RU2492283C2 - Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates - Google Patents
Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates Download PDFInfo
- Publication number
- RU2492283C2 RU2492283C2 RU2011149970/05A RU2011149970A RU2492283C2 RU 2492283 C2 RU2492283 C2 RU 2492283C2 RU 2011149970/05 A RU2011149970/05 A RU 2011149970/05A RU 2011149970 A RU2011149970 A RU 2011149970A RU 2492283 C2 RU2492283 C2 RU 2492283C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- crystal
- electrodes
- electric field
- domain
- faces
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к способу формирования в монокристаллах сегнетоэлектриков бидоменной структуры для использования в устройствах нанотехнологии и микромеханики, где имеется потребность осуществлять точные, с высокой повторяемостью и без остаточных деформаций, механические перемещения в микро- и нанодиапазонах. Это относится как к измерительной технике, в частности, к зондовым микроскопам, так и к функциональным устройствам, изготовленным по MEMS-технологиям.The invention relates to a method for forming a bidomain structure in single crystals of ferroelectrics for use in nanotechnology and micromechanics devices, where there is a need to carry out precise, with high repeatability and without permanent deformations, mechanical movements in micro- and nanoscale ranges. This applies both to the measuring technique, in particular to probe microscopes, and to functional devices made according to MEMS technologies.
Основным конструктивным элементом таких устройств любой модификации является электромеханическое устройство, которое преобразовывает электрическую энергию в управляемое движение т.е. микроактюатор. К перспективным методам активации следует отнести пьезоэлектрические биморфные элементы на основе бидоменных структур в монокристаллах сегнетоэлектриков. Однако в настоящее время не существует надежных методов формирования биморфной доменной структуры в сегнетоэлектрических кристаллахThe main structural element of such devices of any modification is an electromechanical device that converts electrical energy into controlled movement i.e. microactuator. The promising activation methods include piezoelectric bimorph elements based on bidomain structures in single crystals of ferroelectrics. However, at present, there are no reliable methods for the formation of a bimorph domain structure in ferroelectric crystals
Известны несколько различных способов формирования в кристаллах сегнетоэлектриков системы доменов заданных размеров и ориентировки междоменных границ [Периодически поляризованные доменные структуры за счет использования системы электродов. ФТТ. 1999 г. т.41 с.1831-1837. Шур В.Я., Румянцев Е.А., Бачко Р.Г. и др.; Surfase domain engineering in congment lithium niobate single crystals. Applied physics letters, v.81, N26, 4946-4948, 2002. A.C. Busacca, C.L. Sones, V. Apostolopoulos, R.W. Eason and S. Mailis.]. Кристаллы, поляризованные этими методами, являются полидоменными, т.е. содержат в объеме сегнетоэлектрические домены ориентированные антипараллельно. Однако для изготовления биморфных структур такие доменные образования не подходят т.к. необходимо, чтобы две грани кристалла на которые наносится управляющие электроды, были вырезаны параллельно доменной границе и имели достаточно большую площадь для получения необходимой механической энергии при упругой деформации биморфа. Предложенными способами невозможно поляризовать кристаллы толщиной более 0.2-0.5 мм и площадью более нескольких квадратных миллиметров. Кроме того, их геометрия не позволяет использовать максимальные пьезоэлектрические модули.Several different methods are known for forming in a ferroelectric crystals a system of domains of a given size and orientation of interdomain boundaries [Periodically polarized domain structures through the use of an electrode system. FTT. 1999 vol. 41 p. 1831-1837. Shur V.Ya., Rumyantsev E.A., Bachko R.G. and etc.; Surfase domain engineering in congment lithium niobate single crystals. Applied physics letters, v. 81, N26, 4946-4948, 2002. A.C. Busacca, C.L. Sones, V. Apostolopoulos, R.W. Eason and S. Mailis.]. Crystals polarized by these methods are multidomain, i.e. contain ferroelectric domains oriented antiparallel in volume. However, such domain formations are not suitable for the fabrication of bimorph structures. it is necessary that the two faces of the crystal on which the control electrodes are applied are cut parallel to the domain wall and have a sufficiently large area to obtain the necessary mechanical energy during elastic deformation of the bimorph. The proposed methods cannot polarize crystals with a thickness of more than 0.2-0.5 mm and an area of more than a few square millimeters. In addition, their geometry does not allow the use of maximum piezoelectric modules.
