RU2412784C2 - Method of producing composite nanopowders - Google Patents

Method of producing composite nanopowders Download PDF

Info

Publication number
RU2412784C2
RU2412784C2 RU2009103548/02A RU2009103548A RU2412784C2 RU 2412784 C2 RU2412784 C2 RU 2412784C2 RU 2009103548/02 A RU2009103548/02 A RU 2009103548/02A RU 2009103548 A RU2009103548 A RU 2009103548A RU 2412784 C2 RU2412784 C2 RU 2412784C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substance
copper
substances
vapor
nanoparticles
Prior art date
Application number
RU2009103548/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2009103548A (en
Inventor
Андрей Валерьевич Номоев (RU)
Андрей Валерьевич Номоев
Сергей Прокопьевич Бардаханов (RU)
Сергей Прокопьевич Бардаханов
Original Assignee
Андрей Валерьевич Номоев
Сергей Прокопьевич Бардаханов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Андрей Валерьевич Номоев, Сергей Прокопьевич Бардаханов filed Critical Андрей Валерьевич Номоев
Priority to RU2009103548/02A priority Critical patent/RU2412784C2/en
Publication of RU2009103548A publication Critical patent/RU2009103548A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2412784C2 publication Critical patent/RU2412784C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

FIELD: process engineering.
SUBSTANCE: invention relates to electron-beam production of ultra dispersed materials. Proposed method comprises heating the substance by relativistic electron beam at atmospheric pressure to vapor-phase state, condensing vapors by cooling them in gas flow and separating the formed two-phase system. Two single-elements substances are subjected to heating to form a homogeneous melt the vapors of which form the particles of solid composite nanopowders of the core-shell type. Note here that condensation temperature of one substance is lower than that of the second substance and higher than condensation temperature of both substances. Note also that heating is carried out stage-by-stage, first, to produce homogeneous melt, and, second, to reach vapor-phase state on increasing electron beam power.
EFFECT: nanoparticles coated by thin shell from different substance, reduced sintering.
1 tbl, 7 dwg, 1 ex

Description

Предлагаемое изобретение относится к электронно-лучевой технологии получения нанодисперсных материалов.The present invention relates to electron beam technology for producing nanodispersed materials.

Получаемый продукт - нанопорошок, состоящий из наночастиц одного одноэлементного вещества, каждая из которых покрыта тонкой оболочкой из другого одноэлементного вещества, может найти широкое применение при разработке функциональных элементов в электронике, электротехнике, в нелинейной оптике, для получения металлосодержащих материалов, тонкопленочных композитных материалов, металлополимеров и для разработки эффективных каталитических систем.The resulting product is a nanopowder consisting of nanoparticles of one single-element substance, each of which is coated with a thin shell of another single-element substance, can be widely used in the development of functional elements in electronics, electrical engineering, in nonlinear optics, to obtain metal-containing materials, thin-film composite materials, metal polymers and to develop efficient catalytic systems.

Получение и исследование свойств нанопорошков различных веществ является актуальным разделом современной науки и технологий. Во-первых, это обусловлено практической необходимостью создания новых материалов, что в ряде случаев возможно только с использованием наночастиц. Во-вторых, проблема изучения очень малых частиц, особенно имеющих размеры менее 100 нм, является составной частью более общей фундаментальной области знания, собирательно называемой "нанотехнологии". Особое внимание уделяется разработке высокопроизводительных способов производства нанопорошков. Однако производительность основной массы известных методов, особенно для получения нанопорошков металлов, нитридов и карбидов, мала.Obtaining and studying the properties of nanopowders of various substances is an important section of modern science and technology. Firstly, this is due to the practical need to create new materials, which in some cases is possible only with the use of nanoparticles. Secondly, the problem of studying very small particles, especially those having sizes less than 100 nm, is an integral part of a more general fundamental field of knowledge, collectively called "nanotechnology". Particular attention is paid to the development of high-performance methods for the production of nanopowders. However, the productivity of the bulk of the known methods, especially for producing nanopowders of metals, nitrides and carbides, is small.

Также известно, что частицы размером менее 200 нм сильно агломерируются и могут самовозгораться, поэтому важно исключить такие возможности. Один путь уменьшения самовозгорания и степени агломерации - покрытие наночастиц тонкой оболочкой вещества, несклонного к агломерации, то есть другими словами описывая, необходимо производить композитные наночастицы.It is also known that particles smaller than 200 nm are highly agglomerated and can ignite spontaneously, so it is important to exclude such possibilities. One way to reduce spontaneous combustion and the degree of agglomeration is to coat nanoparticles with a thin shell of a substance that is not prone to agglomeration, that is, in other words describing, it is necessary to produce composite nanoparticles.

В настоящее время особое внимание направлено на получение и исследование наночастиц. В области разработки новых материалов огромный интерес представляют композитные металлосодержащие материалы с наноструктурной морфологией отдельных элементов. Так, например, известно /1/, что двухкомпонентные композитные слоистые материалы, состоящие из наночастиц, содержащих металлы, один из которых ферромагнитный, например медь-кобальт, являются основой для создания новых высокочувствительных считывающих головок магнитных дисков. Эффект гигантского магнитосопротивления, наблюдающийся для таких материалов, обуславливает такое их применение.Currently, special attention is directed to the preparation and study of nanoparticles. In the field of developing new materials, composite metal-containing materials with nanostructured morphology of individual elements are of great interest. For example, it is known / 1 / that two-component composite layered materials consisting of nanoparticles containing metals, one of which is ferromagnetic, such as copper-cobalt, are the basis for the creation of new highly sensitive read heads of magnetic disks. The giant magnetoresistance effect observed for such materials determines their use.

Известны способы получения металлических нанопорошков, такие как мягкая гидротермическая обработка /2/, электрический взрыв проводника /3/, механическое измельчение /4/. Перечисленные методы обладают низкой производительностью, что является препятствием к их практическому использованию.Known methods for producing metal nanopowders, such as soft hydrothermal treatment / 2 /, electric explosion of the conductor / 3 /, mechanical grinding / 4 /. These methods have low productivity, which is an obstacle to their practical use.

