RU2366764C2 - Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method - Google Patents

Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method Download PDF

Info

Publication number
RU2366764C2
RU2366764C2 RU2006126952/02A RU2006126952A RU2366764C2 RU 2366764 C2 RU2366764 C2 RU 2366764C2 RU 2006126952/02 A RU2006126952/02 A RU 2006126952/02A RU 2006126952 A RU2006126952 A RU 2006126952A RU 2366764 C2 RU2366764 C2 RU 2366764C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
foil
copper
electrolyte
low
profile
Prior art date
Application number
RU2006126952/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2006126952A (en
Inventor
Борис Александрович Коновалов (RU)
Борис Александрович Коновалов
Александр Иванович Вольхин (RU)
Александр Иванович Вольхин
Борис Евгеньевич Екимов (RU)
Борис Евгеньевич Екимов
Илья Данилович Плеханов (RU)
Илья Данилович Плеханов
Original Assignee
Борис Александрович Коновалов
Александр Иванович Вольхин
Борис Евгеньевич Екимов
Илья Данилович Плеханов
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Борис Александрович Коновалов, Александр Иванович Вольхин, Борис Евгеньевич Екимов, Илья Данилович Плеханов filed Critical Борис Александрович Коновалов
Priority to RU2006126952/02A priority Critical patent/RU2366764C2/en
Publication of RU2006126952A publication Critical patent/RU2006126952A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2366764C2 publication Critical patent/RU2366764C2/en

Links

Images

Landscapes

  • Laminated Bodies (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Abstract

FIELD: metallurgy.
SUBSTANCE: invention refers to hydro-metallurgy and can be implemented at production of copper foil for foiled dielectric and for printed circuit boards. The method consists in solving copper and in producing electrolyte on base of sulphuric acid with contents of chloride ions, and in settling layer of copper on external surface of a rotating drum under effect of electric current, when negative potential is supplied onto the drum, while positive potential is supplied to bent sheets of anodes located in electrolyte; also additives preliminary dissolved in water in form of gelatine, hydroxyethylcellulose and high molecular additive with molecular weight not less, than 600 000 are introduced into electrolyte; notably, gelatine and hydroxyethylcellulose are dissolved in water together, while high molecular additive is dissolved in water separately. Low profiled foil produced by this method contains dull and glossy finish located on opposite sides and possesses uniform columnar structure at average dimensions of crystals 4-7 mcm in cross section, while its dull surface morphology is characterized with presence of pyramid bumps.
EFFECT: upgraded quality of copper foil and complete exclusion of outgrowth occurring on its surface; also improved structure.
8 cl, 11 dwg, 3 tbl

Description

Предлагаемое изобретение относится к области гидрометаллургии и может быть использовано при производстве медной фольги для фольгированных диэлектриков для печатных плат.The present invention relates to the field of hydrometallurgy and can be used in the manufacture of copper foil for foil dielectrics for printed circuit boards.

Известен способ производства тонкой медной электролитической фольги, включающий растворение меди в серной кислоте до получения определенной концентрации и наличия в нем свободных ионов меди. После этого пропускают данный электролит между анодом и катодом и под воздействием электрического тока осуществляется осаждение ионов металла на катод, который выполнен вращающимся. Во время электролиза в электролит постоянно осуществляется добавка желатина и хлорид-ионов в количестве 0,001-0,005 г/дм и 0,005-0,1 г/дм. Фольга, получаемая с использованием данного способа получается с одной стороны гладкой, а с противоположной стороны матовой (см. патент Японии 49-31415, по кл. С25С 1/12 за 1982 г.).A known method of producing a thin copper electrolytic foil, comprising dissolving copper in sulfuric acid to obtain a certain concentration and the presence of free copper ions in it. After that, this electrolyte is passed between the anode and cathode, and under the influence of electric current, metal ions are deposited on the cathode, which is made rotating. During electrolysis, gelatin and chloride ions are constantly added to the electrolyte in an amount of 0.001-0.005 g / dm and 0.005-0.1 g / dm. The foil obtained using this method is obtained on the one hand smooth, and on the opposite side matte (see Japanese patent 49-31415, according to CL 25/12 for 1982).

Основным недостатком этого способа является высокая шероховатость матовой стороны получаемой ленты из-за наличия хлорид-ионов, специально вводимиых в электролит. Высокая шероховатость (количественной характеристикой которой является Rz) «сырой» фольги способствует увеличению истинной поверхности матовой стороны. Кроме того, увеличение шероховатости матовой стороны «сырой» фольги сопровождается образованием толстого адгезионного слоя за счет перераспределения осадка (преимущественного осаждения на микровыступах) на стадии нанесения адгезионного слоя. Очевидно, что такая фольга имеет высокую силу сцепления с диэлектриком. Однако адгезионный слой с чрезмерно высоким микрорельефом, сконцентрированным на пиках «сырой» фольги непригоден для производства тонких фольгированных диэлектриков, используемых для производства печатных плат. Микровыступы с чрезмерным адгезионным слоем глубоко проникают в полимерные подложки. Это увеличивает время необходимое для стравливания меди. Частицы меди имеют тенденцию оставаться глубоко вдавленными в смолу. Этим неблагоприятно воздействуют на диэлектрические свойства печатной платы.The main disadvantage of this method is the high roughness of the matte side of the resulting tape due to the presence of chloride ions that are specifically introduced into the electrolyte. The high roughness (quantitative characteristic of which is Rz) of the “raw” foil increases the true surface of the matte side. In addition, an increase in the roughness of the matte side of the “wet” foil is accompanied by the formation of a thick adhesive layer due to redistribution of the precipitate (preferential deposition on microprotrusions) at the stage of applying the adhesive layer. Obviously, such a foil has a high adhesive force with a dielectric. However, the adhesive layer with an excessively high microrelief concentrated on the peaks of the "raw" foil is unsuitable for the production of thin foil dielectrics used for the manufacture of printed circuit boards. Microprotrusions with an excessive adhesive layer penetrate deep into polymer substrates. This increases the time required to bleed copper. Copper particles tend to remain deeply pressed into the resin. This adversely affects the dielectric properties of the printed circuit board.

