RU2420607C1 - Procedure for application of heat shielding coating on polymer material - Google Patents
Procedure for application of heat shielding coating on polymer material Download PDFInfo
- Publication number
- RU2420607C1 RU2420607C1 RU2009139018/02A RU2009139018A RU2420607C1 RU 2420607 C1 RU2420607 C1 RU 2420607C1 RU 2009139018/02 A RU2009139018/02 A RU 2009139018/02A RU 2009139018 A RU2009139018 A RU 2009139018A RU 2420607 C1 RU2420607 C1 RU 2420607C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- thickness
- layer
- titanium dioxide
- dielectric layer
- dielectric
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области изготовления прозрачных тонкопленочных теплозащитных (низкоэмиссионных) покрытий, в частности к нанесению покрытий методом реактивного магнетронного распыления на прозрачные полимерные подложки, такие как органические стекла или полимерные пленки.The invention relates to the field of manufacturing transparent thin-film heat-shielding (low-emission) coatings, in particular to reactive magnetron sputter coating on transparent polymer substrates, such as organic glass or polymer films.
Прозрачные селективные материалы, такие как силикатные и органические стекла или полимерные пленки с теплозащитными покрытиями, которые обеспечивают высокое пропускание видимого света с одновременным ослаблением теплового потока инфракрасного излучения, применяют для остекления зданий, сооружений и транспортных средств. Применение таких материалов позволяет сохранить тепло в помещении, кабине или салоне транспортного средства в холодное время года и предотвратить их перегрев от солнечного излучения в жаркое время года.Transparent selective materials, such as silicate and organic glass or polymer films with heat-protective coatings, which provide high transmittance of visible light while attenuating the heat flux of infrared radiation, are used for glazing buildings, structures and vehicles. The use of such materials allows you to save heat in the room, cabin or passenger compartment of a vehicle in the cold season and prevent them from overheating from solar radiation in the hot season.
Известен способ нанесения низкоэмиссионного прозрачного покрытия, состоящего по меньшей мере из трех слоев: диэлектрик, металл, диэлектрик, в котором в качестве диэлектрика используют оксиды таких металлов, как цинк, олово, титан, индий, кадмий, ниобий и т.п., а в качестве металла - слой серебра или меди, при этом толщины слоев диэлектриков составляют от 100 до 600 ангстрем (10-60 нм), а толщина металла - от 30 до 200 ангстрем (3-20 нм), путем магнетронного распыления в вакууме (патент США №4337990).A known method of applying a low-emission transparent coating consisting of at least three layers: dielectric, metal, dielectric, in which oxides of metals such as zinc, tin, titanium, indium, cadmium, niobium and the like are used as dielectric, and as a metal - a layer of silver or copper, while the thickness of the layers of dielectrics is from 100 to 600 angstroms (10-60 nm), and the thickness of the metal is from 30 to 200 angstroms (3-20 nm), by magnetron sputtering in vacuum (patent US No. 4337990).
Недостатком покрытий, полученных известным способом, является ухудшение прозрачности в видимой области спектра, а также уменьшение отражения теплового излучения из-за деградации тонкого слоя серебра или меди в процессе нанесения верхнего оксидного диэлектрика в результате взаимодействия тонкого слоя металла с кислородом, которое приводит к дополнительному поглощению как видимого, так и ближнего инфракрасного излучения.The disadvantage of coatings obtained in a known manner is the deterioration of transparency in the visible region of the spectrum, as well as a decrease in the reflection of thermal radiation due to the degradation of a thin layer of silver or copper during deposition of the upper oxide dielectric as a result of the interaction of a thin layer of metal with oxygen, which leads to additional absorption both visible and near infrared radiation.
