RU2456542C2 - Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления - Google Patents

Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления Download PDF

Info

Publication number
RU2456542C2
RU2456542C2 RU2010119119/28A RU2010119119A RU2456542C2 RU 2456542 C2 RU2456542 C2 RU 2456542C2 RU 2010119119/28 A RU2010119119/28 A RU 2010119119/28A RU 2010119119 A RU2010119119 A RU 2010119119A RU 2456542 C2 RU2456542 C2 RU 2456542C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coordinates
emitters
spots
gravity
lens
Prior art date
Application number
RU2010119119/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2010119119A (ru
Inventor
Андрей Геннадьевич Анисимов (RU)
Андрей Геннадьевич Анисимов
Алексей Александрович Горбачев (RU)
Алексей Александрович Горбачев
Валерий Викторович Коротаев (RU)
Валерий Викторович Коротаев
Андрей Владимирович Краснящих (RU)
Андрей Владимирович Краснящих
Антон Валерьевич Пантюшин (RU)
Антон Валерьевич Пантюшин
Мария Геннадьевна Серикова (RU)
Мария Геннадьевна Серикова
Александр Николаевич Тимофеев (RU)
Александр Николаевич Тимофеев
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (НИУ ИТМО)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (НИУ ИТМО) filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (НИУ ИТМО)
Priority to RU2010119119/28A priority Critical patent/RU2456542C2/ru
Publication of RU2010119119A publication Critical patent/RU2010119119A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2456542C2 publication Critical patent/RU2456542C2/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Measurement Of Optical Distance (AREA)

Abstract

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике. Способ включает формирование облученности в виде квазиточечных пятен рассеяния в плоскости изображения двух излучателей, преобразование оптического сигнала в электрический, измерение координат пятен рассеяния и определение величины смещения. Оптический сигнал в электрический преобразуют посредством ПЗС матрицы, центр которой назначается программно. По значениям координат энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния определяют координаты середины отрезка между ними по формулам:
Figure 00000011
и
Figure 00000012
, где x′, y′ - координаты центра отрезка между пятнами рассеяния, x1, x2 - горизонтальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно, y1, y2 - вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно. Величину смещения контролируемого объекта X, Y определяют из соотношения: X=x′·М и Y=y′·М, где
Figure 00000013
- масштабный коэффициент, В - длина базового отрезка в пространстве предметов. Технический результат заключается в обеспечении снижения требований к качеству исполнения отдельных узлов системы, увеличении степени их взаимозаменяемости, универсализации работы устройства, снижении требований к точности установки частей системы и упрощении настройки и эксплуатации. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.