Поэтому проблема повышения силы сцепления должна решаться не за счет увеличения высоты микровыступов и увеличения адгезионного слоя, а за счет снижения высоты микровыступов, увеличения из количества на единице площади и более равномерным распределением адгезионного слоя. Несомненно, что эта проблема решается на стадии производства «сырой» фольги. И достигается это главным образом путем подбора поверхностно-активных добавок, их типа и концентрации в электролите.Therefore, the problem of increasing the adhesion force should not be solved by increasing the height of the microprotrusion and increasing the adhesive layer, but by reducing the height of the microprotrusion, increasing the number per unit area and more uniform distribution of the adhesive layer. Undoubtedly, this problem is solved at the stage of production of “raw” foil. And this is achieved mainly by selecting surface-active additives, their type and concentration in the electrolyte.

Однако одним из факторов, негативно влияющим на структуру, а следовательно, на топографию поверхности матовой стороны и величину шероховатости, является наличие примесей в электролите.However, one of the factors that negatively affects the structure, and therefore, the topography of the surface of the matte side and the roughness value, is the presence of impurities in the electrolyte.

Источником примесей в электролите служит сырье. Медные гранулы, используемые в качестве сырья при приготовлении электролита, содержат ряд вредных примесей, которые переходят в электролит или в осадки.The source of impurities in the electrolyte is raw materials. Copper granules used as raw materials in the preparation of the electrolyte contain a number of harmful impurities that pass into the electrolyte or precipitation.

Примеси традиционно делят на четыре группы.Impurities are traditionally divided into four groups.

Первая группа - электроотрицательные металлы: никель, цинк, железо. Они переходят в электролит в виде ионов и не оказывают негативного влияния на структуру и свойства медной фольги.The first group is electronegative metals: nickel, zinc, iron. They pass into the electrolyte in the form of ions and do not adversely affect the structure and properties of copper foil.

Вторая группа - примеси, потенциалы которых значительно электроположительнее потенциала меди. К ним относятся золото, серебро и металлы платиновой группы. Они полностью выпадают в шлам и удаляются из электролита на фильтрах.The second group consists of impurities whose potentials are much more electropositive than the potential of copper. These include gold, silver and platinum group metals. They completely fall into the sludge and are removed from the electrolyte on the filters.

Третья группа - интерметаллические и химические для получения шероховатости на матовой поверхности фольги. В этом способе структура полученной фольги получается рыхлой и на ее поверхность плохо наносится покрытие, т.к. последнее по своей структуре выполнено однослойным.The third group - intermetallic and chemical to obtain roughness on the matte surface of the foil. In this method, the structure of the obtained foil is loose and the coating is poorly applied to its surface, because the latter is single-layered in structure.

Четвертая группа - примеси, потенциалы которых близки к потенциалу меди: олово, сурьма, мышьяк. Переходя в раствор в виде ионов, они подвергаются гидролизу с образованием нерастворимых соединений, таких как метаоловянная кислота H2SnO3, оксид мышьяка As2O3, основная соль сурьмы Sb(OH)SO4. Все реакции гидролиза равновесные и не идут до конца, и указанные примеси распределяются между шламом и раствором. Шлам отфильтровывается на фильтрах, а оставшие в электролите примеси в прикатодном слое примесей гидролизуются с образованием золей основных солей, что приводит к резкому ухудшению качества фольги.The fourth group consists of impurities whose potentials are close to the potential of copper: tin, antimony, arsenic. Passing into the solution in the form of ions, they undergo hydrolysis with the formation of insoluble compounds, such as meta-tin acid H 2 SnO 3 , arsenic oxide As 2 O 3 , and the basic salt of antimony Sb (OH) SO 4 . All hydrolysis reactions are equilibrium and do not go to the end, and these impurities are distributed between the sludge and the solution. The sludge is filtered off on filters, and the impurities remaining in the electrolyte in the cathode layer of impurities are hydrolyzed to form sols of basic salts, which leads to a sharp deterioration in the quality of the foil.

Так же известен способ производства медной фольги путем электролиза меди из водного раствора под воздействием электрического тока, с помощью которого происходит осаждение меди на вращающийся барабан-катод с последующим ее отрывом и сматыванием в рулон. После намотки полученной фольги в рулон ее снова устанавливают на аппарат покрытия и осуществляется нанесение на одну или обе стороны адгезионного покрытия, например, цинкования (см. патент RU №2113545, по кл. С25С 1/12 за 1998 г.).Also known is a method of producing copper foil by electrolysis of copper from an aqueous solution under the influence of an electric current, by means of which copper is deposited on a rotating drum-cathode, followed by its separation and winding into a roll. After winding the obtained foil into a roll, it is again installed on the coating apparatus and an adhesive coating, for example, galvanizing, is applied to one or both sides (see patent RU No. 2113545, class C25C 1/12 for 1998).