Известен способ получения низкоэмиссионного покрытия на прозрачной подложке, состоящего из слоя серебра и разных просветляющих слоев оксидов металлов, таких как оксид олова, оксид титана, оксид цинка, оксид индия, оксид висмута или оксид циркония, а также разных дополнительных (барьерных) слоев металла, методом катодного распыления. Барьерные слои металла (титан, железо, никель, и т.п.), нанесенные между слоями серебра или меди и внешним слоем оксидного диэлектрика, необходимы для защиты серебряного слоя от деградации в процессе нанесения внешнего просветляющего оксидного слоя, а также в процессе эксплуатации. Толщина барьерного слоя составляет 0,5-5 нм (патент США №4462883).A known method of obtaining a low-emission coating on a transparent substrate consisting of a silver layer and different antireflective layers of metal oxides, such as tin oxide, titanium oxide, zinc oxide, indium oxide, bismuth oxide or zirconium oxide, as well as various additional (barrier) layers of metal, cathodic sputtering method. The metal barrier layers (titanium, iron, nickel, etc.) deposited between the silver or copper layers and the outer oxide dielectric layer are necessary to protect the silver layer from degradation during the deposition of the external antireflection oxide layer, as well as during operation. The thickness of the barrier layer is 0.5-5 nm (US patent No. 4462883).
Недостатком покрытий, полученных указанным способом, является уменьшение прозрачности в видимой области спектра, а также уменьшение отражения теплового излучения в результате дополнительного поглощения оптического излучения в барьерных слоях металлов.The disadvantage of coatings obtained in this way is a decrease in transparency in the visible region of the spectrum, as well as a decrease in the reflection of thermal radiation as a result of additional absorption of optical radiation in the barrier layers of metals.
Известно низкоэмиссионное покрытие, содержащее прозрачную подложку и по меньшей мере три слоя на ней, расположенных в следующем порядке: диэлектрик, металл, диэлектрик. Толщина каждого слоя диэлектрика составляет 10-60 нм, а слоя металла - 7-20 нм. В качестве металла используют серебро, а в качестве диэлектрика - нитрид или оксинитрид эвтектического сплава алюминий-кремний, полученный методом магнетронного распыления мишени из указанного выше сплава при постоянном токе в атмосфере смеси аргона с азотом в едином вакуумном цикле (патент США №4769291).Known low-emission coating containing a transparent substrate and at least three layers on it, arranged in the following order: dielectric, metal, dielectric. The thickness of each dielectric layer is 10-60 nm, and the metal layer is 7-20 nm. Silver is used as a metal, and aluminum-silicon eutectic nitride or oxy nitride, obtained by magnetron sputtering of a target from the above alloy at constant current in an atmosphere of a mixture of argon and nitrogen in a single vacuum cycle, is used as a dielectric (US patent No. 4769291).
Известно также низкоэмиссионное покрытие на прозрачной подложке (стекле и полимерной пленке), содержащее по меньшей мере три слоя, расположенных на ней в порядке: диэлектрик, металл, диэлектрик, полученное методом вакуумного магнетронного распыления, причем слой металла толщиной 7-20 нм выполнен из серебра или меди, а слои диэлектриков получены магнетронным распылением мишени из алюминиевого сплава в атмосфере смеси аргона с азотом с толщиной каждого слоя 10-60 нм (патент РФ №2132406).Also known is a low-emission coating on a transparent substrate (glass and a polymer film) containing at least three layers arranged on it in order: dielectric, metal, dielectric obtained by vacuum magnetron sputtering, and the metal layer 7-20 nm thick is made of silver or copper, and dielectric layers were obtained by magnetron sputtering of an aluminum alloy target in an atmosphere of a mixture of argon and nitrogen with a thickness of each layer of 10-60 nm (RF patent No. 2132406).
Недостатком известных решений является недостаточное ослабление теплового потока солнечного излучения из-за сравнительно невысокого показателя преломления и неоптимального выбора толщины просветляющих слоев.A disadvantage of the known solutions is the insufficient attenuation of the heat flux of solar radiation due to the relatively low refractive index and non-optimal choice of the thickness of the antireflective layers.
