RU2389032C2 - Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object - Google Patents
Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object Download PDFInfo
- Publication number
- RU2389032C2 RU2389032C2 RU2008130494/28A RU2008130494A RU2389032C2 RU 2389032 C2 RU2389032 C2 RU 2389032C2 RU 2008130494/28 A RU2008130494/28 A RU 2008130494/28A RU 2008130494 A RU2008130494 A RU 2008130494A RU 2389032 C2 RU2389032 C2 RU 2389032C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sample
- measuring probe
- scanning
- drive
- probe
- Prior art date
Links
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно, к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), атомно-силового микроскопа (АСМ) и близкопольного оптического микроскопа (БОМ).The invention relates to measuring technique, and more specifically, to measuring devices using a scanning probe microscope (SPM) of the relief, linear dimensions and physical characteristics of the surface of objects in the modes of a scanning tunneling microscope (STM), atomic force microscope (AFM) and near-field optical microscope (BOM).
Известен сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, включающий платформу, на которой установлен пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, содержащее измерительный зонд с держателем и блок управления [1, 2].Known scanning probe microscope, combined with a device for modifying the surface of an object, including a platform on which a punch with a first drive and a sample movement mechanism with a second drive are mounted, a scanning device containing a measuring probe with a holder and a control unit [1, 2].
Основной недостаток описанного изделия заключается в размещении зонда на сканирующем устройстве, что усложняет процесс измерения и соответственно снижает его разрешение.The main disadvantage of the described product is the placement of the probe on the scanning device, which complicates the measurement process and accordingly reduces its resolution.
Технический результат изобретения заключается в повышении разрешения устройства.The technical result of the invention is to increase the resolution of the device.
Указанный технический результат заключается в том, что в сканирующем зондовом микроскопе, совмещенном с устройством модификации поверхности объекта, включающем платформу, на которой установлены пуансон с первым приводом и механизм перемещения образца со вторым приводом, сканирующее устройство, измерительный зонд с держателем и блок управления, сканирующее устройство установлено на механизме перемещения образца, а образец закреплен на сканирующем устройстве.The specified technical result consists in the fact that in a scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object, including a platform on which a punch with a first drive and a sample transfer mechanism with a second drive are installed, a scanning device, a measuring probe with a holder and a control unit, scanning the device is mounted on a sample moving mechanism, and the sample is mounted on a scanning device.
Существует вариант, в котором образец сопряжен с первым оптическим блоком, а оптический блок выполнен в виде оптического микроскопа.There is an option in which the sample is paired with the first optical unit, and the optical unit is made in the form of an optical microscope.
Возможен вариант, в котором измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора с острием и (или) в виде кварцевого резонатора с острием, закрепленным на нем посредством гибкой консоли.A variant is possible in which the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with a tip and (or) in the form of a quartz resonator with a tip fixed to it by means of a flexible console.
Существует также вариант, где гибкая консоль параллельна плечу кварцевого резонатора и (или) перпендикулярна плечу кварцевого резонатора.There is also an option where the flexible console is parallel to the arm of the quartz resonator and (or) perpendicular to the arm of the quartz resonator.
Возможны также варианты, где измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора со световодом, совмещенным со вторым оптическим блоком, острие выполнено электропроводящим и подключено к блоку управления, измерительный зонд выполнен в виде электропроводящей иглы, подключенной к блоку управления, сканирующее устройство сопряжено с упором, установленным на механизме перемещения образца, упор выполнен подвижным, измерительный зонд снабжен третьим приводом и расположен на платформе с возможностью подвижки относительно образца, сканирующее устройство снабжено четвертым приводом и расположено с возможностью подвижки относительно измерительного зонда, измерительный зонд снабжен четвертым приводом и расположен на механизме перемещения образца с возможностью подвижки относительно образца, держатель измерительного зонда имеет возможность механического сопряжения с механизмом движения образца.There are also options where the measuring probe is made in the form of a quartz resonator with the optical fiber combined with the second optical unit, the tip is made electrically conductive and connected to the control unit, the measuring probe is made in the form of an electrically conductive needle connected to the control unit, the scanning device is paired with a stop installed on the sample movement mechanism, the emphasis is movable, the measuring probe is equipped with a third drive and is located on the platform with the possibility of movement relative to the sample The measuring device is equipped with a fourth drive and is movable relative to the measuring probe, the measuring probe is equipped with a fourth drive and is located on the sample moving mechanism with the possibility of moving relative to the sample, the measuring probe holder has the possibility of mechanical coupling with the sample movement mechanism.
