RU2496178C2 - Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation - Google Patents

Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation Download PDF

Info

Publication number
RU2496178C2
RU2496178C2 RU2011138617/07A RU2011138617A RU2496178C2 RU 2496178 C2 RU2496178 C2 RU 2496178C2 RU 2011138617/07 A RU2011138617/07 A RU 2011138617/07A RU 2011138617 A RU2011138617 A RU 2011138617A RU 2496178 C2 RU2496178 C2 RU 2496178C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
axis
electrodes
along
formation
discrete
Prior art date
Application number
RU2011138617/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2011138617A (en
Inventor
Евгений Васильевич Мамонтов
Евгений Юрьевич Грачев
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Рязанский государственный радиотехнический университет"
Priority to RU2011138617/07A priority Critical patent/RU2496178C2/en
Publication of RU2011138617A publication Critical patent/RU2011138617A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2496178C2 publication Critical patent/RU2496178C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

FIELD: electricity.
SUBSTANCE: method for formation of two-dimensional linear electric fields consists in formation of one coordinate of potential average value distribution per working area border using device from flat discrete and hyperbolic electrodes. Flat discrete electrodes consist of thin earthed metal fibres evenly arranged on area borders, and hyperbolic electrodes singly arranged in each quadrant have small sizes of half-axes. Under impact of opposite potentials on adjacent hyperbolic electrodes in planes of discrete electrodes there formed are linear per each axis of potential average value distribution, under their impact in working area there formed is two-dimension linear field.
EFFECT: minimising sizes and improving design-process parameters of electrode systems for formation of two-dimension linear electric fields with working areas expanded along one axis.
2 dwg

Description

Изобретение относится к областям электронно-ионной оптики и масс-спектрометрии, основанных на движении заряженных частиц в статических и переменных двумерных линейных электрических полях, и может быть использовано для усовершенствования конструкции и технологии изготовления устройств пространственно-временной фокусировки и масс-разделения заряженных частиц. Гиперболические электродные системы не эффективны для создания масс-анализаторов с протяженной вдоль одной оси рабочей областью из-за значительных размеров электродов по всем координатам [1]. Задачу решают системы из плоских электродов с дискретно-линейным распределением потенциала [2], с дискретно-изменяющейся электрической прозрачностью [3] и дискретно-изменяющейся плотностью зарядов [4]. Техническая задача предлагаемого изобретения состоит в усовершенствовании конструктивно-технологических характеристик устройств образования двумерных линейных электрических полей с протяженной вдоль одной оси рабочей областью, использующих гиперболические и плоские дискретные эквипотенциальные электроды.The invention relates to the fields of electron-ion optics and mass spectrometry based on the movement of charged particles in static and variable two-dimensional linear electric fields, and can be used to improve the design and manufacturing technology of spatio-temporal focusing and mass separation of charged particles. Hyperbolic electrode systems are not effective for creating mass analyzers with a working area extended along one axis due to the significant size of the electrodes in all coordinates [1]. The problem is solved by systems of flat electrodes with a discrete-linear distribution of potential [2], with discrete-varying electrical transparency [3] and discretely-varying charge density [4]. The technical task of the invention is to improve the structural and technological characteristics of devices for the formation of two-dimensional linear electric fields with a working area extended along one axis, using hyperbolic and flat discrete equipotential electrodes.