Известен способ получения низкоэмиссионного покрытия, включающий напыление первого просветляющего оксидного слоя на стеклянную подложку, напыление слоя титана, напыление слоя серебра, напыление второго слоя титана, напыление внешнего просветляющего оксидного слоя и напыление слоя оксида титана. В таком покрытии слой серебра защищен слоем титана от воздействия кислорода в процессе получения покрытия, а также в процессе последующей термообработки. В процессе термообработки слой титана окисляется, но предохраняет от окисления серебряный слой (патент США №5059295).A known method of obtaining a low emission coating, comprising spraying a first antireflection oxide layer on a glass substrate, spraying a titanium layer, spraying a silver layer, spraying a second titanium layer, spraying an external antireflection oxide layer and spraying a titanium oxide layer. In such a coating, the silver layer is protected by a titanium layer from oxygen in the process of obtaining the coating, as well as in the process of subsequent heat treatment. During the heat treatment, the titanium layer is oxidized, but the silver layer is protected from oxidation (US Pat. No. 5,059,295).
Недостатком данного способа является невозможность получения качественных покрытий на полимерных подложках из-за высокой температуры термообработки.The disadvantage of this method is the inability to obtain high-quality coatings on polymer substrates due to the high heat treatment temperature.
Наиболее близким к предлагаемому техническому решению, принятому за прототип, является способ нанесения методом вакуумного магнетронного распыления покрытия на прозрачной подложке, содержащего по меньшей мере четыре слоя, полученные и расположенные на ней в следующем порядке: слой диэлектрика из диоксида титана, слой металла, выполненный из серебра или меди, слой титана (барьерный слой) толщиной, сравнимой с толщиной слоя металла, и верхний слой диэлектрика из диоксида титана, причем толщина слоев титана и верхнего слоя диэлектрика кратна четверти длины волны в видимой части спектра. Покрытие может дополнительно содержать подслой, нанесенный на подложку, и верхний защитный слой, выполненные из нитрида титана (патент РФ №2190692).Closest to the proposed technical solution adopted for the prototype is a method of applying by a method of vacuum magnetron sputtering a coating on a transparent substrate containing at least four layers, obtained and located on it in the following order: a dielectric layer of titanium dioxide, a metal layer made of silver or copper, a titanium layer (barrier layer) with a thickness comparable to the thickness of the metal layer, and the upper dielectric layer of titanium dioxide, and the thickness of the titanium layers and the upper dielectric layer is a factor of at a quarter of the wavelength in the visible part of the spectrum. The coating may further comprise a sublayer deposited on a substrate and an upper protective layer made of titanium nitride (RF patent No. 2190692).
Недостатком данного технического решения является невысокий коэффициент ослабления теплового потока солнечного излучения при высоких коэффициентах пропускания видимого света.The disadvantage of this technical solution is the low attenuation coefficient of the heat flux of solar radiation at high transmittances of visible light.
Технической задачей заявляемого изобретения является увеличение коэффициента ослабления теплового солнечного излучения при сохранении высокого коэффициента пропускания видимого света для прозрачных полимерных материалов с теплозащитным покрытием.The technical task of the invention is to increase the attenuation coefficient of thermal solar radiation while maintaining a high transmittance of visible light for transparent polymeric materials with a heat-protective coating.
Для решения поставленной технической задачи предложен способ нанесения теплозащитного покрытия на полимерный материал, включающий последовательное нанесение на прозрачную полимерную подложку методом вакуумного магнетронного распыления первого диэлектрического слоя, выполненного из диоксида титана, слоя металла, выполненного из серебра, барьерного слоя и второго диэлектрического слоя, выполненного из диоксида титана, в котором барьерный слой выполнен из нитрида алюминия и имеет толщину не менее 3 нм, первый диэлектрический слой диоксида титана наносят до толщины, удовлетворяющей условию:To solve the technical problem, a method for applying a heat-protective coating to a polymeric material is proposed, which includes sequential deposition of a first dielectric layer made of titanium dioxide, a metal layer made of silver, a barrier layer and a second dielectric layer made of silver on a transparent polymer substrate by vacuum magnetron sputtering titanium dioxide, in which the barrier layer is made of aluminum nitride and has a thickness of at least 3 nm, the first dielectric layer titanium sida applied to a thickness satisfying the condition:
где m=0 или 1, nт - показатель преломления диоксида титана, а второй диэлектрический слой диоксида титана наносят до толщины, удовлетворяющей условию:where m = 0 or 1, n t is the refractive index of titanium dioxide, and the second dielectric layer of titanium dioxide is applied to a thickness satisfying the condition:
где db - толщина барьерного слоя нитрида алюминия, nb - показатель преломления нитрида алюминия, d2T - толщина второго диэлектрического слоя диоксида титана, а k=0 или 1.where d b is the thickness of the barrier layer of aluminum nitride, n b is the refractive index of aluminum nitride, d 2T is the thickness of the second dielectric layer of titanium dioxide, and k = 0 or 1.
