RU2336545C2 - Device for adjustment of optical elements - Google Patents
Device for adjustment of optical elements Download PDFInfo
- Publication number
- RU2336545C2 RU2336545C2 RU2005134443/28A RU2005134443A RU2336545C2 RU 2336545 C2 RU2336545 C2 RU 2336545C2 RU 2005134443/28 A RU2005134443/28 A RU 2005134443/28A RU 2005134443 A RU2005134443 A RU 2005134443A RU 2336545 C2 RU2336545 C2 RU 2336545C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pos
- optical
- adjustment
- screws
- optical element
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к оптико-механическому приборостроению и может быть использовано для прецизионной юстировки зеркал оптических резонаторов оптических квантовых генераторов (ОКГ).The invention relates to optical-mechanical instrumentation and can be used for precision alignment of mirrors of optical resonators of optical quantum generators (OCG).
Известен аналог «Юстировочное устройство». А.С. SU 337747, МПК G02B 7/18, 14.07.69 г., Бюл. № 5, 05.06.72 г. Юстировочное устройство-аналог для зеркал квантовых генераторов, содержит рычажно-винтовой механизм с винтами грубой и тонкой регулировки положения подпружиненного основания относительно неподвижного корпуса. С целью повышения чувствительности юстировки основание шарнирно связано по крайней мере с одним дополнительным рычагом с резьбовыми отверстиями для винтов грубой и тонкой регулировки, установленных с возможностью проскальзывания их сферических торцев соответственно по опорным поверхностям корпуса и основания. К недостатку можно отнести сложность конструкции.Known analogue "Adjustment device". A.S. SU 337747, IPC
Наиболее близким является «Устройство для юстировки оптических элементов». A.C. SU 1138780, МПК G02B 7/18, 21.04.83, Бюл. № 5, 07.02.85 г. Устройство-прототип содержит основание для закрепления на нем оптического элемента, неподвижный корпус, промежуточный элемент, регулировочные винты поступательного перемещения и регулировочные винты углового перемещения. С целью уменьшения габаритов устройства, промежуточный элемент выполнен в виде крестовины, где попарно установлены регулировочные винты. Конструкция проста в изготовлении и малогабаритна. Недостатками известного устройства является его неудобное расположение, т.е. находится за юстируемым зеркалом и имеет ограниченный диапазон перемещений, что сужает область применения.The closest is the "Device for alignment of optical elements." A.C. SU 1138780, IPC
Задачей изобретения является создание надежного устройства, обеспечивающего прецизионную юстировку зеркал оптических резонаторов ОКГ с повышенной точностью юстировки оптических элементов, уменьшение габаритов устройства.The objective of the invention is to provide a reliable device that provides precision alignment of the mirrors of optical resonators of laser with increased accuracy of alignment of optical elements, reducing the size of the device.
Техническим результатом заявленного устройства является надежная простая конструкция юстировочной оправы, обеспечивающая повышенную точность и чувствительность юстировки зеркал резонатора ОКГ. При этом:The technical result of the claimed device is a reliable simple design of the alignment frame, providing increased accuracy and sensitivity of the alignment of the mirrors of the resonator. Wherein:
1) диапазон угловой юстировки в вертикальной и горизонтальной плоскостях +5 градусов;1) the range of angular adjustment in the vertical and horizontal planes +5 degrees;
2) чувствительность юстировки - 10 секунд;2) sensitivity of adjustment - 10 seconds;
3) прямолинейное перемещение в вертикальном направлении +10 мм;3) rectilinear movement in the vertical direction +10 mm;
точность перемещения - 1 мкм;accuracy of movement - 1 micron;
4) прямолинейное перемещение в горизонтальном направлении +15 мм;4) rectilinear movement in the horizontal direction +15 mm;
точность перемещения - 1 мкм.accuracy of movement - 1 micron.
