RU2425181C1 - Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения - Google Patents
Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2425181C1 RU2425181C1 RU2009139738/02A RU2009139738A RU2425181C1 RU 2425181 C1 RU2425181 C1 RU 2425181C1 RU 2009139738/02 A RU2009139738/02 A RU 2009139738/02A RU 2009139738 A RU2009139738 A RU 2009139738A RU 2425181 C1 RU2425181 C1 RU 2425181C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cell
- electrolyte
- electro
- radiation
- sample
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 11
- 238000012613 in situ experiment Methods 0.000 title claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title abstract description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 title abstract description 7
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 title abstract description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 title abstract description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 5
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 21
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims abstract description 5
- 210000004027 cell Anatomy 0.000 claims description 28
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 210000005056 cell body Anatomy 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 5
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005272 metallurgy Methods 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 4
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 3
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002449 FKM Polymers 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000002048 anodisation reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 2
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000005297 pyrex Substances 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006359 Fluoroplast Polymers 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005372 Plexiglas® Polymers 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004624 confocal microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000006056 electrooxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 239000002114 nanocomposite Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Ti+4] SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 230000010076 replication Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников и изучения наноструктурированных материалов в in-situ экспериментах. Электрохимическая ячейка содержит ванну, электропроводящую крышку, предназначенную для прижимания образца к торцу ячейки, и термостат, при этом корпус ячейки замкнут, состоит из двух соосных цилиндров с возможностью заполнения электролитом и снабжен штуцерами для прокачки электролита через электрохимическую ячейку и удаления газообразных продуктов, торцевая стенка ячейки выполнена непоглощающей рентгеновское или нейтронное излучение и содержит прозрачное для пучка указанных излучений окно, а термостат выполнен с возможностью регулирования температуры электролита в пределах от -30 до +200°С. Технический результат изобретения заключается в расширении функциональных возможностей устройства и осуществлении контроля процесса анодного окисления металлов и полупроводников с помощью малоуглового рассеивания различных видов излучения в реальном времени. 2 ил.
Description
Одним из распространенных методов получения пористых оксидных пленок с высококонтролируемой структурой является анодное окисление металлов и полупроводников [1-4]. При этом параметры синтезируемой пористой структуры можно варьировать в широких диапазонах (диаметр пор от 1 до 800 нм, расстояние между порами от 3 до 1000 нм, толщину пленки - до нескольких сотен микрон) путем использования различных условий анодирования (состав электролита, напряжение, температура и т.д.). Электрохимический подход позволяет не только производить пористые среды на поверхности материалов, но и может быть использован для заполнения образовавшихся пор требуемыми веществами с целью получения нанокомпозитных материалов различного функционального назначения. Конструкция электрохимической ячейки определяет возможность контроля тех или иных параметров электрохимической обработки, а следовательно, играет важную роль при получении наноматериалов данным методом.
Для изучения структуры наноструктурированных материалов применяют методы просвечивающей электронной (ПЭМ) [5], растровой электронной (РЭМ) [6, 7] и сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) [8]. Кроме очевидных достоинств, к которым относятся доступность, высокое разрешение и экспрессность, данные методы обладают достаточно серьезным недостатком: локальностью и, следовательно, весьма ограниченной статистикой получаемой информации. В связи с этим изучение дальнего порядка с помощью ПЭМ, РЭМ и СЗМ сильно затруднено. Кроме того, для проведения некоторых микроскопических исследований необходима пробоподготовка (напыление проводящего покрытия, приготовление сколов), приводящая к модификации поверхности материала или его разрушению при исследовании структуры по всему объему. При этом дальнейшее использование подвергнутых анализу материалов и изучение их свойств становится невозможным. Следует также отметить, что анализ скола образца часто нерезультативен, что связано со сложностью приготовления ровного сечения и отсутствием способов контроля репрезентативности: наблюдаемая на сколе структура не всегда распространяется на значимую часть объема образца. Альтернативным неразрушающим методом анализа является конфокальная микроскопия, позволяющая судить о внутренней структуре образца путем регистрации изображений слоев на различной глубине в реальном пространстве. Однако данный метод требует особой подготовки образцов и весьма ограничен в разрешении.