Возможен также вариант, в котором устройство снабжено модулем для химического травления образца, и (или) плазменного травления образца, и (или) травления образца ионным пучком.It is also possible that the device is equipped with a module for chemical etching of the sample, and (or) plasma etching of the sample, and (or) etching of the sample with an ion beam.
Существует также вариант, где образец, и (или) пуансон, и (или) измерительный зонд находятся во взаимодействии с хладагентом.There is also an option where the sample and / or punch and / or measuring probe are in contact with the refrigerant.
На фиг.1 изображена компоновочная схема сканирующего зондового микроскопа, совмещенного с устройством модификации поверхности объекта.Figure 1 shows the layout of a scanning probe microscope, combined with a device for modifying the surface of an object.
На фиг.2 представлен измерительный зонд в виде кварцевого резонатора.Figure 2 presents the measuring probe in the form of a quartz resonator.
На фиг.3 - измерительный зонд с гибкими консолями.Figure 3 - measuring probe with flexible consoles.
На фиг.4 - измерительный зонд в виде иглы.Figure 4 - measuring probe in the form of a needle.
На фиг.5 - измерительный зонд в виде кантилевера.Figure 5 - measuring probe in the form of a cantilever.
На фиг.6 - измерительный зонд с оптическим волокном.Figure 6 - measuring probe with an optical fiber.
На фиг.7 - вариант устройства с зондом, расположенным на механизме перемещения образца.7 is a variant of the device with a probe located on the mechanism for moving the sample.
На фиг.8 - вариант механического сопряжения измерительного зонда с механизмом перемещения образца.On Fig - a variant of the mechanical coupling of the measuring probe with the mechanism for moving the sample.
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта, содержит платформу 1, на которой установлен пуансон 2 с первым приводом 3, а также механизм перемещения образца 4 со вторым приводом 5 и сканирующим устройством 6. При этом механизм 4 содержит корпус 7, в котором на оси 8 установлен рычаг 9, совмещенный со вторым приводом 5. Подробнее привод 3 с пуансоном 2 и механизмом 4 см. в [3]. Внутри рычага 9 расположено сканирующее устройство 6, выполненное, например, в виде первой пъезотрубки 10 и второй пьезотрубки 11, соединенных первым фланцем 12. Устройство 6 посредством второго фланца 13 закреплено на рычаге 9. Сканирующее устройство 6 содержит держатель 14, в котором установлен носитель 15 образца 16. Закрепление образца 16 в носителе 15 может быть осуществлено с использованием клея, а закрепление носителя 15 в держателе 14 - с использованием крепежных винтов или магнита (не показано).A scanning probe microscope, combined with an object surface modification device, contains a
В зоне измерения образца 16 в захвате 17 установлен измерительный зонд 18. Подробнее варианты зондов 18 см. ниже. Зонд 18 может быть закреплен на третьем приводе 19. Привод 19 может осуществлять перемещение как по координате Z, перпендикулярной измеряемой поверхности, так и по координатам X, Y, то есть в плоскости, параллельной измеряемой поверхности образца. Подробно варианты выполнения третьего привода 19 описаны в [4, 5, 6]. Зона измерения образца 16 оптически сопряжена с первым оптическим блоком 20, установленным на платформе 1 посредством механизма 21. Оптический блок 20 может быть выполнен в виде оптического микроскопа.In the measuring zone of
Элементы 3, 5, 12, 17, 19 и 21 подключены к блоку управления 22. Выполнение измерительного зонда в виде кварцевого резонатора 23 (фиг.2) с острием 24 предполагает закрепление его выводов 25 и 26 в захвате 17 (фиг.1) посредством изолированных контактов 27 и 28. Это закрепление может быть осуществлено пайкой или крепежными винтами (не показано). Контакты 27 и 28 подключены к блоку управления 22. Более подробно кварцевые резонаторы, способы их закрепления, а также блок управления 22 описаны в [7, 8, 9, 10].