Наиболее близким аналогом к предлагаемому способу является способ получения монокристаллов ниобата лития с бидоменной структурой путем наложения электродов на две грани кристалла при нагреве до температуры фазового перехода - температуры Кюри под действием неоднородного электрического поля [АНТИПОВ В.В. и др., Формирование бидоменной структуры в пластинах монокристалла ниобата лития электротермическим методом, «Известия ВУЗов. Сер. Материалы электронной техники», 2008, №3, стр.18-22].The closest analogue to the proposed method is a method for producing lithium niobate single crystals with a bidomain structure by applying electrodes to two faces of a crystal when heated to a phase transition temperature - Curie temperature under the influence of an inhomogeneous electric field [Antipov V.V. et al., Formation of a bidomain structure in plates of a lithium niobate single crystal by the electrothermal method, Izvestiya VUZov. Ser. Materials of electronic equipment ”, 2008, No. 3, pp. 18-22].
Недостатками известного способа являются невозможность создания плоскопараллельной доменной структуры в монокристаллах ниобата лития и отсутствие конкретных данных, при которых достигается получение такой структуры.The disadvantages of this method are the impossibility of creating a plane-parallel domain structure in single crystals of lithium niobate and the absence of specific data for which such a structure is obtained.
Технический результат заявленного изобретения заключается в получении монокристаллов ниобата лития с бидоменной структурой, имеющей плоскую междоменную границу, и максимальной деформацией.The technical result of the claimed invention is to obtain single crystals of lithium niobate with a bidomain structure having a flat interdomain boundary and maximum deformation.
Технический результат изобретения достигается способом получения монокристаллов ниобата лития с бидоменной структурой для устройств нанотехнологии и микромеханики путем наложения электродов в виде системы параллельных струн на две плоскопараллельными грани кристалла, ориентированного под углом z+36° к полярной оси, при нагреве до температуры фазового перехода - температуры Кюри под действием неоднородного электрического поля. Электроды могут быть изготовлены из палладиевой пасты и нанесены на пластины сапфира.The technical result of the invention is achieved by the method of producing lithium niobate single crystals with a bidomain structure for nanotechnology and micromechanics devices by applying electrodes in the form of a system of parallel strings to two plane-parallel crystal faces oriented at an angle z + 36 ° to the polar axis when heated to a phase transition temperature - temperature Curie under the influence of an inhomogeneous electric field. The electrodes can be made of palladium paste and applied to sapphire plates.
При подаче постоянного электрического потенциала на электроды в виде системы параллельных струн создается неоднородное электрическое поле с заданным пространственным распределением величины и направления силовых линий поля в объеме кристалла. Поляризация сегнетоэлектрика происходит благодаря тому, что при температуре фазового перехода ионы металлов, например, лития в ниобате лития, обладают высокой подвижностью, проводящей к тому, что под действием электрического поля ионы в катионной кристаллической подрешетке смещаются, а после снижения температуры состояние фиксируется. Направление смещения зависит от силовых линий электрического поля и определяет направление векторов поляризации в объеме кристалла.When a constant electric potential is applied to the electrodes in the form of a system of parallel strings, an inhomogeneous electric field is created with a given spatial distribution of the magnitude and direction of the field lines in the crystal bulk. Ferroelectric polarization occurs due to the fact that, at the phase transition temperature, metal ions, for example, lithium in lithium niobate, have high mobility, which leads to the fact that under the influence of an electric field the ions in the cationic crystalline sublattice are displaced, and after a decrease in temperature the state is fixed. The direction of the displacement depends on the electric field lines and determines the direction of the polarization vectors in the bulk of the crystal.
Угол ориентировки граней кристаллов относительно полярных осей выбирается из условия максимального пьезомодуля для используемого сегнетоэлектрического кристалла на стадии изготовления заготовок для формирования в них биморфных структур. Это позволяет получать максимальные механические деформации «сжатие-растяжение» при приложении электрических полей.The orientation angle of the crystal faces relative to the polar axes is selected from the condition of the maximum piezoelectric module for the used ferroelectric crystal at the stage of manufacturing blanks to form bimorph structures in them. This allows you to obtain maximum mechanical strain "compression-tension" when applying electric fields.