Известен способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации. (Патент RU №2185931 С1, МПК B22F 9/02. Способ получения нанопорошков сложных соединений и смесевых составов и устройство для его реализации. 27.07.2002). Этим способом получают нанопорошки чистых химических веществ, различных сложных их соединений и однородных смесевых составов. В известном способе испарение веществ осуществляют воздействием лазерного излучения в импульсно-периодическом режиме с последующей конденсацией испаренного вещества в потоке газа, при этом поверхность испаряемого вещества перемещают в фокальной плоскости относительно точки фокуса лазерного излучения с постоянной скоростью. Данный способ имеет недостатки в силу своей малой производительности, обусловленной тем, что лазерное излучение не проникает в вещество и происходит нагрев его поверхности.A known method of producing nanopowders of complex compounds and mixed compositions and a device for its implementation. (Patent RU No. 2185931 C1, IPC B22F 9/02. A method for producing nanopowders of complex compounds and mixed compositions and a device for its implementation. 07.27.2002). In this way, nanopowders of pure chemicals, various complex compounds and homogeneous mixed formulations are obtained. In the known method, the evaporation of substances is carried out by the action of laser radiation in a pulse-periodic mode, followed by condensation of the vaporized substance in a gas stream, while the surface of the vaporized substance is moved in the focal plane relative to the focal point of the laser radiation at a constant speed. This method has disadvantages due to its low productivity, due to the fact that laser radiation does not penetrate into the substance and its surface is heated.

Известен способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния. (Патент RU №2254292 С1, МПК С01В 33/18. Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния. 20.06.2005). Изобретение относится к области электронно-лучевой технологии и используется для получения сверхмелкозернистых материалов, в частности ультрадисперсной двуокиси кремния. Известный способ включает нагревание кремнеземсодержащего вещества релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении до парофазного состояния, воздействие на расплав ультразвуком с частотой от 0.15 до 5 МГц, охлаждение в потоке газа, коагуляцию и разделение образовавшейся двухфазной системы. Реализация известного способа осуществляется в устройстве, где в качестве нагревателя используют пучок электронов ускорителя, размещенного над испарительной камерой, а разделение сред после охлаждения ведут в вихревом пылеуловителе, выполненном в виде конуса с каналами, один из которых предназначен для вывода порошка, другой с встроенным вентилятором - для вывода газа.A known method of producing ultrafine silica. (Patent RU No. 2254292 C1, IPC C01B 33/18. A method for producing ultrafine silicon dioxide. 06/20/2005). The invention relates to the field of electron beam technology and is used to produce ultrafine materials, in particular ultrafine silica. The known method includes heating a silica-containing substance with a relativistic electron beam at atmospheric pressure to a vapor phase state, exposure to the melt with ultrasound at a frequency of 0.15 to 5 MHz, cooling in a gas stream, coagulation and separation of the resulting two-phase system. The implementation of the known method is carried out in a device where an electron beam of an accelerator located above the evaporation chamber is used as a heater, and the media are separated after cooling in a vortex dust collector made in the form of a cone with channels, one of which is used for powder output, the other with an integrated fan - for gas outlet.

Техническим результатом является повышение производительности получения ультрадисперсной двуокиси кремния. Недостатком является то, что при производстве ультрадисперсных частиц может происходить их самовозгорание, а также окисление.The technical result is to increase the productivity of obtaining ultrafine silica. The disadvantage is that in the production of ultrafine particles, their spontaneous combustion and oxidation can occur.

Известен способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, устройство для его осуществления и ультрадисперсная двуокись кремния (Патент РФ №2067077, МПК 7, С01В 33/18, опубликован 27.09.1996, Бюллетень №27). Этот способ является наиболее близким к предлагаемому техническому решению и принят за прототип. Данное изобретение относится к области электронно-лучевой технологии и может быть использовано для получения сверхмелкозернистых материалов, в частности ультрадисперсной двуокиси кремния. Способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния включает нагревание кремнеземсодержащего вещества релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении до парофазного состояния, охлаждение в потоке газа, коагуляцию и разделение образовавшейся двухфазной системы.A known method of producing ultrafine silica, a device for its implementation and ultrafine silica (RF Patent No. 2067077, IPC 7, C01B 33/18, published September 27, 1996, Bulletin No. 27). This method is the closest to the proposed technical solution and adopted as a prototype. This invention relates to the field of electron beam technology and can be used to obtain ultrafine materials, in particular ultrafine silica. A method of producing ultrafine silica involves heating a silica-containing substance by a relativistic electron beam at atmospheric pressure to a vapor phase state, cooling in a gas stream, coagulation and separation of the resulting two-phase system.

Техническим результатом является повышение производительности получения ультрадисперсной двуокиси кремния. По сравнению с известными способами способ получения ультрадисперсной двуокиси кремния, принятый за прототип, имеет преимущества, поскольку энергия вследствие проникновения электронов в вещество выделяется внутри вещества. Это способствует эффективной передаче электронами энергии веществу и обеспечивает высокую производительность метода. Однако недостатками известного способа является невозможность получения ультрадисперсных композитных порошков. Так как известно, что частицы размером менее 200 нм сильно агломерируются и могут самовозгораться, поэтому важно исключить такие возможности. Один путь уменьшения самовозгорания и степени агломерации - покрытие наночастиц тонкой оболочкой вещества, несклонного к агломерации, то есть другими словами описывая, необходимо производить композитные наночастицы.The technical result is to increase the productivity of obtaining ultrafine silica. Compared with known methods, the method of producing ultrafine silica, adopted as a prototype, has advantages, since energy due to the penetration of electrons into the substance is released inside the substance. This contributes to the efficient transfer of energy by electrons to matter and ensures high productivity of the method. However, the disadvantages of this method is the inability to obtain ultrafine composite powders. Since it is known that particles smaller than 200 nm are highly agglomerated and can spontaneously ignite, it is therefore important to exclude such possibilities. One way to reduce spontaneous combustion and the degree of agglomeration is to coat nanoparticles with a thin shell of a substance that is not prone to agglomeration, that is, in other words describing, it is necessary to produce composite nanoparticles.