Двумерные линейные электрические поля в рабочей области с размерами 2xc, 2yc, L по осям X, Y, Z при условии yc>>xc можно образовывать с помощью плоских дискретных поверхностей из неэквипотенциальных проводящих элементов, распределенных по оси Y с постоянным шагом ∆y [2] или эквипотенциальных проводящих элементов, неравномерно распределенных по оси Y [3, 4]. Наиболее близким к заявленному решению является способ, описанный в [4], заключающийся в образовании линейного электрического поля с помощью эквипотенциальных элементов, неравномерно распределенных по оси Y. Однако недостатками указанных систем являются трудности конструкторско-технологического характера, которые усложнят процесс изготовления ионно-оптических устройств и анализаторов ионов с использованием плоских дискретных электродов.Two-dimensional linear electric fields in the working area with dimensions 2x c , 2y c , L along the X, Y, Z axes under the condition y c >> x c can be formed using flat discrete surfaces from nonequipotential conductive elements distributed along the Y axis with a constant step ∆y [2] or equipotential conductive elements unevenly distributed along the Y axis [3, 4]. Closest to the claimed solution is the method described in [4], which consists in the formation of a linear electric field using equipotential elements unevenly distributed along the Y axis. However, the drawbacks of these systems are difficulties of a design-technological nature that will complicate the manufacturing process of ion-optical devices and ion analyzers using flat discrete electrodes.

Во всех случаях при использовании плоских дискретных электродов задача образования двумерных линейных в плоскости XOY электрических полей сводится к созданию на границах области x=±xc линейных вдоль оси Y распределений среднего значения потенциала:In all cases, when using flat discrete electrodes, the problem of generating two-dimensional linear electric fields in the XOY plane reduces to creating at the boundaries of the region x = ± x c linear distributions of the average potential value along the Y axis:

ϕ с р ( y i ) = 1 Δ y i y i Δ y / 2 y i + Δ y / 2 ϕ i ( y ) d y = ϕ m c p y c y i , ( 1 )

Figure 00000001
ϕ from R ( y i ) = one Δ y i y i - Δ y / 2 y i + Δ y / 2 ϕ i ( y ) d y = ϕ m c p y c y i , ( one )
Figure 00000001

где φ∂i(y) - распределение потенциала в плоскостях x=±xc i-го дискретного элемента, ∆yi - шаг дискретности электродов, φmсрср(yc).where φ ∂i (y) is the potential distribution in the planes x = ± x c of the i-th discrete element, Δy i is the discrete step of the electrodes, φ mav = φ av (y c ).

Для практической реализации ионно-оптических систем с двумерными линейными электрическими полями представляют интерес использование плоских дискретных поверхностей, образованных из равномерно распределенных по оси Y с шагом ∆y, параллельных оси Z, одинаковых эквипотенциальных проводящих элементов - нитей или полосок. Однако использование только плоских дискретных с постоянным шагом ∆y эквипотенциальных поверхностей не решает проблему образования двумерных линейных электрических полей. Задача решается с помощью дополнительных 4-х гиперболических потенциальных поверхностей, позволяющих сформировать линейные по оси Y распределения среднего значения потенциала в плоскостях x=±xc дискретных поверхностей. Гиперболические поверхности 2 располагают в области |x|>xc и на смежных поверхностях устанавливают противоположные потенциалы φ0 и -φ0 (Фиг.1). Наличие дискретных поверхностей 1 позволяет сместить начала координат гиперболических поверхностей 2 по оси Х на расстояние x0 для поверхностей в I и IV квадрантах и на расстояние - x0 для поверхностей во II и III квадрантах и тем самым существенно уменьшить значение их геометрического параметра r0 - действительной полуоси гипербол. Величина смещения определяется соотношением:For the practical implementation of ion-optical systems with two-dimensional linear electric fields, it is of interest to use flat discrete surfaces formed from uniformly distributed conductive elements, threads or strips, uniformly distributed along the Y axis with a step Δy, parallel to the Z axis. However, the use of only planar discrete with a constant step ∆y equipotential surfaces does not solve the problem of the formation of two-dimensional linear electric fields. The problem is solved with the help of additional 4 hyperbolic potential surfaces, which make it possible to form a linear distribution along the Y axis of the average potential value in the planes x = ± x c of discrete surfaces. The hyperbolic surfaces 2 are located in the region | x |> x c and the opposite potentials φ 0 and −φ 0 are set on adjacent surfaces (FIG. 1). The presence of discrete surfaces 1 allows you to shift the coordinate origin of the hyperbolic surfaces 2 along the X axis by a distance of x 0 for surfaces in I and IV quadrants and by a distance of x 0 for surfaces in II and III quadrants and thereby significantly reduce the value of their geometric parameter r 0 - the actual semi-axis of hyperbole. The amount of displacement is determined by the ratio:

x 0 x c 0,45 Δ y .                                         ( 2 )

