТМ, применяющихся для фильтрации, из-за чего получают реплики, характеризующиеся большой плотностью, а так же наличием наклонных и пересекающихся острий;- the use as a polymer template of industrially produced TMs used for filtration, because of which replicas are obtained that are characterized by high density, as well as the presence of inclined and intersecting points;
- использование в качестве полимерного шаблона промышленно выпускаемых ТМ не позволяет получать реплики конической формы;- the use of industrially produced TMs as a polymer template does not allow obtaining replicas of a conical shape;
Задачей изобретения является достижение нового технического результата, заключающегося в том, чтобы разработать новый способ создания на металлической подложке ансамблей свободностоящих нано- или микроострий с заданной поверхностной плотностью, из различных металлов, различным размером и формой острий в процессе гальванического осаждения металлов из соответствующих растворов электролитов с разработкой соответствующих условий осаждения каждого из металлов.The objective of the invention is to achieve a new technical result, which consists in developing a new method for creating ensembles of free-standing nano- or micropoints on a metal substrate with a given surface density, of various metals, different size and shape of the points in the process of galvanic deposition of metals from the corresponding electrolyte solutions with development of appropriate deposition conditions for each of the metals.
Поставленная задача решается тем, что создан способ получения металлических реплик конической формы на основе полимерного шаблонов, заключающийся в том, что сначала изготавливают полимерный шаблон по ионно-трековой технологии путем облучения полимерной пленки и создании тупиковых конических пор, затем на одну из поверхностей шаблона методом термического напыления наносят контактный металлический слой, потом осуществляют контролируемое осаждение металла в микро- или наноразмерные поры полимерного шаблона, после чего проводят химическое растворение полимерного шаблона.The problem is solved in that a method for producing conical metal replicas based on polymer templates has been created, which consists in first producing a polymer template using ion-track technology by irradiating the polymer film and creating dead-end conical pores, then on one of the template surfaces using the thermal method spraying, a contact metal layer is applied, then a controlled deposition of metal is carried out in micro- or nanoscale pores of the polymer template, and then chemical rapid dissolution of the polymer template.
В качестве полимерной пленки используют пленка из полиэтилентерефталата преимущественно до 20 мкм.As a polymer film, a polyethylene terephthalate film is used predominantly up to 20 microns.
Полимерный шаблон с коническими порами с диаметром основания от 50 нм до 1 мкм изготавливают путем облучения полимерной пленки ионами аргона, направленными перпендикулярно к ее поверхности, после чего обрабатывают в водно-спиртовым раствором щелочи NaOH с молярной концентрацией преимущественно от 2 до 4 при температуре от 20 до 80°С, где в качестве спирта используют этиловый спирт.A conical pore polymer template with a base diameter of 50 nm to 1 μm is made by irradiating the polymer film with argon ions directed perpendicular to its surface, and then it is treated in an aqueous-alcoholic alkali solution of NaOH with a molar concentration of mainly from 2 to 4 at a temperature of 20 up to 80 ° C, where ethanol is used as alcohol.
Контактный металлический слой на шаблон наносят методом термического напыления в вакууме с использованием вращающегося держателя.The contact metal layer on the template is applied by thermal spraying in vacuum using a rotating holder.
Гальваническое осаждение металлической основы и контролируемое осаждение металла в микро- или наноразмерные поры полимерного шаблона с тупиковыми коническими порами осуществляют в электрохимической ячейке с соответствующим раствором электролита.The galvanic deposition of a metal base and the controlled deposition of metal into micro- or nanoscale pores of a polymer template with dead-end conical pores is carried out in an electrochemical cell with an appropriate electrolyte solution.
Металлом для гальванического осаждения в поры полимерного шаблона являются металлы из ряда медь, никель, сереброThe metals for galvanic deposition into the pores of the polymer template are metals from the series copper, nickel, silver
Гальваническое осаждение металла в поры проводят со стороны напыленного металлического слоя в потенциостатическом режиме в два этапа, при этом на первом этапе осуществляют осаждение металла в поры, а на втором этапе напряжение увеличивают и формируют металлическую основу.The galvanic deposition of metal into the pores is carried out from the side of the deposited metal layer in a potentiostatic mode in two stages, while the first stage is the deposition of metal into the pores, and in the second stage, the voltage is increased and the metal base is formed.
Химическое растворение полимерного шаблона проводят преимущественно в растворе щелочи NaOH с 6 молярной концентрацией, при температуре 60°С.Chemical dissolution of the polymer template is carried out mainly in a solution of alkali NaOH with 6 molar concentration, at a temperature of 60 ° C.