Основной задачей, поставленной авторами, является получение новых композитных нанопорошков, состоящих из наночастиц типа ядро-оболочка.The main task posed by the authors is to obtain new composite nanopowders consisting of core-shell nanoparticles.

Технический результат изобретения - снижение степени агломерации наночастиц, предотвращение окисления подверженных этому наночастиц. Указанный технический результат достигается тем, что в способе получения композитного нанопорошка, включающем нагрев вещества релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении до парофазного состояния, конденсацию путем охлаждения паров в потоке газа и разделение образовавшейся двухфазной системы, согласно изобретению нагреву подвергают два одноэлементных вещества, образующих при нагреве однородный расплав, при конденсации паров которого образуются частицы твердого композитного нанопорошка типа ядро-оболочка, причем температура конденсации одного вещества ниже температуры конденсации второго вещества и выше максимальной температуры плавления обоих веществ, при этом нагрев производят поэтапно, предварительно - до получения однородного расплава, затем - путем увеличения мощности пучка электронов до парофазного состояния.The technical result of the invention is to reduce the degree of agglomeration of nanoparticles, preventing the oxidation of susceptible nanoparticles. The specified technical result is achieved in that in the method for producing a composite nanopowder, comprising heating a substance with a relativistic electron beam at atmospheric pressure to a vapor phase state, condensation by cooling the vapor in a gas stream and separating the resulting two-phase system, according to the invention, two single-element substances are formed that are heated during heating homogeneous melt, upon condensation of the vapor of which particles of a solid composite nanopowder of the core-shell type are formed, eratura one substance below the condensation temperature of the second condensation agent and higher than the maximum melting temperature of both substances, wherein heat produced in stages previously - to obtain a homogeneous melt, and then - by increasing the power of the electron beam to the vapor state.

Существенным отличием предложенного способа от известного является то, что для получения композитных нанопорошков составляющие его части предварительно нагревают до получения однородного расплава, причем вещества подбираются с определенными соотношениями их температур конденсации и плавления. Далее мощность пучка электронов увеличивается и расплав испаряется. Вследствие отличия температур конденсации двух веществ, их пары будут конденсироваться в разных местах камеры (температурных зонах). Сначала будут конденсироваться пары вещества с более высокой температурой конденсации, а пары второго вещества, присутствующие в этом месте, окажутся внутри образовавшейся капельки первого вещества. При дальнейшем движении и охлаждении паров второе вещество сконденсируется в жидкое состояние, а затем в твердое. Первое вещество также превращается в твердое состояние при температуре его плавления. В результате образуется твердая композитная наночастица типа ядро-оболочка, ядро которой из вещества с более низкой температурой конденсации, а оболочка - с более высокой температурой конденсации. Совокупность таких частиц образует композитный нанопорошок. Для получения композитной наночастицы типа ядро-оболочка необходимо не только подобрать твердые вещества с разными температурами конденсации, а также требуется выполнить условие, чтобы температура конденсации вещества, образующего ядро, была выше максимальной температуры плавления обоих веществ. В противном случае одно из веществ испарится во время плавления твердых веществ в процессе получения однородного расплава. Таким образом, в предложенном способе выявлено новое свойство, т.е. взаимодействие двух веществ с различными температурами плавления и конденсации, в предложенных условиях способа приводит к образованию композитного нанопорошка, состоящего из наночастиц типа ядро-оболочка, обеспечивающему снижение степени агломерации наночастиц и предотвращение окисления подверженных этому наночастиц. В заявляемом способе использованы оборудование, приемы и вещества, разрешенные к применению в технике.A significant difference between the proposed method and the known one is that in order to obtain composite nanopowders, its constituent parts are preheated until a homogeneous melt is obtained, the substances being selected with certain ratios of their condensation and melting temperatures. Further, the power of the electron beam increases and the melt evaporates. Due to the difference in the condensation temperatures of the two substances, their vapors will condense in different places of the chamber (temperature zones). First, the vapors of a substance with a higher condensation temperature will condense, and the vapors of the second substance present at this location will be inside the droplet of the first substance formed. With further movement and cooling of the vapor, the second substance condenses into a liquid state, and then into a solid state. The first substance also turns into a solid state at its melting point. As a result, a solid composite nanoparticle of the core-shell type is formed, the core of which is from a substance with a lower condensation temperature, and the shell with a higher condensation temperature. The combination of such particles forms a composite nanopowder. To obtain a composite core-shell type nanoparticle, it is necessary not only to select solids with different condensation temperatures, but also to fulfill the condition that the condensation temperature of the substance forming the core be higher than the maximum melting temperature of both substances. Otherwise, one of the substances will evaporate during the melting of solids in the process of obtaining a uniform melt. Thus, in the proposed method revealed a new property, i.e. the interaction of two substances with different melting and condensation temperatures, under the proposed method conditions, leads to the formation of a composite nanopowder consisting of core-shell nanoparticles, which reduces the degree of agglomeration of nanoparticles and prevents oxidation of the susceptible nanoparticles. In the claimed method used equipment, techniques and substances that are approved for use in technology.

Для осуществления предлагаемого способа используют следующее устройство (фиг.1).To implement the proposed method using the following device (figure 1).

Устройство для получения композитного нанопорошка содержит ускоритель электронов 1 высокой удельной мощности, установленный соосно над испарительной камерой 2, в которой расположен огнеупорный тигель 3, связанный с питателем 4 для подачи твердых веществ и содержащей набор щелевых отверстий 5 в верхней части боковых стенок для входа в испарительную камеру 2 транспортного газа и в нижней части, для создания и выхода направленного потока аэрозольной смеси испаряемых веществ.A device for producing a composite nanopowder contains an electron accelerator 1 of high specific power, mounted coaxially above the evaporation chamber 2, in which a refractory crucible 3 is located, connected to a feeder 4 for supplying solids and containing a set of slot holes 5 in the upper part of the side walls to enter the evaporative chamber 2 transport gas and in the lower part, to create and exit a directed flow of an aerosol mixture of vaporized substances.