С целью повышения качества получаемого покрытия после нанесения первого диэлектрического слоя, выполненного из диоксида титана, наносят дополнительный защитный слой, выполненный из нитрида алюминия, причем суммарная толщина первого диэлектрического слоя диоксида титана и дополнительного защитного слоя должна удовлетворять условию:In order to improve the quality of the obtained coating after applying the first dielectric layer made of titanium dioxide, an additional protective layer made of aluminum nitride is applied, and the total thickness of the first dielectric layer of titanium dioxide and an additional protective layer must satisfy the condition:
где db1 - толщина дополнительного защитного слоя нитрида алюминия, nb - показатель преломления нитрида алюминия, d1T - толщина первого диэлектрического слоя диоксида титана, а р=0 или 1.where d b1 is the thickness of the additional protective layer of aluminum nitride, n b is the refractive index of aluminum nitride, d 1T is the thickness of the first dielectric layer of titanium dioxide, and p = 0 or 1.
Нанесение барьерного слоя нитрида алюминия защищает слой металла от деградации в процессе нанесения внешнего слоя диоксида титана. Нанесение диэлектрических слоев диоксида титана, обладающих максимальным показателем преломления в видимой области спектра, обеспечивает получение максимальной прозрачности для видимого света и высокую стойкость к воздействию влаги. Нанесение диэлектрических слоев до толщины, соответствующей указанным выше условиям, позволяет увеличить коэффициент ослабления теплового потока солнечного излучения. Слой серебра, помимо магнетронного распыления, может быть нанесен методами вакуумного испарения, например, резистивного или электронно-лучевого испарения.The application of a barrier layer of aluminum nitride protects the metal layer from degradation during the application of the outer layer of titanium dioxide. The application of dielectric layers of titanium dioxide with a maximum refractive index in the visible region of the spectrum provides maximum transparency for visible light and high resistance to moisture. The application of dielectric layers to a thickness corresponding to the above conditions allows increasing the attenuation coefficient of the heat flux of solar radiation. The silver layer, in addition to magnetron sputtering, can be deposited by vacuum evaporation, for example, resistive or electron beam evaporation.
Примеры осуществленияExamples of implementation
Пример 1Example 1
Нанесение покрытия проводили в вакуумной установке, оснащенной устройствами нанесения покрытий, например магнетронными системами распыления, и устройством для создания газового разряда. Полимерную подложку, например органическое стекло, закрепляли в устройстве перемещения подложек, которое обеспечивает прохождение подложки в зонах нанесения всех слоев покрытия на расстоянии 180 мм от напылительных устройств. В вакуумной установке создавали давление 0,2 Па и проводили плазмохимическую обработку поверхности полимерной подложки в среде, содержащей химически активные газы, например кислород, азот, диоксид углерода или их смеси, с помощью газового разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях при разрядном напряжении 500 В и токе разряда 2 А в течение 2 минут.The coating was carried out in a vacuum installation equipped with coating devices, for example magnetron sputtering systems, and a device for creating a gas discharge. A polymer substrate, such as organic glass, was fixed in a substrate transfer device that allows the substrate to pass in the deposition zones of all coating layers at a distance of 180 mm from the spray devices. In a vacuum installation, a pressure of 0.2 Pa was created and a plasma-chemical treatment of the surface of the polymer substrate was carried out in a medium containing chemically active gases, for example oxygen, nitrogen, carbon dioxide or a mixture thereof, using a gas discharge in crossed electric and magnetic fields at a discharge voltage of 500 V and a discharge current of 2 A for 2 minutes.