Figure 00000002
x 0 x c - 0.45 Δ y . ( 2 )
Figure 00000002

Гиперболические поверхности в этом случае описываются уравнением:Hyperbolic surfaces in this case are described by the equation:

y = ± r 0 2 / 2 ( x ± x 0 ) .                                         ( 3 )

Figure 00000003
y = ± r 0 2 / 2 ( x ± x 0 ) . ( 3 )
Figure 00000003

Под действием противоположных потенциалов φ0 и -φ0 на смежных гиперболических поверхностях в сечениях x=±xc формируются распределения потенциала φ(±xc,y) - (кривая 1, Фиг.2), средние значения которых φср(±xc,y) при выполнении условия (2), будут изменяться по линейному закону (кривая 2, Фиг.2):Under the action of opposite potentials φ 0 and -φ 0 on adjacent hyperbolic surfaces in cross sections x = ± x c , potential distributions φ (± x c , y) - are formed (curve 1, Figure 2), the average values of which are φ cf (± x c , y) when condition (2) is fulfilled, they will change according to a linear law (curve 2, Figure 2):

ϕ с р ( x c , y ) = E m y ,                                    ( 4 )

Figure 00000004
ϕ from R ( x c , y ) = E m y , ( four )
Figure 00000004

где E m = 0.9 Δ y ϕ 0 / r 0 2

Figure 00000005
. При этом в рабочей области |x|<xc, |y|<yc образуется поле с распределением потенциала вида:Where E m = 0.9 Δ y ϕ 0 / r 0 2
Figure 00000005
. Moreover, in the work area | x | <x c , | y | <y c , a field is formed with a potential distribution of the form:

ϕ ( x , y ) = E m x c x y ,                                           ( 5 )

Figure 00000006
ϕ ( x , y ) = E m x c x y , ( 5 )
Figure 00000006

которое соответствует двумерному линейному электрическому полю с проекциями напряженности поля на оси X и Y:which corresponds to a two-dimensional linear electric field with projections of the field strength on the X and Y axis:

E x = E m x c y , E y = E m x c x .                              ( 6 )

Figure 00000007
E x = E m x c y , E y = E m x c x . ( 6 )
Figure 00000007

Из (5) и (6) следует, что система из 2-х плоских с постоянным шагом ∆y эквипотенциальных дискретных и 4-х гиперболических поверхностей позволяет образовывать двумерные линейные электрические поля в рабочих областях 4 |x|<xc, |yc|<y с произвольным соотношением параметров xc, yc. Причем при фиксированной длине полуосей r0 гиперболических поверхностей выбором параметров xc и ∆y размеры рабочей области по оси X могут изменяться в широких пределах.It follows from (5) and (6) that a system of 2 planar equipotential discrete and 4 hyperbolic surfaces with 2 flat with a constant step ∆y allows the formation of two-dimensional linear electric fields in the working areas 4 | x | <x c , | y c | <y with an arbitrary ratio of parameters x c , y c . Moreover, for a fixed axis length r 0 of hyperbolic surfaces, by choosing the parameters x c and ∆y, the dimensions of the working area along the X axis can vary widely.

