RU2389032C2 - Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object - Google Patents

Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object Download PDF

Info

Publication number
RU2389032C2
RU2389032C2 RU2008130494/28A RU2008130494A RU2389032C2 RU 2389032 C2 RU2389032 C2 RU 2389032C2 RU 2008130494/28 A RU2008130494/28 A RU 2008130494/28A RU 2008130494 A RU2008130494 A RU 2008130494A RU 2389032 C2 RU2389032 C2 RU 2389032C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sample
measuring probe
scanning
drive
probe
Prior art date
Application number
RU2008130494/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2008130494A (en
Inventor
Антон Евгеньевич Ефимов (RU)
Антон Евгеньевич Ефимов
Мюллер Мартин (CH)
Мюллер Мартин
Надежда Борисовна Мацко (AT)
Надежда Борисовна Мацко
Original Assignee
Антон Евгеньевич Ефимов
Мюллер Мартин
Надежда Борисовна Мацко
Соколов Дмитрий Юрьевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Антон Евгеньевич Ефимов, Мюллер Мартин, Надежда Борисовна Мацко, Соколов Дмитрий Юрьевич filed Critical Антон Евгеньевич Ефимов
Priority to RU2008130494/28A priority Critical patent/RU2389032C2/en
Publication of RU2008130494A publication Critical patent/RU2008130494A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2389032C2 publication Critical patent/RU2389032C2/en

Links

Images

Abstract

FIELD: physics.
SUBSTANCE: scanning probe microscope which is combined with a device for modifying the surface of an object includes a platform on which there is a die with a first actuator and a specimen moving mechanism with a second actuator, a scanning device, a measuring probe with a holder and a control unit. The scanning device is mounted on the specimen moving mechanism, and the specimen is attached to the scanning device.
EFFECT: increased resolution of the device.
18 cl, 8 dwg

Description

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно, к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), атомно-силового микроскопа (АСМ) и близкопольного оптического микроскопа (БОМ).The invention relates to measuring technique, and more specifically, to measuring devices using a scanning probe microscope (SPM) of the relief, linear dimensions and physical characteristics of the surface of objects in the modes of a scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) and near-field optical microscope (BOM).

Известен сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включающий платформу, на которой установлен пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, содержащее измерительный зонд с держателем и блок управления [1, 2].Known scanning probe microscope, combined with a device for modifying the surface of an object, including a platform on which a punch with a first drive and a sample movement mechanism with a second drive are mounted, a scanning device containing a measuring probe with a holder and a control unit [1, 2].

Основной недостаток описанного изделия заключается в размещении зонда на сканирующем устройстве, что усложняет процесс измерения и соответственно снижает его разрешение.The main disadvantage of the described product is the placement of the probe on the scanning device, which complicates the measurement process and accordingly reduces its resolution.

Технический результат изобретения заключается в повышении разрешения устройства.The technical result of the invention is to increase the resolution of the device.

Указанный технический результат заключается в том, что в сканирующем зондовом микроскопе, совмещенном с устройством модификации поверхности объекта, включающем платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления, сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве.The specified technical result consists in the fact that in a scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object, including a platform on which a punch with a first drive and a sample transfer mechanism with a second drive are installed, a scanning device, a measuring probe with a holder and a control unit, scanning the device is mounted on a sample moving mechanism, and the sample is mounted on a scanning device.

Существует вариант, в котором образец сопряжен с первым оптическим блоком, а оптический блок выполнен в виде оптического микроскопа.There is an option in which the sample is paired with the first optical unit, and the optical unit is made in the form of an optical microscope.

Возможен вариант, в котором измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием и (или) в виде кварцевого резонатора с острием, закрепленным на нем посредством гибкой консоли.A variant is possible in which the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with a tip and (or) in the form of a quartz resonator with a tip fixed to it by means of a flexible console.

Существует также вариант, где гибкая консоль параллельна плечу кварцевого резонатора и (или) перпендикулярна плечу кварцевого резонатора.There is also an option where the flexible console is parallel to the arm of the quartz resonator and (or) perpendicular to the arm of the quartz resonator.