Description

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, к способам и устройствам контроля линейных смещений объектов оптико-электронными методами и может быть использовано для линейного контроля взаимного положения элементов крупногабаритных сооружений, соосных деталей (турбоагрегатов АЭС, направляющих крупногабаритных станков и т.п.), смещения их осей, измерения непараллельности, неплоскостности, неперпендикулярности и величин их прогибов в процессе ремонта, настройки и эксплуатации.
Известны технические решения контроля линейных смещений объектов, основанные на формировании равносигнальной базовой линии. Например, способ и устройство для измерения линейного смещения объекта /а.с. СССР, №1312384, МПК G01B 21/00, опубл. 23.05.1987/. Данный способ включает формирование равносигнальной базовой линии, формирование на позиционно-чувствительном приемнике распределения облученности, преобразование светового сигнала в электрический с выделением разностного сигнала, компенсацию сигнала рассогласования (приведение в ноль) смещением базовой линии и определение по нему величины смещения объекта. Устройство содержит предназначенный для размещения на объекте контрольный элемент в виде зеркально-линзового отражателя, приемную систему с размещенным по ходу луча объективом, светоделителем и фотоприемником, блоком обработки сигналов с выделением разностного и привод с регистратором. Отраженный от смещенного объекта поток излучения направляют на фотоприемник, сигнал с которого поступает на блок обработки сигналов, где вырабатывается сигнал управления перемещением плоскопараллельной пластины для реализации нулевого метода.
К существенным недостаткам этой группы изобретений относится невысокая точность при работе в большом диапазоне рабочих дистанций, вызванная нестабильностью положения равносигнальной зоны, необходимостью компенсации разностного сигнала, большим разбросом чувствительности в пределах диапазона измерений.
Известны способ и устройство измерения линейного смещения объекта, основанные на прямом методе измерений, отличном от «нулевого», выбранные в качестве прототипа (пат. РФ, №2252395, МПК G01B 11/00, 11/02, опубл. 20.05.2005/. Способ включает формирование равночувствительной базовой линии, формирование распределения облученности в изображении протяженного равнояркого излучателя для разных дистанций в пределах измеряемого диапазона, причем распределение облученности от каждой дистанции формируют по форме в виде квадрата, с зоной постоянной облученности в центре изображения излучателя и ее спадом к границе изображения световой марки по линейному закону, преобразование светового сигнала в электрический, измерение базового сигнала, выделение и регистрацию сигнала рассогласования, определение величины смещения. Регистрируемый сигнал рассогласования имеет линейную зависимость от величины смещения, которая в свою очередь зависит для всех измерительных дистанций только от нормированного сигнала рассогласования при постоянном коэффициенте пропорциональности. Устройство содержит предназначенный для размещения на контролируемом объекте протяженный равнояркий излучатель, установленный на оптической оси прибора с возможностью перемещения в плоскостях, перпендикулярных ей, приемную систему из объектива и фотоприемного устройства с четырьмя чувствительными площадками, границы раздела которых совпадают с координатными осями ОХ и OY и имеют общую точку, которая с центром входного зрачка объектива лежит на оптической оси, образующей базовую линию, от которой ведется отсчет измерения линейных смещений, соединенный с выходами чувствительных площадок блок обработки электрических сигналов для выделения и регистрации сигналов рассогласования с вычислением величины смещения объекта относительно базовой линии. В устройстве на оптической оси прибора дополнительно установлены две квадратные диафрагмы разного размера у входного зрачка излучателя и у входного зрачка объектива приемной системы. Фотоприемное устройство выполнено в виде квадратного приемника, установленного в фокальной плоскости объектива приемной системы.
К существенным недостаткам данного способа и устройства для его осуществления можно отнести технологическую сложность обеспечения равномерности облученности в плоскости изображения; технологическую сложность реализации равнояркого протяженного излучателя и конструкции в целом; высокую чувствительность показаний к точности выставления взаимного положения частей устройства; нестабильность показаний во времени, обусловленная нестабильностью характеристик основных узлов устройства, в том числе излучателя.