Устройство для образования двумерного линейного электрического поля по предлагаемому в п.1 формулы изобретения способу состоит из 2-х плоских дискретных электродов 1 длиной L>>2xc и 4-х гиперболических электродов 2 длиной L>>2xc (Фиг.1). Дискретные электроды 1 с размером ya>>xc по оси Y расположены в плоскостях x=±xc и образованы из равномерно распределенных по оси Y с шагом ∆y тонких диаметром d<<∆y параллельных оси Z эквипотенциальных нитей. Начала координат гиперболических электродов сдвинуты попарно по оси Х на расстояние ±x0 и имеют конечные координаты х=±xa, y=±ya, где xa≥(xc+1.5r0), ya≥(yc+1.5xc). Гиперболические электроды расположены за пределами рабочей области 4 (Фиг.1) |x|>xc по одному в каждом квадранте. Геометрический параметр r0 гиперболических электродов определяется шагом дискретности ∆y плоских электродов и их размером ya по оси Y:The device for forming a two-dimensional linear electric field according to the method proposed in claim 1, consists of 2 flat discrete electrodes 1 of length L >> 2x c and 4 hyperbolic electrodes 2 of length L >> 2x c (Figure 1). Discrete electrodes 1 with a size of y a >> x c along the Y axis are located in the planes x = ± x c and are formed from equipotential filaments uniformly distributed along the Y axis with a step ∆y of diameter d << ∆y parallel to the Z axis. The coordinates of the hyperbolic electrodes are shifted in pairs along the X axis by a distance of ± x 0 and have finite coordinates x = ± x a , y = ± y a , where x a ≥ (x c + 1.5r 0 ), y a ≥ (y c + 1.5x c ). Hyperbolic electrodes are located outside the work area 4 (Figure 1) | x |> x c , one in each quadrant. The geometric parameter r 0 of the hyperbolic electrodes is determined by the discrete step ∆y of the flat electrodes and their size y a along the Y axis:

r 0 = 2 y a Δ y

Figure 00000008
. r 0 = 2 y a Δ y
Figure 00000008
.

При заданных параметрах xc, yc рабочей области геометрический параметр r0 гиперболических электродов, используемых в совокупности с плоскими дискретными электродами с постоянным значением шага ∆y, оказывается значительно меньше параметра r0 гиперболических электродов 3 (Фиг.1), создающих такое же поле в отсутствии дискретных электродов. Это позволяет в анализаторах с вытянутыми вдоль оси Y рабочими областями 4 (Фиг.1), когда yc>>xc путем минимизации значения параметра r0 гиперболических электродов в 2-2,5 раза сократить размеры электродных систем анализаторов по оси X. Размер L электродов 1 и 2 по оси Z выбирается исходя из допустимого уровня отклонения поля от линейного в рабочей области анализатора из-за краевых эффектов:Given the parameters x c , y c of the working area, the geometrical parameter r 0 of the hyperbolic electrodes used in conjunction with flat discrete electrodes with a constant step Δy turns out to be significantly less than the parameter r 0 of the hyperbolic electrodes 3 (Figure 1), which create the same field in the absence of discrete electrodes. This allows analyzers with elongated work areas 4 along the Y axis (Fig. 1), when y c >> x c, by minimizing the value of the parameter r 0 of hyperbolic electrodes, by 2–2.5 times reducing the dimensions of the electrode systems of analyzers along the X axis. Size L electrodes 1 and 2 along the Z axis are selected based on the permissible level of deviation of the field from the linear in the working area of the analyzer due to edge effects:

L≥4xc.L≥4x c .

Использование в качестве плоских дискретных электродов равномерно распределенных по оси Y металлических нитей в совокупности с гиперболическими электродами упрощает конструкцию и технологию изготовления, а также снижает размеры анализаторов с двумерными линейными электрическими полями.The use of metallic filaments uniformly distributed along the Y axis as flat discrete electrodes in combination with hyperbolic electrodes simplifies the design and manufacturing technology, as well as reduces the size of analyzers with two-dimensional linear electric fields.

ЛИТЕРАТУРАLITERATURE

1. Гуров B.C., Мамонтов Е.В., Дягилев А.А. Электродные системы с дискретным линейным распределением высокочастотного потенциала для масс-анализаторов заряженных частиц // Масс-спектрометрия. 2007. №4 (2). - С.139-142.1. Gurov B.C., Mamontov E.V., Diaghilev A.A. Electrode systems with a discrete linear distribution of high-frequency potential for charged particle mass analyzers // Mass spectrometry. 2007. No4 (2). - S.139-142.

