RU2281581C1 - Spontaneous radiation source - Google Patents
Spontaneous radiation source Download PDFInfo
- Publication number
- RU2281581C1 RU2281581C1 RU2004137766/09A RU2004137766A RU2281581C1 RU 2281581 C1 RU2281581 C1 RU 2281581C1 RU 2004137766/09 A RU2004137766/09 A RU 2004137766/09A RU 2004137766 A RU2004137766 A RU 2004137766A RU 2281581 C1 RU2281581 C1 RU 2281581C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- tube
- radiation source
- radiation
- xenon
- diameter
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании эффективных источников излучения в ультрафиолетовой (УФ) и вакуумно-ультрафиолетовой (ВУФ) областях спектра. Изобретение может найти применение, в частности, в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения (ultraviolet cleaning and ultraviolet surface reformation) и других областях.The invention relates to lighting engineering and can be used to create effective radiation sources in the ultraviolet (UV) and vacuum-ultraviolet (VUV) spectral regions. The invention can find application, in particular, in microelectronics in the processing and cleaning of a surface by means of its irradiation (ultraviolet cleaning and ultraviolet surface reformation) and other fields.
Известны источники спонтанного излучения в ВУФ-области спектра, в которых в качестве рабочей среды используются водород (дейтерий) [1], инертные газы и их смесь с водородом при низком давлении, что позволяет получать излучение на резонансных переходах данных газов [2]. При этом плотность мощности излучения относительно низка - не превышает ~10 мВт/см2. Известны также источники излучения на В-Х переходах димеров инертных газов при высоком давлении [3, 4]. Недостатком данных устройств является сложность конструкции и относительно малая площадь излучающей поверхности.There are known sources of spontaneous emission in the VUV spectral region, in which hydrogen (deuterium) [1], inert gases and their mixture with hydrogen at low pressure are used as a working medium, which makes it possible to obtain radiation at the resonant transitions of these gases [2]. Moreover, the radiation power density is relatively low - it does not exceed ~ 10 mW / cm 2 . Radiation sources at the B – X transitions of inert gas dimers at high pressure are also known [3, 4]. The disadvantage of these devices is the design complexity and the relatively small area of the radiating surface.
Наиболее близким по техническому решению, выбранным в качестве прототипа, является источник излучения, описанный в [5]. Источник излучения состоит из отпаянной газоразрядной колбы, заполненной рабочей средой, которая при протекании электрического тока через газ излучает свет. Стенками данной колбы являются внутренняя поверхность внешней диэлектрической трубки и внешняя поверхность диэлектрического прутка, вставленного внутрь первой трубки. Металлические электроды установлены на внешней поверхности внешней трубки и внутри диэлектрического прутка. При этом внешний диаметр диэлектрического прутка в 5-10 раз меньше внутреннего диаметра внешней трубки. Для формирования электрического разряда в колбе, заполненной рабочей средой, на электроды подается напряжение от источника питания переменного тока. В качестве рабочей среды источника излучения используются инертные газы, смеси инертных газов или паров ртути с галогенами и другие газы. Источник излучения позволяет получать в зависимости от рабочей среды излучение от ВУФ до видимой области спектра.Closest to the technical solution, selected as a prototype, is the radiation source described in [5]. The radiation source consists of a sealed gas-discharge flask filled with a working medium that emits light when electric current flows through the gas. The walls of this bulb are the inner surface of the outer dielectric tube and the outer surface of the dielectric rod inserted inside the first tube. Metal electrodes are mounted on the outer surface of the outer tube and inside the dielectric rod. In this case, the outer diameter of the dielectric rod is 5-10 times smaller than the inner diameter of the outer tube. To form an electric discharge in a flask filled with a working medium, voltage is supplied to the electrodes from an AC power source. Inert gases, mixtures of inert gases or mercury vapors with halogens and other gases are used as the working medium of the radiation source. The radiation source allows you to receive, depending on the working medium, radiation from the VUV to the visible region of the spectrum.