Результирующая проекция вектора напряженности электрического поля одноименно заряженных электродов меняется по толщине кристалла, напряженность электрического ноля максимальна на полярных гранях и близка к нулю в середине кристалла, где расположена плоскость нулевого потенциала. Электроды дают возможность управлять положением доменной границы, ее формой и объемами доменов разной поляризации.The resulting projection of the electric field vector of the same-charged electrodes varies along the thickness of the crystal, the electric zero intensity is maximum at the polar faces and close to zero in the middle of the crystal, where the zero potential plane is located. The electrodes make it possible to control the position of the domain wall, its shape and volume of domains of different polarization.
Для получения структур с одной доменной границей в пластине из ниобата лития использована система электродов, создающих неоднородное, симметричное относительно границы электрическое поле по объему кристалла. При охлаждении пластины от температуры Кюри происходит прорастание двух доменов с противоположными направлениями векторов поляризации от электродов вглубь кристалла. Направление и скорость задаются плотностью распределения и ориентацией силовых линий электрического ноля в пластине. Необходимо обеспечить зарождение и прорастание доменов по всей площади кристалла. Домены встречаются в области нулевого потенциала электрического поля и формируют в кристалле бидомен с одной границей посередине.To obtain structures with one domain boundary in a lithium niobate plate, we used a system of electrodes that create an inhomogeneous electric field symmetrical with respect to the boundary over the crystal volume. When the plate is cooled from the Curie temperature, two domains grow with the opposite directions of the polarization vectors from the electrodes deep into the crystal. The direction and speed are determined by the distribution density and the orientation of the electric field lines of force in the plate. It is necessary to ensure the nucleation and germination of domains over the entire area of the crystal. Domains are found in the region of zero electric field potential and form a bidomen in the crystal with one boundary in the middle.
Кристалл с электродами помещается в печь, которая обеспечивает нагрев до температуры Кюри для данного материала, проводится необходимая выдержка кристалла под полем, что обеспечивает зарождение и прорастание доменов вглубь объема монокристалла, и затем медленное снижение до комнатной температуры. Прорастание происходит от граней кристалла во встречных направлениях вглубь кристалла. После охлаждения сегнетоэлектрический кристалл имеет две монодоменные области равного объема с противоположным направлением векторов поляризации и плоской междоменной границей. Такое заданное пространственное распределение по объему кристалла вектора поляризации формирует бидоменную структуру.A crystal with electrodes is placed in a furnace, which provides heating to the Curie temperature for this material, the required exposure of the crystal under the field is carried out, which ensures the nucleation and germination of domains deep into the volume of the single crystal, and then slowly decrease to room temperature. Germination occurs from crystal faces in opposite directions deep into the crystal. After cooling, the ferroelectric crystal has two single-domain regions of equal volume with the opposite direction of the polarization vectors and a flat interdomain boundary. Such a given spatial distribution over the volume of the crystal of the polarization vector forms a bi-domain structure.
Предложенный способ позволяет управлять положением и топологией границ, изменять напряженность и конфигурацию электрического поля.The proposed method allows you to control the position and topology of the boundaries, change the strength and configuration of the electric field.
Пример проведения технологического процесса формирования биморфной структуры в монокристалле ниобата лития.An example of a technological process for the formation of a bimorph structure in a single crystal of lithium niobate.
Между двумя сапфировыми пластинами (1) помещался сегнетоэлектрический кристалл ниобата лития LiNbO3 заданных геометрических размеров (2) с плоскопараллельными гранями. Перпендикуляры к этим граням не совпадают с направлением оси спонтанной поляризации кристаллов и выбираются из условия максимального пьезомодуля для выбранного сегнетоэлектрика на стадии изготовления пластин. С целью создания неоднородного электрического поля по объему кристалла па обе сапфировые пластины наносился металлический электрод (3) в виде системы параллельных струп. Напряженность электрического поля внутри электродов является суммой напряженностей электрического поля, создаваемого каждым электродом. Ширина электродов, их период и толщина зависят от геометрии кристалла и задавались в процессе изготовления.Between two sapphire plates (1) a ferroelectric lithium niobate crystal LiNbO 3 of a given geometric size (2) with plane-parallel faces was placed. The perpendiculars to these faces do not coincide with the direction of the axis of spontaneous polarization of the crystals and are selected from the condition of the maximum piezoelectric module for the selected ferroelectric at the stage of plate production. In order to create an inhomogeneous electric field over the crystal volume, a metal electrode (3) was applied to both sapphire plates in the form of a system of parallel scabs. The electric field inside the electrodes is the sum of the electric field generated by each electrode. The width of the electrodes, their period and thickness depend on the geometry of the crystal and were set during the manufacturing process.
