RU2236952C2 - Method and device for carrying out high speed marking - Google Patents
Method and device for carrying out high speed marking Download PDFInfo
- Publication number
- RU2236952C2 RU2236952C2 RU2002122970/12A RU2002122970A RU2236952C2 RU 2236952 C2 RU2236952 C2 RU 2236952C2 RU 2002122970/12 A RU2002122970/12 A RU 2002122970/12A RU 2002122970 A RU2002122970 A RU 2002122970A RU 2236952 C2 RU2236952 C2 RU 2236952C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- shutter
- modulator
- marking
- pulse
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относиться к разряду лазерных способов получения стойких к внешним воздействиям изображений на поверхности различных изделий. Способ и реализующее его устройство могут быть использованы в различных отраслях промышленности, например электронной, пищевой в машиностроении и т.д..The invention relates to the category of laser methods for obtaining images resistant to external influences on the surface of various products. The method and its implementing device can be used in various industries, for example, electronic, food in mechanical engineering, etc.
Известен способ скоростной лазерной маркировки, при котором развертка изображения на поверхности изделия формируется в результате линейного сканирования лазерным лучом и перемещением детали в направлении, перпендикулярном к направлению сканирования [1]. Установки для реализации этого способа могут быть построены на основе лазера и внешнего сканирующего устройства, например многогранной призмы [1]. Недостатком данного способа скоростной лазерной маркировки и установки является обязательное перемещение изделия в строго определенном направлении с постоянной скоростью и как следствие невозможность нанесения маркировки на неподвижную деталь, что существенно сужает возможную область применения.A known method of high-speed laser marking, in which the image scan on the surface of the product is formed as a result of linear scanning by a laser beam and moving the part in a direction perpendicular to the scanning direction [1]. Installations for implementing this method can be built on the basis of a laser and an external scanning device, for example a multifaceted prism [1]. The disadvantage of this method of high-speed laser marking and installation is the obligatory movement of the product in a strictly defined direction at a constant speed and, as a consequence, the inability to apply marking to a stationary part, which significantly narrows the possible scope.
Известен способ лазерной маркировки и система с вращением оптики и неподвижной деталью. Способ заключается в сканировании лазерным лучом по двум координатам поверхности изделия. Изображение формируется временным прерыванием луча. Системы для реализации этого способа состоят из лазера и внешнего зеркального сканирующего устройства [2]. Недостатком этого способа и систем является низкая скорость маркировки и малая производительность.A known method of laser marking and a system with rotating optics and a fixed part. The method consists in scanning with a laser beam at two coordinates of the surface of the product. The image is formed by temporarily interrupting the beam. Systems for implementing this method consist of a laser and an external mirror scanning device [2]. The disadvantage of this method and systems is the low marking speed and low productivity.
За прототип выбраны способ лазерной маркировки и установка для его реализации описанные в работе [3].A laser marking method and an installation for its implementation described in [3] were selected for the prototype.
Способ лазерной маркировки состоит в формировании лазерным излучением на поверхности изделия требуемого изображения. Синтез изображения реализуется в результате последовательного облучения заданного топологического рисунка сфокусированным лазерным пучком. Для этой цели формируется регулярный растр строк развертки. Единичная строка развертки получается сканированием луча, генерируемого лазером за один импульс накачки. После того как изделие смещается на заданную величину в направлении, перпендикулярном направлению строк, аналогично образуется следующая строка и таким образом последовательно образуется растр с необходимым числом строк, которое равно количеству импульсов генерации лазера. При этом точки изображения образуются в результате пространственно-временного прерывания лазерного излучения.The method of laser marking consists in the formation of laser radiation on the surface of the product of the desired image. Image synthesis is realized as a result of sequential irradiation of a given topological pattern with a focused laser beam. For this purpose, a regular raster of scan lines is formed. A single scan line is obtained by scanning the beam generated by the laser in one pump pulse. After the product is shifted by a predetermined amount in the direction perpendicular to the direction of the lines, the next line is similarly formed and thus a raster with the required number of lines, which is equal to the number of laser generation pulses, is sequentially formed. In this case, image points are formed as a result of spatio-temporal interruption of laser radiation.
