RU2397440C1 - Device for measuring angular displacements - Google Patents

Device for measuring angular displacements Download PDF

Info

Publication number
RU2397440C1
RU2397440C1 RU2009110856/28A RU2009110856A RU2397440C1 RU 2397440 C1 RU2397440 C1 RU 2397440C1 RU 2009110856/28 A RU2009110856/28 A RU 2009110856/28A RU 2009110856 A RU2009110856 A RU 2009110856A RU 2397440 C1 RU2397440 C1 RU 2397440C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
output
input
adder
analog
transformer
Prior art date
Application number
RU2009110856/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Александр Константинович Тыщенко (RU)
Александр Константинович Тыщенко
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева" filed Critical Открытое акционерное общество "Информационные спутниковые системы" имени академика М.Ф. Решетнева"
Priority to RU2009110856/28A priority Critical patent/RU2397440C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2397440C1 publication Critical patent/RU2397440C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: device has two transformer angle sensors. The output of each sensor is connected to series-connected differential amplifier, storage sampling device, analogue-to-digital converter and register. The outputs of the registers are connected to inputs of an adder. The output of the adder is connected to a data register. Outputs of the control unit are connected to second inputs of the storage sampling devices, analogue-to-digital converters, registers, adder and data register.
EFFECT: higher measurement accuracy owing to reduced errors caused by offset of the rotation axis of conversion of the device for measuring angular displacements, less requirements for accuracy of actuation and rigidity of mechanical assemblies.
1 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения угловых перемещений различных объектов, а именно, для преобразования ограниченного угла поворота вала в код, когда нецелесообразно применять сложные, полнооборотные и дорогие датчики (редуктосины, СКВТ и пр.).The invention relates to measuring equipment and can be used to measure the angular displacements of various objects, namely, to convert a limited angle of rotation of the shaft into a code, when it is impractical to use complex, full-speed and expensive sensors (gear reducers, high-speed drives, etc.).

Известен преобразователь перемещений (В.Г.Домрачев, В.Р.Матвеевский, Ю.С.Смирнов, Схемотехника цифровых преобразователей перемещений, М., Энергоатомиздат, 1987, с.58), содержащий П-образный магнитопровод, выходные обмотки которого соединены с элементами сравнения СС1.СС2.СС3, выходы которых подключены к шифратору Ш, содержащему элементы НЕ1, НЕ2, НЕ3 и И1, И2, И3, на выходах которых формируется позиционный код перемещения.A known displacement transducer (V.G.Domrachev, V.R.Matveevsky, Yu.S. Smirnov, Circuit design of digital displacement transducers, M., Energoatomizdat, 1987, p. 58), containing a U-shaped magnetic circuit, the output windings of which are connected to comparison elements CC1.CC2.CC3, the outputs of which are connected to the encoder Ш, containing elements HE1, HE2, HE3 and I1, I2, I3, at the outputs of which a positional displacement code is generated.

Недостатком данного преобразователя является низкая точность преобразования, обусловленная большой дискретностью измерения.The disadvantage of this Converter is the low accuracy of the conversion, due to the large discreteness of measurement.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для измерения угловых перемещений по RU 2313764 С1, 27.12.2007. МПК: G01B 7/30, содержащий формирователь синусоиды, трансформаторный датчик угла, дифференциальный усилитель, устройство выборки-хранения, аналого-цифровой преобразователь, регистр данных, блок управления и синхронизации и генератор.Closest to the proposed is a device for measuring angular displacements according to RU 2313764 C1, 12/27/2007. IPC: G01B 7/30, containing a sinusoid shaper, a transformer angle sensor, a differential amplifier, a sampling-storage device, an analog-to-digital converter, a data register, a control and synchronization unit, and a generator.

Это устройство выбрано в качестве прототипа.This device is selected as a prototype.

Недостатком этого устройства является погрешность, обусловленная радиальным смещением оси вращения чувствительного элемента трансформаторного датчика угла.The disadvantage of this device is the error due to the radial displacement of the axis of rotation of the sensing element of the transformer angle sensor.