2. Патент RU №2327245 от 03.05.2006, Способ масс-селективного анализа ионов по времени пролета и устройство для его осуществления.2. Patent RU No. 23237245 of 05/03/2006, Method for mass-selective analysis of ions by time of flight and a device for its implementation.

3. Патент RU №2387043 от 10.04.2008, Способ формирования линейного поля и устройство для его осуществления.3. Patent RU No. 2387043 of 04/10/2008, A method for forming a linear field and a device for its implementation.

4. Патент RU №2422939 от 25.11.2009, Способ образования двумерного линейного электрического поля и устройство для его осуществления.4. Patent RU No. 2422939 of 11.25.2009, A method of forming a two-dimensional linear electric field and a device for its implementation.

Claims (2)

1. Способ образования двумерного линейного электрического поля, заключающийся в создании по границам x=±xc рабочей области |x|<xc, |y|<yc параллельных оси Z плоских дискретных проводящих поверхностей с размерами 2ya, L по осям Y, Z, состоящих из совокупности распределенных по оси Y параллельных оси Z тонких проводящих нитей, отличающийся тем, что по оси Y эквипотенциальные нити распределены равномерно с шагом Δy, причем за границами рабочей области |x|>xc располагают по одной в каждом квадранте гиперболические проводящие поверхности y = ± r 0 2 / 2 ( x ± x 0 )
Figure 00000009
, где |x0|<|xc|, r0 - действительная полуось гипербол, и на смежных поверхностях устанавливают противоположные потенциалы φ0 и -φ0.
1. The method of forming a two-dimensional linear electric field, which consists in creating along the borders x = ± x c of the working area | x | <x c , | y | <y c parallel to the Z axis of flat discrete conductive surfaces with dimensions 2y a , L along the Y axes , Z, consisting of a set of thin conductive filaments distributed along the Y axis parallel to the Z axis, characterized in that the equipotential filaments are distributed uniformly along the Y axis with a step Δy, with hyperbolic one in each quadrant outside the boundaries of the working area | x |> x c conductive surfaces y = ± r 0 2 / 2 ( x ± x 0 )
Figure 00000009
, where | x 0 | <| x c |, r 0 is the real semi-axis of the hyperbolas, and opposite potentials φ 0 and -φ 0 are established on adjacent surfaces.
2. Устройство для образования двумерного линейного электрического поля, содержащее по границам рабочей области x=±xc параллельные оси Z электроды длиной L>>2xc из распределенных по оси Y параллельных оси Z проводящих тонких нитей, отличающееся тем, что используют два в плоскостях х=±xc дискретных с размером ya>>xc по оси Y электрода из равномерно распределенных с шагом Δy по оси Y эквипотенциальных нитей диаметром d<<Δy и четыре, по одному в каждом квадранте, гиперболических электрода с действительной полуосью r0, сдвинутых попарно по оси X на расстояние ±x0, с конечными координатами x=±xa,
y=±ya, где xa≥(xc+1,5r0), ya≥(yc+1,5xc).
2. Device for the formation of a two-dimensional linear electric field, containing at the boundaries of the working area x = ± x c parallel to the Z axis electrodes of length L >> 2x c from conductive thin filaments distributed along the Y axis parallel to the Z axis, characterized in that two are used in planes x = ± x c discrete with a size y a >> x c along the Y axis of the electrode from equipotential filaments with a diameter d << Δy uniformly distributed with a step Δy along the Y axis and four, one in each quadrant, hyperbolic electrodes with an actual axis axis r 0 shifted in pairs along the X axis by yanie ± x 0, with end coordinates x = ± x a,
y = ± y a , where x a ≥ (x c + 1,5r 0 ), y a ≥ (y c + 1,5x c ).
RU2011138617/07A 2011-09-20 2011-09-20 Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation RU2496178C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011138617/07A RU2496178C2 (en) 2011-09-20 2011-09-20 Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011138617/07A RU2496178C2 (en) 2011-09-20 2011-09-20 Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011138617A RU2011138617A (en) 2013-03-27
RU2496178C2 true RU2496178C2 (en) 2013-10-20