Новый технический результат по сравнению с известным способом достигается за счет новой совокупности признаков заявленного способа. В отличие от известного способа получения нано- и микрореплик цилиндрической формы используют не промышленно выпускаемую трековую мембрану, а полимерный шаблон, который изготавливают путем облучения пленки из ПЭТФ ионами аргона, с флюенсом от 105 до 107 ион/см2. Облучение пленки ионами аргона позволяет получить наименьший диаметр латентного трека. Далее эту пленку подвергают двухстороннему травлению в водно-спиртовом растворе щелочи NaOH с концентрацией от 2 до 4 М при температуре от 20 до 80°С, в качестве спирта используют этиловый спирт. Скорость травления облученного полимера ограничивается условиями диффузии травителя вдоль трека, что позволяет получить поры конической формы (Фиг.1а). Варьируя параметры травления, а именно температуру и концентрацию раствора, получают конусные поры с различными углами при вершине. Так, при температуре травящего раствора 20°С и содержании спирта в травящем растворе 90% получают поры, углы при вершине конуса которых, достигают 16°. При температуре 80°С и содержании спирта 10% получают конические поры с углами в 1°.A new technical result compared with the known method is achieved due to the new combination of features of the claimed method. In contrast to the known method for producing cylindrical nano- and microreplicates, not a commercial track membrane is used, but a polymer template, which is made by irradiating a PET film with argon ions, with a fluence of 10 5 to 10 7 ion / cm 2 . Irradiation of the film with argon ions makes it possible to obtain the smallest diameter of the latent track. Further, this film is subjected to double-sided etching in a water-alcohol solution of NaOH alkali with a concentration of from 2 to 4 M at a temperature of from 20 to 80 ° C. Ethanol is used as alcohol. The etching rate of the irradiated polymer is limited by the etch diffusion conditions along the track, which makes it possible to obtain pores of a conical shape (Fig. 1a). By varying the etching parameters, namely the temperature and concentration of the solution, cone pores with different angles at the apex are obtained. So, at an etching solution temperature of 20 ° C and an alcohol content of 90% in an etching solution, pores are obtained whose angles at the apex of the cone reach 16 °. At a temperature of 80 ° C and an alcohol content of 10%, conical pores with angles of 1 ° are obtained.
Получение конических реплик производится в следующей последовательности. Сначала для создания тонкого токопроводящего слоя на одну из сторон шаблона методом термического напыления в вакууме наносят слой металла толщиной от 20 до 40 нм. Напыление производят на вращающемся держателе, что позволяет покрыть металлом поверхность как шаблона, так и внутреннюю поверхность конических пор. Затем шаблон, у которого одна из сторон запылена металлом, фиксируется между двумя частями фторопластовой электрохимической ячейки. Ячейка заполняется раствором электролитом, и ее электроды подключаются к источнику. Осаждение металла производится со стороны напыленного металла. Процесс проводят в потенциостатическом режиме в два этапа. На первом этапе осуществляют осаждение металла в поры и на поверхность шаблона, при этом осаждение производиться при небольших плотностях тока, для более точного воспроизведения формы пор. На втором этапе напряжение увеличивают и проводят осаждение, в ходе которого формуют основу толщиной от 15 до 20 мкм (Фиг.16). По окончании процесса гальванического осаждения металла в поры, полученный образец вынимают из фторопластовой ячейки и растворяют полимерный шаблон в растворе щелочи NaOH с 6 молярной концентрацией при температуре 60°С. В ходе растворения полимера освобождается металлическая подложка с массивом металлических микро- или наноострий конической формы (Фиг.1в).Obtaining conical replicas is performed in the following sequence. First, to create a thin conductive layer on one side of the template by thermal spraying in vacuum, a metal layer is applied with a thickness of 20 to 40 nm. Spraying is carried out on a rotating holder, which makes it possible to coat with metal the surface of both the template and the inner surface of the conical pores. Then the template, in which one of the sides is dusted with metal, is fixed between the two parts of the fluoroplastic electrochemical cell. The cell is filled with a solution of electrolyte, and its electrodes are connected to the source. The deposition of metal is carried out on the side of the sprayed metal. The process is carried out in a potentiostatic mode in two stages. At the first stage, metal is deposited in the pores and on the surface of the template, while the deposition is carried out at low current densities to more accurately reproduce the shape of the pores. In the second stage, the voltage is increased and deposition is carried out, during which a base is formed with a thickness of 15 to 20 μm (Fig. 16). At the end of the process of galvanic deposition of metal into the pores, the obtained sample is removed from the fluoroplastic cell and the polymer template is dissolved in a solution of alkali NaOH with a 6 molar concentration at a temperature of 60 ° C. During the dissolution of the polymer, a metal substrate with an array of metallic conical micro- or nano points is released (Fig. 1c).