Возможны варианты использования кварцевого резонатора 29 (фиг.3) с закрепленными на его плечах 30 и 31 гибкими консолями 32, 33, 34 и 35 с остриями 36, 37, 38 и 39. При этом консоли 32 и 33 могут быть параллельны плечам 30 и 31, а балки 34 и 35 - им перпендикулярны. В частном случае острия могут быть электропроводящими и через плечи кварцевого резонатора могут подключаться к блоку управления 22. Подробно измерительные зонды с гибкими консолями описаны в [11, 12]. В частном случае измерительный зонд может быть выполнен в виде электропроводящей иглы 40 (фиг.4), закрепленной плоской пружиной 41 на захвате 17. Возможен также вариант измерительного зонда в виде кантилевера 42, закрепленного плоской пружиной 43 на захвате 17. При этом кантилевер 42 должен быть оптически сопряжен с модулем анализа 44, содержащим лазер 45 и фотоприемник 46, подключенные к блоку управления 22. Модуль 44 должен быть жестко установлен на платформе 1, а лазер 45 и фотоприемник 46 - иметь юстировочные подвижки. Это подробно описано в [13, 14].Possible uses of the quartz resonator 29 (Fig. 3) with
Существует также вариант, в котором измерительный зонд выполнен в виде кварцевого резонатора 47 со световодом 48, оптически сопряженным со вторым оптическим блоком 49. Такой вариант зонда описан в [15, 16].There is also an option in which the measuring probe is made in the form of a
Помимо описанных вариантов для особо точных измерений может использоваться модификация устройства, включающая подвижный упор 50 (фиг.7), выполненный, например, в виде винта, установленный на рычаге и сопряженный с держателем 14.In addition to the described options for particularly accurate measurements, a modification of the device can be used, including a movable stop 50 (Fig. 7), made, for example, in the form of a screw mounted on a lever and mated to a
Второй фланец 51 при этом может быть сопряжен с четвертым приводом 52, установленным на рычаге 9. Привод 52 может состоять из набора пьезокерамических спеченных шайб (см., например, [17]), могут быть также и другие его исполнения. На рычаге 9 может быть также установлен пятый привод 53, содержащий корпус 54 и инерционный элемент вращения 55 с закрепленным на нем посредством кронштейна 56 измерительным зондом 57. Вариант механического сопряжения захвата 58 (фиг.8) измерительного зонда 18 с рычагом 9 может быть выполнен в виде направляющей 59 с заходным элементом 60, расположенной с возможностью взаимодействия с захватом 58, имеющим скос 61, захват 58 при этом закреплен посредством плоской пружины 62 на приводе.The
Устройство работает следующим образом. Закрепляют образец 16 в носителе 15, а зонд 18 в захват 17. Используя второй привод 5, осуществляют срез образца 16 пуансоном 2, после чего посредством третьего привода 19 подводят зонд 18 к образцу 16 и сканирующим устройством 6 производят сканирование его поверхности. Блок 22 в зависимости от используемого зонда 18 измеряет требуемые физические характеристики исследуемой поверхности образца.The device operates as follows. The
Пуансон 2 может быть выполнен в виде стеклянного или алмазного ножа. Существующие типы ножей и конструкции механизма перемещения образца 5 используемые, например, в ультрамикротомах, позволяют осуществлять срезы образца толщиной от 20 нм до 1 мкм. Размеры области сканирования на поверхности образца, выполняемого сканирующим устройством 6, могут составлять от 10×10нм до 200×200 мкм. Разрешение деталей на поверхности образца, достигаемое при измерениях, в зависимости от характеристик зонда может доходить до уровня нескольких ангстрем.The
Размещение сканирующего устройства на механизме перемещения образца, а образца на сканирующем устройстве повышает разрешение прибора. Это происходит из-за того, что зонд в этом случае не связан со сканирующим устройством, при этом в большинстве случаев облегчается масса сканирующей части и упрощается процесс измерения, например для зондов в виде кварцевых резонаторов или кантилеверов. Кроме этого, в существующих ультрамикротомах традиционно используются образцы малых размеров (~1 мм), что не сильно увеличивает массу сканирующей части.Placing the scanning device on the mechanism for moving the sample, and the sample on the scanning device increases the resolution of the device. This is due to the fact that the probe in this case is not connected to the scanning device, and in most cases the mass of the scanning part is facilitated and the measurement process is simplified, for example, for probes in the form of quartz resonators or cantilevers. In addition, small-sized samples (~ 1 mm) are traditionally used in existing ultramicrotomes, which does not greatly increase the mass of the scanning part.
ЛитератураLiterature
1. Патент RU 2233490, 2003.1. Patent RU 2233490, 2003.
2. Патент RU 2282257, 2003.2. Patent RU 2282257, 2003.
3. Проспект фирмы «Leica Microsystems» ЕМ FCS, Leica Microsysteme Gmbh, www.leica-microstems.com3. Prospectus from Leica Microsystems EM FCS, Leica Microsysteme Gmbh, www.leica-microstems.com
4. Патент RU 2161343, 1996.4. Patent RU 2161343, 1996.