Недостатком данного источника излучения является, во-первых, малая величина емкости внутреннего электрода из-за малого размера внешней поверхности диэлектрического прутка, вставленного в диэлектрическую трубку. Это приводит к тому, что величина емкости источника излучения, формируемая двумя последовательно включенными диэлектрическими барьерами, оказывается малой. При этом известно, что мощность возбуждения в данных условиях пропорциональна емкости источника излучения [6]. Это означает, что погонная мощность возбуждения будет при прочих равных условиях малой. Из-за малого диаметра диэлектрического прутка возникает также ограничение на максимальный диаметр внешней диэлектрической трубки, поскольку для эффективного формирования эксимерных молекул предпочтительно использовать большее давление рабочей среды. В то же время повышенное давление рабочей среды и большой зазор между внешней и внутренней диэлектрической трубкой затрудняют электрический пробой и формирование электрического разряда в источнике излучения. Во-вторых, при использовании ксенона в качестве рабочей среды спектр излучения ограничен областью ~160-190 нм. Кроме того, ксенон обладает наименьшей среди инертных газов теплопроводностью [7], что приводит к большему нагреву рабочей среды и уменьшению эффективности работы источника излучения.The disadvantage of this radiation source is, firstly, the small size of the capacitance of the internal electrode due to the small size of the outer surface of the dielectric rod inserted into the dielectric tube. This leads to the fact that the value of the radiation source capacitance, formed by two series-connected dielectric barriers, is small. It is known that the excitation power under these conditions is proportional to the capacity of the radiation source [6]. This means that the linear excitation power will be small, ceteris paribus. Due to the small diameter of the dielectric rod, there is also a restriction on the maximum diameter of the external dielectric tube, since it is preferable to use a higher pressure of the working medium for the efficient formation of excimer molecules. At the same time, the increased pressure of the working medium and the large gap between the external and internal dielectric tubes impede electrical breakdown and the formation of an electric discharge in the radiation source. Secondly, when xenon is used as the working medium, the emission spectrum is limited to the region of ~ 160-190 nm. In addition, xenon has the lowest thermal conductivity among inert gases [7], which leads to more heating of the working medium and a decrease in the efficiency of the radiation source.
Задачей изобретения является увеличение плотности мощности излучения на облучаемом объекте при неизменной величине погонной емкости источника излучения. Кроме того, решается задача увеличения мощности излучения в коротковолновой части спектра излучения, а также увеличения теплопроводности рабочей среды источника излучения.The objective of the invention is to increase the density of radiation power on the irradiated object with a constant value of the linear capacity of the radiation source. In addition, the problem of increasing the radiation power in the short-wave part of the radiation spectrum, as well as increasing the thermal conductivity of the working medium of the radiation source, is solved.
Технический эффект достигается тем, что в источнике излучения, состоящем из двух цилиндрических коаксиально расположенных диэлектрических трубок, образующих между собой изолированную от внешней среды газоразрядную колбу, заполненную рабочей газовой средой, и электродов, размещенных на внешней поверхности внешней трубки и на внутренней поверхности внутренней трубки, согласно изобретению внешний электрод состоит из сплошного отражающего металлического полуцилиндра, плотно прижатого к трубке витками проволоки малого диаметра, намотанной на трубку поверх полуцилиндра, а соотношение диаметров внутренней трубки D2 к диаметру внешней трубки D1 составляетThe technical effect is achieved by the fact that in the radiation source, which consists of two cylindrical coaxially arranged dielectric tubes, forming a gas discharge flask filled with a working gas medium, and electrodes placed on the outer surface of the outer tube and on the inner surface of the inner tube, according to the invention, the external electrode consists of a continuous reflecting metal half-cylinder, tightly pressed to the tube by coils of wire of small diameter, wound on the tube over the half-cylinder, and the ratio of the diameters of the inner tube D 2 to the diameter of the outer tube D 1 is
0,4≤D2/D1≤0,7.0.4≤D 2 / D 1 ≤0.7.