Недостатком этого способа является то, что при большой плотности тока в процессе электролиза, контролируемого диффузионной кинетикой, образуются на поверхности фольги бугры и шишки из-за нахождения в прикатодном слое золей основных солей примесей, которые прилипают к поверхности катода и внедряются в тело фольги. Кроме того, сама фольга плохо соединяется с диэлектриком из-за недостаточной силы сцепления.The disadvantage of this method is that at a high current density during electrolysis, controlled by diffusion kinetics, tubercles and cones are formed on the foil surface due to the presence in the cathode layer of sols of the main salts of impurities that adhere to the cathode surface and are embedded in the foil body. In addition, the foil itself does not bond well with the dielectric due to insufficient traction.

Известен способ производства низкопрофильной медной электролитической фольги, включающий осаждение слоя меди на наружную поверхность вращающегося барабана под воздействием электрического тока при этом осаждение фольги ведут из электролита, содержащего ионы меди, серную кислоту и добавки в виде желатина и гидроксиэтилцеллюлозы и полиакриламид с высокой молекулярной массой (см. заявку US 2003012975, по кл. С25D 1/04 за 2003 г.).A known method for the production of low-profile copper electrolytic foil, including the deposition of a copper layer on the outer surface of a rotating drum under the influence of electric current, the deposition of the foil is from an electrolyte containing copper ions, sulfuric acid and additives in the form of gelatin and hydroxyethyl cellulose and high molecular weight polyacrylamide (cm application US 2003012975, according to CL 25D 1/04 for 2003).

Недостатком этого способа является то, что на матовой стороне, несмотря на полученный этим способом низкий профиль, происходит образование отдельных выступов в виде шишек и наростов, которые прорезают подложку при изготовлении тонких диэлектриков типа ламината.The disadvantage of this method is that on the matte side, despite the low profile obtained by this method, the formation of individual protrusions in the form of cones and growths that cut through the substrate in the manufacture of thin dielectric type laminate.

Технической задачей предлагаемого решения является устранение указанных выше недостатков, повышение качества фольги, увеличение силы сцепления фольги с диэлектриком.The technical task of the proposed solution is to eliminate the above disadvantages, improve the quality of the foil, increase the adhesion force of the foil to the dielectric.

Указанная задача достигается тем, что в способе производства низкопрофильной медной электролитической фольги, включающем растворение меди и получение электролита на основе серной кислоты и осаждение слоя меди на наружную поверхность вращающегося барабана под воздействием отрицательного потенциала на барабане и изогнутые пластины анодов, которые расположены внутри электролита и имеют положительный потенциал, введение в электролит добавок в виде желатина и хлорид-ионов, желатин вводится в электролит в пределах 1-10 мг/дм3, дополнительно вводится водорастворимый полимер в виде гидроксиэтилцеллюлозы в пределах 0,1-5 мг/дм3 и высокомолекулярная добавка катионной активности на основе акриламида и катионного сомономера с молекулярной массой не менее 600000, в виде «Праестол 650ВС», «Праестол 60ВС» в пределах 0,5-5 мг/дм3. Указанные добавки вводят в электролит, предварительно растворяя их в воде, причем желатин и гидроксиэтилцеллюлозу растворяют в воде вместе, а высокомолекулярную добавку растворяют в воде отдельно.This problem is achieved in that in a method for producing a low-profile copper electrolytic foil comprising dissolving copper and producing an electrolyte based on sulfuric acid and depositing a copper layer on the outer surface of a rotating drum under the influence of a negative potential on the drum and curved anode plates that are located inside the electrolyte and have positive potential introduction of additives into the electrolyte in the form of gelatin and chloride ions, gelatin is introduced into the electrolyte in the range of 1-10 mg / dm 3 additional of water soluble polymer is introduced as hydroxyethyl cellulose in the range of 0.1-5 mg / dm 3 and a cationic high-molecular additive activity based on acrylamide and a cationic comonomer with a molecular weight of at least 600,000, as "Praestol 650VS", "Praestol 60VS" within 0 5-5 mg / dm 3 . These additives are introduced into the electrolyte, pre-dissolving them in water, moreover, gelatin and hydroxyethyl cellulose are dissolved in water together, and the high molecular weight additive is dissolved in water separately.

На фиг.1 - показана схема аппарата для осуществления предлагаемого способа.Figure 1 - shows a diagram of an apparatus for implementing the proposed method.

На фиг.2 - поперечное сечение фольги, полученной по предлагаемому способу.Figure 2 is a cross section of a foil obtained by the proposed method.

На фиг.3 - вид А фиг.2.Figure 3 is a view A of figure 2.

На фиг.4 - увеличенное изображение поверхности фольги в известном способе.Figure 4 is an enlarged image of the surface of the foil in a known method.

На фиг.5 - адгезионный слой на фольге по известному способу.Figure 5 - adhesive layer on the foil by a known method.

На фиг.6 - схема осадка на фольге по известному способу.Figure 6 - diagram of the sediment on the foil by a known method.

На фиг.7 - вид образований на поверхности фольги типа «шишки».7 is a view of the formation on the surface of the foil type "cones".