Задачей настоящего изобретения является повышение точности преобразования устройства для измерения угловых перемещений за счет уменьшения погрешности, вызванной радиальным смещением оси вращения чувствительного элемента трансформаторного датчика угла. Уменьшение погрешности осуществляется с помощью установки второго трансформаторного датчика угла и схемы компенсации.The present invention is to improve the accuracy of the conversion of the device for measuring angular displacements by reducing the error caused by the radial displacement of the axis of rotation of the sensor element of the transformer angle sensor. The error is reduced by installing a second transformer angle sensor and a compensation circuit.

Для достижения поставленной задачи в устройство для измерения угловых перемещений, содержащее генератор, выход которого соединен с входом блока управления и синхронизации, первый выход которого соединен с входом формирователя синусоиды, выход которого соединен с входом первого трансформаторного датчика угла, первый и второй выходы которого соединены соответственно с первым и вторым входами первого дифференциального усилителя, выход которого соединен с первым входом первого устройства выборки-хранения, выход которого соединен с первым входом первого аналого-цифрового преобразователя, введены второй трансформаторный датчик угла, второй дифференциальный усилитель, второе устройство выборки-хранения, второй аналого-цифровой преобразователь, сумматор, первый и второй регистры, первые входы которых соединены с выходами первого и второго аналого-цифровых преобразователей соответственно, а выход первого регистра соединен с первым входом сумматора, выход второго регистра соединен со вторым входом сумматора, выход которого соединен с первым входом регистра данных, второй вход которого соединен с седьмым выходом блока управления и синхронизации, второй выход которого соединен со вторым входом первого устройства выборки-хранения, третий выход соединен со вторым входом первого регистра данных, четвертый выход соединен со вторым входом первого аналого-цифрового преобразователя, пятый выход соединен со вторым входом второго регистра, шестой выход соединен с третьим входом сумматора, восьмой выход соединен со вторым входом второго аналого-цифрового преобразователя, девятый выход соединен со вторым входом второго устройства выборки-хранения, выход которого соединен с первым входом второго аналого-цифрового преобразователя, а вход соединен с выходом второго дифференциального усилителя, первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вторым выходом второго трансформаторного датчика угла, вход которого соединен с выходом формирователя синусоиды.To achieve this goal, a device for measuring angular displacements, containing a generator, the output of which is connected to the input of the control and synchronization unit, the first output of which is connected to the input of the sine wave shaper, the output of which is connected to the input of the first transformer angle sensor, the first and second outputs of which are connected respectively with the first and second inputs of the first differential amplifier, the output of which is connected to the first input of the first sampling-storage device, the output of which is connected to the first the first input of the first analog-to-digital converter, the second transformer angle sensor, the second differential amplifier, the second sampling-storage device, the second analog-to-digital converter, adder, the first and second registers, the first inputs of which are connected to the outputs of the first and second analog-to-digital converters, are introduced respectively, and the output of the first register is connected to the first input of the adder, the output of the second register is connected to the second input of the adder, the output of which is connected to the first input of the data register, second whose input is connected to the seventh output of the control and synchronization unit, the second output of which is connected to the second input of the first sample-storage device, the third output is connected to the second input of the first data register, the fourth output is connected to the second input of the first analog-to-digital converter, the fifth output is connected with the second input of the second register, the sixth output is connected to the third input of the adder, the eighth output is connected to the second input of the second analog-to-digital converter, the ninth output is connected to the second input m of the second sampling-storage device, the output of which is connected to the first input of the second analog-to-digital converter, and the input is connected to the output of the second differential amplifier, the first and second inputs of which are connected respectively to the first and second output of the second transformer angle sensor, the input of which is connected to the output shaper of a sinusoid.

Суть изобретения поясняется чертежами, где на фиг.1 изображена блок-схема устройства для измерения угловых перемещений, на фиг.2 - эпюры напряжений устройства для измерения угловых перемещений и на фиг.3 - первый и второй трансформаторные датчики угла.The essence of the invention is illustrated by drawings, in which Fig. 1 shows a block diagram of a device for measuring angular displacements, Fig. 2 - diagrams of voltages of a device for measuring angular displacements, and Fig. 3 - first and second transformer angle sensors.