5. Патент RU 2152103, 1996.5. Patent RU 2152103, 1996.
6. Патент ЕР 0823738, 1998.6. Patent EP 0823738, 1998.
7. Application of commercially available cantilevers in tuning fork Scanning Probe Microscopy (SPM) studies, S. Rozhok, V. Chandrasekhar, Solid state Communications 121 (2002), p.683-686.7. Application of commercially available cantilevers in tuning fork Scanning Probe Microscopy (SPM) studies, S. Rozhok, V. Chandrasekhar, Solid state Communications 121 (2002), p.683-686.
8. High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork, F.J.Giessibl, Applied Physics Letters, Vol.73, Num. 26 (1998).8. High-speed force sensor for force microscopy and profilometry utilizing a quartz tuning fork, F.J. Giessibl, Applied Physics Letters, Vol.73, Num. 26 (1998).
9. Патент RU 2008763, 2003.9. Patent RU 2008763, 2003.
10. Патент RU 2297054, 2005.10. Patent RU 2297054, 2005.
11. A New Approach to Atomic Force Microscopy for Nanometrology Applications, Paul West et al, American Laboratory, April, 2005.11. A New Approach to Atomic Force Microscopy for Nanometrology Applications, Paul West et al, American Laboratory, April 2005.
12. Патент 2297053, 2005, p.23-24.12. Patent 2297053, 2005, p.23-24.
13. Сканирующая туннельная и атомно-силовая микроскопия в электрохимии поверхности. А.И.Данилов, Успехи химии 64 (8), 1995 г., с.818-833.13. Scanning tunneling and atomic force microscopy in surface electrochemistry. A.I. Danilov, Advances in Chemistry 64 (8), 1995, p. 818-833.
14. 3ондовая микроскопия для биологии и медицины, В.А.Быков и др., Сенсорные системы, т.12, №1, 1998 г., с. 99-121.14. 3-D Microscopy for Biology and Medicine, V. A. Bykov et al., Sensory Systems, vol. 12, No. 1, 1998, p. 99-121.
15. Патент ЕР 0791802, 1997.15. Patent EP 0791802, 1997.
16. Патент ЕР 0864899, 1998.16. Patent EP 0864899, 1998.
17. Каталог Physik Instruments, Germany, GmbH.17. Catalog Physik Instruments, Germany, GmbH.
Claims (18)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) | 2008-07-24 | 2008-07-24 | Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) | 2008-07-24 | 2008-07-24 | Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2008130494A RU2008130494A (en) | 2010-02-10 |
RU2389032C2 true RU2389032C2 (en) | 2010-05-10 |
Family
ID=42123226
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008130494/28A RU2389032C2 (en) | 2008-07-24 | 2008-07-24 | Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2389032C2 (en) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011160863A1 (en) * | 2010-06-21 | 2011-12-29 | Closed Stock Company "Institute Of Applied Nanotechnology" | Scanning probe microscope with nanotome |
EP2482080A1 (en) | 2011-01-31 | 2012-08-01 | Efimov,, Mr. Anton Evgenievich | Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface |
RU2545471C1 (en) * | 2014-02-07 | 2015-03-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации | Method of research of three-dimensional structures |
RU2572522C2 (en) * | 2011-01-31 | 2016-01-20 | Антон Евгеньевич Ефимов | Scanning probe microscope combined with device of object surface modification |
WO2016111608A1 (en) * | 2015-01-05 | 2016-07-14 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object |
RU2597959C1 (en) * | 2015-06-22 | 2016-09-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации | Method for measuring surface of object in scanning probe microscope mode |
RU2617542C1 (en) * | 2016-02-20 | 2017-04-25 | Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" | Scanning device for local exposure |
WO2017200364A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object |
WO2017200363A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen |
WO2017200365A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Nazarbayev University Research And Innovation System" | Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module |
RU2645437C1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-02-21 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Scanning probe nanotomograph with optical analysis module |
-
2008
- 2008-07-24 RU RU2008130494/28A patent/RU2389032C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011160863A1 (en) * | 2010-06-21 | 2011-12-29 | Closed Stock Company "Institute Of Applied Nanotechnology" | Scanning probe microscope with nanotome |
EP2482080A1 (en) | 2011-01-31 | 2012-08-01 | Efimov,, Mr. Anton Evgenievich | Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface |
RU2572522C2 (en) * | 2011-01-31 | 2016-01-20 | Антон Евгеньевич Ефимов | Scanning probe microscope combined with device of object surface modification |
RU2545471C1 (en) * | 2014-02-07 | 2015-03-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации | Method of research of three-dimensional structures |