На фиг.8 - поверхность фольги по известному способу.On Fig - the surface of the foil by a known method.

На фиг.9 - схема образований «шишек».Figure 9 is a diagram of the formation of "cones".

На фиг.10 - вид поверхности фольги, полученной по предлагаемому способу.Figure 10 is a view of the surface of the foil obtained by the proposed method.

На фиг.11 - вид поверхности фольги с нанесенным покрытием по предлагаемому способу.11 is a view of the surface of the coated foil by the proposed method.

Как показано на фиг. 1, аппарат для производства медной фольги устроен таким образом, что вращающийся барабан 1 и изогнутые анодные пластины расположены на определенном расстоянии. Барабан-катод 1 и аноды 2 помещены в ванне 3, заполненной электролитом 4, который подается в пространство между анодами и барабан-катодом по коллектору 5. Барабан-катод 1 погружен в электролит 4 и вращается относительно оси, аноды 2 погружены в электролит 4 таким образом, что погруженная поверхность барабана 1 соответствует погруженной поверхности анода 2. Отрицательный и положительный потенциал приложены к барабану 1 и анодам 2 соответственно. Под действием электрического тока ионы металла из раствора осаждаются на погруженной в электролит поверхности барабан-катода 1, образуя осадок необходимой толщины. После отрыва от поверхности барабан-катода 1 фольга 6 наматывается в рулон 7.As shown in FIG. 1, the apparatus for producing copper foil is arranged so that the rotating drum 1 and the curved anode plates are located at a certain distance. Drum cathode 1 and anodes 2 are placed in a bath 3 filled with electrolyte 4, which is fed into the space between the anodes and the drum cathode through collector 5. Drum cathode 1 is immersed in electrolyte 4 and rotates about the axis, anodes 2 are immersed in electrolyte 4 so so that the immersed surface of the drum 1 corresponds to the immersed surface of the anode 2. A negative and positive potential are applied to the drum 1 and anodes 2, respectively. Under the influence of electric current, metal ions from the solution are deposited on the surface of the drum-cathode 1 immersed in the electrolyte, forming a precipitate of the required thickness. After separation from the surface of the drum cathode 1, the foil 6 is wound into a roll 7.

Электролит 4 заполняющий ванну 3 состоит из серной кислоты 80-150 г/дм3, ионов меди 80-110 г/дм3, хлорид-ионов от 1 до 60 мг/дм3. Температура электролита 50-80°С и плотность тока 20-100 А/дм2.The electrolyte 4 filling the bath 3 consists of sulfuric acid 80-150 g / dm 3 , copper ions 80-110 g / dm 3 , chloride ions from 1 to 60 mg / dm 3 . The electrolyte temperature is 50-80 ° C and the current density is 20-100 A / dm 2 .

В электролит вводят добавки для получения нужных свойств электролитической фольги 6 в соответствии с выше описанным способом. В данном изобретении электролитическая фольга 6, имеющая прекрасные электрические характеристики, получена при добавках желатина, гидроксиэтилцеллюлозы и высокомолекулярного электролита катионной активности на основе акриламида и катионного сомономера, например «Праестол 650ВС», «Праестол 611ВС».Additives are introduced into the electrolyte to obtain the desired properties of the electrolytic foil 6 in accordance with the method described above. In this invention, an electrolytic foil 6 having excellent electrical characteristics is obtained with the addition of gelatin, hydroxyethyl cellulose and a high molecular weight electrolyte of cationic activity based on acrylamide and a cationic comonomer, for example Praestol 650BC, Praestol 611BC.

Указанные добавки вводят в электролит, предварительно растворяя их в воде. Концентрация желатина в растворе от 3 до 10 г/дм3, концентрация гидроксиэтилцеллюлозы от 1 до 3 г/дм3. Раствор Праестола готовят отдельно от других добавок с концентрацией от 0,5 до 2 г/дм3. Количество водного раствора добавок, вводимых в электролит, растворяют исходя из того, что концентрация желатина в электролите от 1 до 10 мг/дм3,, концентрация гидроксиэтилцеллюлозы в электролите от 0,1 до 5 мг/дм3, а концентрация Праестола в электролите от 0,5 до 5 мг/дм3.These additives are introduced into the electrolyte, previously dissolving them in water. The concentration of gelatin in the solution is from 3 to 10 g / dm 3 , the concentration of hydroxyethyl cellulose is from 1 to 3 g / dm 3 . The solution of Praestol is prepared separately from other additives with a concentration of from 0.5 to 2 g / dm 3 . The amount of an aqueous solution of additives introduced into the electrolyte is dissolved on the basis that the concentration of gelatin in the electrolyte is from 1 to 10 mg / dm 3 , the concentration of hydroxyethyl cellulose in the electrolyte is from 0.1 to 5 mg / dm 3 , and the concentration of Praestol in the electrolyte is from 0.5 to 5 mg / dm 3 .

Электролитическая фольга, полученная в соответствии с данным изобретением и прошедшая дальнейшую традиционную обработку на аппаратах покрытия, может быть использована для производства тонких фольгированных диэлектриков, которые используются для печатных плат.The electrolytic foil obtained in accordance with this invention and undergoing further traditional processing on the coating apparatus can be used to produce thin foil dielectrics that are used for printed circuit boards.