Возможны также варианты, где измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора со световодом, совмещенным со вторым оптическим блоком, острие выполнено электропроводящим и подключено к блоку управления, измерительный зонд выполнен в виде электропроводящей иглы, подключенной к блоку управления, сканирующее устройство сопряжено с упором, установленным на механизме перемещения образца, упор выполнен подвижным, измерительный зонд снабжен третьим приводом и расположен на платформе с возможностью подвижки относительно образца, сканирующее устройство снабжено четвертым приводом и расположено с возможностью подвижки относительно измерительного зонда, измерительный зонд снабжен четвертым приводом и расположен на механизме перемещения образца с возможностью подвижки относительно образца, держатель измерительного зонда имеет возможность механического сопряжения с механизмом движения образца.There are also options where the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with the optical fiber combined with the second optical unit, the tip is made electrically conductive and connected to the control unit, the measuring probe is made in the form of an electrically conductive needle connected to the control unit, the scanning device is paired with a stop installed on the sample movement mechanism, the emphasis is movable, the measuring probe is equipped with a third drive and is located on the platform with the possibility of movement relative to the sample The measuring device is equipped with a fourth drive and is movable relative to the measuring probe, the measuring probe is equipped with a fourth drive and is located on the sample moving mechanism with the possibility of moving relative to the sample, the measuring probe holder has the possibility of mechanical coupling with the sample movement mechanism.

Возможен также вариант, в котором устройство снабжено модулем для химического травления образца, и (или) плазменного травления образца, и (или) травления образца ионным пучком.It is also possible that the device is equipped with a module for chemical etching of the sample, and (or) plasma etching of the sample, and (or) etching of the sample with an ion beam.

Существует также вариант, где образец, и (или) пуансон, и (или) измерительный зонд находятся во взаимодействии с хладагентом.There is also an option where the sample and / or punch and / or measuring probe are in contact with the refrigerant.

На фиг.1 изображена компоновочная схема сканирующего зондового микроскопа, совмещенного с устройством модификации поверхности объекта.Figure 1 shows the layout of a scanning probe microscope, combined with a device for modifying the surface of an object.

На фиг.2 представлен измерительный зонд в виде кварцевого резонатора.Figure 2 presents the measuring probe in the form of a quartz resonator.

На фиг.3 - измерительный зонд с гибкими консолями.Figure 3 - measuring probe with flexible consoles.

На фиг.4 - измерительный зонд в виде иглы.Figure 4 - measuring probe in the form of a needle.

На фиг.5 - измерительный зонд в виде кантилевера.Figure 5 - measuring probe in the form of a cantilever.

На фиг.6 - измерительный зонд с оптическим волокном.Figure 6 - measuring probe with an optical fiber.

На фиг.7 - вариант устройства с зондом, расположенным на механизме перемещения образца.7 is a variant of the device with a probe located on the mechanism for moving the sample.

На фиг.8 - вариант механического сопряжения измерительного зонда с механизмом перемещения образца.On Fig - a variant of the mechanical coupling of the measuring probe with the mechanism for moving the sample.

Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, содержит платформу 1, на которой установлен пуансон 2 с первым приводом 3, а также механизм перемещения образца 4 со вторым приводом 5 и сканирующим устройством 6. При этом механизм 4 содержит корпус 7, в котором на оси 8 установлен рычаг 9, совмещенный со вторым приводом 5. Подробнее привод 3 с пуансоном 2 и механизмом 4 см. в [3]. Внутри рычага 9 расположено сканирующее устройство 6, выполненное, например, в виде первой пъезотрубки 10 и второй пьезотрубки 11, соединенных первым фланцем 12. Устройство 6 посредством второго фланца 13 закреплено на рычаге 9. Сканирующее устройство 6 содержит держатель 14, в котором установлен носитель 15 образца 16. Закрепление образца 16 в носителе 15 может быть осуществлено с использованием клея, а закрепление носителя 15 в держателе 14 - с использованием крепежных винтов или магнита (не показано).A scanning probe microscope, combined with an object surface modification device, contains a platform 1 on which a punch 2 with a first drive 3 is mounted, as well as a sample transfer mechanism 4 with a second drive 5 and a scanning device 6. In this case, the mechanism 4 comprises a housing 7, in which a lever 9 is mounted on the axis 8, combined with the second drive 5. For more details, drive 3 with a punch 2 and a mechanism 4, see [3]. Inside the lever 9 there is a scanning device 6, made, for example, in the form of a first piezotube 10 and a second piezotube 11 connected by a first flange 12. The device 6 is mounted on the lever 9 by a second flange 13, and the scanning device 6 includes a holder 14 in which the carrier 15 is mounted sample 16. The fastening of the sample 16 in the carrier 15 can be carried out using glue, and the fastening of the carrier 15 in the holder 14 using fixing screws or a magnet (not shown).