Указанный технический результат достигается тем, что в устройстве для юстировки оптических элементов, содержащем основание для закрепления на нем оптического элемента, заключенного в оправку, промежуточный элемент, регулировочные винты поступательного перемещения и регулировочные винты углового перемещения оптического элемента, промежуточный элемент выполнен в виде направляющих пластин, установленных по периметру основания, соприкасающиеся торцевые поверхности которых имеют профиль «ласточкиного хвоста», обеспечивающего перемещение оптического элемента во взаимно перпендикулярных направлениях посредством двух регулировочных винтов возвратно-поступательного перемещения, расположенных в местах, диаметрально противоположным опорам, подпружиненным по отношению к кольцу, который соосно установлен относительно оправки и основания и кинематически связан с ними посредством имеющихся радиальных опор. Радиальные опоры расположены попарно во взаимно-перпендикулярных направлениях по внутренней и наружной поверхностям кольца, образуя при этом промежуточную кольцевую подвеску.The specified technical result is achieved by the fact that in the device for aligning the optical elements, containing a base for fixing an optical element enclosed in a mandrel thereon, an intermediate element, progressive translation adjusting screws and optical element angular adjustment screws, the intermediate element is made in the form of guide plates, installed along the perimeter of the base, the contacting end surfaces of which have a dovetail profile, providing ix optical element in mutually perpendicular directions by means of two adjusting screws reciprocating disposed at locations diametrically opposite supports, a spring-loaded relative to the ring, which is coaxially mounted relative to the mandrel and the base and kinematically connected to them by radial bearings available. Radial bearings are arranged in pairs in mutually perpendicular directions along the inner and outer surfaces of the ring, thus forming an intermediate ring suspension.
Расположение регулировочно-юстировочных механизмов и направляющих перемещения непосредственно на фланце основания позволяет уменьшить габариты юстировочного устройства.The location of adjusting and adjusting mechanisms and guides of movement directly on the base flange allows to reduce the dimensions of the adjustment device.
Объединение в одной конструкции юстировочной оправы указанных подвижек делает возможным совмещение юстировки во взаимно-перпендикулярных направлениях как прямолинейных, так и угловых перемещений юстируемой оптики, при этом, обеспечивая надежную с повышенной точностью и чувствительностью фокусировку и настройку оптических зеркал оптических резонаторов ОКГ.The combination of the indicated shifts in one design of the alignment frame makes it possible to combine alignment in the mutually perpendicular directions of both rectilinear and angular movements of the aligned optics, while ensuring reliable focusing and tuning of optical mirrors of optical resonators of laser laser with increased accuracy and sensitivity.
Наличие в конструкции промежуточных элементов в виде направляющих с профилем «ласточкиного хвоста» обеспечивает продвижение с минимальным трением скольжения вдоль контактирующих поверхностей, дополнительно перемещая в вертикальном и горизонтальном направлениях в полном диапазоне микрометрического хода с шагом h=1 мм, плавно осуществляя прецизионную юстировку оптических зеркал установки резонатора.The presence in the design of intermediate elements in the form of guides with a dovetail profile provides advancement with minimal sliding friction along the contacting surfaces, additionally moving in the vertical and horizontal directions in the full range of the micrometric stroke with a step h = 1 mm, smoothly performing precision alignment of the optical installation mirrors resonator.
Точность регулировки диапазона угловой юстировки во взаимно-перпендикулярных направлениях осуществляется двумя регулировочно-юстировочными винтами с подпружиненными опорами, что выполнено конструктивно просто, удобно и надежно.The accuracy of adjusting the angle adjustment range in mutually perpendicular directions is carried out by two adjusting and adjusting screws with spring-loaded bearings, which is structurally simple, convenient and reliable.
На фиг.1-3 показана предлагаемая конструкция устройства для юстировки оптических элементов в виде оправы юстировочной и элементов подвижек, расположенных на внешней стороне оправы:1-3 show the proposed design of a device for aligning optical elements in the form of an alignment frame and movement elements located on the outside of the frame:
1 - Основание-рама.1 - Base frame.
2 - Корпус.2 - Case.
3 - Оправка.3 - Mandrel.
4 - Кольцо.4 - Ring.
5 - Направляющая пластина.5 - Guide plate.
6 - Направляющая пластина.6 - Guide plate.
7 - Регулировочный винт прямолинейного перемещения.7 - Adjusting screw rectilinear movement.
8 - Подпружиненная опора.8 - Spring-loaded support.
9 - Регулировочный винт углового поворота.9 - Adjusting screw for angular rotation.
10 - Опора радиальная.10 - Radial bearing.
11 - Оптический элемент.11 - Optical element.
12 - Фиксатор.12 - The latch.
13 - Стержень.13 - The core.
14 - Прокладка кольцевая.14 - Ring gasket.
15 - Крышка.15 - Cover.
16 - Цанговый зажим.16 - Collet clamp.