Исследование наноструктурированных материалов на количественном уровне возможно с применением техники малоуглового рассеяния, которая предоставляет информацию о структуре, усредненную по большой площади образца. Наиболее перспективны методы малоуглового рассеяния нейтронов и рентгеновского излучения, в связи с высокой проникающей способностью излучений указанного типа. Огромную практическую значимость играют in-situ эксперименты по изучению эволюции микроструктуры материала в процессе его электрохимической обработки. Применение ряда традиционных методов в исследованиях наноструктур, например, электронной микроскопии в этом случае невозможно, так как требует создания высокого вакуума. Таким образом, соединение возможностей методов исследования и количественного анализа материалов и in-situ эксперимента по электрохимической обработке, т.е. прибора для исследования наноматериалов и электрохимической ячейки, является приоритетной задачей для нанотехнологий.
Известна электрохимическая ячейка, предназначенная для исследования кинетики коррозии металлов (патент на изобретение SU N 927037), содержащая корпус с отводами для разделения приэлектродных пространств электрода сравнения, вспомогательного и рабочего электродов. Достоинством данной ячейки является повышение точности исследований в двухфазной системе за счет того, что корпус ячейки выполнен в виде U-образного контура, в одной ветви которого установлена мешалка, а отводы для разделения приэлектродных пространств расположены в другой ветви контура. Недостатком данной ячейки является невозможность проведения анализа образующегося продукта физическими методами в ходе электрохимического эксперимента, отсутствие контроля температуры.
Известна электрохимическая ячейка, предназначенная для использования в соединении со сканирующей зондовой микроскопией (патент на изобретение RU N 2248600). Устройство обеспечивает модификацию поверхности образцов в жидкой среде и анализ поверхности с использованием сканирующего зондового микроскопа. Недостатком данной ячейки является тот факт, что извлекаемая информация может характеризовать лишь поверхность образцов в силу специфики данного метода, но не дает информации о состоянии образца на глубинах >10-100 нм.
Наиболее близким техническим решением является электрохимическая ячейка (патент на изобретение RU N 2332528), предназначенная для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников, и состоящая из корпуса с электролитом, контактирующим с образцом, электропроводящего держателя образца, образца и регулятора температуры (элемент Пельтье). Электрохимическая ячейка содержит устройство для регулирования температуры, контактирующее с поверхностью электропроводящего держателя образца, в результате чего повышается воспроизводимость, контролируемость и однородность процесса анодного окисления материалов. Недостатком ячейки является невозможность проведения анализа образующегося оксида с помощью физических методов непосредственно в ходе электрохимического эксперимента.
Задачей настоящего изобретения является разработка простой, но в то же время надежной и удобной конструкции электрохимической ячейки для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников и дальнейшего их исследования с помощью малоуглового рассеяния различных видов излучения (рентгеновское, нейтроны и др.) в режиме реального времени.
Задача реализуется следующим образом. Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников состоит из непроводящего, химически нейтрального замкнутого корпуса с электролитом, контактирующим с образцом, и регулятора температуры. Корпус ячейки состоит из двух соосных цилиндров, причем образцом служит одна из торцовых стенок ячейки, прижатая крышкой со сквозным отверстием для пучка, а вторая торцовая стенка является непоглощающим окном для пучка рентгеновского либо нейтронного излучения. При этом температура электролита регулируется внешним термостатом в пределах от -30°С до +200°С, а выделяющееся на образце тепло и газообразные продукты удаляются прокачкой электролита через штуцеры, расположенные в непосредственной близости от образца. Геометрическая форма ячейки позволяет пропустить рентгеновский или нейтронный пучок через ячейку и образец, служащий одной из ее стенок и, следовательно, получать пористые оксидные пленки на поверхности металлов и/или полупроводников, исследуя их структуру по малоугловому рассеянию излучения в реальном времени, что позволяет отработать технологию получения образцов с требуемой структурой.
Сущность изобретения поясняется чертежами.
На фиг.1 представлена принципиальная схема электрохимической ячейки для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников и исследования их структуры в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию рентгеновского излучения или нейтронов.
1) Внешний корпус. Материал: тефлон.
2) Внутренняя трубка. Материал: тефлон, пирекс или кварц.
3) Окно, прозрачное для рентгеновского излучения или нейтронов. Материал: кантон (рентген), алюминий (нейтроны).