Устройство для измерения угловых перемещений содержит формирователь 1 синусоиды, первый трансформаторный датчик 2 угла, второй трансформаторный датчик 3 угла, дифференциальные усилители 4 и 7, устройства выборки-хранения 5 и 8, аналого-цифровые преобразователи 6 и 9, регистры 10 и 11, сумматор 12, регистр 13 данных, генератор 14 и блок управления и синхронизации 15.The device for measuring angular displacements contains a sinusoid driver 1, a first angle transformer 2, a second angle transformer 3, differential amplifiers 4 and 7, sample-storage devices 5 and 8, analog-to-digital converters 6 and 9, registers 10 and 11, an adder 12, a data register 13, a generator 14, and a control and synchronization unit 15.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

На фиг.1 показано, что на входы первого трансформаторного датчика 2 угла и второго трансформаторного датчика 3 угла подается синусоидальное напряжение с выхода формирователя 1 синусоиды. Трансформаторные датчики угла работают по принципу размыкания электромагнитного поля. Каждый датчик состоит из магнитного сердечника с зазором, в котором перемещается чувствительный элемент - медный виток, обладающий большой электрической проводимостью. Перемещение чувствительного элемента вызывает изменение величины наводимых в нем вихревых токов. При этом изменяется индуктивная связь между первичной обмоткой, расположенной на центральном сердечнике, и выходными обмотками. Если виток находится в нулевом положении, как показано, напряжение на выходе датчика, равное разности напряжений на выходных обмотках, будет равно нулю, т.к. выходные обмотки включены встречно и напряжения на выходных обмотках будут равны между собой по амплитуде и противоположны по фазе. Когда чувствительный элемент начнет вращаться, напряжение на выходе трансформаторного датчика 2 угла и трансформаторного датчика 3 угла изменяется пропорционально α - углу поворота витка.Figure 1 shows that at the inputs of the first transformer angle sensor 2 and the second transformer angle sensor 3, a sinusoidal voltage is supplied from the output of the sine wave former 1. Transformer angle sensors operate on the principle of opening the electromagnetic field. Each sensor consists of a magnetic core with a gap in which the sensing element moves - a copper coil with high electrical conductivity. The movement of the sensing element causes a change in the magnitude of the eddy currents induced in it. In this case, the inductive coupling between the primary winding located on the central core and the output windings changes. If the coil is in the zero position, as shown, the voltage at the output of the sensor, equal to the voltage difference at the output windings, will be zero, because output windings are turned on and the voltage at the output windings will be equal in amplitude and opposite in phase. When the sensor starts to rotate, the voltage at the output of the transformer angle sensor 2 and the transformer angle sensor 3 changes in proportion to α - the rotation angle of the coil.

Полярность выходного напряжения определяется направлением отклонения витка от нулевого положения.The polarity of the output voltage is determined by the direction of the deviation of the coil from the zero position.

Выходные синусоидальные напряжения трансформаторного датчика 2 угла и трансформаторного датчика 3 угла подаются на входы дифференциальных усилителей 4 и 7 соответственно. Усиленные до необходимой величины напряжения с выходов дифференциальных усилителей 4 и 7 поступают на входы устройств выборки-хранения 5 и 8 соответственно.The output sinusoidal voltage of the transformer angle sensor 2 and the transformer angle sensor 3 are fed to the inputs of the differential amplifiers 4 and 7, respectively. Amplified to the required magnitude of the voltage from the outputs of the differential amplifiers 4 and 7 go to the inputs of the sampling and storage devices 5 and 8, respectively.

С помощью блока управления и синхронизации 15 в устройстве выборки-хранения 5 и 8 происходит запоминание значений выходных напряжений первого трансформаторного датчика 2 угла Uтду1 и второго трансформаторного датчика 3 угла Uтду2 соответственно. Напряжения Uувx1 и Uувx2 с выходов устройств выборки-хранения 5 и 8 поступают на входы аналого-цифровых преобразователей 6 и 9 соответственно, где преобразуются в цифровые коды Nтду1=f(α) и Nтду2=f(α), являющиеся функцией от α - угла поворота витка.Using the control and synchronization unit 15 in the sample-storage device 5 and 8, the values of the output voltages of the first transformer sensor 2 of the angle Utdu1 and the second transformer sensor 3 of the angle Utdu2 respectively are stored. The voltages Uvx1 and Uvx2 from the outputs of the sample-storage devices 5 and 8 are supplied to the inputs of analog-to-digital converters 6 and 9, respectively, where they are converted into digital codes Ntdu1 = f (α) and Ntdu2 = f (α), which are a function of α - angle turning a turn.