Блок резонатора состоит из двух плоских параллельных зеркал, находящихся на определенном расстоянии одно от другого. Устройство для юстировки оптических элементов резонатора базируется на оптической скамье, обеспечивая прочность и устойчивость от воздействия внешних факторов при эксплуатации. Устройство для юстировки оптических элементов поз.11 содержит жесткое основание, выполненное в виде рамы поз.1 из конструкционной стали 45 для монтажа на нем корпуса поз.2 с оправкой поз.3, в которую входит соосно кольцо поз.4. В оправку поз.3 на упругую кольцевую прокладку поз.14 устанавливается юстируемый оптический элемент поз.11 и поджимается крышкой поз.15. Оправка поз.3 с оптическим элементом устанавливается в корпусе поз.2 через кольцо поз.4 на радиальных взаимно-перпендикулярных опорах поз.10, при этом каждая пара радиальных опор расположена во взаимно-перпендикулярных направлениях по внутренней и наружной поверхностям кольца поз.4 соответственно, образуя при этом промежуточную кольцевую подвеску, жестко замкнутую на корпус основания поз.2.The resonator block consists of two plane parallel mirrors located at a certain distance from one another. The device for aligning the optical elements of the resonator is based on an optical bench, providing strength and resistance to external factors during operation. A device for aligning optical elements of pos. 11 contains a rigid base made in the form of a frame of pos. 1 made of structural steel 45 for mounting on it a body of pos. 2 with a mandrel of pos. 3, which includes a coaxially ring pos. 4. In the mandrel pos. 3, on the elastic ring gasket pos. 14, an adjustable optical element pos. 11 is installed and is pressed by the cover pos. 15. The mandrel pos.3 with an optical element is installed in the housing pos.2 through the ring pos.4 on radial mutually perpendicular bearings pos.10, with each pair of radial supports located in mutually perpendicular directions along the inner and outer surfaces of the ring pos.4, respectively , while forming an intermediate ring suspension, rigidly closed to the base body, pos.2.
Промежуточный элемент выполнен в виде направляющих пластин поз.5, 6, расположенных по периметру основания-рамы поз.1, торцевые поверхности имеют форму соединения «ласточкин хвост», соприкасающиеся плоскостями между собой и выполняющие их относительное движение вдоль взаимно-перпендикулярных направлений с минимальным трением скольжения. В направляющих поз.5, 6 и в основании-раме поз.1 попарно установлены регулировочно-юстировочные винты поз.7 возвратно-поступательного прямолинейного перемещения оптического элемента поз 11. Ограничивающие движение направляющие поз.5, 6 закреплены на раме поз.1, заданное положение оптического элемента поз.11 в корпусе поз.2 стопорится фиксаторами поз.12.The intermediate element is made in the form of guide plates pos. 5, 6 located along the perimeter of the base-frame pos. 1, the end surfaces are in the form of a dovetail connection, touching each other by planes and performing their relative movement along mutually perpendicular directions with minimal friction slip. In the guides pos. 5, 6 and in the base frame pos. 1, adjusting and adjusting screws pos. 7 of the reciprocating rectilinear movement of the optical element pos. 11 are installed in pairs. The motion-limiting guides pos. 5, 6 are fixed on the frame pos. 1, specified the position of the optical element pos.11 in the housing pos.2 is locked by the latches pos.12.
Регулировочно-юстировочные винты углового поворота поз.9 расположенны в местах, диаметрально противоположным подпружиненным опорам поз.8. Юстировку углового положения оптического элемента поз.11 по двум взаимно перпендикулярным направлениям в пределах диапазона угловой юстировки производят путем попеременного вращения регулировочных винтов поз.9, расположенных в зонах, диаметрально противоположных подпружиненных опор поз.8, торцем упирающиеся на поверхность кольца поз.4 оправки поз.3. добиваясь заданного направления оси оптического элемента поз.11, при этом поворот оправки поз.3 происходит вокруг радиальных опор поз.10. Выставленное положение оптического элемента стопорится фиксаторами поз.12, обеспечивая жесткое соединение. При этом чувствительность угловой юстировки составляет ~10 секунд. Все резьбовые соединения предохраняются от самоотвинчивания и проворачивания. Достигается это использованием стопорных деталей поз.12, и цанговым зажимом поз.16, что позволяет работать юстировочной системе стабильно, предохраняя от разъюстировки оптической системы.The adjusting and adjusting screws for the angular rotation pos.9 are located in places diametrically opposite to the spring-loaded bearings pos.8. Adjusting the angular position of the optical element pos.11 in two mutually perpendicular directions within the range of angular alignment is performed by alternately rotating the adjusting screws pos.9 located in areas diametrically opposed to the spring-loaded supports pos.8, abutting against the surface of the ring pos.4 mandrels pos .3. achieving a given direction of the axis of the optical element pos.11, while the rotation of the mandrel pos.3 occurs around the radial supports pos.10. The exposed position of the optical element is locked by the latches pos.12, providing a rigid connection. The sensitivity of the angle adjustment is ~ 10 seconds. All threaded connections are protected against self-loosening and turning. This is achieved by using the locking parts pos.12, and the collet clamp pos.16, which allows the adjustment system to work stably, protecting from misalignment of the optical system.