Испарительная камера 2 посредством осевого канала 6 соединена с промежуточной камерой 7, пылегазовая смесь поступает в промежуточную камеру 7 для охлаждения пылегазовой смеси (аэрозоля) и частичного осаждения порошка. Промежуточная камера 7 посредством канала 8 соединена с камерой фильтра 9, в которой расположен фильтр 10 для осаждения композитного вещества и канала 11 для выхода газа.The evaporation chamber 2 through the axial channel 6 is connected to the intermediate chamber 7, the dust-gas mixture enters the intermediate chamber 7 for cooling the dust-gas mixture (aerosol) and partial precipitation of the powder. The intermediate chamber 7 is connected via a channel 8 to a filter chamber 9, in which a filter 10 is located for deposition of the composite material and a gas outlet channel 11.

Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.

Два твердых исходных одноэлементных вещества с определенным соотношением их температур конденсации и плавления через питатель 4 помещают в огнеупорный тигель 3 испарительной камеры 2 и нагревают до жидкого состояния концентрированным релятивистским пучком электронов высокой удельной мощности, генерируемым ускорителем электронов ЭЛВ-6. Нагрев ведут при атмосферном давлении. Далее мощность электронного пучка повышают и расплав испаряется. Энергия облучающих электронов 1.4 МэВ, плотность мощности электронного пучка на поверхности веществ изменяется от 1 кВт/см2 до 60 кВт/см2.Two solid initial single-element substances with a certain ratio of their condensation and melting temperatures through the feeder 4 are placed in the refractory crucible 3 of the evaporation chamber 2 and heated to a liquid state by a concentrated relativistic electron beam of high specific power generated by the ELV-6 electron accelerator. Heating is carried out at atmospheric pressure. Next, the power of the electron beam is increased and the melt evaporates. The energy of the irradiating electrons is 1.4 MeV, the power density of the electron beam on the surface of substances varies from 1 kW / cm 2 to 60 kW / cm 2 .

Вследствие подаваемого через щелевое отверстие 5 в стенке испарительной камеры 2 потока газа, например аргона, испаряемое вещество с захваченными в поток газа мелкими частицами исходных материалов быстро удаляют из горячей зоны через канал 6 в промежуточную (расширительную) камеру 7 и далее в камеру фильтра 9. В этих камерах температура снижается до комнатной. Так как температура конденсации одного из веществ выше, чем второго, жидкие капельки первого вещества начинают образовываться первыми в более горячей зоне по сравнению с температурой зоны образования второго вещества. Процесс образования жидких капелек начинается в испарительной камере, далее, вследствие подачи аргона через щелевое отверстия в стенке камеры, с потоком аргона пары двух веществ перемещаются в расширительную камеру 7, в которой также происходит осаждение композитных частиц веществ. Однако наличие давления паров первого вещества (создается в данном методе за счет его испарения) и сравнительно небольшая концентрация второго вещества не допускают образования чистых капелек второго вещества, а создаются капельки первого вещества, заполненные паром второго вещества. Создающиеся таким образом композитные наночастицы образуют структуру в виде ядра первого вещества, покрытого тонкой твердой оболочкой второго вещества.Due to a gas stream, for example argon, supplied through a slit hole 5 in the wall of the evaporation chamber 2, the vaporized substance with small particles of the starting materials trapped in the gas stream is quickly removed from the hot zone through channel 6 to the intermediate (expansion) chamber 7 and then to the filter chamber 9. In these cells, the temperature drops to room temperature. Since the condensation temperature of one of the substances is higher than the second, liquid droplets of the first substance begin to form first in the hotter zone compared to the temperature of the zone of formation of the second substance. The process of formation of liquid droplets begins in the evaporation chamber, then, due to the supply of argon through the slit openings in the chamber wall, with the flow of argon, vapors of two substances move into the expansion chamber 7, in which the composite particles of the substances also precipitate. However, the vapor pressure of the first substance (created in this method due to its evaporation) and a relatively small concentration of the second substance do not allow the formation of pure droplets of the second substance, and droplets of the first substance are created, filled with vapor of the second substance. Composite nanoparticles created in this way form a structure in the form of a core of the first substance coated with a thin hard shell of the second substance.

Как уже упоминалось выше, для получения композитной наночастицы типа ядро-оболочка необходимо подобрать твердые вещества с определенными соотношениями температур конденсации и плавления. Так, например, в таблице приведены температуры конденсации и плавления нескольких веществ и создаваемые из них наночастицы типа ядро-оболочка, у которых ядро имеет меньшее значение температуры конденсации и выполняется условие, что температура конденсации вещества ядра выше максимальной температуры плавления обоих веществ.As mentioned above, to obtain a composite core-shell nanoparticle, it is necessary to select solids with certain ratios of condensation and melting temperatures. So, for example, the table shows the condensation and melting temperatures of several substances and the core-shell type nanoparticles created from them, in which the core has a lower condensation temperature and the condition that the condensation temperature of the core substance is higher than the maximum melting temperature of both substances is fulfilled.