На основе компьютерной модели расчета распределения напряженности электрического поля по толщине кристалла сегнетоэлектрика, получено теоретическое распределение поляризации в зависимости от различных условий проведения процесса формирования бидоменной структуры. В расчетах учитывается ширина электродов и расстояние между ними, число электродов, расстояние между электродами, подаваемый на электрод потенциал, смешение относительно друг друга электродов и неточность определения кристаллографических ориентировок кристалла при установке в технологической ячейке.Based on a computer model for calculating the distribution of the electric field strength over the thickness of a ferroelectric crystal, a theoretical distribution of polarization is obtained depending on various conditions of the process of formation of the bidomain structure. The calculations take into account the width of the electrodes and the distance between them, the number of electrodes, the distance between the electrodes, the potential supplied to the electrode, the mixing of the electrodes relative to each other, and the inaccuracy of determining the crystallographic orientations of the crystal when installed in the technological cell.
Вектор напряженности электрического поля меняется по толщине кристалла и напряженность поля максимальна на гранях кристалла и падает до нуля в объеме кристалла. На геометрию и положение междоменной границы оказывают влияние следующие технические характеристики: расстояние между струнами электродов, расстояние между электродами и кристаллом, неточности в сборке рабочей ячейки при формировании биморфа - совмещение друг с другом без сдвига электродов пластин, совмещение направления поляризации и электродов.The vector of the electric field strength varies over the thickness of the crystal and the field strength is maximum at the faces of the crystal and drops to zero in the volume of the crystal. The following technical characteristics affect the geometry and position of the interdomain boundary: the distance between the strings of the electrodes, the distance between the electrodes and the crystal, inaccuracies in the assembly of the working cell during the formation of the bimorph - combining with each other without shifting the plate electrodes, combining the direction of polarization and electrodes.
Неточности ориентировки и совмещения электродов могут приводить к искажению плоской формы междоменной границы, ее закручиванию и ухудшению эксплуатационных характеристик биморфа.Inaccuracies in the orientation and alignment of the electrodes can lead to distortion of the flat shape of the interdomain boundary, its twisting and deterioration of the operational characteristics of the bimorph.
Для изготовления электродов на круглой пластине из синтетического сапфира диаметром - 76 мм и толщиной 0,5 мм наносится слой жидкой палладиевой пасты, затем пластины отжигаются при температуре 700°C для удаления органического растворителя пасты. Электродная структура создается воздействием импульсного лазерного излучения второй гармоники гранатового лазера с длиной волны 532 нм с энергией 80 мДж, которым удаляется часть проводящего палладиевого покрытия при испарении сфокусированными 10 не импульсами. Ширина полученных электродов - 0,22 мм и расстояние между ними - 0,85 мм выбирались из расчетов по описанной методике с учетом геометрических размеров кристалла и расстояния между ним и электродами (фиг.1).For the manufacture of electrodes on a round plate made of synthetic sapphire with a diameter of 76 mm and a thickness of 0.5 mm, a layer of liquid palladium paste is applied, then the plates are annealed at a temperature of 700 ° C to remove the organic solvent of the paste. The electrode structure is created by the action of second-harmonic pulsed laser radiation of a garnet laser with a wavelength of 532 nm and an energy of 80 mJ, which removes part of the conductive palladium coating upon evaporation by focused 10 non-pulses. The width of the obtained electrodes - 0.22 mm and the distance between them - 0.85 mm were selected from the calculations according to the described method, taking into account the geometric dimensions of the crystal and the distance between it and the electrodes (figure 1).
Образец в виде прямоугольной пластины монокристалла ниобата лития с размерами 40 мм (срез Z+36°) на 20 мм (срез X) и толщиной 1,5 мм (с гранями перпендикулярными кристаллографическому направлению Y - 127,86°) (2), помещается между пластинами с проводящими палладиевыми электродами на сапфире (1, 3), таким образом, чтобы струны электродов были пространственно совмещены, а направление Х было перпендикулярно струнам (фиг.2). К электродам подсоединяются проволочные платиновые контакты (4), электрически связывающие между собой обе пластины с электродами, и затем собранная рабочая ячейка помещается в без градиентную печь.A sample in the form of a rectangular plate of a lithium niobate single crystal with dimensions of 40 mm (section Z + 36 °) by 20 mm (section X) and a thickness of 1.5 mm (with faces perpendicular to the crystallographic direction Y is 127.86 °) (2) between plates with conducting palladium electrodes on sapphire (1, 3), so that the strings of the electrodes are spatially aligned and the X direction is perpendicular to the strings (Fig. 2). Platinum wire contacts (4) are connected to the electrodes, electrically connecting both plates to the electrodes, and then the assembled working cell is placed in a gradientless furnace.