Может возникнуть ситуация, когда на ось вращения чувствительного элемента начнет воздействовать сила F, направленная по радиусу в определенном направлении. Предположим, что направление силы F совпадает с осью Y. Ось вращения вместе с чувствительным элементом, при наличии осевого люфта или деформации, может сместиться по оси Y. Как видно из фиг.3, чувствительный элемент сместится для верхнего трансформаторного датчика 2 угла дальше от нулевого положения, т.е. в сторону увеличения модуля угла, а для нижнего трансформаторного датчика 3 угла ближе к нулевому положению, т.е. в сторону уменьшения модуля угла. Вместе со смещением оси изменится и напряжение на выходе трансформаторных датчиков угла. При симметричном расположении трансформаторных датчиков угла, смещение оси вращения, а с ней и чувствительного элемента, показанное на фиг.3, по отношению к каждому из трансформаторных датчиков угла будет равно по величине и противоположно по знаку. В результате смещения оси, Uсм - изменения выходных напряжений Uтду1 и Uтду2 так же будут равны по величине и противоположны по знаку.A situation may arise when the force F, directed along the radius in a certain direction, starts to act on the rotation axis of the sensor. Suppose that the direction of the force F coincides with the Y axis. The axis of rotation together with the sensor element, in the presence of axial play or deformation, can shift along the Y axis. As can be seen from Fig. 3, the sensor element is shifted further from the zero angle for the upper transformer sensor 2 provisions, i.e. in the direction of increasing the modulus of the angle, and for the lower transformer sensor 3 the angle is closer to the zero position, i.e. in the direction of decreasing the modulus of the angle. Together with the axis offset, the voltage at the output of the transformer angle sensors will also change. With a symmetrical arrangement of transformer angle sensors, the displacement of the axis of rotation, and with it the sensing element, shown in figure 3, with respect to each of the transformer angle sensors will be equal in magnitude and opposite in sign. As a result of the displacement of the axis, Ucm - changes in the output voltages Utdu1 and Utdu2 will also be equal in magnitude and opposite in sign.

Выходные напряжения устройств выборки-хранения Uувx1=Uном+Uсм и Uувх2=Uном-Uсм поступают на вход аналого-цифровых преобразователей 6 и 9, где преобразуются в цифровые коды N1=Nном+Nсм и N2=Nном - Nсм, пропорциональные углу поворота α. Число N1 записывается в первый регистр 10, а число N2 записывается во второй регистр 11. С выходов регистров 10 и 11 цифровые коды N1 и N2 поступают на входы сумматора 12. В сумматоре 12 они складываются и полученная сумма записывается в регистр 13 данных. Путем отбрасывания младшего разряда на выходе регистра 13 данных эта сумма делится на два. На выходе устройства появляется число Nвых, пропорциональное измеряемому углу поворота α. Затем регистры обнуляются и в следующем цикле измерения вычисляется следующее числовое значение Nвых. В результате этих вычислений происходит компенсация ошибки измерения, вызванной смещением оси вращения, т.к. числа Nсм входят в N1 и N2 с разными знаками и после сложения в сумматоре 12 взаимно уничтожаются:The output voltages of the sampling and storage devices Uvx1 = Unom + Ucm and Uavh2 = Unom-Usm are input to analog-to-digital converters 6 and 9, where they are converted into digital codes N1 = Nnom + Ncm and N2 = Nnom - Ncm, proportional to the angle of rotation α. The number N1 is recorded in the first register 10, and the number N2 is written in the second register 11. From the outputs of the registers 10 and 11, the digital codes N1 and N2 are fed to the inputs of the adder 12. In the adder 12 they are added and the resulting amount is written into the data register 13. By discarding the least significant bit at the output of the data register 13, this amount is divided into two. At the output of the device, the number Nout appears, proportional to the measured angle of rotation α. Then the registers are reset and in the next measurement cycle the next numerical value of Nout is calculated. As a result of these calculations, the compensation of the measurement error caused by the displacement of the axis of rotation occurs, because the numbers Ncm are included in N1 and N2 with different signs and after addition in the adder 12 are mutually destroyed:

Figure 00000001
,
Figure 00000001
,

где Nвых - число на выходе устройства, пропорциональное углу поворота α;where Nout - the number at the output of the device, proportional to the angle of rotation α;

N1 - число, соответствующее измеряемому напряжению на выходе первого трансформаторного датчика 2 угла;N1 is the number corresponding to the measured voltage at the output of the first angle transformer 2;

N2 - число, соответствующее измеряемому напряжению на выходе второго трансформаторного датчика 3 угла;N2 is the number corresponding to the measured voltage at the output of the second angle transformer 3;

Nном - число, соответствующее измеряемому углу поворота без ошибки, вызванной смещением оси вращения;Nnom is the number corresponding to the measured angle of rotation without error caused by the displacement of the axis of rotation;

Nсм - число, соответствующее напряжению смещения.Ncm is the number corresponding to the bias voltage.

Таким образом, с помощью предложенного устройства, содержащего дополнительный трансформаторный датчик 3 угла и схему компенсации, уменьшается погрешность измерения угла поворота вала, вызванная смещением в определенном направлении оси вращения. Необходимо предварительно развернуть трансформаторные датчики угла относительно оси вращения так, чтобы компенсация погрешности была наиболее максимальной.Thus, using the proposed device, containing an additional transformer angle sensor 3 and a compensation circuit, the error in measuring the angle of rotation of the shaft caused by the displacement in a certain direction of the axis of rotation is reduced. It is necessary to first deploy transformer angle sensors relative to the axis of rotation so that the error compensation is the most maximum.

Процессы формирования синусоиды, выборки-хранения и аналого-цифрового преобразования, записи в регистры и суммирования синхронизированы частотой генератора 14 с помощью блока управления и синхронизации 15.The processes of forming a sinusoid, sample-storage and analog-to-digital conversion, writing to registers and summing are synchronized by the frequency of the generator 14 using the control unit and synchronization 15.

Уменьшение ошибки измерения с помощью введения дополнительного трансформаторного датчика 3 угла и схемы компенсации позволило существенно повысить точность измерения угла, снизить требования к точности исполнения и жесткости механических узлов, снизив стоимость устройства.Reducing the measurement error by introducing an additional transformer angle sensor 3 and the compensation scheme made it possible to significantly increase the accuracy of measuring the angle, reduce the requirements for precision and rigidity of mechanical components, reducing the cost of the device.

Из известных заявителю патентно-информационных материалов не обнаружены признаки, сходные с совокупностью признаков заявляемого объекта.Of the patent information materials known to the applicant, no signs were found that are similar to the totality of the features of the claimed object.

Данное устройство испытано на макетном образце. Результаты испытаний свидетельствуют о достижении поставленной задачи. ОАО «ИСС» предполагает использовать это техническое решение на штатных изделиях.This device has been tested on a prototype. The test results indicate the achievement of the task. ISS OJSC intends to use this technical solution on standard products.

Claims (1)