В зоне измерения образца 16 в захвате 17 установлен измерительный зонд 18. Подробнее варианты зондов 18 см. ниже. Зонд 18 может быть закреплен на третьем приводе 19. Привод 19 может осуществлять перемещение как по координате Z, перпендикулярной измеряемой поверхности, так и по координатам X, Y, то есть в плоскости, параллельной измеряемой поверхности образца. Подробно варианты выполнения третьего привода 19 описаны в [4, 5, 6]. Зона измерения образца 16 оптически сопряжена с первым оптическим блоком 20, установленным на платформе 1 посредством механизма 21. Оптический блок 20 может быть выполнен в виде оптического микроскопа.In the measuring zone of sample 16, a measuring probe 18 is installed in the gripper 17. For more details on the probes 18 see below. The probe 18 can be mounted on the third drive 19. The drive 19 can move both in the Z coordinate perpendicular to the measured surface and in X, Y coordinates, that is, in a plane parallel to the measured surface of the sample. Details of the third drive 19 are described in [4, 5, 6]. The measuring zone of the sample 16 is optically coupled to the first optical unit 20 mounted on the platform 1 by means of the mechanism 21. The optical unit 20 can be made in the form of an optical microscope.

Элементы 3, 5, 12, 17, 19 и 21 подключены к блоку управления 22. Выполнение измерительного зонда в виде кварцевого резонатора 23 (фиг.2) с острием 24 предполагает закрепление его выводов 25 и 26 в захвате 17 (фиг.1) посредством изолированных контактов 27 и 28. Это закрепление может быть осуществлено пайкой или крепежными винтами (не показано). Контакты 27 и 28 подключены к блоку управления 22. Более подробно кварцевые резонаторы, способы их закрепления, а также блок управления 22 описаны в [7, 8, 9, 10].Elements 3, 5, 12, 17, 19 and 21 are connected to the control unit 22. The implementation of the measuring probe in the form of a quartz resonator 23 (figure 2) with a tip 24 involves fixing its conclusions 25 and 26 in the grip 17 (figure 1) by insulated contacts 27 and 28. This fastening can be carried out by soldering or fixing screws (not shown). Contacts 27 and 28 are connected to the control unit 22. Quartz resonators, methods for their fastening, and the control unit 22 are described in more detail in [7, 8, 9, 10].

Возможны варианты использования кварцевого резонатора 29 (фиг.3) с закрепленными на его плечах 30 и 31 гибкими консолями 32, 33, 34 и 35 с остриями 36, 37, 38 и 39. При этом консоли 32 и 33 могут быть параллельны плечам 30 и 31, а балки 34 и 35 - им перпендикулярны. В частном случае острия могут быть электропроводящими и через плечи кварцевого резонатора могут подключаться к блоку управления 22. Подробно измерительные зонды с гибкими консолями описаны в [11, 12]. В частном случае измерительный зонд может быть выполнен в виде электропроводящей иглы 40 (фиг.4), закрепленной плоской пружиной 41 на захвате 17. Возможен также вариант измерительного зонда в виде кантилевера 42, закрепленного плоской пружиной 43 на захвате 17. При этом кантилевер 42 должен быть оптически сопряжен с модулем анализа 44, содержащим лазер 45 и фотоприемник 46, подключенные к блоку управления 22. Модуль 44 должен быть жестко установлен на платформе 1, а лазер 45 и фотоприемник 46 - иметь юстировочные подвижки. Это подробно описано в [13, 14].Possible uses of the quartz resonator 29 (Fig. 3) with flexible consoles 32, 33, 34 and 35 fixed on its shoulders 30 and 31 with tips 36, 37, 38 and 39. In this case, the consoles 32 and 33 can be parallel to the shoulders 30 and 31, and the beams 34 and 35 are perpendicular to them. In the particular case, the tips can be electrically conductive and can be connected to the control unit 22 through the shoulders of the quartz resonator. Measuring probes with flexible consoles are described in detail in [11, 12]. In the particular case, the measuring probe can be made in the form of an electrically conductive needle 40 (figure 4), fixed with a flat spring 41 on the grip 17. It is also possible variant of the measuring probe in the form of a cantilever 42, mounted with a flat spring 43 on the grip 17. In this case, the cantilever 42 be optically coupled to the analysis module 44, containing a laser 45 and a photodetector 46 connected to the control unit 22. The module 44 must be rigidly mounted on the platform 1, and the laser 45 and the photodetector 46 must have alignment shifts. This is described in detail in [13, 14].