Перед нанесением каждого слоя покрытия в зоне соответствующей магнетронной системы распыления создавали предварительное разрежение не более 0,004 Па. Нанесение диэлектрических слоев диоксида титана проводили в смеси газов кислорода и аргона при суммарном давлении 0,25-0,30 Па и средней плотности тока на титановой мишени магнетрона 150-200 А/м2, перемещая полимерную подложку в зоне магнетронного разряда до получения толщины, определяемой соотношениями (1)-(3). Нанесение слоя серебра проводили в среде аргона при давлении 0,25-0,30 Па, скорости осаждения не менее 3 нм/с, перемещая полимерную подложку в зоне осаждения серебра до толщины 20 нм. Нанесение барьерного слоя нитрида алюминия проводили в смеси газов азота и аргона до толщины 15 нм.Before applying each coating layer in the zone of the corresponding magnetron sputtering system, a preliminary vacuum of not more than 0.004 Pa was created. The dielectric layers of titanium dioxide were applied in a mixture of oxygen and argon gases at a total pressure of 0.25-0.30 Pa and an average current density on a titanium magnetron target of 150-200 A / m 2 , moving the polymer substrate in the magnetron discharge zone to obtain a thickness, defined by relations (1) - (3). The silver layer was applied in argon at a pressure of 0.25-0.30 Pa, the deposition rate of at least 3 nm / s, moving the polymer substrate in the silver deposition zone to a thickness of 20 nm. A barrier layer of aluminum nitride was applied in a mixture of nitrogen and argon gases to a thickness of 15 nm.
Покрытия по примерам 2-4 наносили способом, аналогичным примеру 1.The coatings of examples 2-4 were applied in a manner analogous to example 1.
Скорость осаждения покрытий контролировали с помощью оптических, гравиметрических либо других методов, а толщину покрытий контролировали также либо перечисленными методами, либо по предварительно измеренной скорости и времени нанесения.The deposition rate of the coatings was controlled using optical, gravimetric or other methods, and the thickness of the coatings was also controlled either by the methods listed above, or by the previously measured application speed and time.
Примеры теплозащитных покрытий, полученных на органическом стекле по предлагаемому способу и по прототипу, и их оптические свойства представлены в таблицах 1 и 2.Examples of heat-resistant coatings obtained on organic glass according to the proposed method and the prototype, and their optical properties are presented in tables 1 and 2.
В качестве величины, наиболее полно характеризующей прозрачность
где t(λ) - спектральный коэффициент пропускания образца, J(λ) - энергетический спектр источника излучения, w(λ) - спектральная чувствительность глаза, λв1=380 нм, λв2=780 нм - границы видимого диапазона спектра.where t (λ) is the spectral transmittance of the sample, J (λ) is the energy spectrum of the radiation source, w (λ) is the spectral sensitivity of the eye, λ b1 = 380 nm, λ b2 = 780 nm are the boundaries of the visible range of the spectrum.
В качестве величины, наиболее полно характеризующей ослабление материалом теплового потока солнечного излучения, приведен коэффициент ослабления теплового потока солнечного излучения (величина, обратная интегральному коэффициенту пропускания Тс для потока солнечного излучения в диапазоне длин волн атмосферного солнечного спектра, учитывающего спектральное распределение интенсивности солнечного излучения) Кт=1/Тс:The coefficient of attenuation of the heat flux of solar radiation (the reciprocal of the integral transmittance T s for the solar flux in the wavelength range of the atmospheric solar spectrum, taking into account the spectral distribution of the intensity of solar radiation) is given as the most fully characterizing the attenuation of the heat flux of solar radiation by the material t = 1 / T s :
где t(λ) - спектральный коэффициент пропускания образца, J(λ) - энергетический спектр излучения Солнца на поверхности Земли, λ1=380 нм, λ2=2500 нм - границы диапазона атмосферного солнечного спектра.where t (λ) is the spectral transmittance of the sample, J (λ) is the energy spectrum of solar radiation on the Earth's surface, λ 1 = 380 nm, λ 2 = 2500 nm - the boundaries of the range of the atmospheric solar spectrum.