Низкопрофильная медная электролитическая фольга, полученная заявленным способом, содержит матовую и глянцевую поверхности, расположенные на противоположных сторонах фольги. Отличительной особенностью сырой фольги является равномерная столбчатая структура при средних размерах кристаллитов в поперечнике 4-7 мкм, обеспечивающих равномерность травления фольги при изготовлении печатных контуров, равномерная заданная шероховатость (Rz от 2,0 до 3,2 мкм) и определенная морфология поверхности, характеризующаяся наличием пирамидальных микровыступов, что гарантирует высокую механическую прочность контакта на границе металл-полимер при изготовлении фольгированных диэлектриков и полное исключение образования наростов и шишек на матовой стороне.The low-profile copper electrolytic foil obtained by the claimed method contains a matte and glossy surface located on opposite sides of the foil. A distinctive feature of raw foil is a uniform columnar structure with average crystallite sizes 4–7 μm across, ensuring uniform foil etching in the manufacture of printed outlines, uniform predetermined roughness (Rz from 2.0 to 3.2 μm) and a certain surface morphology characterized by the presence of pyramidal microprotrusions, which guarantees high mechanical strength of the contact at the metal-polymer interface in the manufacture of foil dielectrics and the complete elimination of the build-up Comrade and cones on the matte side.

Наличие традиционной обработки на аппаратах покрытия. Под традиционной обработкой понимается нанесение адгезионного слоя на одну или обе стороны медной фольги для увеличения сцепления фольги с диэлектрической подложкой, нанесение барьерного слоя для предотвращения диффузии меди в полимерный компаунд, нанесение противокоррозионного покрытия для предотвращения окисления медной фольги и силана для усиления химической адгезии. Отличительной особенностью обработанной на аппарате покрытия фольги, полученной в соответствии с данным изобретением, является сферическая форма адгезионных микровыступов, предотвращающая глубокое проникновение адгезионного покрытия в тело диэлектрика, обеспечивающая высокую силу сцепления фольги с диэлектриком, низкая шероховатость (Rz от 4 до 6 мкм), что позволяет использовать фольгу для производства тонких фольгированных диэлектриков.The presence of traditional processing on the coating apparatus. Traditional processing refers to applying an adhesive layer to one or both sides of a copper foil to increase adhesion of the foil to the dielectric substrate, applying a barrier layer to prevent diffusion of copper into the polymer compound, applying an anti-corrosion coating to prevent oxidation of copper foil and silane to enhance chemical adhesion. A distinctive feature of the foil processed on the apparatus obtained in accordance with this invention is the spherical shape of the adhesive microprotrusions, preventing the deep penetration of the adhesive coating into the dielectric body, providing a high adhesion force of the foil to the dielectric, low roughness (Rz from 4 to 6 μm), which allows the use of foil for the production of thin foil dielectrics.

Варианты производства фольги таким способом, что желатин, гидроксиэтилцеллюлоза и праестол добавляются в электролит как добавка при разных концентрациях представлена ниже. В соответствии с данным изобретением состав электролита:Variants of foil production in such a way that gelatin, hydroxyethyl cellulose and praestol are added to the electrolyte as an additive at different concentrations are presented below. In accordance with this invention, the composition of the electrolyte:

серная кислота 98 г/л, меди 112 г/л, хлоридов 40 мг/л;sulfuric acid 98 g / l, copper 112 g / l, chlorides 40 mg / l;

температура около 62 С и плотность тока около 67 А/дм.temperature is about 62 C and current density is about 67 A / dm.

Количество добавок, введенное в электролит, показано в Таблице 1.The amount of additives introduced into the electrolyte is shown in Table 1.

Таблица 1Table 1 Желатин мг/дм3 Gelatin mg / dm 3 Гидроксиэтилцеллюлоза мг/дм3 Hydroxyethyl cellulose mg / dm 3 Праестол мг/ дм3 Praestol mg / dm 3 Вариант 1Option 1 4,04.0 22 1one Вариант 2Option 2 2,02.0 1one 22 Вариант 3Option 3 6,06.0 0,20.2 33

Ниже сравниваются образцы фольги 1 без добавки праестола. Образцы сравниваются по свойствам с образцами фольги, произведенными в соответствии с этим изобретением.Below are compared samples of foil 1 without the addition of praestol. Samples are compared by properties with foil samples produced in accordance with this invention.

Условия электролиза образцов фольги для сравнения такие же, как и для образцов, полученных в соответствии с данным изобретением. Количество вводимых добавок показано в таблице 2.The electrolysis conditions of the foil samples for comparison are the same as for the samples obtained in accordance with this invention. The amount of added additives is shown in table 2.

Таблица 2table 2 Желатин, мг/дм3 Gelatin, mg / dm 3 Гидроксиэтилцеллюлоза, мг/дм3 Hydroxyethyl cellulose, mg / dm 3 Праестол, мг/дм3 Praestol, mg / dm 3 Образец сравнения 1Sample Comparison 1 4,04.0 22 -- Образец сравнения 2Sample Comparison 2 2,02.0 1one -- Образец сравнения 3Sample Comparison 3 6,06.0 0,20.2 --

Фиг. 9, 10 - фото образцов "сырой" и обработанной на аппарате покрытия фольги, полученной в соответствии с данным изобретением по варианту 1-3, выполненного на электронном микроскопе.FIG. 9, 10 - photo of the samples of "raw" and processed on the apparatus of the coating of the foil obtained in accordance with this invention according to option 1-3, performed on an electron microscope.