CN107407696A (en) * | 2015-01-05 | 2017-11-28 | 私人机构“纳扎尔巴耶夫大学研究与创新系统” | With the scanning probe microscopy being combined for changing the device of body surface |
WO2016111608A1 (en) * | 2015-01-05 | 2016-07-14 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object |
CN107407696B (en) * | 2015-01-05 | 2021-03-26 | 私人机构“纳扎尔巴耶夫大学研究与创新系统” | Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object |
US10054613B2 (en) | 2015-01-05 | 2018-08-21 | Private Institution “Nazarbayev University Research And Innovation System” | Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object |
RU2597959C1 (en) * | 2015-06-22 | 2016-09-20 | Федеральное государственное бюджетное учреждение "Федеральный научный центр трансплантологии и искусственных органов имени академика В.И. Шумакова" Министерства здравоохранения Российской Федерации | Method for measuring surface of object in scanning probe microscope mode |
RU2617542C1 (en) * | 2016-02-20 | 2017-04-25 | Общество с ограниченной ответственностью "СНОТРА" | Scanning device for local exposure |
WO2017200365A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Nazarbayev University Research And Innovation System" | Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module |
WO2017200363A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Scanning probe microscope combined with a device for acting on a probe and a specimen |
WO2017200364A1 (en) * | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Частное Учреждение "Назарбаев Университет Рисеч Энд Инновэйшн Систэм" | Wide-field scanning probe microscope combined with an apparatus for modifying an object |
US11150266B2 (en) * | 2016-05-18 | 2021-10-19 | Nazarbayev University Research and Innovation System | Scanning probe nanotomograph comprising an optical analysis module |
RU2645437C1 (en) * | 2016-12-14 | 2018-02-21 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ" (НИЯУ МИФИ) | Scanning probe nanotomograph with optical analysis module |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2008130494A (en) | 2010-02-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2389032C2 (en) | Scanning probe microscope combined with device for modifying surface of object | |
US5231286A (en) | Scanning probe microscope utilizing an optical element in a waveguide for dividing the center part of the laser beam perpendicular to the waveguide | |
TWI596341B (en) | Apparatus and method for analyzing and modifying a specimen surface | |
JP2598851B2 (en) | Positioning device | |
GB2493585A (en) | Scanning probe microscopy cantilever comprising an electromagnetic sensor | |
RU2498321C2 (en) | Multifunctional scanning probe microscope | |
JP3536973B2 (en) | Coaxial probe and scanning microwave microscope using the coaxial probe | |
US5274230A (en) | Scanning probe microscope having first and second optical waveguides | |
Bhushan et al. | Scanning probe microscopy–principle of operation, instrumentation, and probes | |
WO2013019719A1 (en) | Ultra-compact nanocavity-enhanced scanning probe microscopy and method | |
EP2142906A1 (en) | Probe microscopy and probe position monitoring apparatus | |
RU2572522C2 (en) | Scanning probe microscope combined with device of object surface modification | |
US20090255016A1 (en) | Apparatus structure and scanning probe microscope including apparatus structure | |
US7926328B2 (en) | Sample manipulating apparatus | |
EP2482080B1 (en) | Scanning probe microscope combined with a device for modification of the object surface | |
EP1443337B1 (en) | Electro-optic measuring instrument | |
RU2233490C1 (en) | Scanning probe type microscope combined with apparatus for mechanically modifying surface of object | |
CN112964910A (en) | Atomic force microscope integrated double-probe rapid in-situ switching measurement method and device | |
WO2016111608A1 (en) | Scanning probe microscope combined with a device for modifying the surface of an object | |
GB2419952A (en) | Atomic force microscope (AFM) lateral force calibration | |
WO2016057303A1 (en) | Force detection for microscopy based on direct tip trajectory observation | |
US20110055985A1 (en) | Device and method for an atomic force microscope for the study and modification of surface properties | |
WO2005090909A1 (en) | Film thickness measuring equipment and film thickness measuring method | |
Chesna et al. | Development of a micro-scale assembly facility with a three fingered, self-aware assembly tool and electro-chemical etching capabilities | |
US20040052687A1 (en) | Apparatus for parallel detection of the behaviour of mechanical micro-oscillators |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170725 |