Задачей заявляемых способа и устройства для его осуществления является сохранение точности измерения при упрощении требований к характеристикам и параметрам излучателя (равнояркость излучающей поверхности), формируемого изображения (равномерность освещенности) и других функциональных узлов, влекущем за собой снижение требований к качеству исполнения отдельных узлов системы, увеличение степени их взаимозаменяемости, универсализацию работы устройства, снижение требований к точности установки частей системы и связанное с этим упрощение настройки и эксплуатации.
Указанная задача решается за счет того, что в способе измерения линейного смещения объекта, включающем формирование облученности в плоскости изображения излучателя для разных дистанций в пределах диапазона измерений, преобразование оптического сигнала в электрический и определение величины смещения, новым является то, что распределение облученности формируют в виде двух квазиточечных пятен рассеяния, преобразуют электрический сигнал к цифровому виду, вычисляют горизонтальные и вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния, рассчитывают координаты середины отрезка между пятнами рассеяния по формулам:
Figure 00000001
и
Figure 00000002
,
где х′, y′ - координаты центра отрезка между пятнами рассеяния,
x1, x2 - горизонтальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно,
y1, y2 - вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно,
а величину смещения контролируемого объекта X, Y определяют из соотношения:
X=x′·M и Y=y′·M,
где
Figure 00000003
- масштабный коэффициент М, вычисляемый автоматически для каждой дистанции, В - длина базового отрезка в пространстве предметов.
В устройстве для измерения линейного смещения объекта, включающем предназначенный для размещения на контролируемом объекте излучатель, приемную систему, оптически сопряженную с излучателем, содержащую объектив и фотоприемное устройство, выход которого соединен с входом блока обработки электрических сигналов, новым является то, что устройство содержит дополнительный излучатель, размещенный в той же плоскости на фиксированном расстоянии от первого, плоскость размещения излучателей параллельна плоскости фоточувствительной площадки фотоприемного устройства, установленного в плоскости изображения объектива, причем каждый из излучателей выполнен в виде точечного источника излучения, в устройство введен блок управления излучателями, содержащий два канала управления излучателями и микроконтроллер, выходы которого соединены с входами каждого из каналов управления излучателями, а вход микроконтроллера соединен с первым выходом электронной вычислительной машины, второй выход которой подключен к входу блока обработки электрических сигналов, а выходы каждого канала управления излучателями соединены с входами соответствующих излучателей, приемная система содержит оптический фильтр, размещенный перед объективом, а фотоприемное устройство выполнено в виде матричного приемника излучения. Кроме того, каждый из излучателей выполнен в виде полупроводникового излучающего диода, каждый из каналов управления излучателями состоит из инвертора и усилителя, выполняющих широтно-импульсную модуляцию, а электронная вычислительная машина выполнена в виде персонального компьютера.
Сущность изобретения поясняется чертежом, где изображена структурная схема устройства, реализующего способ измерения линейного смещения объектива. Устройство состоит из двух излучателей 1, 2 и трех блоков: блока управления излучателями 3, состоящего из двух каналов управления 4 и 5 излучателями и микроконтроллера 6, приемной системы 7, состоящей из последовательно расположенных оптического фильтра 8, объектива 9, фотоприемного устройства 10 и блока обработки электрических сигналов 11. На входы излучателей 1 и 2 подаются управляющие сигналы с выходов соответствующих каналов управления излучателями 4 и 5 блока управления излучателями 3. Управляющие сигналы формируются микроконтроллером 6, подключенным к первому выходу электронной вычислительной машины 12. Оптическое излучение с выходов излучателей 1 и 2 попадает в приемную систему 7, где, пройдя через оптический фильтр 8 и объектив 9, попадает на фоточувствительную площадку фотоприемного устройства 10 и преобразуется в электрический сигнал. С выхода фотоприемного устройства 10 электрический сигнал поступает на вход блока обработки электрических сигналов 11, подключенного к электронной вычислительной машине 12. Необходимые напряжения питания вырабатываются блоком питания (на фигуре не показан).
Устройство работает следующим образом.