Фиг.2, 3 и 5, 6 - это фото образцов сравнения 1-2. Эти фото иллюстрируют вид поверхности шероховатой стороны фольги, полученной для сравнения.Figure 2, 3 and 5, 6 is a photo of the comparison samples 1-2. These photos illustrate the surface appearance of the rough side of the foil, obtained for comparison.

Как показано на фиг.9 и 10, поверхность электролитической медной фольги, полученной по вариантам 1-3 в соответствии с данным изобретением, по сравнению с образцами сравнения имеет равномерную столбчатую структуру при средних размерах кристаллитов в поперечнике 4-7 мкм и заданную шероховатость Rz от 2,0 до 3,2 мкм, морфологию поверхности, характеризующуюся наличием пирамидальных микровыступов.As shown in FIGS. 9 and 10, the surface of the electrolytic copper foil obtained according to embodiments 1-3 in accordance with this invention, in comparison with the reference samples, has a uniform columnar structure with average crystallite sizes across 4-7 μm and a predetermined roughness Rz from 2.0 to 3.2 microns, surface morphology, characterized by the presence of pyramidal microprotrusions.

Обработанная на аппарате покрытия фольга, полученная в соответствии с данным изобретением, имеет сферическую форму адгезионных микровыступов, низкую шероховатость Rz от 4 до 6 мкм.The foil processed by the coating apparatus obtained in accordance with this invention has a spherical shape of adhesive microprotrusions, and a low roughness Rz of 4 to 6 μm.

В таблице 3 приведены свойства фольги, полученной по вариантам 1-3 в соответствии с данным изобретением и образцов сравнения.Table 3 shows the properties of the foil obtained according to options 1-3 in accordance with this invention and reference samples.

Таблица 3Table 3 Rz сырой фольги, мкмRz crude foil, microns Rz фольги, обработанной на аппарате, мкмRz foil processed on the apparatus, microns Временное сопротивление разрыву при 20°С, Н/мм2 Temporary tear resistance at 20 ° С, N / mm 2 Временное сопротивление разрыву при 180°С, Н/мм2 Temporary tear resistance at 180 ° С, N / mm 2 Относительное удлинение при 20°С, %Elongation at 20 ° С,% Относи тельное удлинение при 180°С, %Relative elongation at 180 ° С,% Сила сцепления 18 мкм фольги с диэлектриком, Н/3ммThe adhesion force of 18 μm foil with a dielectric, N / 3mm Вариант 1Option 1 2,62.6 5,55.5 371371 231231 13,313.3 8,98.9 4,54,5 Вариант 2Option 2 2,42,4 5,35.3 379379 225225 14,714.7 9,19.1 4,64.6 Вариант 3Option 3 2,72.7 5,45,4 378378 226226 14,114.1 9,19.1 4,44.4 Образец сравнения 1Sample Comparison 1 4,64.6 7,77.7 372372 229229 14,314.3 9,29.2 4,34.3 Образец сравнения 2Sample Comparison 2 4,44.4 7,87.8 369369 227227 13,913.9 8,88.8 4,24.2 Образец сравнения 3Sample Comparison 3 4,54,5 7,67.6 377377 231231 14,514.5 9,19.1 4,44.4

Как показано в таблице 3, шероховатость электролитической медной сырой фольги, полученной по вариантам 1-3 (Rz), составляет от 2,4 до 2,7 мкм, а шероховатость образцов сравнения 1 - 3 от 4,4 до 4,6 мкм. Шероховатость электролитической медной фольги, обработанной на аппарате покрытия, полученной по вариантам 1-3 (Rz), составляет от 5,3 до 5,5, а шероховатость образцов сравнения 1-3 от 7,6 до 7,8. Вывод - электролитическая фольга, полученная в соответствии по вариантам 1-3 в соответствии с условиями данного изобретения, имеет шероховатость ниже, чем образцы сравнения.As shown in table 3, the roughness of the electrolytic crude copper foil obtained according to options 1-3 (Rz) is from 2.4 to 2.7 microns, and the roughness of the comparison samples 1 to 3 is from 4.4 to 4.6 microns. The roughness of the electrolytic copper foil processed on the coating apparatus obtained according to options 1-3 (Rz) is from 5.3 to 5.5, and the roughness of the reference samples 1-3 is from 7.6 to 7.8. Conclusion - the electrolytic foil obtained in accordance with options 1-3 in accordance with the conditions of this invention has a roughness lower than the reference samples.

Как показано в таблице 3, физические свойства, временное сопротивление разрыву и относительное удлинения, как при комнатной температуре, так и при 180°С, одинаковы как для фольги, полученной при условиях соответствующих данному изобретению, так и для образцов сравнения.As shown in table 3, the physical properties, temporary tensile strength and relative elongation, both at room temperature and at 180 ° C, are the same for the foil obtained under the conditions of this invention, and for reference samples.

Как показано в таблице 3, сила сцепления фольги с диэлектриком фольги, полученной при условиях, соответствующих данному изобретению, составляет от 4,4 до 4,6 Н/3мм, тогда как у образцов сравнения от 4,2 до 4,4 Н/3мм.As shown in table 3, the adhesion force of the foil with the dielectric of the foil obtained under the conditions corresponding to this invention is from 4.4 to 4.6 N / 3 mm, while the comparison samples from 4.2 to 4.4 N / 3 mm .