При взаимодействии лазерного излучения с поверхностью изделия в месте попадания луча происходят структурные изменения материала изделия. В результате получается контрастный рисунок.When laser radiation interacts with the surface of the product, structural changes in the material of the product occur at the site of the beam. The result is a contrasting pattern.
Недостатком данного способа маркировки является обязательное перемещение изделия в строго определенном направлении с постоянной скоростью и как следствие невозможность нанесения маркировки на неподвижную деталь, что существенно сужает возможную область его применения.The disadvantage of this method of marking is the obligatory movement of the product in a strictly defined direction at a constant speed and, as a consequence, the inability to apply marking to a fixed part, which significantly narrows the possible scope of its application.
Установка для реализации указанного способа состоит из сканирующего лазера, линзы, строящей изображение на маркируемой поверхности, устройства управления пространственно-временным модулятором света (ПВМС), блока питания лазера и компьютера. Сканирующий лазер включает в себя сопряженный резонатор, образованный двумя зеркалами, расположенными в фокальных плоскостях двух фокусирующих линз, усиливающую среду, ПВМС состоящий из двух электроуправляемых пластин, фазовую пластинку, поляризатор, диафрагму и пассивный затвор [3].The installation for implementing this method consists of a scanning laser, a lens building an image on a marked surface, a spatio-temporal light modulator (PVMS) control device, a laser power supply and a computer. The scanning laser includes a conjugated resonator formed by two mirrors located in the focal planes of two focusing lenses, an amplifying medium, a PVMS consisting of two electrically controlled plates, a phase plate, a polarizer, a diaphragm, and a passive shutter [3].
ПВМС обеспечивает возможность быстрого однокоординатного строчного сканирования лазерным лучом и прерывание луча по команде, поступающей с устройства управления работающего под контролем компьютера. За один импульс генерации лазера формируется одна строка растра. В случае равномерного поступательного движения маркируемого изделия с заданной скоростью в направлении, перпендикулярном направлению сканирования, формируется строчный растр. Изображение получается прерыванием лазерного луча с помощью ПВМС по сигналу компьютера в соответствии с топологией наносимого рисунка.PVMS provides the possibility of quick single-axis line scanning with a laser beam and interruption of the beam on command from a control device operating under computer control. For one laser pulse, one line of the raster is formed. In the case of uniform translational movement of the marked product with a given speed in the direction perpendicular to the scanning direction, a horizontal raster is formed. The image is obtained by interrupting the laser beam with the help of PVMS by a computer signal in accordance with the topology of the applied pattern.
При значении плотности мощности лазерного излучения, достаточной для структурного изменения поверхностного слоя, на изделии образуется требуемое изображение.With a value of the laser radiation power density sufficient for a structural change in the surface layer, the desired image is formed on the product.
Основным недостатком описанной установки является очень низкая энергия генерации лазера за один импульс накачки и сравнительно небольшая частота повторения импульсов генерации, не более 160 мДж и 50 кГц соответственно [3], что затрудняет возможность ее практического применения по причине малой мощности излучения. Также следует отметить невозможность маркировки неподвижных изделий, что существенно сужает область применения установок такого типа.The main disadvantage of the described setup is the very low laser generation energy per pump pulse and the relatively low repetition rate of the laser pulses, not more than 160 mJ and 50 kHz, respectively [3], which makes it difficult to use it due to the low radiation power. It should also be noted the impossibility of marking stationary products, which significantly narrows the scope of installations of this type.
Задача данного изобретения заключается в расширении области применения способа скоростной лазерной маркировки и увеличении мощности лазерного излучения и производительности установки для его реализации.The objective of the invention is to expand the scope of the method of high-speed laser marking and increase the power of laser radiation and the performance of the installation for its implementation.
Предлагается следующий способ скоростной лазерной маркировки и установка для его реализации.The following method of high-speed laser marking and installation for its implementation are proposed.