Намотка проволоки поверх полуцилиндра обеспечивает одновременно, во-первых, уменьшение индуктивности внешнего электрода относительно индуктивности электрода, выполненного из проволоки, намотанной на трубку в виде спирали. Во-вторых, прозрачность витков проволоки выше относительно сетки, изготавливаемой из проволоки того же диаметра. Соответственно, это приводит к уменьшению падения напряжения на индуктивности внешнего электрода по сравнению со случаем использования в качестве внешнего электрода лишь спирали и не уменьшает погонной емкости источника излучения. Все это обеспечивает эффективное формирование и вывод излучения из источника излучения. Внутренний электрод изготовлен также из отражающей фольги, плотно прилегающей к внутренней стенке внутренней трубки. Диаметр трубки внутреннего электрода выбирается равным ~1/2 от диаметра внешней трубки. Это позволяет, во-первых, увеличить емкость диэлектрического барьера внутреннего электрода, что приводит к увеличению погонной мощности возбуждения, во-вторых, эффективно выводить излучение из рабочего объема и формировать направленный в одну полуплоскость поток излучения.Winding the wire over the half cylinder simultaneously provides, firstly, a decrease in the inductance of the external electrode relative to the inductance of the electrode made of wire wound on a tube in the form of a spiral. Secondly, the transparency of the turns of wire is higher relative to the mesh made of wire of the same diameter. Accordingly, this leads to a decrease in the voltage drop across the inductance of the external electrode in comparison with the case of using only a spiral as the external electrode and does not reduce the linear capacitance of the radiation source. All this ensures the effective formation and output of radiation from the radiation source. The inner electrode is also made of reflective foil that fits snugly against the inner wall of the inner tube. The diameter of the tube of the inner electrode is selected equal to ~ 1/2 of the diameter of the outer tube. This allows, firstly, to increase the capacitance of the dielectric barrier of the internal electrode, which leads to an increase in the linear excitation power, and secondly, to efficiently remove radiation from the working volume and to form a radiation flux directed to one half-plane.
Кроме того, для увеличения мощности излучения в коротковолновой части спектра излучения, а также увеличения теплопроводности и, соответственно, уменьшения температуры рабочей среды при работе источника излучения в качестве рабочей среды используется смесь ксенона с более легким инертным газом криптоном в соотношении криптон ~70%, ксенон ~30%.In addition, a mixture of xenon with a lighter inert gas krypton in the ratio krypton ~ 70%, xenon is used to increase the radiation power in the short-wavelength part of the radiation spectrum, as well as to increase the thermal conductivity and, accordingly, reduce the temperature of the working medium when the radiation source is working ~ 30%.
Принцип работы описываемого источника излучения основан на протекании электрического тока в газе с последующим формированием в газоразрядной плазме эксимерных молекул, излучающих при переходе из устойчивого возбужденного состояния в неустойчивое основное состояние. В качестве рабочей среды могут использоваться инертные газы или их смесь с галогенами. Основным требованием при этом являются возможность электрического пробоя, протекание электрического тока и пропускание излучения газоразрядной плазмы через стенки диэлектрических трубок. В случае кварцевых трубок высокого качества коротковолновая граница пропускания лежит в области от 150 до 155 нм. Это означает, что в этом случае возможно пропускание длинноволнового крыла полосы В-Х перехода эксимерной молекулы Kr* 2, излучающей в области 140-160 нм.The principle of operation of the described radiation source is based on the flow of electric current in a gas, followed by the formation of excimer molecules in a gas-discharge plasma that emit during the transition from a stable excited state to an unstable ground state. Inert gases or their mixture with halogens can be used as a working medium. The main requirement in this case is the possibility of electrical breakdown, the flow of electric current and the transmission of gas-discharge plasma radiation through the walls of dielectric tubes. In the case of high quality quartz tubes, the short-wavelength transmission limit lies in the region from 150 to 155 nm. This means that in this case, the transmission of the long-wavelength wing of the BX transition band of the Kr * 2 excimer molecule emitting in the region of 140–160 nm is possible.