В способе производства низкопрофильной медной фольги и медной электролитической фольги, произведенной этим способом, количество добавок на которые сделаны ссылки для каждого варианта не ограничено перечисленным. В данном изобретении могут применяться различные варианты соотношения добавок.In the production method of low-profile copper foil and copper electrolytic foil produced in this way, the number of additives referenced for each option is not limited to the above. In the present invention can be applied various options for the ratio of additives.

Использование предлагаемого способа производства медной фольги позволило получить низкопрофильную фольгу с повышенными свойствами по сравнению с известными способами производства медной фольги электролизом.Using the proposed method for the production of copper foil made it possible to obtain a low-profile foil with enhanced properties compared to the known methods for the production of copper foil by electrolysis.

При нанесение адгезионного слоя на одну или обе стороны медной фольги, полученной по предлагаемому способу, увеличивается сцепление фольги с диэлектрической подложкой, барьерный слой предотвращает диффузию меди в полимерный компаунд, нанесение противокоррозионного покрытия для предотвращения окисления медной фольги и силана для усиления химической адгезии. Отличительной особенностью обработанной на аппарате покрытия фольги, полученной в соответствии с данным изобретением, является сферическая форма адгезионных микровыступов, предотвращающая глубокое проникновение адгезионного покрытия в тело диэлектрика, обеспечивающая высокую силу сцепления фольги с диэлектриком, низкую шероховатость (Rz от 4 до 6 мкм), что позволяет использовать фольгу для производства тонких фольгированных диэлектриков.When applying the adhesive layer to one or both sides of the copper foil obtained by the proposed method, the adhesion of the foil to the dielectric substrate increases, the barrier layer prevents the diffusion of copper into the polymer compound, the application of an anti-corrosion coating to prevent oxidation of the copper foil and silane to enhance chemical adhesion. A distinctive feature of the foil coated on the apparatus obtained in accordance with this invention is the spherical shape of the adhesive microprotrusions, which prevents the deep penetration of the adhesive coating into the dielectric body, which provides high foil adhesion to the dielectric, low roughness (Rz from 4 to 6 μm), which allows the use of foil for the production of thin foil dielectrics.

Полученная по данному способу фольга имеет однородную структуру, не имеет на поверхности бугров и шишек значительных размеров, а многослойное адгезионное покрытие, нанесенное на одну или обе стороны фольги, обеспечивает надежное сцепление как с диэлектриком, так и с телом фольги, что позволяет ее использование во всех видах электронных плат, в том числе и для точных приборов.The foil obtained by this method has a homogeneous structure, does not have significant sizes on the surface of tubercles and cones, and a multilayer adhesive coating applied to one or both sides of the foil provides reliable adhesion to both the dielectric and the foil body, which allows its use in all types of electronic boards, including for precision instruments.

Claims (8)

1. Способ производства низкопрофильной медной электролитической фольги, включающий растворение меди и получение электролита на основе серной кислоты и содержащего хлорид ионы, осаждение слоя меди на наружную поверхность вращающегося барабана под воздействием электрического тока при подаче отрицательного потенциала на барабан, а положительного потенциала на изогнутые пластины анодов, расположенные в электролите, при этом в электролит вводят добавки в виде желатина, гидроксиэтилцеллюлозы и высокомолекулярной добавки с молекулярной массой не менее 600000, которые предварительно растворяют в воде, причем желатин и гидроксиэтилцеллюлозу растворяют в воде вместе, а высокомолекулярную добавку растворяют в воде отдельно.1. A method of manufacturing a low-profile copper electrolytic foil, including dissolving copper and producing an electrolyte based on sulfuric acid and containing chloride ions, depositing a copper layer on the outer surface of the rotating drum under the influence of electric current when a negative potential is applied to the drum, and a positive potential on curved plate anodes located in the electrolyte, while additives in the form of gelatin, hydroxyethyl cellulose and a high molecular weight additive with molecular m assoy at least 600,000, which are previously dissolved in water, moreover, gelatin and hydroxyethyl cellulose are dissolved in water together, and a high molecular weight additive is dissolved in water separately. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что гидроксиэтилцеллюлозу вводят в электролит в количестве 0,1-5 мг/дм3.2. The method according to claim 1, characterized in that the hydroxyethyl cellulose is introduced into the electrolyte in an amount of 0.1-5 mg / DM 3 . 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве высокомолекулярной добавки используют Праестол 650ВС.3. The method according to claim 1, characterized in that Praestol 650BC is used as a high molecular weight additive. 4. Низкопрофильная медная электролитическая фольга, содержащая матовую и глянцевую поверхности, расположенные на противоположных ее сторонах, отличающаяся тем, что она получена способом по любому из пп.1-3 и имеет равномерную столбчатую структуру при средних размерах кристаллов в поперечнике 4-7 мкм, а морфология ее матовой поверхности характеризуется наличием пирамидальных выступов.4. Low-profile copper electrolytic foil containing a matte and glossy surface located on its opposite sides, characterized in that it is obtained by the method according to any one of claims 1 to 3 and has a uniform columnar structure with an average crystal size of 4-7 μm across, and the morphology of its matte surface is characterized by the presence of pyramidal protrusions. 5. Низкопрофильная фольга по п.4, отличающаяся тем, что шероховатость ее матовой поверхности находится в пределах 2-3,2 мкм.5. The low-profile foil according to claim 4, characterized in that the roughness of its matte surface is in the range of 2-3.2 microns. 6. Низкопрофильная фольга по п.4, отличающаяся тем, что на ее матовую поверхность или матовую и глянцевую поверхности нанесено многослойное покрытие, слои которого расположены в следующей последовательности: адгезионный, барьерный, антикоррозионный и силановый.6. The low-profile foil according to claim 4, characterized in that on its matte surface or matte and glossy surface, a multilayer coating is applied, the layers of which are arranged in the following sequence: adhesive, barrier, anti-corrosion and silane. 7. Низкопрофильная фольга по п.6, отличающаяся тем, что на пирамидальных выступах ее матовой поверхности имеются микровыступы сферической формы.7. The low-profile foil according to claim 6, characterized in that there are spherical microprotrusions on the pyramidal protrusions of its matte surface. 8. Низкопрофильная фольга по п.6, отличающаяся тем, что шероховатость ее матовой поверхности после нанесения покрытия составляет 4-6 мкм. 8. The low-profile foil according to claim 6, characterized in that the roughness of its matte surface after coating is 4-6 microns.
RU2006126952/02A 2006-07-24 2006-07-24 Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method RU2366764C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006126952/02A RU2366764C2 (en) 2006-07-24 2006-07-24 Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006126952/02A RU2366764C2 (en) 2006-07-24 2006-07-24 Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2006126952A RU2006126952A (en) 2008-01-27
RU2366764C2 true RU2366764C2 (en) 2009-09-10