Способ скоростной лазерной маркировки заключается в том что в известном способе пространственное управление разверткой излучения, а именно формирование регулярного растра, имеющего большое количество строк, осуществляют по двум координатам внутри сопряженного резонатора импульсного лазера, при этом точки изображения формируют прерыванием лазерного излучения во времени за один импульс генерации излучения.The method of high-speed laser marking consists in the fact that in the known method, spatial control of the radiation scan, namely the formation of a regular raster having a large number of lines, is carried out in two coordinates inside the conjugate resonator of a pulsed laser, while the image points are formed by interrupting the laser radiation in time for one pulse radiation generation.
Установка состоит из компьютера, внешней линзы, блока питания и лазера, содержащего зеркала, линзы, усиливающую среду, затвор, модулятор и импульсную лампу. В установке установлен пространственный модулятор, включающий диск с отверстиями, расположенный на оси электродвигателя и снабженный синхронизирующими датчиками, которые прикреплены к корпусу модулятора, и установлен активный затвор с блоком формирования управляющего импульса. Блок подключен к компьютеру. В качестве синхронизирующих датчиков установлены две оптопары, а в качестве активного затвора применен акустооптический или электрооптический затвор.The installation consists of a computer, an external lens, a power supply and a laser containing mirrors, lenses, an amplifying medium, a shutter, a modulator, and a flash lamp. A spatial modulator is installed in the installation, including a disk with holes located on the axis of the electric motor and equipped with synchronizing sensors that are attached to the modulator housing, and an active shutter with a control pulse generating unit is installed. The unit is connected to a computer. Two optocouplers are installed as synchronizing sensors, and an acousto-optical or electro-optical shutter is used as an active shutter.
Сущность способа скоростной лазерной маркировки заключается в следующем.The essence of the method of high-speed laser marking is as follows.
1. На поверхности маркируемого изделия за малый промежуток времени (менее 0.1 сек) лазерным излучением формируют оптическое изображение путем управления пространственно-временными характеристиками лазерного луча. Пространственное управление реализуют за счет организации регулярного растра строк развертки, который образуется в результате двухкоординатного сканирования лазерным лучом поверхности изделия. Временное управление заключается в формировании точек изображения в пределах растра прерыванием лазерного излучения во времени.1. On the surface of the marked product for a short period of time (less than 0.1 sec), an optical image is formed by laser radiation by controlling the spatio-temporal characteristics of the laser beam. Spatial control is realized by organizing a regular raster of scan lines, which is formed as a result of two-coordinate scanning of the product surface with a laser beam. Temporary control consists in the formation of image points within the raster by interruption of laser radiation in time.
2. Обеспечивают уровень мощности лазерного излучения достаточный для структурного изменения облученных участков поверхности изделия за счет импульсного режима генерации лазерного излучения. Причем импульс лазерного излучения генерируют синхронно с образованием растра, а длительность импульса равна или несколько больше времени образования растра.2. Provide a level of laser radiation power sufficient for a structural change in the irradiated sections of the product surface due to the pulsed mode of laser radiation generation. Moreover, the laser pulse is generated synchronously with the formation of the raster, and the pulse duration is equal to or slightly longer than the formation of the raster.
В результате на поверхности изделия образуется стойкое к внешним воздействиям изображение.As a result, an image resistant to external influences is formed on the surface of the product.
Установка представляет собой сканирующий лазер с внешней проекционной системой - внешней линзой, компьютер, блок питания. Ее схема может быть реализована в следующем виде: фиг.1.The setup is a scanning laser with an external projection system - an external lens, a computer, a power supply. Its scheme can be implemented as follows: FIG. 1.
Установка состоит из диска пространственного модулятора света (ПМС) 1, синхронизирующих датчиков, например двух оптопар 2, электродвигателя 3, компьютера 4, блока питания 5, импульсной лампы 6, зеркала 7, двух линз 8, усиливающей среды 9, оптического затвора 10, блока формирования управляющего импульса 11, зеркала 12, внешней линзы 13.The installation consists of a disk of a spatial light modulator (PMS) 1, synchronizing sensors, for example, two optocouplers 2, an electric motor 3, a computer 4, a power supply 5, a flash lamp 6, a mirror 7, two lenses 8, an amplifying medium 9, an optical shutter 10, a block the formation of the control pulse 11, the mirror 12, the external lens 13.