В таблице 2 для покрытий №1 и №2 толщина первого слоя диэлектрика и толщина слоя титана со вторым слоем диэлектрика соответствуют одной четверти длины волны видимого света. Для покрытия №3 толщина первого слоя диэлектрика соответствует трем четвертям длины волны, а толщина слоя титана со вторым слоем диэлектрика - одной четверти длины волны видимого света. Для покрытия №4 толщина первого слоя диэлектрика и толщина слоя титана со вторым слоем диэлектрика соответствуют трем четвертям длины волны видимого света.In table 2 for coatings No. 1 and No. 2, the thickness of the first dielectric layer and the thickness of the titanium layer with the second dielectric layer correspond to one quarter of the wavelength of visible light. For coating No. 3, the thickness of the first dielectric layer corresponds to three quarters of the wavelength, and the thickness of the titanium layer with the second dielectric layer corresponds to one quarter of the wavelength of visible light. For coating No. 4, the thickness of the first dielectric layer and the thickness of the titanium layer with the second dielectric layer correspond to three quarters of the wavelength of visible light.
толщина по соотношению (1), нм1 layer of TiO 2 ,
thickness according to the ratio (1),
(40+275/nT)156 (m = 1)
(40 + 275 / n T )
(26+275/nT)142 (m = 1)
(26 + 275 / n T )
27+(275/nT-15*nb/nT)129 (k = 1)
27+ (275 / n T -15 * n b / n T )
На чертеже приведены примеры спектральных коэффициентов пропускания оргстекла с покрытием, полученным по предлагаемому способу, и покрытием по прототипу, поясняющие преимущество покрытия, полученного по предлагаемому способу, где:The drawing shows examples of spectral transmittance of plexiglass with a coating obtained by the proposed method, and a coating of the prototype, explaining the advantage of the coating obtained by the proposed method, where:
I - видимая область спектра,I is the visible region of the spectrum,
II - ИК-область солнечного спектра,II - the infrared region of the solar spectrum,
III - часть видимой области, определяющая величину интегрального коэффициента пропускания видимого света.III - part of the visible region that determines the value of the integrated transmittance of visible light.
1 - органическое стекло с покрытием ТiO2 (36 нм) - Ag (20 нм) - AlN (15 нм) - ТiO2 (21 нм), интегральный коэффициент пропускания видимого света Тв=83%, коэффициент ослабления теплового потока солнечного излучения Кт=1,81;1 - organic glass coated TiO 2 (36 nm) - Ag (20 nm) - AlN (15 nm) - TiO 2 (21 nm), the integral transmittance of visible light T in = 83%, the attenuation coefficient of the heat flux of solar radiation K t = 1.81;
2 - органическое стекло с покрытием ТiO2 (44 нм) - Ag (13 нм) - Ti (2 нм) - ТiO2 (38 нм) прототип, интегральный коэффициент пропускания видимого света Тв=83%, коэффициент ослабления теплового потока солнечного излучения Кт=1,58;2 - organic glass coated TiO 2 (44 nm) - Ag (13 nm) - Ti (2 nm) - TiO 2 (38 nm) prototype, the integral transmittance of visible light T in = 83%, the attenuation coefficient of the heat flux of solar radiation K t = 1.58;
3 - спектральная чувствительность глаза.3 - spectral sensitivity of the eye.