Таблица.Table. Вещество - ядроThe substance is the core Температура конденсации вещества, °СThe condensation temperature of the substance, ° C Температура плавления вещества, °СThe melting point of the substance, ° C Возможные сочетания вещества ядро-оболочкаPossible combinations of core-shell material ЦинкZinc 907907 419419 Цинк-свинецZinc lead СвинецLead 17501750 327,4327.4 Свинец-диоксид кремния, свинец-никель, свинец-кобальтSilicon Lead, Nickel Lead, Cobalt Lead МедьCopper 25902590 10831083 Медь-диоксид кремния, медь-никель, медь-кобальтCopper-silicon dioxide, copper-nickel, copper-cobalt НикельNickel 28002800 14531453 Никель-диоксид кремния, никель-кобальтNickel-silicon dioxide, Nickel-cobalt КобальтCobalt 29602960 14941494 Кобальт-кремнийCobalt silicon КремнийSilicon 32493249 14201420 Нет сочетаний для данной таблицы веществNo combinations for this table of substances ВольфрамTungsten 5900-60005900-6000 33803380 Нет сочетаний для данной таблицы веществNo combinations for this table of substances

Расширение технологических возможностей способа заключается в том, что в тигель 3 испарительной камеры вещества через питатель 4 вводят два вещества с определенными соотношениями значений их температур конденсации и плавления.The expansion of technological capabilities of the method lies in the fact that two substances are introduced into the crucible 3 of the evaporation chamber of the substance through the feeder 4 with certain ratios of the values of their condensation and melting temperatures.

Пример конкретного выполнения предложенного способа и получение новой композитной наночастицы, содержащей медь и диоксид кремния.An example of a specific implementation of the proposed method and obtaining a new composite nanoparticle containing copper and silicon dioxide.

При использовании предложенного способа, реализованного на устройстве, указанном на фиг.1, инертного газа и воздуха в качестве охлаждающего газа, а в качестве исходного материала - меди и кремния, были получены медьсодержащие неагломерированные наночастицы меди в тонкой оболочке из диоксида кремния (фиг.2). Температура плавления кремния 1420°С, меди - 1083°С, температура конденсации кремния 3249°С, температура конденсации меди - 2590°С. Из этих температурных данных следует, во-первых, возможность получения из меди и кремния наночастицы типа ядро-оболочка, так как температура конденсации меди выше температуры плавления кремния. Во-вторых, что ядром будет медь, а оболочкой - кремний, так как температура конденсации меди ниже температуры конденсации кремния.When using the proposed method, implemented on the device shown in Fig. 1, of inert gas and air as a cooling gas, and as a starting material - copper and silicon, copper-containing non-agglomerated copper nanoparticles in a thin shell of silicon dioxide were obtained (Fig. 2 ) The melting point of silicon is 1420 ° С, copper - 1083 ° С, silicon condensation temperature 3249 ° С, copper condensation temperature - 2590 ° С. From these temperature data it follows, firstly, the possibility of obtaining core-shell type nanoparticles from copper and silicon, since the condensation temperature of copper is higher than the melting temperature of silicon. Secondly, the core will be copper, and the shell will be silicon, since the condensation temperature of copper is lower than the condensation temperature of silicon.

В тигель закладывается 10 мас.% кремния и 90 мас.% меди. После окончания технологического процесса получается композитные медьсодержащие наночастицы. Распределение по размерам частиц (фиг.3) показывает, что наночастицы состоят из двух групп: крупных субмикронных частиц с преобладающими размерами от 50 до 200 нм и мелких наночастиц с преобладающими размерами от 50 до 70 нм. Размер композитных наночастиц - в пределах того же диапазона, как для частиц других порошков, например Мо и Ni, полученных на том же оборудовании, что и в прототипе. Однако в прототипе получены материалы, содержащие наночастицы одного вещества. Диоксид кремния образуется в результате окисления кремния за счет кислорода воздуха, имеющегося в малом количестве в испарительной, расширительной камерах и камере фильтра. При отсутствии кислорода воздуха, имеющегося в камерах, в результате проведения настоящего способа получения в этом процессе создается оболочка из кремния.10 mass% of silicon and 90 mass% of copper are laid in the crucible. After the end of the technological process, composite copper-containing nanoparticles are obtained. The particle size distribution (Fig. 3) shows that the nanoparticles consist of two groups: large submicron particles with predominant sizes from 50 to 200 nm and small nanoparticles with predominant sizes from 50 to 70 nm. The size of composite nanoparticles is within the same range as for particles of other powders, for example, Mo and Ni, obtained on the same equipment as in the prototype. However, in the prototype obtained materials containing nanoparticles of one substance. Silicon dioxide is formed as a result of oxidation of silicon due to oxygen in the air, which is present in small quantities in the evaporation, expansion chambers and filter chamber. In the absence of oxygen in the air in the chambers, as a result of the present production method, a silicon shell is created in this process.

Толщина покрытия из диоксида кремния по данным просвечивающей электронной микроскопии не более 12% от диаметра композитной наночастицы. На фиг.4 диаметр наночастицы 100 нм, а толщина оболочки от 10 нм до 12 нм.The thickness of the coating of silicon dioxide according to transmission electron microscopy is not more than 12% of the diameter of the composite nanoparticles. 4, the diameter of the nanoparticle is 100 nm, and the shell thickness is from 10 nm to 12 nm.

Для примера произведем оценку плотности мощности электронного пучка (Peff) для расплавления слитка кремния массой 50 г, площадью поперечного сечения 40 см2 и слитка меди массой 450 г, такой же площадью за время 10 с.Peff≈(P1+P2)·(k1+k2+k3+s)/t,For example, let us estimate the electron beam power density (P eff ) for melting a silicon ingot weighing 50 g, a cross-sectional area of 40 cm 2 and a copper ingot weighing 450 g, the same area for 10 s. P eff ≈ (P 1 + P 2 ) · (K1 + k2 + k3 + s) / t,

где P1=c1·m1·(tL1·tR)+λ1·m1;where P 1 = c 1 · m 1 · (t L1 · t R ) + λ 1 · m 1 ;

P2=c2·m2·(tL2·tR)+λ2·m2;P 2 = c 2 · m 2 · (t L2 · t R ) + λ 2 · m 2 ;

c1 - удельная теплоемкость меди;c 1 is the specific heat of copper;

c2 - удельная теплоемкость кремния;c 2 is the specific heat of silicon;

m1 - масса слитка меди;m 1 is the mass of the copper ingot;

m2 - масса слитка кремния;m 2 is the mass of the silicon ingot;

tL1 - температура плавления меди;t L1 is the melting temperature of copper;

tR - комнатная температура;t R is room temperature;

λ1 - удельная теплота плавления меди;λ 1 - specific heat of fusion of copper;

tL2 - температура плавления кремния;t L2 is the melting temperature of silicon;

tR - комнатная температура;t R is room temperature;

t=10 с - время облучения;t = 10 s is the exposure time;

λ2 - удельная теплота плавления кремния;λ 2 - specific heat of fusion of silicon;

k1≈0,03 (потери энергии электронов в воздухе);k1≈0.03 (energy loss of electrons in air);

k2≈0,02 (потери энергии электронов на излучение);k2≈0.02 (electron energy loss due to radiation);

k3≈0,l (потери энергии на отражение электронов);k3≈0, l (energy loss due to electron reflection);

s≈0,3 (тепловые потери вещества на ИК-излучение),s≈0.3 (thermal loss of matter due to infrared radiation),

тогда Peff≈15 кВт/см2.then P eff ≈15 kW / cm 2 .