Лазер состоит из сопряженного резонатора, внутри которого располагается усиливающая среда 9 с системой накачки, например одно- или многоламповый квантрон с активным элементом из Nd:YAG, активный оптический затвор 10 и диск механического пространственного модулятора света 1. Проекционная система - это внешняя линза 13, которая строит изображение, формируемое лазером на поверхности изделия. Сопряженный резонатор образован концевыми зеркалами 7 и 12 с коэффициентами отражения 99.8% и 40% соответственно. Отражающие поверхности зеркал располагаются в фокальных плоскостях линз 8, установленных софокусно относительно друг друга. Диск ПМС 1 расположен в непосредственной близости к поверхности зеркала 7 или 12.The laser consists of a conjugated resonator, inside of which there is an amplifying medium 9 with a pump system, for example, a single or multi-tube quantron with an active element from Nd: YAG, an active optical shutter 10 and a disk of a mechanical spatial light modulator 1. The projection system is an external lens 13, which builds the image formed by the laser on the surface of the product. The conjugated resonator is formed by end mirrors 7 and 12 with reflection coefficients of 99.8% and 40%, respectively. The reflecting surfaces of the mirrors are located in the focal planes of the lenses 8, which are set confocal with respect to each other. The ICP disk 1 is located in close proximity to the surface of the mirror 7 or 12.
Диск ПМС представляет собой диск Нипкова. Фронтальный вид диска приведен на фиг.2.The PMS disk is a Nipkow disk. The front view of the disk is shown in figure 2.
Сканирующие отверстия расположены по витку спирали. При вращении диска происходит сканирование прямоугольного поля с вертикальным размером, равным расстоянию между центрами соседних отверстий. Протяженность поля в горизонтальном направлении определяется произведением диаметра единичного отверстия на их количество. Диск вращается при помощи электродвигателя 3, на оси которого он установлен.Scanning holes are located on the spiral. When the disk rotates, a rectangular field is scanned with a vertical size equal to the distance between the centers of neighboring holes. The length of the field in the horizontal direction is determined by the product of the diameter of a single hole by their number. The disk rotates by means of an electric motor 3, on the axis of which it is mounted.
Каждому сканирующему отверстию Аn соответствует отверстие Вn, предназначенное для получения строчных синхроимпульсов, формируемых оптопарой 2. Кадровый синхроимпульс также формируется своей оптопарой 2 в момент ее открывания отверстием С.Each scanning aperture A n corresponds to an aperture B n intended for receiving horizontal sync pulses generated by an optocouple 2. A frame sync pulse is also formed by its optocoupler 2 at the moment of its opening by a hole C.
Кроме модулятора на основе диска Нипкова может быть использован любой другой тип ПМС, обеспечивающий достаточную скорость сканирования. Например, могут быть использованы электрооптический ПМС на кристалле KDP[4] или жидкокристаллический ПМС[4].In addition to the modulator based on the Nipkow disk, any other type of PMS can be used, providing a sufficient scanning speed. For example, electro-optical PMS on a KDP crystal [4] or liquid crystal PMS [4] can be used.
Компьютерная программа заранее разбивает маркируемое изображение на точки, поперечный размер которых соответствует диаметру отверстий в диске ПМС. В свою очередь точки распределяются по строкам, количество которых равно числу сканирующих отверстий ПМС.A computer program pre-divides the marked image into points whose transverse size corresponds to the diameter of the holes in the ICP disk. In turn, the points are distributed in rows, the number of which is equal to the number of scanning holes in the ICP.
В качестве синхронизирующих датчиков вместо оптопар могут быть использованы, например, герконы, механические и т.д.Instead of optocouplers, for example, reed switches, mechanical, etc. can be used as synchronizing sensors.