4) Крышка со сквозным отверстием, прижимающая образец к торцу ячейки. Материал: нержавеющая сталь, оргстекло или другие материалы, обладающие достаточными прочностными характеристиками.
5) Образец, рабочий электрод.
6) Вспомогательный электрод, выполненный в виде кольца из Pt проволоки.
7) Входной (снизу или сбоку) и выходной (сверху) штуцер для прокачки электролита через электрохимическую ячейку и удаления пузырей газа.
8) Электролит.
9) Уплотнительные торроидальные манжеты. Материал: фторированный каучук (витон).
10) Падающий пучок.
11) Дифрагированный/рассеянный пучок.
12) Детектор.
Работа ячейки в действии. Корпус ячейки выполнен в виде двух соосных цилиндров, что позволяет достичь минимального расстояния между окном для прохождения пучка и образцом, что, в свою очередь, минимизирует поглощение пучка рентгеновского излучения или нейтронов в толще электролита и тем самым позволяет добиться максимальных значений сигнал/шум. Расстояние окно-плоскость образца может быть уменьшено до l<1 мм. Кроме того, геометрическая форма ячейки обеспечивает достаточный объем электролита и максимальное расстояние между вспомогательным электродом и рабочим электродом (L), что обеспечивает равномерность силовых линий электрического поля. Кроме того, вспомогательный электрод выполнен в виде кольца из Pt проволоки, что обеспечивает его инертность и однородность силовых линий вблизи поверхности образца, для чего расстояние L составляет 50-100 мм. Кроме того, за счет прокачки электролита через штуцеры в ячейке обеспечивается необходимый объем электролита, играющий одновременно роль теплоносителя. Температура электролита поддерживается на необходимом уровне с помощью внешнего термостата. Эксперименты могут проводиться в температурном интервале от -30 до +200°С (при подборе соответствующего электролита).
При изготовлении корпуса ячейки, контактирующего с раствором электролита, используется тефлон (фторопласт), возможно применение пирекса или кварца. Для герметизации ячейки используются торроидальные манжеты (o-ring), выполненные из фторированного каучука (витон). Примененные материалы обеспечивают высокую химическую стабильность в кислых и щелочных растворах электролитов, а также инертность к органическим растворителям. Образец закрепляют с помощью прижимной крышки с отверстием для пучка.
Разработанная ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников пригодна для следующих видов экспериментов.
(а) Малоугловые дифракционные эксперименты с применением нейтронов и рентгеновского излучения. Например, изучение эволюции пористой структуры анодных оксидных пленок в процессе электрохимического окисления металлов или полупроводников.
(б) Эксперименты по малоугловому рассеянию. Например, изучение эволюции фрактальной размерности в процессе роста и/или электрохимической модификации материала. Получаемая при этом информация отражает структуру образца по всему объему.
В качестве примера использования настоящего изобретения на фиг.2 представлены дифракционные картины, полученные на различных (3 и 30 часов) этапах анодного окисления алюминия. Анодирование проводили в 0,3 М растворе (СООН)2 при напряжении 40 В. температура электролита 2°С. Отчетливо видно, что с ростом продолжительности окисления характер дифракционных картин плавно изменяется от кольцеобразного (дифрактограмма «порошка») к точечному (дифрактограмма с монодоменного образца), что свидетельствует об упорядочении образующейся пористой пленки Аl2O3.
Таким образом, разработанная ячейка позволяет в реальном времени наблюдать за эволюцией структуры наноструктурированных материалов при их формировании или электрохимической модификации.
Список литературы
1. O'Sullivan J.P., Wood G.C. The morphology and mechanism of formation of porous anodic films on aluminium. // Proc. Roy. Soc. Lond. A. 1970, v.317, No.1531, pp.511-543.
2. Masuda H., Satoh M. Fabrication of gold nanodot array using anodic porous alumina as an evaporation mask. // Japanese Journal of Applied Physics. 1996, v.35, pp.L126-L129.
3. Macak J.M., Tsuchiya H., Schmuki P. High-Aspect-Ratio TiO2 Nanotubes by Anodization of Titanium. // Angew. Chem. Int. Ed. 2005, v.44, pp.2100-2102.
4. Halimaoui A. Porous silicon formation by anodization, in Properties of Porous Silicon. 1997, Canham, L.T., Institution of Engineering and Technology, London, pp.12-22.