Существует также вариант, в котором измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора 47 со световодом 48, оптически сопряженным со вторым оптическим блоком 49. Такой вариант зонда описан в [15, 16].There is also an option in which the measuring probe is made in the form of a quartz resonator 47 with a light guide 48 optically coupled to the second optical unit 49. Such a probe version is described in [15, 16].

Помимо описанных вариантов для особо точных измерений может использоваться модификация устройства, включающая подвижный упор 50 (фиг.7), выполненный, например, в виде винта, установленный на рычаге и сопряженный с держателем 14.In addition to the described options for particularly accurate measurements, a modification of the device can be used, including a movable stop 50 (Fig. 7), made, for example, in the form of a screw mounted on a lever and mated to a holder 14.

Второй фланец 51 при этом может быть сопряжен с четвертым приводом 52, установленным на рычаге 9. Привод 52 может состоять из набора пьезокерамических спеченных шайб (см., например, [17]), могут быть также и другие его исполнения. На рычаге 9 может быть также установлен пятый привод 53, содержащий корпус 54 и инерционный элемент вращения 55 с закрепленным на нем посредством кронштейна 56 измерительным зондом 57. Вариант механического сопряжения захвата 58 (фиг.8) измерительного зонда 18 с рычагом 9 может быть выполнен в виде направляющей 59 с заходным элементом 60, расположенной с возможностью взаимодействия с захватом 58, имеющим скос 61, захват 58 при этом закреплен посредством плоской пружины 62 на приводе.The second flange 51 can be mated with the fourth drive 52 mounted on the lever 9. The drive 52 may consist of a set of piezoceramic sintered washers (see, for example, [17]), there may also be other versions of it. A fifth actuator 53 can also be mounted on the lever 9, comprising a housing 54 and an inertial rotation element 55 with a measuring probe 57 fixed to it by an arm 56. A variant of the mechanical coupling of the capture 58 (Fig. 8) of the measuring probe 18 with the lever 9 can be made in the form of a guide 59 with a lead-in element 60, located with the possibility of interaction with a gripper 58 having a bevel 61, the gripper 58 is fixed by means of a flat spring 62 on the drive.

Устройство работает следующим образом. Закрепляют образец 16 в носителе 15, а зонд 18 в захват 17. Используя второй привод 5, осуществляют срез образца 16 пуансоном 2, после чего посредством третьего привода 19 подводят зонд 18 к образцу 16 и сканирующим устройством 6 производят сканирование его поверхности. Блок 22 в зависимости от используемого зонда 18 измеряет требуемые физические характеристики исследуемой поверхности образца.The device operates as follows. The sample 16 is fixed in the carrier 15, and the probe 18 in the capture 17. Using the second drive 5, the sample 16 is cut by the punch 2, after which the probe 18 is brought to the sample 16 by the third drive 19 and the scanning device 6 scans its surface. Block 22, depending on the probe 18 used, measures the required physical characteristics of the sample surface under investigation.

Пуансон 2 может быть выполнен в виде стеклянного или алмазного ножа. Существующие типы ножей и конструкции механизма перемещения образца 5 используемые, например, в ультрамикротомах, позволяют осуществлять срезы образца толщиной от 20 нм до 1 мкм. Размеры области сканирования на поверхности образца, выполняемого сканирующим устройством 6, могут составлять от 10×10нм до 200×200 мкм. Разрешение деталей на поверхности образца, достигаемое при измерениях, в зависимости от характеристик зонда может доходить до уровня нескольких ангстрем.The punch 2 can be made in the form of a glass or diamond knife. Existing types of knives and designs of the mechanism for moving the sample 5 used, for example, in ultramicrootomes, allow sections of the sample from 20 nm to 1 μm thick. The size of the scanning area on the surface of the sample performed by the scanning device 6 can be from 10 × 10 nm to 200 × 200 μm. The resolution of the details on the surface of the sample achieved during measurements, depending on the characteristics of the probe, can reach the level of several angstroms.