Устройство для измерения угловых перемещений, содержащее генератор, выход которого соединен с входом блока управления и синхронизации, первый выход которого соединен с входом формирователя синусоиды, выход которого соединен с входом первого трансформаторного датчика угла, первый и второй выходы которого соединены соответственно с первым и вторым входами первого дифференциального усилителя, выход которого соединен с первым входом первого устройства выборки-хранения, выход которого соединен с первым входом первого аналого-цифрового преобразователя, отличающееся тем, что в него введены второй трансформаторный датчик угла, второй дифференциальный усилитель, второе устройство выборки хранения, второй аналого-цифровой преобразователь, сумматор, первый и второй регистры, первые входы которых соединены с выходами первого и второго аналого-цифровых преобразователей соответственно, а выход первого регистра соединен с первым входом сумматора, выход второго регистра соединен со вторым входом сумматора, выход которого соединен с первым входом регистра данных, второй вход которого соединен с седьмым выходом блока управления и синхронизации, второй выход которого соединен со вторым входом первого устройства выборки-хранения, третий выход соединен со вторым входом первого регистра данных, четвертый выход соединен со вторым входом первого аналого-цифрового преобразователя, пятый выход соединен со вторым входом второго регистра, шестой выход соединен с третьим входом сумматора, восьмой выход соединен со вторым входом второго аналого-цифрового преобразователя, девятый выход соединен со вторым входом второго устройства выборки-хранения, выход которого соединен с первым входом второго аналого-цифрового преобразователя, а первый вход соединен с выходом второго дифференциального усилителя, первый и второй входы которого соединены соответственно с первым и вторым выходом второго трансформаторного датчика угла, вход которого соединен с выходом формирователя синусоиды. A device for measuring angular displacements, comprising a generator, the output of which is connected to the input of the control and synchronization unit, the first output of which is connected to the input of the sine wave shaper, the output of which is connected to the input of the first transformer angle sensor, the first and second outputs of which are connected to the first and second inputs, respectively the first differential amplifier, the output of which is connected to the first input of the first sampling-storage device, the output of which is connected to the first input of the first analog-to-digital converter, characterized in that a second transformer angle sensor, a second differential amplifier, a second storage sampling device, a second analog-to-digital converter, an adder, first and second registers, the first inputs of which are connected to the outputs of the first and second analog-to-digital converters, respectively, are introduced into it and the output of the first register is connected to the first input of the adder, the output of the second register is connected to the second input of the adder, the output of which is connected to the first input of the data register, the second input to the second output is connected to the second input of the first data register, the fourth output is connected to the second input of the first analog-to-digital converter, the fifth output is connected to the second the second register input, the sixth output is connected to the third input of the adder, the eighth output is connected to the second input of the second analog-to-digital converter, the ninth output is connected to the second input of the second sample-storage device, the output of which is connected to the first input of the second analog-to-digital converter, and the first input is connected to the output of the second differential amplifier, the first and second inputs of which are connected respectively to the first and second output of the second transformer angle sensor, the input of which is connected to the output of the shaper sine waves.
RU2009110856/28A 2009-03-24 2009-03-24 Device for measuring angular displacements RU2397440C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009110856/28A RU2397440C1 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Device for measuring angular displacements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009110856/28A RU2397440C1 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Device for measuring angular displacements

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2397440C1 true RU2397440C1 (en) 2010-08-20

Family

ID=46305570

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009110856/28A RU2397440C1 (en) 2009-03-24 2009-03-24 Device for measuring angular displacements

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2397440C1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Kumar et al. Technologies and applications of angle sensors: A review
KR101476564B1 (en) Magnetic multi-turn absolute position detection device
Wu et al. A rotary encoder with an eccentrically mounted ring magnet
Zhang et al. A novel absolute angular position sensor based on electromagnetism
JP6414936B2 (en) Multi-turn absolute magnetic encoder
JP6043721B2 (en) Improved position sensor
JP7023872B2 (en) Position encoder
JP6072234B2 (en) Magnetic position detecting device and magnetic position detecting method
JPH0626884A (en) Position detection device
Zhang et al. A method for measurement of absolute angular position and application in a novel electromagnetic encoder system
US20190120660A1 (en) Compact pseudorandom scale and read head for an inductive type absolute position encoder
Wang et al. Sensing mechanism of a rotary magnetic encoder based on time grating
WO2010124580A1 (en) Position detecting device and signal processing device and method thereof
US9587963B2 (en) Brushless linear rotary transformer
Wang et al. An angle displacement sensor using a simple gear
CN101287964B (en) Method for signal processing of capacitive measurement scales
RU2397440C1 (en) Device for measuring angular displacements
RU2369834C1 (en) Device for measurement of angular shifts
RU2313764C1 (en) Arrangement for measuring angular displacements
RU2386923C1 (en) Device for measurement of angular displacements
JP2008064498A (en) Electromagnetic induction encoder
EP2534451B1 (en) Device for angular measures equipped with rotary member
RU2386924C2 (en) Device for measurement of angular displacements
Wu et al. An Inductive Sensor for the Angular Displacement Measurement of Large and Hollow Rotary Machinery
JP2010223595A (en) Position detection device

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160325