5. Yong K.-T., Sahoo Y., Choudhury K.R., Swihart M.T., Minter J.R., Prasad P.N. Shape Control of PbSe Nanocrystals Using Noble Metal Seed Particles. // Nano Letters. 2006, v.6, No.4, pp.709-714.
6. Masuda H., Fukuda K. Ordered metal nanohole arrays made by a 2-step replication of honeycomb structures of anodic alumina. // Science. 1995, v.268. No.5216, pp.1466-1468.
7. Nielsch К., Choi J., Schwim K., Wehrspohn R.B., Gosele U. Self-ordering regimes of porous alumina: The 10% porosity rule. // Nano Letters. 2002, v.2, No.7, pp.677-680.
8. Li F., Zhang L., Metzger R.M. On the growth of highly ordered pores in anodized aluminum oxide. // Chem. Mater. 1998, v.10, No.9, pp.2470-2480.
Claims (1)
- Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах, содержащая ванну, электропроводящую крышку, предназначенную для прижимания образца к торцу ячейки, и термостат, отличающаяся тем, что корпус ячейки замкнут, состоит из двух соосных цилиндров с возможностью заполнения электролитом и снабжен штуцерами для прокачки электролита через электрохимическую ячейку и удаления газообразных продуктов, торцевая стенка ячейки выполнена непоглощающей рентгеновское или нейтронное излучение и содержит прозрачное для пучка указанных излучений окно, а термостат выполнен с возможностью регулирования температуры электролита в пределах от -30 до +200°С.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009139738/02A RU2425181C1 (ru) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009139738/02A RU2425181C1 (ru) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009139738A RU2009139738A (ru) | 2011-05-10 |
| RU2425181C1 true RU2425181C1 (ru) | 2011-07-27 |
Family
ID=44732138
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009139738/02A RU2425181C1 (ru) | 2009-10-27 | 2009-10-27 | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2425181C1 (ru) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2650825C1 (ru) * | 2017-04-24 | 2018-04-17 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Ячейка для спектрального исследования материалов |
| RU2654317C1 (ru) * | 2016-12-30 | 2018-05-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) | Электрохимическая ячейка для рефлектометрических исследований |
| RU2676203C2 (ru) * | 2014-04-30 | 2018-12-26 | Сафран Хеликоптер Энджинз | Устройство, предназначенное для выполнения анодирования, и обработка анодированием |
| RU2718773C1 (ru) * | 2019-09-17 | 2020-04-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" | Устройство для контролируемого получения пористых оксидов полупроводников in situ |
| US11579115B2 (en) | 2019-05-24 | 2023-02-14 | Consolidated Nuclear Security, LLC | Assembly and method for interchangeably holding an electrochemical substrate |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU644875A1 (ru) * | 1977-10-24 | 1979-01-30 | Белгородский Филиал Проектно-Конструкторского И Технологического Института "Россельхозтехпроект" | Ячейка дл нанесени электролитических покрытий |
| SU968104A2 (ru) * | 1981-02-18 | 1982-10-23 | Белгородский Филиал Всероссийского Проектно-Конструкторского И Технологического Института "Россельхозтехпроект" | Ячейка дл нанесени электролитических покрытий |
| CN1870240A (zh) * | 2005-05-25 | 2006-11-29 | 应用材料公司 | 电镀工艺中的现场形貌测量 |
| JP2008069458A (ja) * | 2001-06-29 | 2008-03-27 | De Nora Elettrodi Spa | 電気めっきプロセスにおいて金属イオンの濃度を回復するための電解セル |
| RU2332528C1 (ru) * | 2006-12-15 | 2008-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников |
-
2009
- 2009-10-27 RU RU2009139738/02A patent/RU2425181C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU644875A1 (ru) * | 1977-10-24 | 1979-01-30 | Белгородский Филиал Проектно-Конструкторского И Технологического Института "Россельхозтехпроект" | Ячейка дл нанесени электролитических покрытий |
| SU968104A2 (ru) * | 1981-02-18 | 1982-10-23 | Белгородский Филиал Всероссийского Проектно-Конструкторского И Технологического Института "Россельхозтехпроект" | Ячейка дл нанесени электролитических покрытий |
| JP2008069458A (ja) * | 2001-06-29 | 2008-03-27 | De Nora Elettrodi Spa | 電気めっきプロセスにおいて金属イオンの濃度を回復するための電解セル |
| CN1870240A (zh) * | 2005-05-25 | 2006-11-29 | 应用材料公司 | 电镀工艺中的现场形貌测量 |