Размещение сканирующего устройства на механизме перемещения образца, а образца на сканирующем устройстве повышает разрешение прибора. Это происходит из-за того, что зонд в этом случае не связан со сканирующим устройством, при этом в большинстве случаев облегчается масса сканирующей части и упрощается процесс измерения, например для зондов в виде кварцевых резонаторов или кантилеверов. Кроме этого, в существующих ультрамикротомах традиционно используются образцы малых размеров (~1 мм), что не сильно увеличивает массу сканирующей части.Placing the scanning device on the mechanism for moving the sample, and the sample on the scanning device increases the resolution of the device. This is due to the fact that the probe in this case is not connected to the scanning device, and in most cases the mass of the scanning part is facilitated and the measurement process is simplified, for example, for probes in the form of quartz resonators or cantilevers. In addition, small-sized samples (~ 1 mm) are traditionally used in existing ultramicrotomes, which does not greatly increase the mass of the scanning part.

ЛитератураLiterature

1. Патент RU 2233490, 2003.1. Patent RU 2233490, 2003.

2. Патент RU 2282257, 2003.2. Patent RU 2282257, 2003.

3. Проспект фирмы «Leica Microsystems» ЕМ FCS, Leica Microsysteme Gmbh, www.leica-microstems.com3. Prospectus from Leica Microsystems EM FCS, Leica Microsysteme Gmbh, www.leica-microstems.com

4. Патент RU 2161343, 1996.4. Patent RU 2161343, 1996.

5. Патент RU 2152103, 1996.5. Patent RU 2152103, 1996.

6. Патент ЕР 0823738, 1998.6. Patent EP 0823738, 1998.

7. Application of commercially available cantilevers in tuning fork Scanning Probe Microscopy (SPM) studies, S. Rozhok, V. Chandrasekhar, Solid state Communications 121 (2002), p.683-686.7. Application of commercially available cantilevers in tuning fork Scanning Probe Microscopy (SPM) studies, S. Rozhok, V. Chandrasekhar, Solid state Communications 121 (2002), p.683-686.

8. High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork, F.J.Giessibl, Applied Physics Letters, Vol.73, Num. 26 (1998).8. High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork, F.J. Giessibl, Applied Physics Letters, Vol.73, Num. 26 (1998).

9. Патент RU 2008763, 2003.9. Patent RU 2008763, 2003.

10. Патент RU 2297054, 2005.10. Patent RU 2297054, 2005.

11. A New Approach to Atomic Force Microscopy for Nanometrology Applications, Paul West et al, American Laboratory, April, 2005.11. A New Approach to Atomic Force Microscopy for Nanometrology Applications, Paul West et al, American Laboratory, April 2005.

12. Патент 2297053, 2005, p.23-24.12. Patent 2297053, 2005, p.23-24.

13. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия в электрохимии поверхности. А.И.Данилов, Успехи химии 64 (8), 1995 г., с.818-833.13. Scanning tunneling and atomic force microscopy in surface electrochemistry. A.I. Danilov, Advances in Chemistry 64 (8), 1995, p. 818-833.

14. 3ондовая микроскопия для биологии и медицины, В.А.Быков и др., Сенсорные системы, т.12, №1, 1998 г., с. 99-121.14. 3-D Microscopy for Biology and Medicine, V. A. Bykov et al., Sensory Systems, vol. 12, No. 1, 1998, p. 99-121.

15. Патент ЕР 0791802, 1997.15. Patent EP 0791802, 1997.

16. Патент ЕР 0864899, 1998.16. Patent EP 0864899, 1998.

17. Каталог Physik Instruments, Germany, GmbH.17. Catalog Physik Instruments, Germany, GmbH.