Вследствие применения поглощающего барьерного слоя титана в прототипе (кривая 2 чертежа) для обеспечения уровня прозрачности, например Тв=83% в видимой области спектра, необходимо уменьшать толщину серебряного слоя до 13 нм, что приводит к более пологому, по сравнению с покрытием, полученным по предлагаемому способу (кривая 1 чертежа), спаду спектральной зависимости коэффициента пропускания в красной области видимого спектра (область I чертежа) и ближней инфракрасной области спектра (область II чертежа), и, следовательно, к уменьшению коэффициента ослабления энергии солнечного излучения в данной области. Чувствительность глаза в красной области видимого спектра (650-780 нм) мала, поэтому ход спектральной зависимости коэффициента пропускания в этой области практически не влияет на интегральный коэффициент пропускания видимого света. Оптимальный выбор толщин слоев, который обеспечивает максимальную крутизну спада спектральной зависимости коэффициента пропускания в красной области видимого спектра, дает дополнительный выигрыш в ослаблении теплового потока при использовании покрытия, полученного предлагаемым способом.Due to the use of the absorbing barrier layer of titanium in the prototype (
Claims (2)
d1T=(25-40)+275·m/nT (нм),
где m=0 или 1, nT - показатель преломления диоксида титана, d1T - толщина первого диэлектрического слоя диоксида титана, а второй диэлектрический слой диоксида титана наносят до толщины, удовлетворяющей условию:
db·nb+d2T·nT=(25-40)·nT+275·k (нм),
где db - толщина барьерного слоя нитрида алюминия, nb - показатель преломления нитрида алюминия, d2Т - толщина второго диэлектрического слоя диоксида титана, k=0 или 1.1. A method of applying a heat-protective coating to a polymeric material, comprising sequentially applying a first dielectric layer made of titanium dioxide, a metal layer made of silver, a barrier layer and a second dielectric layer made of titanium dioxide to a transparent polymer substrate by vacuum magnetron sputtering, characterized in that the barrier layer is made of aluminum nitride and has a thickness of at least 3 nm, the first dielectric layer of titanium dioxide is applied to a thickness satisfying According to the condition:
d 1T = (25-40) + 275 m / n T (nm),
where m = 0 or 1, n T is the refractive index of titanium dioxide, d 1T is the thickness of the first dielectric layer of titanium dioxide, and the second dielectric layer of titanium dioxide is applied to a thickness satisfying the condition:
d b · n b + d 2T · n T = (25-40) · n T + 275 · k (nm)
where d b is the thickness of the barrier layer of aluminum nitride, n b is the refractive index of aluminum nitride, d 2T is the thickness of the second dielectric layer of titanium dioxide, k = 0 or 1.
db1·nb+d1T·nT=(25-40)·nT+275·p (нм),
где db1, - толщина дополнительного защитного слоя нитрида алюминия, nb - показатель преломления нитрида алюминия, а p=0 или 1. 2. The method according to claim 1, characterized in that after applying the first dielectric layer made of titanium dioxide, apply an additional protective layer made of aluminum nitride, and the total thickness of the first dielectric layer of titanium dioxide and an additional protective layer satisfies the condition:
d b1 · n b + d 1T · n T = (25-40) · n T + 275 · p (nm),
where d b1 , is the thickness of the additional protective layer of aluminum nitride, n b is the refractive index of aluminum nitride, and p = 0 or 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009139018/02A RU2420607C1 (en) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | Procedure for application of heat shielding coating on polymer material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2009139018/02A RU2420607C1 (en) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | Procedure for application of heat shielding coating on polymer material |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2009139018A RU2009139018A (en) | 2011-04-27 |
| RU2420607C1 true RU2420607C1 (en) | 2011-06-10 |
Family
ID=44731307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2009139018/02A RU2420607C1 (en) | 2009-10-22 | 2009-10-22 | Procedure for application of heat shielding coating on polymer material |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2420607C1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2530495C1 (en) * | 2013-07-18 | 2014-10-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) Федеральный Университет" (ФГАОУ ВПО КФУ) | Reinforcement heat-reflecting antireflection coating |