На чертеже приведена конструкция источника излучения, включающая: внешнюю 1 и внутреннюю 2 диэлектрические трубки; внешний электрод, состоящий из отражающей фольги в форме полуцилиндра 3 и тонкой проволоки, намотанной в форме спирали на трубку 1 и прижимающей фольгу к трубке 1, а также внутренний отражающий электрод 5, установленный на внутренней поверхности внутренней трубки 2. Пространство между трубками 6 заполняется рабочей средой. Наличие диэлектрических барьеров 1 и 2 между электродами вызывает необходимость использования импульсного напряжения и приводит к равномерному распределению тока разряда. Использование в качестве внешнего электрода полуцилиндра-отражателя 3 и спирали из тонкой проволоки 4 обеспечивает увеличение плотности мощности излучения, направленного в одну полуплоскость. Коэффициент прозрачности проволочной спирали 4 при шаге спирали ~ 1 мм и диаметре проволоки ≤0,1 мм достигает ≥90%. Контакт проволочной спирали с металлическим полуцилиндром обеспечивает уменьшение индуктивности спирали и, соответственно, уменьшение падения напряжения на индуктивности спирали. Внутренний электрод 5 за счет отражения света от его внешней поверхности также обеспечивает увеличение доли излучения, выводимого из пространства 6 в требуемом направлении. Кроме того, в случае, если внешний электрод заземлен, отражатель 3 и проволочная спираль 4 уменьшают уровень электромагнитной наводки источника излучения.The drawing shows the design of the radiation source, including: external 1 and internal 2 dielectric tubes; an external electrode consisting of a reflective foil in the form of a half cylinder 3 and a thin wire wound in a spiral shape on the tube 1 and presses the foil to the tube 1, as well as an internal reflective electrode 5 mounted on the inner surface of the inner tube 2. The space between the tubes 6 is filled with a working Wednesday. The presence of dielectric barriers 1 and 2 between the electrodes necessitates the use of a pulsed voltage and leads to a uniform distribution of the discharge current. The use of a reflector half-cylinder 3 and a spiral of thin wire 4 as an external electrode provides an increase in the radiation power density directed into one half-plane. The transparency coefficient of the wire spiral 4 with a spiral pitch of ~ 1 mm and a wire diameter of ≤0.1 mm reaches ≥90%. The contact of the wire spiral with a metal half cylinder reduces the inductance of the spiral and, accordingly, reduces the voltage drop across the inductance of the spiral. The internal electrode 5 due to the reflection of light from its outer surface also provides an increase in the proportion of radiation output from space 6 in the desired direction. In addition, if the external electrode is grounded, the reflector 3 and the wire spiral 4 reduce the level of electromagnetic interference of the radiation source.
Выбор величины диаметра внутренней диэлектрической трубы обусловлен следующим. Во-первых, чем он меньше, тем согласно [5] большая доля излучения выводится из источника излучения. При этом, однако, уменьшается емкость внутреннего электрода и, соответственно, емкость источника излучения в целом. Это приводит согласно [6] к уменьшению мощности возбуждения. Во-вторых, при увеличении диаметра внутренней трубки происходит увеличение доли излучения, экранируемой внутренней трубой. Кроме того, по мере увеличения D2 уменьшается объем пространства между трубками 6, что может привести к уменьшению ресурса рабочей среды. Согласно изобретению соотношение диаметров D2/D1 оптимально с точки зрения вывода излучения и достаточной величины емкости источника излучения и составляет 0,4≤D2/D1≤0,7. При проведении эксперимента соотношение D2/D1 составляло ~0,5 при D1=4,4 см.The choice of the diameter of the inner dielectric pipe is due to the following. First, the smaller it is, the more according to [5], a large fraction of the radiation is removed from the radiation source. In this case, however, the capacitance of the inner electrode decreases and, accordingly, the capacitance of the radiation source as a whole. According to [6], this leads to a decrease in the excitation power. Secondly, as the diameter of the inner tube increases, the proportion of radiation shielded by the inner tube increases. In addition, with increasing D 2 decreases the amount of space between the tubes 6, which can lead to a decrease in the resource of the working environment. According to the invention, the diameter ratio D 2 / D 1 is optimal from the point of view of radiation output and a sufficient value of the radiation source capacitance and is 0.4 ≤ D 2 / D 1 ≤0.7. During the experiment, the ratio of D 2 / D 1 was ~ 0.5 at D 1 = 4.4 cm.