Claims (18)

1. Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включающий платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления, отличающийся тем, что сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве.1. Scanning probe microscope combined with an object surface modification device, including a platform on which a punch with a first drive and a sample transfer mechanism with a second drive are mounted, a scanning device, a measuring probe with a holder and a control unit, characterized in that the scanning device is mounted on the mechanism of movement of the sample, and the sample is mounted on a scanning device. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что образец сопряжен с первым оптическим блоком.2. The device according to claim 1, characterized in that the sample is paired with the first optical unit. 3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что первый оптический блок выполнен в виде оптического микроскопа.3. The device according to claim 2, characterized in that the first optical unit is made in the form of an optical microscope. 4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием.4. The device according to claim 1, characterized in that the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with a tip. 5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием, закрепленным на нем посредством гибкой консоли.5. The device according to claim 1, characterized in that the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with a tip mounted on it by means of a flexible console. 6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль параллельна плечу кварцевого резонатора.6. The device according to claim 5, characterized in that the flexible console is parallel to the shoulder of the quartz resonator. 7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что гибкая консоль перпендикулярна плечу кварцевого резонатора.7. The device according to claim 5, characterized in that the flexible console is perpendicular to the shoulder of the quartz resonator. 8. Устройство по п.2, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора со световодом, совмещенным со вторым оптическим блоком.8. The device according to claim 2, characterized in that the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with a light guide combined with a second optical unit. 9. Устройство по п.4, отличающееся тем, что острие выполнено электопроводящим и подключено к блоку управления.9. The device according to claim 4, characterized in that the tip is made electrically conductive and connected to the control unit. 10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд выполнен в виде электропроводящей иглы, подключенной к блоку управления.10. The device according to claim 1, characterized in that the measuring probe is made in the form of a conductive needle connected to a control unit. 11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд оптически сопряжен с модулем анализа.11. The device according to claim 1, characterized in that the measuring probe is optically coupled to the analysis module. 12. Устройство по п.1, отличающееся тем, что сканирующее устройство сопряжено с упором, установленным на механизме перемещения образца.12. The device according to claim 1, characterized in that the scanning device is associated with a stop mounted on the mechanism for moving the sample. 13. Устройство по п.12, отличающееся тем, что упор выполнен подвижным.13. The device according to p. 12, characterized in that the emphasis is movable. 14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что измерительный зонд снабжен третьим приводом и расположен на платформе с возможностью подвижки относительно образца.14. The device according to claim 1, characterized in that the measuring probe is equipped with a third drive and is located on the platform with the possibility of movement relative to the sample. 15. Устройство по п.14, отличающееся тем, что сканирующее устройство снабжено четвертым приводом и расположено с возможностью подвижки относительно измерительного зонда.15. The device according to 14, characterized in that the scanning device is equipped with a fourth drive and is located with the possibility of movement relative to the measuring probe. 16. Устройство по п.1, отличающееся тем, что держатель измерительного зонда имеет возможность механического сопряжения с механизмом перемещения образца.16. The device according to claim 1, characterized in that the holder of the measuring probe has the ability to mechanically mate with the sample transfer mechanism. 17. Устройство по п.1, отличающееся тем, что оно снабжено модулем для химического травления образца и (или) плазменного травления образца, и (или) травления образца ионным пучком.17. The device according to claim 1, characterized in that it is equipped with a module for chemical etching of the sample and (or) plasma etching of the sample, and (or) etching of the sample with an ion beam. 18. Устройство по п.1, отличающееся тем, что образец и (или) пуансон, и (или) измерительный зонд находятся во взаимодействии с хладагентом. 18. The device according to claim 1, characterized in that the sample and (or) the punch and (or) the measuring probe are in interaction with the refrigerant.
RU2008130494/28A 2008-07-24 2008-07-24 Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object RU2389032C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) 2008-07-24 2008-07-24 Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) 2008-07-24 2008-07-24 Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008130494A RU2008130494A (en) 2010-02-10
RU2389032C2 true RU2389032C2 (en) 2010-05-10

Family

ID=42123226

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) 2008-07-24 2008-07-24 Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2389032C2 (en)

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011160863A1 (en) * 2010-06-21 2011-12-29 Closed Stock Company "Institute Of Applied Nanotechnology" Scanning probe microscope with nanotome
EP2482080A1 (en) 2011-01-31 2012-08-01 Efimov,, Mr. Anton Evgenievich Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface
RU2545471C1 (en) * 2014-02-07 2015-03-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method of research of three-dimensional structures
RU2572522C2 (en) * 2011-01-31 2016-01-20 Антон Евгеньевич Ефимов Scanning probe microscope combined with device of object surface modification
WO2016111608A1 (en) * 2015-01-05 2016-07-14 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object
RU2597959C1 (en) * 2015-06-22 2016-09-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method for measuring surface of object in scanning probe microscope mode
RU2617542C1 (en) * 2016-02-20 2017-04-25 Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" Scanning device for local exposure
WO2017200364A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object
WO2017200363A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen
WO2017200365A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Nazarbayev University Research And Innovation System" Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module
RU2645437C1 (en) * 2016-12-14 2018-02-21 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Scanning probe nanotomograph with optical analysis module