Перед началом измерения излучатели 1 и 2 закрепляются на контролируемом объекте, так чтобы плоскость их установки была параллельна плоскости фоточувствительной площадки фотоприемного устройства 10 и чтобы излучатели 1, 2 попадали в поле зрения приемной системы 7. В режиме ожидания приемная система 7 производит непрерывную съемку лежащей в ее поле зрения части пространства, но полученные при этом кадры не сохраняются и не обрабатываются. Излучатели 1 и 2 при этом находятся в выключенном состоянии. По сигналу от электронной вычислительной машины 12 в микроконтроллер 6 поступает управляющий сигнал, по которому каналы управления излучателями 4 и 5 вырабатывают сигнал активации излучателей 1 и 2. При необходимости контраст изображения может регулироваться изменением яркости излучателей 1, 2 посредством пересылки необходимых команд в блок управления излучателями 3. Оптическое излучение от излучателей 1 и 2, пройдя через оптический фильтр 8, отрезающий спектральные составляющие падающего излучения, не соответствующие спектральному диапазону излучателей, и объектив 9, формирует в плоскости изображения объектива 9 распределение облученности в виде двух квазиточечных пятен рассеяния. Установленное в той же плоскости фотоприемное устройство 10, выполненное в виде матричного приемника излучения, преобразует оптический сигнал в электрический, который затем поступает на вход блока обработки электрических сигналов 11, где по сигналу от электронной вычислительной машины 12 производится захват видеокадра с изображениями излучателей 1 и 2, после чего в блоке обработки электрических сигналов 11 электрический сигнал преобразуется к цифровому виду, вычисляются горизонтальные и вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния. Алгоритм определения энергетического центра тяжести является наиболее простым и обеспечивает точность до 0,01 размера элемента матричного приемника. Процесс захвата видеокадра с вычислением координат энергетических центров тяжести повторяется несколько раз, после чего измеренные координаты усредняются по всем произведенным измерениям, что позволяет уменьшить среднеквадратичное отклонение случайной составляющей погрешности измерений в
Figure 00000004
раз, где N - количество проводимых измерений, а следовательно, повысить точность измерения. Усредненные значения координат энергетических центров тяжести пятен рассеяния пересылаются в электронную вычислительную машину 12, где вычисляются координаты середины отрезка между пятнами рассеяния по формулам:
Figure 00000005
и
Figure 00000006
где x′, y′ - координаты центра отрезка между пятнами рассеяния,
x1, х2 - горизонтальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно,
y1, y2 - вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно.
Величина смещения контролируемого объекта X, Y определяется из соотношения:
X=x′·M и Y=y′·M,
где
Figure 00000007
- масштабный коэффициент М, вычисляемый автоматически для каждой дистанции, В - длина базового отрезка в пространстве предметов, известная с большой точностью.
Помимо этого работа с цифровым электрическим сигналом позволяет вводить в алгоритм работы электронной вычислительной машины 12 алгоритмические поправки, компенсирующие влияние различных погрешностей, что значительно повышает точность измерения.
Необходимые для работы устройства напряжения питания вырабатываются блоком питания (на фигуре не показан).
Пример конкретного исполнения.
Излучатели выполнены в виде полупроводниковых излучающих диодов, закрепленных на плоском держателе, имеющем необходимые крепления для удержания его на контролируемом объекте. Блок управления излучателями выполнен единой платой с размещенным на ней микроконтроллером и двумя каналами управления излучателями, каждый из которых состоит из инвертора и усилителя, выполняющих широтно-импульсную модуляцию. Спектральная полоса пропускания оптического фильтра приемной системы согласована со спектральной характеристикой полупроводниковых излучающих диодов. В качестве объектива используется телеобъектив с внутренней фокусировкой, который позволяет сохранять положение плоскости резкого изображения и сохранить прямолинейность базовой линии системы при перефокусировке на разноудаленные дистанции. Фотоприемное устройство выполнено в виде ПЗС матрицы, причем центр матрицы назначается в процессе калибровки программно. Это значительно упрощает процесс калибровки, юстировки и освобождает от необходимости точных механизмов юстировки матрицы. Блок обработки электрических сигналов выполнен единой платой, с установленными на ней аналогово-цифровым преобразователем, оперативным запоминающим устройством, платой формирователя адреса и микроконтроллером, выполняющим согласование работы вышеперечисленных компонентов блока обработки электрических сигналов и необходимые вычисления. Электронная вычислительная машина выполнена в виде персонального компьютера.
Таким образом, заявляемый способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления обеспечивает сохранение точности измерения при упрощении требований к характеристикам и параметрам излучателя (равнояркость излучающей поверхности), формируемого изображения (равномерность освещенности) и других функциональных узлов, влекущем за собой снижение требований к качеству исполнения отдельных узлов системы, увеличение степени их взаимозаменяемости, универсализацию работы устройства, снижение требований к точности установки частей системы и связанное с этим упрощение настройки и эксплуатации.