Поджатия опор поз.8 с помощью пружин дополнительно используется для устранения «мертвого хода» и получения в резьбовых соединениях дополнительных сил трения во избежание перекосов в направляющих при их перемещении относительно друг друга. Малые линейные перемещения достигаются применением резьбы в регулировочных винтах поз.9 треугольного профиля с мелким шагом h=0,5 мм, необходимые для точной юстировки оптического элемента и фокусировки лазерного излучения в резонаторе.Preloading the bearings pos.8 with the help of springs is additionally used to eliminate the “deadlock” and to obtain additional friction forces in the threaded joints to avoid distortions in the guides when they are moved relative to each other. Small linear displacements are achieved by using the threads in the adjusting screws pos. 9 of a triangular profile with a small pitch h = 0.5 mm, which are necessary for precise alignment of the optical element and focusing of the laser radiation in the cavity.
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
В оправку поз.3 на упругое кольцо поз.14 устанавливается юстируемый оптический элемент поз.11 и поджимается крышкой поз.15. Оправка поз.3 с оптическим зеркалом поз.11 посредством радиальных опор поз.10 крепится к корпусу поз.2 и соединена с основанием-рамой поз.1. Управление угловыми поворотами оптического элемента осуществляется вручную, путем плавного вращения регулировочно-юстировочных винтов поз.9 по двум взаимно перпендикулярным направлениям, совершая винтовое регулировочное движение, разворачивает в заданном угловом направлении оправку поз.3 вокруг опор поз.10, относительно основания-рамы поз.1 до определенного положения. Выставленное положение стопорится фиксаторами поз.12 до упора в поверхность корпуса оправки поз.3. Вращение регулировочных винтов поз.9 осуществляется вручную, плавно, без резкого возрастания усилия, люфтов и заклинивания на контактирующих поверхностях. Точность регулировки углового поворота осуществляется в пределах микрометрического хода регулировочных винтов с шагом h=0,5 мм и составляет ~10 секунд. Регулировка усилия вращения винтов поз.9, достаточного для разворота оптики, осуществляется подпружиненными опорами поз.8 с одновременной выборкой зазора в местах контактирующих поверхностей.In the mandrel pos. 3, on the elastic ring pos. 14, an adjustable optical element pos. 11 is installed and is pressed by the cover pos. 15. The mandrel pos. 3 with an optical mirror pos. 11 by means of radial bearings pos. 10 is attached to the housing pos. 2 and connected to the
Промежуточный элемент, выполненный в виде жестких направляющих пластин поз.5, 6, расположенных по периметру основания-рамы поз.1, и торцевые поверхности, имеющие форму соединения «ласточкин хвост», соприкасаются плоскостями между собой и выполняют относительное движение вдоль взаимно-перпендикулярных направлений во фронтальной плоскости в пределах заданного диапазона подвижек.An intermediate element made in the form of rigid guide plates pos. 5, 6 located along the perimeter of the base-frame pos. 1, and end surfaces having the shape of a dovetail joint are in contact with each other by planes and perform relative motion along mutually perpendicular directions in the frontal plane within a given range of movements.