По предлагаемому способу изготовления металлических реплик различной геометрии на основе полимерных шаблонов могут быть получены структуры из меди, никеля, серебра. Равномерное и полное заполнение всех имеющихся в исходном шаблоне пор зависит от состава электролита, температуры и режима осаждения металла.According to the proposed method of manufacturing metal replicas of various geometries based on polymer patterns, structures of copper, nickel, and silver can be obtained. Uniform and complete filling of all pores present in the initial template depends on the electrolyte composition, temperature, and metal deposition mode.
На Фиг.1 представлена схема заполнения металлом шаблонов с коническими (а, б, в) порами.Figure 1 presents a diagram of the metal filling patterns with conical (a, b, c) pores.
На Фиг.2 представлены микрофотографии полимерных шаблонов с тупиковыми коническими порами (а) и медных реплик конической формы полученных на их основе (б).Figure 2 presents micrographs of polymer patterns with dead-end conical pores (a) and copper replicas of a conical shape obtained on their basis (b).
Изобретение иллюстрируется на примере получения медных реплик.The invention is illustrated by the example of obtaining copper replicas.
Пример 1. Получение медных реплик конической формы.Example 1. Obtaining copper replicas of a conical shape.
Для получения шаблона с коническими тупиковыми порами используют пленку из ПЭТФ толщиной 10 мкм, облученную ионами аргона с флюенсом 106 ион/см2 перпендикулярно поверхности пленки. Затем облученную пленку травят в водно-спиртовом растворе щелочи NaOH в соотношении спирт/щелочь, равным 1/3, при температуре 30°С в течение 30 мин (Фиг.2а). После подготовки шаблона на одну из его сторон методом термического напыления в вакууме напыляют тонкий слой меди толщиной 20 нм. Образец помещают в электрохимическую ячейку. На поверхность напыленного металла из сернокислого электролита состава 250 г/л CuSO4·5H2O, 70 г/л H2SO4 в потенциостатическом режиме осаждают слой металла. Осаждение проводят в два этапа. На первом этапе осуществляют осаждение металла в поры. Осаждение проводят при напряжении 100 мВ в течение 10 мин. На втором этапе напряжение увеличивают до 400 мВ и проводят осаждение в течение 20 мин и формуют основу толщиной 15 мкм. При окончании процесса осаждения металла полимерный шаблон растворяют в 6 М растворе щелочи NaOH при температуре 60°С в течение 120 мин, освобождая подложку с металлическим остриями (Фиг.2б).To obtain a template with conical dead-end pores, a 10 micron thick PET film is used, irradiated with argon ions with a fluence of 10 6 ion / cm 2 perpendicular to the film surface. Then the irradiated film is etched in a water-alcohol solution of alkali NaOH in the ratio of alcohol / alkali equal to 1/3 at a temperature of 30 ° C for 30 minutes (Fig.2A). After the template is prepared, a thin layer of copper with a thickness of 20 nm is sprayed on one of its sides by thermal spraying in vacuum. The sample is placed in an electrochemical cell. A metal layer is deposited on the surface of a sprayed metal from a sulfate electrolyte with a composition of 250 g / l CuSO 4 · 5H 2 O, 70 g / l H 2 SO 4 in a potentiostatic mode. Precipitation is carried out in two stages. At the first stage, metal is deposited in the pores. Precipitation is carried out at a voltage of 100 mV for 10 minutes In the second stage, the voltage is increased to 400 mV and the deposition is carried out for 20 minutes and a base is formed with a thickness of 15 μm. At the end of the metal deposition process, the polymer template is dissolved in a 6 M NaOH alkali solution at a temperature of 60 ° C for 120 minutes, releasing a substrate with metal tips (Fig.2b).