Известно, что эффективность формирования эксимерных молекул уменьшается с ростом температуры среды. Поэтому с целью, во-первых, охлаждения рабочей среды, во-вторых, для увеличения мощности излучения в коротковолновой области спектра в тяжелый инертный газ ксенон был добавлен более легкий инертный газ криптон. Лучший результат при этом был получен при содержании криптона в смеси на уровне ~70%. Это позволило увеличить мощность излучения в коротковолновой части спектра на ~10%. Кроме того, теплопроводность смеси газов больше теплопроводности чистого ксенона, что уменьшает температуру рабочей среды источника излучения.It is known that the efficiency of excimer molecule formation decreases with increasing medium temperature. Therefore, in order, firstly, to cool the working medium, and secondly, to increase the radiation power in the short-wavelength region of the spectrum, a lighter inert gas krypton was added to the heavy inert gas xenon. The best result was obtained when the krypton content in the mixture was ~ 70%. This made it possible to increase the radiation power in the short-wave part of the spectrum by ~ 10%. In addition, the thermal conductivity of the gas mixture is greater than the thermal conductivity of pure xenon, which reduces the temperature of the working medium of the radiation source.
Примеры исследования функциональной способности предлагаемого источника изученияExamples of the study of the functional ability of the proposed source of study
Возбуждение ксенона или смеси ксенона с криптоном осуществлялось в коаксиальной двухбарьерной конструкции с диаметрами внешней и внутренней трубок, соответственно, 4,4 см и 2,3 см. Толщина стенок трубок была равна 2 мм. Длина газоразрядной зоны источника излучения составляла 30 см. Толщина проволоки, использованной для намотки спирали 4, составила 0,12 мм. При шаге спирали ~0,8 мм прозрачность внешнего электрода в полуплоскость составляет ~85%. Состав рабочей среды, включавшей ксенон и криптон, варьировался по парциальному давлению каждого из газов от 0 до 210 Top при полном давлении 210 Top. Спектр излучения регистрировался на вакуумном монохроматоре VM-502. Кроме того, теплопроводность рабочей среды при содержании в ней ~70% криптона определяется, главным образом, теплопроводностью криптона, которая приблизительно вдвое выше теплопроводности ксенона [7].The excitation of xenon or a mixture of xenon with krypton was carried out in a coaxial double-barrier design with the diameters of the outer and inner tubes, respectively, 4.4 cm and 2.3 cm. The wall thickness of the tubes was 2 mm. The length of the gas discharge zone of the radiation source was 30 cm. The thickness of the wire used for winding spiral 4 was 0.12 mm. With a helix pitch of ~ 0.8 mm, the transparency of the outer electrode into the half-plane is ~ 85%. The composition of the working medium, including xenon and krypton, varied in the partial pressure of each gas from 0 to 210 Top at a total pressure of 210 Top. The emission spectrum was recorded on a VM-502 vacuum monochromator. In addition, the thermal conductivity of the working medium with ~ 70% krypton in it is determined mainly by the thermal conductivity of krypton, which is approximately twice as high as the thermal conductivity of xenon [7].
Возбуждение разряда осуществлялось генератором с регулируемыми по частоте - от 10 до 100 кГц и напряжению - до 5 кВ импульсами напряжения. Высокое напряжение при этом подавалось на внутренний электрод, а внешний электрод заземлялся. Это обеспечивало снижение электромагнитных наводок при работе источника излучения.The discharge was excited by a generator with frequency pulses - from 10 to 100 kHz and voltage - up to 5 kV, with voltage pulses. High voltage was applied to the internal electrode, and the external electrode was grounded. This ensured a reduction in electromagnetic interference during operation of the radiation source.
Источники информацииInformation sources
1. А.Н.Зайдель, Е.Я.Шрейдер Спектроскопия вакуумного ультрафиолета/ Изд-во "Наука", Гл. ред. физ.-мат. лит-ры, Москва, 1967.1. A.N. Zaidel, E.Ya. Schreider Spectroscopy of vacuum ultraviolet / Publishing house "Science", Ch. ed. Phys.-Math. literature, Moscow, 1967.
2. Л.П.Шишацкая, С.А.Яковлев, Г.А.Волкова/ ВУФ-лампы с большой излучающей поверхностью/ Оптический журнал, т.65, №12, с.93-95, 1998.2. L.P. Shishatskaya, S. A. Yakovlev, G. A. Volkova / VUV lamps with a large emitting surface / Optical Journal, vol. 65, No. 12, pp. 93-95, 1998.
3. Y.Tanaka Continuous emission spectra of rare gases in the vacuum ultraviolet region/ J. Opt. Soc. Amer. Vol.45, N 9, pp.710-713, 1955.3. Y. Tanaka Continuous emission spectra of rare gases in the vacuum ultraviolet region / J. Opt. Soc. Amer. Vol. 45, No. 9, pp. 710-713, 1955.