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011160863A1 (en) * 2010-06-21 2011-12-29 Closed Stock Company "Institute Of Applied Nanotechnology" Scanning probe microscope with nanotome
EP2482080A1 (en) 2011-01-31 2012-08-01 Efimov,, Mr. Anton Evgenievich Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface
RU2572522C2 (en) * 2011-01-31 2016-01-20 Антон Евгеньевич Ефимов Scanning probe microscope combined with device of object surface modification
RU2545471C1 (en) * 2014-02-07 2015-03-27 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method of research of three-dimensional structures
CN107407696A (en) * 2015-01-05 2017-11-28 私人机构“纳扎尔巴耶夫大学研究与创新系统” With the scanning probe microscopy being combined for changing the device of body surface
WO2016111608A1 (en) * 2015-01-05 2016-07-14 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object
CN107407696B (en) * 2015-01-05 2021-03-26 私人机构“纳扎尔巴耶夫大学研究与创新系统” Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object
US10054613B2 (en) 2015-01-05 2018-08-21 Private Institution “Nazarbayev University Research And Innovation System” Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object
RU2597959C1 (en) * 2015-06-22 2016-09-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации Method for measuring surface of object in scanning probe microscope mode
RU2617542C1 (en) * 2016-02-20 2017-04-25 Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" Scanning device for local exposure
WO2017200365A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Nazarbayev University Research And Innovation System" Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module
WO2017200363A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen
WO2017200364A1 (en) * 2016-05-18 2017-11-23 Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object
US11150266B2 (en) * 2016-05-18 2021-10-19 Nazarbayev University Research and Innovation System Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module
RU2645437C1 (en) * 2016-12-14 2018-02-21 федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) Scanning probe nanotomograph with optical analysis module

Also Published As

Publication number Publication date
RU2008130494A (en) 2010-02-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2389032C2 (en) Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object
US5231286A (en) Scanning probe microscope utilizing an optical element in a waveguide for dividing the center part of the laser beam perpendicular to the waveguide
TWI596341B (en) Apparatus and method for analyzing and modifying a specimen surface
JP2598851B2 (en) Positioning device
GB2493585A (en) Scanning probe microscopy cantilever comprising an electromagnetic sensor
RU2498321C2 (en) Multifunctional scanning probe microscope
JP3536973B2 (en) Coaxial probe and scanning microwave microscope using the coaxial probe
US5274230A (en) Scanning probe microscope having first and second optical waveguides
Bhushan et al. Scanning probe microscopy–principle of operation, instrumentation, and probes
WO2013019719A1 (en) Ultra-compact nanocavity-enhanced scanning probe microscopy and method
EP2142906A1 (en) Probe microscopy and probe position monitoring apparatus
RU2572522C2 (en) Scanning probe microscope combined with device of object surface modification
US20090255016A1 (en) Apparatus structure and scanning probe microscope including apparatus structure
US7926328B2 (en) Sample manipulating apparatus
EP2482080B1 (en) Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface
EP1443337B1 (en) Electro-optic measuring instrument
RU2233490C1 (en) Scanning probe type microscope combined with apparatus for mechanically modifying surface of object
CN112964910A (en) Atomic force microscope integrated double-probe rapid in-situ switching measurement method and device
WO2016111608A1 (en) Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object
GB2419952A (en) Atomic force microscope (AFM) lateral force calibration
WO2016057303A1 (en) Force detection for microscopy based on direct tip trajectory observation
US20110055985A1 (en) Device and method for an atomic force microscope for the study and modification of surface properties
WO2005090909A1 (en) Film thickness measuring equipment and film thickness measuring method
Chesna et al. Development of a micro-scale assembly facility with a three fingered, self-aware assembly tool and electro-chemical etching capabilities
US20040052687A1 (en) Apparatus for parallel detection of the behaviour of mechanical micro-oscillators

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20170725