Claims (8)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011112865/28A RU2497747C2 (en) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011112865/28A RU2497747C2 (en) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011112865A RU2011112865A (en) | 2012-10-10 |
| RU2497747C2 true RU2497747C2 (en) | 2013-11-10 |
Family
ID=47079202
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011112865/28A RU2497747C2 (en) | 2011-04-05 | 2011-04-05 | Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2497747C2 (en) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2115915C1 (en) * | 1996-07-23 | 1998-07-20 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Process of manufacture of metal replica for analysis of nanometric ducts in tracking membranes |
| RU2156328C1 (en) * | 1998-12-25 | 2000-09-20 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Process of manufacture of submicron tubular metal replicas with track membranes |
| RU2296820C2 (en) * | 2001-06-15 | 2007-04-10 | Реплизаурус Текнолоджиз Аб | Method and electrode for replication of patterns in electrically conducting materials |
| RU2314251C2 (en) * | 2005-12-05 | 2008-01-10 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Method of preparing sample for porometry of through nanometric-sized channels in solid-body membranes by means of translucent electron microscopy |
-
2011
- 2011-04-05 RU RU2011112865/28A patent/RU2497747C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2115915C1 (en) * | 1996-07-23 | 1998-07-20 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Process of manufacture of metal replica for analysis of nanometric ducts in tracking membranes |
| RU2156328C1 (en) * | 1998-12-25 | 2000-09-20 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Process of manufacture of submicron tubular metal replicas with track membranes |
| RU2296820C2 (en) * | 2001-06-15 | 2007-04-10 | Реплизаурус Текнолоджиз Аб | Method and electrode for replication of patterns in electrically conducting materials |
| RU2314251C2 (en) * | 2005-12-05 | 2008-01-10 | Объединенный Институт Ядерных Исследований | Method of preparing sample for porometry of through nanometric-sized channels in solid-body membranes by means of translucent electron microscopy |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2011112865A (en) | 2012-10-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10227703B2 (en) | Nanowires and method for the production thereof | |
| Chakarvarti | Track-etch membranes enabled nano-/microtechnology: A review | |
| JP5642850B2 (en) | Method for producing porous polymer membrane | |
| Piao et al. | Fabrication of nanostructured materials using porous alumina template and their applications for sensing and electrocatalysis | |
| US9376538B2 (en) | Method for the production of polymeric membranes having an ordered arrangement of high-aspect-ratio nanopores, by means of heavy ion bombing | |
| Djenizian et al. | Electrochemical fabrication of tin nanowires: a short review | |
| Karim et al. | Effect of etching conditions on pore shape in etched ion-track polycarbonate membranes | |
| RU2497747C2 (en) | Method of production of metal replica of conical shape based on polymeric templates | |
| Roustaie et al. | Novel fabrication method for integration of template grown metallic nanocones with controllable tip diameter and apex angle | |
| Chakarvarti | Science and art of synthesis and crafting of nano/microstructures and devices using ion-crafted templates: A review | |
| Lim et al. | Highly uniform, straightforward, controllable fabrication of copper nano-objects via artificial nucleation-assisted electrodeposition | |
| Chakarvarti | Track-etch membranes as templates enabled nano/micro technology: a review | |
| Kumar et al. | Electrodeposition of copper nanowires in ion-crafted membranes as templates | |
| KR101479211B1 (en) | manufacturing methods of nanoporous structure by high temperature anodization of Al | |
| Absalan et al. | Fabricating Al2O3-nanopores array by an ultrahigh voltage two-step anodization technique: Investigating the effect of voltage rate and Al foil thickness on geometry and ordering of the array | |
| Xu et al. | A novel method for fabricating double layers porous anodic alumina in phosphoric/oxalic acid solution and oxalic acid solution | |
| Kumar et al. | SEM morphology and XRD characterization of Ni microstructure arrays synthesized by dc electrodeposition in porous polycarbonate templates | |
| JP2004285405A (en) | Microelectrode array and manufacturing method therefor | |
| Walewyns et al. | Synthesis of patterned freestanding nickel nanowires by using ion track-etched polyimide | |
| RU2307066C1 (en) | Method for forming single metallic nano-structure in a set of etched channels of track membrane | |
| León-Patiño et al. | Fabrication and Characterization of Highly Ordered Porous Alumina Templates by a Two-Step Anodization Process | |
| TWI272243B (en) | Method for manufacturing nano-tube | |
| WO2019084770A1 (en) | Method for preparing metal thin film mold having surface micro-nano structure, and intermediate of metal thin film mold | |
| CN117552060A (en) | Copper film with nano holes on surface and preparation method and application thereof | |
| Hsieh | A simplified approach to produce carbon nanotubes using alumina substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20150406 |