Регулировка положения оптического элемента осуществляется требуемым движением оправки поз.3 вдоль взаимно-перпендикулярных направлений посредством вращения юстировочных винтов поз.7. Регулировка усилия вращения осуществляется вручную винтами поз.7, без люфтов и заеданий контактирующих поверхностей. Отсутствие заклинивания на смазанных поверхностях направляющих движения поз.5, 6 и выбор материалов для их изготовления с одинаковым коэффициентом линейного расширения для конструкционной стали 45 делают юстировочное устройство износостойким, а возможность поджатия направляющих относительно друг друга и выборка зазора фиксаторами поз.12 - стабильность и устойчивость в отъюстированном положении.The position of the optical element is adjusted by the required movement of the mandrel pos.3 along mutually perpendicular directions by rotating the adjustment screws pos.7. The adjustment of the rotation force is carried out manually with screws pos. 7, without backlash and jamming of the contacting surfaces. The absence of jamming on the lubricated surfaces of the motion guides,
Данное юстировочное устройство оптического блока резонатора для юстировки оптических зеркал конструктивно обеспечивает повышение точности и чувствительности настройки зеркал. Конструкция проста в управлении и безопасна в работе. Все резьбовые соединения устройства предохраняются от самоотвинчивания и проворачивания, что позволяет работать юстировочной системе стабильно при динамических нагрузках. Поджатия опор поз.8 с помощью пружин используется для устранения «мертвого хода» и получения в резьбовых соединениях дополнительных сил трения во избежание перекосов и заклинивания. Одновременно позволяет устранить влияние температурных перепадов атмосферы на стержневую раму блока резонатора, используя материал сплав-ковар с коэффициентом линейного расширения к=1,6.10-6 1/°C при Т=+70°С, что в 6,8 раза меньше, чем у конструкционной стали к=11.10-6 1/°C при Т=+70°С, для изготовления стягивающих стержней поз.13, обеспечивая стабильность длины блока резонатора в пределах 0,015 мм и поддержку температурного перепада не более 2°С. Конструктивно обеспечена стабильность длины резонатора, которая существенно влияет на хорошее качество проходящего пучка лазерного излучения в резонансной системе.This alignment device of the optical resonator unit for aligning optical mirrors is structurally designed to increase the accuracy and sensitivity of tuning mirrors. The design is easy to operate and safe to operate. All threaded connections of the device are protected from self-unscrewing and turning, which allows the adjustment system to work stably under dynamic loads. Preloading the bearings pos.8 with the help of springs is used to eliminate the “deadlock” and to obtain additional friction forces in the threaded joints to avoid distortions and jamming. At the same time, it allows to eliminate the influence of temperature differences of the atmosphere on the core frame of the resonator block using alloy-insidious material with a coefficient of linear expansion k = 1.6.10 -6 1 / ° C at T = + 70 ° C, which is 6.8 times less than for structural steel, k = 11.10 -6 1 / ° C at T = + 70 ° C, for the manufacture of tightening rods, item 13, ensuring the stability of the length of the resonator block within 0.015 mm and the temperature difference is not more than 2 ° C. Structurally, the stability of the cavity length is provided, which significantly affects the good quality of the transmitted laser beam in the resonant system.
Объединение в одной конструкции юстировочной оправы указанных подвижек делает возможным компактное совмещение юстировок, обеспечивая прецизионную ориентировку во взаимно-перпендикулярных направлениях, как прямолинейных, так и угловых перемещений юстируемой оптики, при этом, обеспечивая надежную с повышенной точностью и чувствительностью фокусировку и настройку оптических зеркал оптических резонаторов ОКГ.The combination of the indicated shifts in one design of the alignment frame makes it possible to compactly align the alignments, providing precise orientation in mutually perpendicular directions, both rectilinear and angular movements of the aligned optics, while ensuring reliable focusing and tuning of optical mirrors of optical resonators with increased accuracy and sensitivity OKG.
Такая конструкции юстировочного устройства позволяет скомпенсировать и сглаживать все оптико-механические и конструктивные погрешности, погрешности обработки и сборки. Конструкция надежна, исключает разъюстировку оптической системы, износостойка и ремонтоспособна при эксплуатации.This design of the alignment device allows you to compensate and smooth out all the optical, mechanical and structural errors, processing and assembly errors. The design is reliable, eliminates the misalignment of the optical system, is wear-resistant and maintainable during operation.
Конструкция обеспечивает сравнительно небольшие габариты за счет внешнего расположения регулировочных механизмов и возможность регулировки в труднодоступных местах, удобна в работе.The design provides a relatively small size due to the external location of the adjusting mechanisms and the ability to adjust in hard-to-reach places, convenient in operation.