Family

ID=39109800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006126952/02A RU2366764C2 (en) 2006-07-24 2006-07-24 Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2366764C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2527591C2 (en) * 2012-12-21 2014-09-10 Открытое акционерное общество "Челябинский трубопрокатный завод" PRODUCTION OF LONG-SIZED 265×22×13000±300 AND 285×25×11750±50 mm-TUBE STOCK FROM HOLLOW ESR INGOTS-BILLETS OF "08Х10Н20Т2" AND "08Х10Н16Т2" GRATE STEEL FOR SUBMARINE PERISCOPE DRIVES

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6667840B1 (en) * 2019-07-22 2020-03-18 テックス・テクノロジー株式会社 Manufacturing method of electrolytic copper foil
CN114032586A (en) * 2021-11-11 2022-02-11 浙江花园新能源股份有限公司 Electrolyte for improving uniformity of M-surface particles of electrolytic copper foil, production process and product

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2527591C2 (en) * 2012-12-21 2014-09-10 Открытое акционерное общество "Челябинский трубопрокатный завод" PRODUCTION OF LONG-SIZED 265×22×13000±300 AND 285×25×11750±50 mm-TUBE STOCK FROM HOLLOW ESR INGOTS-BILLETS OF "08Х10Н20Т2" AND "08Х10Н16Т2" GRATE STEEL FOR SUBMARINE PERISCOPE DRIVES

Also Published As

Publication number Publication date
RU2006126952A (en) 2008-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11453940B2 (en) Metal mask substrate for vapor deposition, metal mask for vapor deposition, production method for metal mask substrate for vapor deposition, and production method for metal mask for vapor deposition
JP6379207B2 (en) Electrolytic copper foil, and electric parts and batteries including the same
US5863410A (en) Process for the manufacture of high quality very low profile copper foil and copper foil produced thereby
CN101126168B (en) Surface treatment electrolysis copper foil, method for manufacturing the same , and circuit board
JP6533267B2 (en) Electrolytic copper foil with minimized curl, electrode containing the same, secondary battery containing the same, and method of manufacturing the same
CN102762777B (en) Multicellular metal foil and preparation method thereof
CN103282552B (en) The Porous tinsel strengthened and manufacture method thereof
CN112469194B (en) Low-profile electrolytic copper foil for high-density interconnected circuit board
JP2004339558A (en) Low rough surface electrolytic copper foil, and its production method
JP5563849B2 (en) Treated copper foil
JPH07188969A (en) Electrodeposited copper foil and its preparation
JP2002053993A (en) Electrolytic copper foil, and method of manufacturing the same
TWI707373B (en) An aluminum plate and the manufacturing method thereof
JP2004339558A5 (en)
RU2366764C2 (en) Method of production of copper low-profile foil and low-profile foil produced with implementation of this method
JP4709575B2 (en) Copper foil roughening treatment method and roughening treatment liquid
CN109023462B (en) Method for preparing polydopamine film layer by magnesium and magnesium alloy surface electropolymerization
JP3756852B2 (en) Method for producing electrolytic copper foil
KR101535853B1 (en) Manufacturing method of high strength copper foil using micro-hardening and high strength copper foil manufactured by the same
CN1076154C (en) Copper foil and high-density multi-layered printed circuit board using the copper foil for inner layer circuit
CN111074317A (en) Surface treatment method of copper foil and copper foil material
US8293093B2 (en) Process for cooper electrowinning and electrorefining
CN112176366A (en) Electrolyte of high-ductility electrolytic copper foil and application
KR101502373B1 (en) Electrolytic copper foil, electric component and battery comprising the foil
KR100612403B1 (en) Manufacturing Method Of Very Low Profile Copper Foil

Legal Events

Date Code Title Description
FA92 Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted)

Effective date: 20080620

FZ9A Application not withdrawn (correction of the notice of withdrawal)

Effective date: 20080722

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200725