4. Волкова Г.А., Кириллова Н.Н., Павловская Е.Н., Подмошенский И.В., Яковлева А.В. Лампа для облучения в вакуумной ультрафиолетовой области спектра/ Бюл. изобр. - 1982. - №41. - С.179.4. Volkova G.A., Kirillova N.N., Pavlovskaya E.N., Podmoshensky I.V., Yakovleva A.V. Lamp for irradiation in the vacuum ultraviolet region of the spectrum / Bull. fig. - 1982. - No. 41. - S. 179.
5. High-Power Radiator. U.Kogelschatz, United States Patent No.5013959, date of patent: may 7, 1991.5. High-Power Radiator. U. Kogelschatz, United States Patent No.5013959, date of patent: may 7, 1991.
6. E.Arnold, R.Dreiskemper, and S.Reber High-Power Excimer Sources// Proceedings of the 8th Int. Symp. on Science and Technology of Light Sources (Greifswald, Germany) IL 12., pp.90-98. 1998.6. E. Arnold, R. Dreiskemper, and S. Reber High-Power Excimer Sources // Proceedings of the 8th Int. Symp on Science and Technology of Light Sources (Greifswald, Germany) IL 12., pp. 90-98. 1998.
7. Физические величины. Справочник. Под ред. И.С.Григорьева, Е.З.Мейлихова. Москва, Энергоатомиздат, 1991, с.340.7. Physical quantities. Directory. Ed. I.S. Grigorieva, E.Z. Meilikhova. Moscow, Energoatomizdat, 1991, p. 340.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004137766/09A RU2281581C1 (en) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | Spontaneous radiation source |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004137766/09A RU2281581C1 (en) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | Spontaneous radiation source |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2281581C1 true RU2281581C1 (en) | 2006-08-10 |
Family
ID=37059720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004137766/09A RU2281581C1 (en) | 2004-12-23 | 2004-12-23 | Spontaneous radiation source |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2281581C1 (en) |
-
2004
- 2004-12-23 RU RU2004137766/09A patent/RU2281581C1/en not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Lomaev et al. | Excilamps: efficient sources of spontaneous UV and VUV radiation | |
| US5013959A (en) | High-power radiator | |
| JP2580266Y2 (en) | High power beam generator | |
| JPH0787093B2 (en) | High power radiator | |
| JP2540415B2 (en) | Irradiation device with high-power beam generator | |
| KR102106293B1 (en) | Excimer light source | |
| JPH04301357A (en) | High output emission device | |
| JP3887641B2 (en) | Dielectric barrier discharge excimer light source | |
| US20080054773A1 (en) | Dielectric barrier diescharge excimer light source | |
| RU2281581C1 (en) | Spontaneous radiation source | |
| Zhang et al. | Multi-wavelength excimer ultraviolet sources from a mixture of krypton and iodine in a dielectric barrier discharge | |
| KR19980080496A (en) | Dielectric barrier discharge lamp and dielectric barrier discharge lamp | |
| US20050035711A1 (en) | Method and apparatus for a high efficiency ultraviolet radiation source | |
| JP2007080705A (en) | Microwave discharge lamp and microwave discharge light source device equipped with the microwave discharge lamp | |
| RU200241U1 (en) | Radiation source | |
| US20080284335A1 (en) | Discharge lamp | |
| Golovitskiı̆ | Low-pressure inductive rf discharge in a rare gas-halogen mixture for economical mercury-free luminescence light sources. | |
| RU42694U1 (en) | SOURCE OF SPONTANEOUS VACUUM UV RADIATION | |
| Tarasenko et al. | Barrier-discharge excilamps: history, operating principle, prospects∗∗ To the radiant memory of Galina Arkad’evna Volkova (1935–2011). | |
| RU59324U1 (en) | SOURCE OF RADIATION | |
| JP2004227820A (en) | Discharge lamp | |
| US20070132408A1 (en) | High frequency driven high pressure micro discharge | |
| RU2794206C1 (en) | Small-sized radiation source excited by a barrier discharge | |
| JP2006139992A (en) | Flash discharge lamp and light energy irradiation equipment | |
| JP2006331903A (en) | Vacuum ultraviolet light source |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20061224 |