Family

ID=49124028

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011138617/07A RU2496178C2 (en) 2011-09-20 2011-09-20 Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2496178C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10147591B2 (en) 2015-02-03 2018-12-04 Auckland Uniservices Limited Ion mirror, an ion mirror assembly and an ion trap

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006008537A2 (en) * 2004-07-21 2006-01-26 Micromass Uk Limited Mass spectrometer
RU2387043C2 (en) * 2008-04-10 2010-04-20 Евгений Васильевич Мамонтов Method to generate 2-d linear field and device to this end
US20100237236A1 (en) * 2009-03-20 2010-09-23 Applera Corporation Method Of Processing Multiple Precursor Ions In A Tandem Mass Spectrometer
RU2422939C1 (en) * 2009-11-25 2011-06-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет Method of generating two-dimensional linear electric field and device for realising said method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006008537A2 (en) * 2004-07-21 2006-01-26 Micromass Uk Limited Mass spectrometer
RU2387043C2 (en) * 2008-04-10 2010-04-20 Евгений Васильевич Мамонтов Method to generate 2-d linear field and device to this end
US20100237236A1 (en) * 2009-03-20 2010-09-23 Applera Corporation Method Of Processing Multiple Precursor Ions In A Tandem Mass Spectrometer
RU2422939C1 (en) * 2009-11-25 2011-06-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Рязанский государственный радиотехнический университет Method of generating two-dimensional linear electric field and device for realising said method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10147591B2 (en) 2015-02-03 2018-12-04 Auckland Uniservices Limited Ion mirror, an ion mirror assembly and an ion trap

Also Published As

Publication number Publication date
RU2011138617A (en) 2013-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kawamura et al. Ion energy distributions in rf sheaths; review, analysis and simulation
RU2687963C2 (en) Modification of ions
DE112018004182T5 (en) Methods and systems for ion manipulation
Diomede et al. Radio-frequency capacitively coupled plasmas in hydrogen excited by tailored voltage waveforms: comparison of simulations with experiments
Liu et al. Double-peak structures in transmission of H 2+ ions through conical multicapillaries in a polymer: Projectile-energy dependence
RU2496178C2 (en) Method for formation of two-dimensional liner electric field and device for its implementation
CN108735572B (en) Ion guide device, method and mass spectrometer
RU2422939C1 (en) Method of generating two-dimensional linear electric field and device for realising said method
Gerst et al. Plasma drift in a low-pressure magnetized radio frequency discharge
Bennet et al. Separating the location of geometric and magnetic expansions in low-pressure expanding plasmas
Gibson et al. Predicted behaviour of QMF systems with and without prefilters using accurate 3D fields
CN104934288A (en) High time resolution ion speed imager based on tetra-pole plate design
Krüger et al. Scattering of magnetized electrons at the boundary of low temperature plasmas
RU2444083C2 (en) Method for time-of-flight separation of ions according to mass and device for realising said method
Nešković et al. A square electrostatic rainbow lens: Catastrophic ion beam focusing
Liu et al. Simulations of guiding of low-energy ions through a single nanocapillary in insulating materials
RU2387043C2 (en) Method to generate 2-d linear field and device to this end
Sudakov et al. TOF systems with two-directional isochronous motion
CN105632867B (en) Method for improving performance of grid ion trap
US10340132B2 (en) Optimized electromagnetic field on side-on FT-ICR mass spectrometers
Markushin et al. Simulation of the electric field distribution in the electrode system of a device forming a high-voltage gas discharge
Vinogradova et al. Calculating a multipole cylindrical electrostatic system
Bracco Comparison of quadrupole mass filters equipped with rods of different convexity: An analysis by finite element methods and trajectory simulations
Lan et al. Numerical study on ion filtering of titanium hydride cathodic vacuum arc plasma through a double-layer extraction grid
CN103903954B (en) A kind of linear ion hydrazine

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150921