Далее мощность пучка повышают, чтобы происходило испарение меди и кремния из расплава. Высокая скорость нагрева (выше 1000 град/с) обеспечивает одновременное испарение меди и кремния. Для примера произведем оценку требуемой плотности мощности электронного пучка Pieff для испарения однородного расплава меди (450 г) и кремния (50 г) общей массой 500 г за время 100 с.Further, the beam power is increased so that copper and silicon evaporate from the melt. High heating rate (above 1000 deg / s) provides simultaneous evaporation of copper and silicon. As an example, we estimate the required electron beam power density P ieff for the evaporation of a uniform melt of copper (450 g) and silicon (50 g) with a total mass of 500 g over a period of 100 s.

Рi=r1·m1+r2·m2,P i = r 1 · m 1 + r 2 · m 2 ,

где r1 - удельная теплота парообразования кремния;where r 1 is the specific heat of vaporization of silicon;

r2 - удельная теплота парообразования меди.r 2 - specific heat of vaporization of copper.

Тогда Piefi=Pi·(k1+k2+k3+s)/100≈25 кВт/см2.Then P iefi = P i · (k1 + k2 + k3 + s) / 100≈25 kW / cm 2 .

Параметры установки на стадии испарения веществ:Installation parameters at the stage of evaporation of substances:

Ускоряющее напряжение, МэВAccelerating voltage, MeV 1,41.4 Ток пучка, мАBeam current, mA 30thirty Мощность в пучке электронов, кВтPower in an electron beam, kW 4040

Плотность мощности электронов на поверхности расплава двух веществ при их испарении 25 кВт/см2.The power density of electrons on the melt surface of two substances during their evaporation is 25 kW / cm 2 .

В предлагаемом способе происходит следующий механизм образования композитных наночастиц. После испарения меди и кремния с жидкой поверхности расплава смешанные пары меди и кремния попадают в предлагаемом способе в поток газообразного аргона. Так как температура конденсации кремния (3249°С) выше, чем меди (2567°С), жидкие капельки кремния начинают образовываться в более холодной зоне, с температурой зоны образования капелек меди. Однако более высокое давление паров меди и сравнительно небольшая концентрация кремния не допускают образование чистых кремниевых капелек, а создаются кремниевые капельки, заполненные медным паром. Когда капельки приходят в более холодную зону, где температура равна температуре плавления диоксида кремния, композитные частицы, смешиваясь с кислородом воздуха, имеющегося в небольшом количестве в этой зоне, будут иметь структуру жидкой меди, покрытой твердой оболочкой диоксида кремния. Жидкая медь затвердевает в более холодной зоне соответствующей ее температуре плавления. Медьсодержащие композитные наночастицы по результатам атомноэмиссионной спектроскопии с индуцированной плазмой состоят из 6.34 мас.% Si и 88.9 мас.% Сu и содержат небольшое количество примесей (Са менее 0.04, Fe менее 0.04, Na менее 0.03, Ti менее 0.02 мас.%).In the proposed method, the following mechanism of formation of composite nanoparticles occurs. After the evaporation of copper and silicon from the liquid surface of the melt, mixed pairs of copper and silicon fall in the proposed method into a stream of gaseous argon. Since the condensation temperature of silicon (3249 ° C) is higher than that of copper (2567 ° C), liquid silicon droplets begin to form in the colder zone, with the temperature of the zone of formation of copper droplets. However, a higher vapor pressure of copper and a relatively low concentration of silicon do not allow the formation of pure silicon droplets, but silicon droplets filled with copper vapor are created. When droplets arrive in a colder zone, where the temperature is equal to the melting point of silicon dioxide, the composite particles, mixed with the oxygen in the air, which is present in small quantities in this zone, will have the structure of liquid copper coated with a solid shell of silicon dioxide. Liquid copper hardens in a colder zone corresponding to its melting point. According to the results of atomic emission spectroscopy with induced plasma, copper-containing composite nanoparticles consist of 6.34 wt.% Si and 88.9 wt.% Cu and contain a small amount of impurities (Ca less than 0.04, Fe less than 0.04, Na less than 0.03, Ti less than 0.02 wt.%).

Полученный порошок из композитных наночастиц является нанодисперсным и имеет характерную для меди красно-коричневую окраску, что свидетельствует о прозрачности оболочки из диоксида кремния. Данный порошок на воздухе при нормальных условиях не меняет эту окраску в течение сколь угодно долгого времени. Этот факт означает, что не происходит окисления ядер меди наночастиц в результате взаимодействия с окружающей средой.The obtained powder from composite nanoparticles is nanodispersed and has a red-brown color characteristic of copper, which indicates the transparency of the shell of silicon dioxide. This powder in air under normal conditions does not change this color for an arbitrarily long time. This fact means that there is no oxidation of the nuclei of copper nanoparticles as a result of interaction with the environment.

Таким образом, при реализации предложенного способа получен композитный нанопорошок, состоящий из слабоагломерированных наночастиц меди, покрытых тонкой прозрачной оболочкой из диоксида кремния. Положительный эффект - получены новые шаровидной формы композитные слабоагломерированные наночастицы с тонкой прозрачной оболочкой из диоксида кремния.Thus, when implementing the proposed method, a composite nanopowder was obtained, consisting of weakly agglomerated copper nanoparticles coated with a thin transparent shell of silicon dioxide. Positive effect - new spherical-shaped composite slightly agglomerated nanoparticles with a thin transparent shell of silicon dioxide were obtained.