| RU2332528C1 (ru) * | 2006-12-15 | 2008-08-27 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2676203C2 (ru) * | 2014-04-30 | 2018-12-26 | Сафран Хеликоптер Энджинз | Устройство, предназначенное для выполнения анодирования, и обработка анодированием |
| RU2654317C1 (ru) * | 2016-12-30 | 2018-05-17 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова" (МГУ) | Электрохимическая ячейка для рефлектометрических исследований |
| RU2650825C1 (ru) * | 2017-04-24 | 2018-04-17 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет" | Ячейка для спектрального исследования материалов |
| US11579115B2 (en) | 2019-05-24 | 2023-02-14 | Consolidated Nuclear Security, LLC | Assembly and method for interchangeably holding an electrochemical substrate |
| RU2718773C1 (ru) * | 2019-09-17 | 2020-04-14 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н.Г. Чернышевского" | Устройство для контролируемого получения пористых оксидов полупроводников in situ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2009139738A (ru) | 2011-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lin et al. | Surface-enhanced Raman spectroscopy: substrate-related issues | |
| Barhoum et al. | Physicochemical characterization of nanomaterials: Polymorph, composition, wettability, and thermal stability | |
| RU2425181C1 (ru) | Электрохимическая ячейка для получения пористых анодных оксидов металлов и полупроводников в in-situ экспериментах по малоугловому рассеянию излучения | |
| Pishgar et al. | In situ analytical techniques for the investigation of material stability and interface dynamics in electrocatalytic and photoelectrochemical applications | |
| Batchelor-McAuley et al. | In situ nanoparticle sizing with zeptomole sensitivity | |
| CN103952729B (zh) | 纳米线结构元件 | |
| Shi et al. | Sailing into uncharted waters: recent advances in the in situ monitoring of catalytic processes in aqueous environments | |
| Yang et al. | Rational fabrication of a gold-coated AFM TERS tip by pulsed electrodeposition | |
| Dronov et al. | Investigation of anodic TiO2 nanotube composition with high spatial resolution AES and ToF SIMS | |
| Bang et al. | One-step electrochemical fabrication of vertically self-organized silver nanograss | |
| Murtada et al. | Decoration of graphene oxide with copper selenide in supercritical carbon dioxide medium as a novel approach for electrochemical sensing of eugenol in various samples | |
| Evertsson et al. | Self-organization of porous anodic alumina films studied in situ by grazing-incidence transmission small-angle X-ray scattering | |
| Godeffroy et al. | Watching operando nanoscale electrochemical deposition by optical microscopy | |
| Zhong et al. | An in-situ method for SERS substrate preparation and optimization based on galvanic replacement reaction | |
| Wang et al. | Facile synthesis of ultrathin worm-like Au nanowires for highly active SERS substrates | |
| Xu et al. | Plasmon-induced hot carrier separation across multicomponent heterostructure in Ag@ AgCl@ g-C3N4 composites for recyclable detection-removal of organic pollutions via SERS sensing | |
| Andrzejczuk et al. | Morphology of TiO2 nanotubes revealed through electron tomography | |
| Li et al. | Facile fabrication of superhydrophobic hybrid nanotip and nanopore arrays as surface-enhanced Raman spectroscopy substrates | |
| Polte et al. | New insights of the nucleation and growth process of gold nanoparticles via in situ coupling of SAXS and XANES | |
| Mehrpooya et al. | Design and fabrication of glucose sensor using metal-organic framework nanomaterials | |
| Bian et al. | A durable surface-enhanced Raman scattering substrate: ultrathin carbon layer encapsulated Ag nanoparticle arrays on indium-tin-oxide glass | |
| Kleps et al. | Study of the micro-and nanostructured silicon for biosensing and medical applications | |
| Freeland et al. | Advanced Characterization Techniques for Nanostructures | |
| TWI866414B (zh) | 無金屬奈米粒子之表面增強拉曼散射基板、及其製備方法 | |
| Vicente et al. | Development of electrochemical cells for spatially resolved analysis using a multi-technique approach: from conventional experiments to X-ray nanoprobe beamlines |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171028 |