| RU2541227C1 (en) * | 2013-07-18 | 2015-02-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) Федеральный Университет" (ФГАОУ ВПО КФУ) | Method of obtaining strengthening heat-reflecting clarifying coating for transparent plastic products |
| RU2652937C2 (en) * | 2012-02-22 | 2018-05-03 | Гардиан Индастриз Корп. | Coated article with low-e coating having multilayer overcoat and method of making same |
| RU2720846C2 (en) * | 2015-12-09 | 2020-05-13 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Method and apparatus for producing colored glazing |
-
2009
- 2009-10-22 RU RU2009139018/02A patent/RU2420607C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2652937C2 (en) * | 2012-02-22 | 2018-05-03 | Гардиан Индастриз Корп. | Coated article with low-e coating having multilayer overcoat and method of making same |
| US10227690B2 (en) | 2012-02-22 | 2019-03-12 | Guardian Glass, LLC | Coated article with low-E coating having multilayer overcoat and method of making same |
| RU2530495C1 (en) * | 2013-07-18 | 2014-10-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) Федеральный Университет" (ФГАОУ ВПО КФУ) | Reinforcement heat-reflecting antireflection coating |
| RU2541227C1 (en) * | 2013-07-18 | 2015-02-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский (Приволжский) Федеральный Университет" (ФГАОУ ВПО КФУ) | Method of obtaining strengthening heat-reflecting clarifying coating for transparent plastic products |
| RU2720846C2 (en) * | 2015-12-09 | 2020-05-13 | Сэн-Гобэн Гласс Франс | Method and apparatus for producing colored glazing |
| US10988409B2 (en) | 2015-12-09 | 2021-04-27 | Saint-Gobain Glass France | Process and plant for obtaining colored glazing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2009139018A (en) | 2011-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6490810B2 (en) | Temperature and corrosion resistant surface reflectors | |
| JP2625079B2 (en) | Solar controlled durable thin film coating with low emissivity | |
| AU2015225134B2 (en) | Infrared reflecting substrate and method for producing same | |
| KR100667637B1 (en) | Layered product | |
| KR20170036775A (en) | Infrared reflecting substrate | |
| KR101918425B1 (en) | Infrared-reflecting film | |
| US20160145736A1 (en) | Method for producing infrared radiation reflecting film | |
| KR101873103B1 (en) | Functional building material including low-emissivity coat for windows | |
| KR101768257B1 (en) | Low-emissivity coat and building material for window including the same | |
| EP2603469B1 (en) | Glass panel having sun-shielding properties | |
| KR101499288B1 (en) | Low-emissivity coated board and building material including the same | |
| KR20140084169A (en) | Multilayer systems for selective reflection of electromagnetic radiation from the wavelength spectrum of sunlight and method for producing same | |
| CN105814150B (en) | Low emissivity coated film, its preparation method and the functional building materials of window comprising it | |
| CN105814149B (en) | Low emissivity coated film, its preparation method and the functional building materials of window comprising it | |
| RU2636995C1 (en) | Product with hybrid energy-saving coating on glass substrate | |
| RU2420607C1 (en) | Procedure for application of heat shielding coating on polymer material | |
| CN112194383A (en) | Low-emissivity glass and preparation method thereof | |
| US9296651B2 (en) | Heat stable SnAl and SnMg based dielectrics | |
| KR101970495B1 (en) | Low-emissivity coat, method for preparing low-emissivity coat and functional building material including low-emissivity coat for windows | |
| JPH1096801A (en) | Light-absorbing reflection preventing body and its production | |
| US20120263885A1 (en) | Method for the manufacture of a reflective layer system for back surface mirrors | |
| JPH0859301A (en) | Ultraviolet heat shielding glass | |
| RU2190692C1 (en) | Low-emission coat applied on transparent substrate | |
| RU2642751C1 (en) | Silver product with hybrid energy-saving coating on glass substrate | |
| RU2422556C1 (en) | Gradient functional coating on transparent substrate |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20111023 |