Обоснование полученного нового вещества и его свойств.Justification of the obtained new substance and its properties.

Из микрофотографии просвечивающей электронной микроскопии (фиг.2) следует, что получены композитные медьсодержащие наночастицы, имеющие форму медных шариков (ядер) в тонкой оболочке из диоксида кремния, это следует из спектра EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) на фиг.5 и меньших по размеру частиц диоксида кремния. Контраст в цвете ядер и оболочки композитных наночастиц на микрофотографии обусловлен различием в атомных номерах меди и диоксида кремния. Меньшие по размеру частицы одинаковы по цвету оболочки, т.е. они являются частицами диоксида кремния. Нами на этой же установке проводилось получение чисто медных ультрадисперсных частиц расплавлением слитка меди электронным пучком и последующим испарением. Это подтверждается спектром EDS этих частиц на фиг.6. Из сравнения двух микрофотографий чистых медных и композитных медных частиц с оболочкой из диоксида кремния (фиг.2,7) видно, что степень агломерации композитных частиц значительно меньше, чем чистых медных, то есть оболочка из диоксида кремния действительно уменьшает агломерацию медных наночастиц. Фазовая структура медного ядра наночастицы смешанная - на фрагменте микрофотографии (фиг.4) видно присутствие дефектной кристаллической структуры и аморфной фазы. Фазовая структура оболочки наночастицы является аморфной: об этом свидетельствует отсутствие линий кремния или диоксида кремния на спектре рентгенофазового анализа композитного нанопорошка.From a photomicrograph of transmission electron microscopy (Fig. 2) it follows that composite copper-containing nanoparticles having the shape of copper balls (nuclei) in a thin shell of silicon dioxide are obtained, this follows from the EDS spectrum (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) in Fig. 5 and smaller particles of silicon dioxide. The contrast in the color of the nuclei and the shell of the composite nanoparticles in the micrograph is due to the difference in the atomic numbers of copper and silicon dioxide. Smaller particles are the same in color of the shell, i.e. they are particles of silicon dioxide. We at the same facility produced pure copper ultrafine particles by melting a copper ingot with an electron beam and subsequent evaporation. This is confirmed by the EDS spectrum of these particles in Fig.6. From a comparison of two micrographs of pure copper and composite copper particles with a shell of silicon dioxide (Fig.2,7) it is seen that the degree of agglomeration of composite particles is much less than pure copper, that is, a shell of silicon dioxide really reduces the agglomeration of copper nanoparticles. The phase structure of the copper core of the nanoparticle is mixed — the presence of a defective crystalline structure and an amorphous phase is visible in the photomicrograph fragment (Fig. 4). The phase structure of the nanoparticle shell is amorphous: this is evidenced by the absence of lines of silicon or silicon dioxide in the spectrum of x-ray phase analysis of the composite nanopowder.

Таким образом, результат проведенных исследований подтверждает, что при реализации предложенного способа получен новый нанодисперсный порошок, состоящий из медных слабоагломерированных наночастиц с тонкой прозрачной оболочкой из аморфного диоксида кремния.Thus, the result of the research confirms that when implementing the proposed method, a new nanodispersed powder was obtained, consisting of copper slightly agglomerated nanoparticles with a thin transparent shell of amorphous silicon dioxide.

Предлагаемое изобретение может быть использовано для получения металлсодержащих материалов, тонкопленочных композитных материалов, металлополимеров для разработки функциональных элементов в электронике, электротехнике, в оптике и для разработки эффективных каталитических систем.The present invention can be used to obtain metal-containing materials, thin-film composite materials, metal polymers for the development of functional elements in electronics, electrical engineering, optics and for the development of effective catalytic systems.

Список литературыBibliography

1. R.E.Camley, R.L.Stamps. Magnetic Multilayers // J.Phys. Condens. Matter. 1993. 15. P.3727.1. R.E. Camley, R. L. Stamps. Magnetic Multilayers // J.Phys. Condens. Matter. 1993.15. P.3727.

2. Y.Liu, Y.Chu, Y.Zhuo, L.Dong, L.Li, and M.Li. Controlled synthesis of various hollow Cu nano/micro structures via a novel reduction route // Advanced functional materials. 2007. 17. P.933-938.2. Y. Liu, Y. Chu, Y. Zhuo, L. Dong, L. Li, and M. Li. Controlled synthesis of various hollow Cu nano / micro structures via a novel reduction route // Advanced functional materials. 2007.17. P.933-938.

3. Лернер И.М. Формирование наночастиц при воздействии на металлический проводник импульса тока большой мощности //Журнал структурной химии. 2004. Т.45.С.112-115.3. Lerner I.M. The formation of nanoparticles when exposed to a metal conductor of a current pulse of high power // Journal of structural chemistry. 2004.V.45.C.112-115.

4. NQ.Wu, L.Z.Su, M.Y.Yuan, Y.Y.Liu, J.M.Wu, Z.Z.Li. Preparation and microstructure of nano-sized Cu particles by mechanochemical reaction // Transactions ofnonferrous metals society of China. 8 (4): 1998. P.610-612.4. NQ.Wu, L.Z.Su, M.Y.Yuan, Y.Y. Liu, J.M. Wu, Z.Z. Li. Preparation and microstructure of nano-sized Cu particles by mechanochemical reaction // Transactions ofnonferrous metals society of China. 8 (4): 1998. P.610-612.