Печь равномерно нагревается до температуры фазового перехода ниобата лития конгруэнтного состава - 1150°C в течение (3-3,5) часов, подается постоянное напряжение 1000 B на электроды, кристалл выдерживается 30 минут и затем под постоянным электрическим полем начинается медленное охлаждение печи до 800-850°C за 60 минут. Электрическое поле и нагрев выключаются при снижении температуры до этой температуры, что обеспечивает зарождение доменов на плоских гранях кристалла, прорастание доменных границ по объему кристалла и формирование одной доменной границы в середине пластины. Полное инерционное охлаждение печи до комнатной температуры длится 12-14 часов. Глубина прорастания доменной границ зависит, прежде всего, от времени выдержки кристалла под полем.The furnace is evenly heated to a phase transition temperature of congruent lithium niobate - 1150 ° C for (3-3.5) hours, a constant voltage of 1000 V is applied to the electrodes, the crystal is held for 30 minutes and then under a constant electric field the furnace slowly begins to cool to 800 -850 ° C in 60 minutes. The electric field and heating turn off when the temperature drops to this temperature, which ensures the nucleation of domains on the plane faces of the crystal, the germination of domain walls along the volume of the crystal, and the formation of one domain wall in the middle of the plate. Complete inertial cooling of the furnace to room temperature lasts 12-14 hours. The depth of germination of the domain walls depends, first of all, on the exposure time of the crystal under the field.
Исследования морфологии и визуализация полученной доменной структуры в кристалле ниобата лития методами рентгеновской дифрактометрии и атомно-силовой микроскопии подтвердили, что под действием неоднородного электрического поля при отжиге сформировалась устойчивая бидоменная структура.Studies of the morphology and visualization of the obtained domain structure in a lithium niobate crystal by X-ray diffractometry and atomic force microscopy confirmed that a stable bidomenic structure was formed under the influence of an inhomogeneous electric field during annealing.
Эффективность и стабильность преобразования электрического сигнала в изгибно-механические упругие деформации на экспериментальном макете с сечением доменного биморфного элемента 2×8×1 мм при консольном закреплении характеризуется следующими характеристиками: изменение деформации в интервале напряжений от 20 до 500 В/мм составляет 0,04-0,5 мкм, остаточная деформация элементов не превышает 0,3%, линейность деформации не хуже 1% в диапазоне рабочих температур от комнатной до 850°C.The efficiency and stability of the conversion of an electrical signal into bending-mechanical elastic deformations on an experimental prototype with a cross section of a
Из результатов испытаний можно сделать выводы, что продольно-изгибные деформации полученных биморфных кристаллических структур характеризуются отсутствием механического гистерезиса, ползучести и остаточных деформаций в широком интервале рабочих температур при высокой линейности величин деформации биморфов от электрического сигнала.From the test results, it can be concluded that the longitudinal-bending deformations of the obtained bimorphic crystal structures are characterized by the absence of mechanical hysteresis, creep, and residual deformations in a wide range of operating temperatures with a high linearity of the bimorph deformation from the electrical signal.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011149970/05A RU2492283C2 (en) | 2011-12-08 | 2011-12-08 | Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011149970/05A RU2492283C2 (en) | 2011-12-08 | 2011-12-08 | Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011149970A RU2011149970A (en) | 2013-06-20 |
| RU2492283C2 true RU2492283C2 (en) | 2013-09-10 |
Family
ID=48784984
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011149970/05A RU2492283C2 (en) | 2011-12-08 | 2011-12-08 | Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2492283C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015088371A1 (en) * | 2013-12-12 | 2015-06-18 | The Federal State Autonomous Educational Institution Of The Higher Professional Education "National University Of Science And Technology "Misis" | Method of synthesizing a bi-domain structure in ferroelectric single crystal wafers |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2371746C1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-10-27 | ГОУ ВПО Уральский государственный университет им. А.М. Горького | Method of forming domain structure in single-crystal wafer of non-linear optical ferroelectric material |
| RU2411561C1 (en) * | 2009-09-29 | 2011-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Лабфер" | Method of forming domain structure in single-crystal wafer of nonlinear optical ferroelectric material |