Claims (2)

1. Способ измерения линейного смещения объекта, включающий формирование облученности в виде квазиточечных пятен рассеяния в плоскости изображения двух излучателей, преобразование оптического сигнала в электрический, измерение координат пятен рассеяния и определение величины смещения, отличающийся тем, что оптический сигнал в электрический преобразуют посредством ПЗС-матрицы, центр которой назначается программно, по значениям координат энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния определяют координаты середины отрезка между ними по формулам
Figure 00000008
и
Figure 00000009

где x′, y′ - координаты центра отрезка между пятнами рассеяния, x1, x2 - горизонтальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно, y1, y2 - вертикальные координаты энергетических центров тяжести первого и второго пятен рассеяния соответственно, а величину смещения контролируемого объекта X, Y определяют из соотношения
X=x′·М и Y=y′·М,
где
Figure 00000010
- масштабный коэффициент, В - длина базового отрезка в пространстве предметов.
2. Устройство для измерения линейного смещения объекта, включающее предназначенные для размещения на контролируемом объекте два точечных излучателя, расположенных в одной плоскости на фиксированном расстоянии друг от друга, приемную систему, оптически сопряженную с излучателями, содержащую объектив и фотоприемное устройство, установленное в плоскости изображения объектива и выполненное в виде матричного фотоприемника, соединенного с блоком обработки, а также блок управления излучателями, содержащий два канала управления излучателями и микроконтроллер, выходы которого соединены с входами каждого из каналов управления излучателями, а вход микроконтроллера соединен с блоком обработки, при этом выходы каждого канала управления излучателями соединены с входами соответствующих излучателей, плоскость размещения которых параллельна фоточувствительной площадке фотоприемного устройства, отличающееся тем, что в качестве объектива используется телеобъектив с внутренней фокусировкой, а центр матрицы назначается программно.
RU2010119119/28A 2010-05-12 2010-05-12 Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления RU2456542C2 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010119119/28A RU2456542C2 (ru) 2010-05-12 2010-05-12 Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2010119119/28A RU2456542C2 (ru) 2010-05-12 2010-05-12 Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2010119119A RU2010119119A (ru) 2011-11-20
RU2456542C2 true RU2456542C2 (ru) 2012-07-20

Family

ID=45316385

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2010119119/28A RU2456542C2 (ru) 2010-05-12 2010-05-12 Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2456542C2 (ru)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4193689A (en) * 1977-07-29 1980-03-18 Thomson-Csf Arrangement for locating radiaring sources
RU2065133C1 (ru) * 1993-06-28 1996-08-10 Институт физико-технических проблем НПО "Синергия" Способ автоматизированного измерения координат точек внешней среды для построения ее трехмерной модели в стереотелевизионной системе технического зрения
EP1555508A1 (en) * 2004-01-16 2005-07-20 Fanuc Ltd Measuring system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4193689A (en) * 1977-07-29 1980-03-18 Thomson-Csf Arrangement for locating radiaring sources
RU2065133C1 (ru) * 1993-06-28 1996-08-10 Институт физико-технических проблем НПО "Синергия" Способ автоматизированного измерения координат точек внешней среды для построения ее трехмерной модели в стереотелевизионной системе технического зрения
EP1555508A1 (en) * 2004-01-16 2005-07-20 Fanuc Ltd Measuring system

Also Published As

Publication number Publication date
RU2010119119A (ru) 2011-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1304879C (zh) 基于光程倍增补偿方法的二维光电自准直装置和测量方法
CN105486489B (zh) 电视成像系统调制传递函数测试装置及方法
CN104062098B (zh) 一种双线阵ccd扫描成像测量光束质量的装置及方法
CN108332708A (zh) 激光水平仪自动检测系统及检测方法
EP3080568B1 (en) Apparatus and method for profiling a beam of a light emitting semiconductor device
CN109186945A (zh) 大口径光栅衍射效率光谱及其均匀性的测量装置和方法
CN106767545A (zh) 一种高精度高空间分辨角度测量仪及角度测量方法
CN102022987B (zh) 放射线厚度计
CN109238659A (zh) 一种基于实验光线追迹原理的透镜焦距测量技术与装置
CN102253602A (zh) 一种光刻系统中实时控制照明剂量的装置
CN107063638B (zh) 一种基于模组化高精度显微镜系统的测试装置
CN102736428B (zh) 一种调焦调平装置及方法
CN109323851B (zh) 一种太赫兹焦平面响应率及响应率不均匀性测试系统及方法
CN111457942A (zh) 一种平面定高标定装置
RU2456542C2 (ru) Способ измерения линейного смещения объекта и устройство для его осуществления
CN106324996A (zh) 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法
CN116991046A (zh) 一种基于空间编码照明的芯片套刻测量装置及其方法
CN114235352B (zh) 一种四相机实时偏振成像系统的相对偏振角度测试方法
CN205352314U (zh) 一种新型激光测距仪检测装置
CN104576265B (zh) 条纹变像管偏转方向及阴极面的标定系统及标定方法
CN208187381U (zh) 激光水平仪自动检测系统
CN103438992B (zh) 一种带有自动定位功能的照度计
CN109443211A (zh) 一种空间三维位置测量装置
CN108204890B (zh) 照明系统光场均匀性的测试方法及其检测装置
CN103591910A (zh) 一种辐射计光阑面积的高精度测量装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200513