Claims (1)

Способ получения композитного нанопорошка, включающий нагрев вещества релятивистским пучком электронов при атмосферном давлении до парофазного состояния, конденсацию путем охлаждения паров в потоке газа и разделение образовавшейся двухфазной системы, отличающийся тем, что нагреву подвергают два одноэлементных вещества, образующих при нагреве однородный расплав, при конденсации паров которого образуются частицы твердого композитного нанопорошка типа ядро-оболочка, причем температура конденсации одного вещества ниже температуры конденсации второго вещества и выше максимальной температуры плавления обоих веществ, при этом нагрев производят поэтапно, предварительно - до получения однородного расплава, затем - путем увеличения мощности пучка электронов до парофазного состояния. A method of producing a composite nanopowder, comprising heating a substance with a relativistic electron beam at atmospheric pressure to a vapor phase state, condensation by cooling the vapor in a gas stream and separating the resulting two-phase system, characterized in that two single-element substances are heated, forming a uniform melt upon heating, upon vapor condensation which forms particles of a solid composite nanopowder of the core-shell type, and the condensation temperature of one substance is lower than ndensatsii second material and higher than the maximum melting temperature of both substances, wherein heat produced in stages previously - to obtain a homogeneous melt, and then - by increasing the power of the electron beam to the vapor state.
RU2009103548/02A 2009-02-03 2009-02-03 Method of producing composite nanopowders RU2412784C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009103548/02A RU2412784C2 (en) 2009-02-03 2009-02-03 Method of producing composite nanopowders

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009103548/02A RU2412784C2 (en) 2009-02-03 2009-02-03 Method of producing composite nanopowders

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009103548A RU2009103548A (en) 2010-08-10
RU2412784C2 true RU2412784C2 (en) 2011-02-27

Family

ID=42698724

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009103548/02A RU2412784C2 (en) 2009-02-03 2009-02-03 Method of producing composite nanopowders

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2412784C2 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461445C1 (en) * 2011-03-11 2012-09-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Method of increasing stored power in metal nanopowders
RU2556168C1 (en) * 2014-04-10 2015-07-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской академии наук (ИХТТМ СО РАН) Method of producing silver-modified powdered copper
RU2582870C2 (en) * 2014-07-16 2016-04-27 Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") Method of producing ferromagnetic metal nanoparticles with solid insulation
RU2693989C1 (en) * 2018-08-21 2019-07-08 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of producing structurally gradient powder materials (versions)
RU2725457C1 (en) * 2019-09-04 2020-07-02 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of producing structurally gradient and dispersion-strengthened powder materials (versions)
RU2727436C1 (en) * 2019-08-01 2020-07-21 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" Method for synthesis of powders with core-shell structure
RU2798139C1 (en) * 2022-03-16 2023-06-15 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук Method for obtaining brass nanoparticles

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461445C1 (en) * 2011-03-11 2012-09-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Method of increasing stored power in metal nanopowders
RU2556168C1 (en) * 2014-04-10 2015-07-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела и механохимии Сибирского отделения Российской академии наук (ИХТТМ СО РАН) Method of producing silver-modified powdered copper
RU2582870C2 (en) * 2014-07-16 2016-04-27 Акционерное общество "Государственный Ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (АО "ГНИИХТЭОС") Method of producing ferromagnetic metal nanoparticles with solid insulation
RU2693989C1 (en) * 2018-08-21 2019-07-08 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of producing structurally gradient powder materials (versions)
RU2727436C1 (en) * 2019-08-01 2020-07-21 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" Method for synthesis of powders with core-shell structure
RU2725457C1 (en) * 2019-09-04 2020-07-02 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of producing structurally gradient and dispersion-strengthened powder materials (versions)
RU2798139C1 (en) * 2022-03-16 2023-06-15 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук Method for obtaining brass nanoparticles
RU2803989C1 (en) * 2022-12-26 2023-09-25 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ") Method for obtaining a colloidal solution of composite nanoparticles
RU2821525C1 (en) * 2023-11-29 2024-06-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук METHOD OF PRODUCING COMPOSITE NANOPOWDER ZrB2 - SiC

Also Published As

Publication number Publication date
RU2009103548A (en) 2010-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kim et al. Nanofabrication by thermal plasma jets: From nanoparticles to low-dimensional nanomaterials
RU2412784C2 (en) Method of producing composite nanopowders
US6689192B1 (en) Method for producing metallic nanoparticles
RU2489232C1 (en) Method of producing metal nano-sized powders
Malekzadeh et al. Vapor-phase production of nanomaterials
KR101173847B1 (en) Nanoparticle fabricated by using carbon nanotubes and fabrication method thereof
TW200829351A (en) Ultrafine alloy particles, and process for producing the same
Saba et al. Pulsed current field assisted surface modification of carbon nanotubes with nanocrystalline titanium carbide
US9166170B1 (en) Apparatus for producing carbon-coated nanoparticles and carbon nanospheres
US8642139B2 (en) Process to make structured particles
Seto et al. Laser ablation synthesis of monodispersed magnetic alloy nanoparticles
Kuskov et al. Combined equipment for synthesis of ultrafine metals and metal compounds powders via Flow-Levitation and crucible methods.
Samokhin et al. Nanopowders production and micron-sized powders spheroidization in DC plasma reactors
Kylián et al. Plasma-assisted gas-phase aggregation of clusters for functional nanomaterials
KR101174136B1 (en) Method for Synthesis and Morphological Control of Carbon Nanotubes
Subramanian et al. A novel technique for synthesis of silver nanoparticles by laser-liquid interaction
Zhao et al. Synthesis and characterization of nanoscale tungsten particles with hollow superstructure using spray drying combined with calcination process
Nomoev et al. Synthesis and structure of Ag-Si nanoparticles obtained by the electron-beam evaporation/condensation method
RU2707455C1 (en) Tungsten-based pseudoalloy powder and method of its production
RU2693989C1 (en) Method of producing structurally gradient powder materials (versions)
JP6744730B2 (en) Method for producing fine metal particles
WO2021100320A1 (en) Microparticles
RU2582870C2 (en) Method of producing ferromagnetic metal nanoparticles with solid insulation
Boskovic et al. A novel approach for complex oxide nanoparticle production: A glowing multi-wire generator synthesis
Rukhadze et al. Magnetic carbon nanopowders

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120204