При включенной установке непрерывно вращается диск 1 пространственного модулятора света, производя построчное сканирование растра и формирование кадрового и строчных синхроимпульсов с помощью соответствующих оптопар 2. Кадровые и строчные синхроимпульсы с оптопар 2 подаются на компьютер 4.When the installation is turned on, the disk 1 of the spatial light modulator continuously rotates, performing line-by-line scanning of the raster and the formation of frame and line sync pulses using the corresponding optocouplers 2. Frame and line sync pulses from the optocouplers 2 are fed to computer 4.
Если на компьютер подана команда “Маркировка”, то в момент прихода очередного кадрового импульса запускается программа построчного формирования маркируемого изображения и одновременно на блок питания 5 импульсной лампы 6 подается команда “Накачка”. По этой команде блок питания вырабатывает токовый импульс, который поступает на лампу накачки 6. Лампа срабатывает и излучает световой импульс, длительность которого приблизительно на 5-10% больше времени сканирования растра.If the “Marking” command is given to the computer, then at the moment of the arrival of the next frame pulse, the program for line-by-line formation of the marked image is launched and the “Pumping” command is sent to the power supply unit 5 of the flash lamp 6. By this command, the power supply generates a current pulse, which is supplied to the pump lamp 6. The lamp is activated and emits a light pulse, the duration of which is approximately 5-10% longer than the scanning time of the raster.
Под действием света лампы накачки ионы неодима переходят в возбужденное состояние, но генерация лазерного излучения не происходит, поскольку закрыт оптический затвор 10.Under the influence of the light of the pump lamp, neodymium ions become excited, but laser radiation does not occur because the optical shutter 10 is closed.
Открывание оптического затвора происходит по команде компьютера при выполнении следующих условий. Перед началом сканирования каждой строки растра на компьютер с оптопары 2 подается строчный синхроимпульс. Ведется счет этих импульсов, причем первый номер присваивается импульсу, идущему непосредственно за кадровым синхроимпульсом.The optical shutter opens at the command of a computer under the following conditions. Before scanning each line of the raster, a horizontal sync pulse is fed to the computer from optocoupler 2. These pulses are counted, and the first number is assigned to the pulse immediately following the frame clock.
При приходе n-ного строчного импульса компьютер находит n-ную строку изображения, открывает и закрывает оптический затвор в соответствии с распределением точек изображения в этой строке. При срабатывании затвора происходит генерация лазерного излучения, которое формирует точки изображения на поверхности обрабатываемого изделия, т.е. идет процесс маркировки.When the nth line pulse arrives, the computer finds the nth line of the image, opens and closes the optical shutter in accordance with the distribution of image points in this line. When the shutter is released, laser radiation is generated, which forms image points on the surface of the workpiece, i.e. labeling process in progress.
В качестве активного затвора может быть использован акустооптический затвор. Физические процессы генерации лазера при этом остаются неизменными.As an active shutter, an acousto-optical shutter can be used. The physical processes of laser generation remain unchanged.
Совокупность технических решений, заложенных в установку, позволяет получить следующие характеристики.The set of technical solutions incorporated in the installation allows you to obtain the following characteristics.
1. Время маркировки определяется скоростью вращения диска ПМС и в случае применения электродвигателя типа ДПМ, имеющего скорость вращения 6000 об/мин, составляет 1-3 сек.1. The marking time is determined by the speed of rotation of the PMS disk and in the case of using an electric motor of the DPM type having a rotation speed of 6000 rpm, is 1-3 seconds.
2. Применение активного затвора, например акустооптического, позволяет осуществлять генерацию лазерных импульсов с частотой до 500 кГц, что в 5 раз больше, чем у прототипа.2. The use of an active shutter, such as acousto-optical, allows the generation of laser pulses with a frequency of up to 500 kHz, which is 5 times more than that of the prototype.
3. Применение импульсного режима накачки лазера и стойкого к воздействию излучения ПМС позволяет получить энергию генерации лазера на уровне 10 Дж. По этому показателю предлагаемая установка более чем в 50 раз превосходит прототип.3. The use of a pulsed laser pump mode and a radiation-resistant PMS makes it possible to obtain laser generation energy at a level of 10 J. By this indicator, the proposed installation is more than 50 times greater than the prototype.