Предлагаемое устройство для юстировки промышленно применимо. В настоящее время уже изготовлен опытный образец, выдержал испытания в соответствии с установленными требованиями.The proposed device for alignment is industrially applicable. At present, a prototype has already been manufactured; it has passed the tests in accordance with the established requirements.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005134443/28A RU2336545C2 (en) | 2005-11-07 | 2005-11-07 | Device for adjustment of optical elements |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005134443/28A RU2336545C2 (en) | 2005-11-07 | 2005-11-07 | Device for adjustment of optical elements |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005134443A RU2005134443A (en) | 2007-05-20 |
| RU2336545C2 true RU2336545C2 (en) | 2008-10-20 |
Family
ID=38163765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005134443/28A RU2336545C2 (en) | 2005-11-07 | 2005-11-07 | Device for adjustment of optical elements |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2336545C2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102854599A (en) * | 2012-10-09 | 2013-01-02 | 中国矿业大学 | Two-degree-of-freedom fine moving and tuning adjusting rack |
| RU2670571C2 (en) * | 2017-03-02 | 2018-10-23 | Валерия Дмитриевна Паненко | Rotary mirror |
| RU196003U1 (en) * | 2019-03-14 | 2020-02-13 | Акционерное Общество "Центр Прикладной Физики Мгту Им. Н.Э. Баумана" | Additive adjustment technology |
| RU2771148C1 (en) * | 2021-05-31 | 2022-04-27 | Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева", ПАО КМЗ | Precision positioning mechanism for the manufacture of high-precision optical devices |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113483600A (en) * | 2021-07-19 | 2021-10-08 | 吉林省巨程智造光电技术有限公司 | Optical sighting telescope division correcting mechanism for eliminating axial movement gap |
-
2005
- 2005-11-07 RU RU2005134443/28A patent/RU2336545C2/en active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102854599A (en) * | 2012-10-09 | 2013-01-02 | 中国矿业大学 | Two-degree-of-freedom fine moving and tuning adjusting rack |
| CN102854599B (en) * | 2012-10-09 | 2014-08-20 | 中国矿业大学 | Two-degree-of-freedom fine moving and tuning adjusting rack |
| RU2670571C2 (en) * | 2017-03-02 | 2018-10-23 | Валерия Дмитриевна Паненко | Rotary mirror |
| RU196003U1 (en) * | 2019-03-14 | 2020-02-13 | Акционерное Общество "Центр Прикладной Физики Мгту Им. Н.Э. Баумана" | Additive adjustment technology |
| RU2771148C1 (en) * | 2021-05-31 | 2022-04-27 | Публичное акционерное общество "Красногорский завод им. С.А. Зверева", ПАО КМЗ | Precision positioning mechanism for the manufacture of high-precision optical devices |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2005134443A (en) | 2007-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2336545C2 (en) | Device for adjustment of optical elements | |
| JP3184825B2 (en) | Apparatus and method for accurately adjusting the angular position of an optical device | |
| US4991961A (en) | Moving mirror tilt adjust mechanism in an interferometer | |
| EP2813811A1 (en) | Inside-diameter measurement device | |
| RU2394259C1 (en) | Device for adjusting optical elements | |
| US10712269B2 (en) | Optomechanical part for parabolic mirror fine rotation and on-axis linear positioning | |
| Schmidt et al. | Investigations and calculations into decreasing the uncertainty of a nanopositioning and nanomeasuring machine (NPM-Machine) | |
| Li et al. | Vertical scanning long trace profiler: a tool for metrology of x-ray mirrors | |
| JP6717337B2 (en) | Gas analyzer | |
| JPH11300581A (en) | Slider, machine tool using the slider, and machining method of diffraction grating using the machine tool | |
| Gubarev et al. | Calibration of a vertical-scan long trace profiler at MSFC | |
| CN111043460B (en) | 3D camera simulation debugging equipment | |
| US20080068612A1 (en) | Fourier-transform spectrometers | |
| CN220623308U (en) | Rotary adjusting structure and static geometric parameter measuring instrument | |
| Takacs | Nanometer precision in large surface profilometry. | |
| CN105865325B (en) | Double interference image frequency microscopes adjustable in pitch | |
| Takacs et al. | Large-mirror figure measurement by optical profilometry techniques | |
| Ahmad | Adjustment Mechanisms | |
| Shipley et al. | Grazing incidence optics for x-ray interferometry | |
| Henein et al. | Mechanical design of a spherical grating monochromator for the microspectroscopy beamline pollux at the swiss light source | |
| CN115727754A (en) | Optical device | |
| de Oliveira et al. | Metrology of 1.2 m-long x-ray mirrors mounted in a bender mechanism for QUATI beamline/SIRIUS | |
| Takacs et al. | Synchrotron Radiation and X-ray Mirror Metrology with the Long Trace Profiler | |
| Taccola et al. | The cryogenic refocusing mechanism of NIRSpec opto-mechanical design, analysis, and testing | |
| Zhou et al. | Research on surface profile measurement of weak-rigid plate |