-
2011
- 2011-12-08 RU RU2011149970/05A patent/RU2492283C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2371746C1 (en) * | 2008-05-21 | 2009-10-27 | ГОУ ВПО Уральский государственный университет им. А.М. Горького | Method of forming domain structure in single-crystal wafer of non-linear optical ferroelectric material |
| RU2411561C1 (en) * | 2009-09-29 | 2011-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Лабфер" | Method of forming domain structure in single-crystal wafer of nonlinear optical ferroelectric material |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| ANTIPOV V.V. et al. Formation of bidomain structure in lithium niobate single crystals by electrothermal method, "Ferroelectrics", 2008, 374 (1 Part 2), p.65-72. * |
| АНТИПОВ В.В. и др. Формирование бидоменной структуры в пластинах монокристалла ниобата лития электротермическим методом, «Известия ВУЗов. Сер. Материалы электронной техники», 2008, №3, с.18-22. АНТИПОВ В.В. и др. Формирование бидоменной структуры в пластинах монокристалла ниобата лития методом импульсного светового отжига, «Известия ВУЗов. Сер. Материалы электронной техники», 2009, №3, с.23-26. * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015088371A1 (en) * | 2013-12-12 | 2015-06-18 | The Federal State Autonomous Educational Institution Of The Higher Professional Education "National University Of Science And Technology "Misis" | Method of synthesizing a bi-domain structure in ferroelectric single crystal wafers |
| RU2566142C2 (en) * | 2013-12-12 | 2015-10-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Method of forming bidomain structure in ferrielectric monocrystal plates |
| EA032620B1 (en) * | 2013-12-12 | 2019-06-28 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС" | Method of a bidomain structure formation in ferroelectric single crystal wafers |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2011149970A (en) | 2013-06-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Zhang et al. | PFM (piezoresponse force microscopy)-aided design for molecular ferroelectrics | |
| Soergel | Piezoresponse force microscopy (PFM) | |
| Sun et al. | Recent progress on AC poling of relaxor-PbTiO3 ferroelectric single crystals: a review | |
| Tripathy et al. | Comprehensive review on flexoelectric energy harvesting technology: Mechanisms, device configurations, and potential applications | |
| WO2013016528A1 (en) | Electron emission device | |
| Kim et al. | High‐performance (Na0. 5K0. 5) NbO3 thin film piezoelectric energy Harvester | |
| Kubasov et al. | Bidomain structures formed in lithium niobate and lithium tantalate single crystals by light annealing | |
| Chen et al. | Evolution of electromechanical properties in Fe-doped (Pb, Sr)(Zr, Ti) O 3 piezoceramics | |
| Erhart | Experiments to demonstrate piezoelectric and pyroelectric effects | |
| Hu et al. | Size-controlled polarization retention and wall current in lithium niobate single-crystal memories | |
| Bian et al. | Mechanical-induced polarization switching in relaxor ferroelectric single crystals | |
| Kubasov et al. | Bidomain ferroelectric crystals: properties and prospects of application | |
| Huang et al. | The effect of composition gradient on microdomain structure and the macro-ferroelectric/piezoelectric properties | |
| Chapman et al. | Improving the functional control of aged ferroelectrics using insights from atomistic modeling | |
| Han et al. | Tuning piezoelectricity via thermal annealing at a freestanding ferroelectric membrane | |
| RU2492283C2 (en) | Method for formation of bidomain structure in single-crystal plates | |
| Wang et al. | Nonlinear electric field dependence of the transverse piezoelectric response in a (001) ferroelectric film | |
| Kislyuk et al. | Tailoring of stable induced domains near a charged domain wall in lithium niobate by probe microscopy | |
| CN107092104B (en) | Laser deflection modulation method based on lithium columbate crystal temperature control | |
| RU2566142C2 (en) | Method of forming bidomain structure in ferrielectric monocrystal plates | |
| Andrushchak et al. | Nanoengineering of anisotropic materials for creating the active optical cells with increased energy efficiency | |
| Urenski et al. | Anisotropic domain structure of KTiOPO4 crystals | |
| Ukpaka | Mathematical model to predict the characteristics of polarization in dielectric materials: The concept of piezoelectrcity and electrostriction | |
| Buryy et al. | Simulation, making and testing of the actuator of precise positioning based on the bimorph plate of lithium niobate | |
| Park et al. | Light-driven ultrafast polarization manipulation in a relaxor ferroelectric |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20161209 |