4. Скорость маркировки значительно больше, чем у прототипа. Количество маркируемых изделий может достигать величины 100 штук в секунду.4. The marking speed is much higher than that of the prototype. The number of marked products can reach 100 pieces per second.
Перечисленные выше технические параметры установки были подтверждены в ходе исследования и испытания макета установки, собранного в соответствии со схемой, приведенной на фиг.1.The above technical parameters of the installation were confirmed during the study and testing of the layout of the installation, assembled in accordance with the scheme shown in figure 1.
Технико-экономический эффект.Technical and economic effect.
Предлагаемый способ скоростной лазерной маркировки и установка для его реализации обеспечивают скоростную маркировку как неподвижных, так и перемещающихся изделий, например, по конвейеру. Скорость маркировки в несколько раз больше по сравнению с прототипом, что повышает производительность. Применение импульсного режима работы позволяет увеличить мощность лазерного излучения.The proposed method of high-speed laser marking and installation for its implementation provide high-speed marking of both stationary and moving products, for example, along the conveyor. Marking speed is several times faster compared to the prototype, which increases productivity. The use of pulsed operation allows you to increase the power of laser radiation.
Установка с перечисленными выше характеристиками, несомненно, может найти широкое применение в поточном промышленном производстве. Установка превосходит по своим потребительским качествам устройства аналогичного назначения как лазерные, так и других типов, например матричные принтеры.A plant with the above characteristics can undoubtedly find wide application in in-line industrial production. The installation is superior in its consumer qualities to devices of a similar purpose, both laser and other types, such as dot-matrix printers.
Литература.Literature.
1. Примышленное применение лазеров. Сборник /Под редакцией Г.Кебнера. М.: Машиностроение, гл. 4, с.94, 1988.1. Intentional use of lasers. Collection / Edited by G. Kebner. M.: Engineering, Ch. 4, p. 94, 1988.
2. Технологические лазеры. Справочник/Под редакцией Г.А.Абильситова. М.: Машиностроение, т.1, гл. 5, с.403, 1991.2. Technological lasers. Reference book / Edited by G.A.Abilsitov. M .: Mechanical engineering, t. 1, ch. 5, p. 403, 1991.
3. Алексеев В.Н., Котылев В.Н., Либер В.И. Квантовая электроника, 27, 233, (1999).3. Alekseev V.N., Kotylev V.N., Liber V.I. Quantum Electronics, 27, 233, (1999).
4. Васильев А.А., Кассасент Д., Компанец И.Н., Парфенов А.В. Пространственные модуляторы света. - М.: Радио и связь, 1987, 320 с.4. Vasiliev A.A., Kassasent D., Kompanets I.N., Parfenov A.V. Spatial light modulators. - M .: Radio and communications, 1987, 320 p.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002122970/12A RU2236952C2 (en) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | Method and device for carrying out high speed marking |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002122970/12A RU2236952C2 (en) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | Method and device for carrying out high speed marking |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2002122970A RU2002122970A (en) | 2004-03-20 |
| RU2236952C2 true RU2236952C2 (en) | 2004-09-27 |
Family
ID=33432964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2002122970/12A RU2236952C2 (en) | 2002-08-26 | 2002-08-26 | Method and device for carrying out high speed marking |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2236952C2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2460619C2 (en) * | 2010-12-07 | 2012-09-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Лазерный Центр" | Metal or alloy laser etching method |
| RU2472629C2 (en) * | 2008-05-29 | 2013-01-20 | Федеральное государственное автономное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) | Method of laser engraving |
| RU2696804C1 (en) * | 2018-12-20 | 2019-08-06 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) | Method of surface marking with controlled periodic structures |
| RU217736U1 (en) * | 2022-09-22 | 2023-04-14 | Общество с ограниченной ответственностью "МКС Плюс" | Device for laser marking of moving non-oriented objects |
-
2002
- 2002-08-26 RU RU2002122970/12A patent/RU2236952C2/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| АЛЕКСЕЕВ В.Н., КОТЫЛЕВ В.Н., ЛИБЕР В.И. Квантовая электроника. 1999, с.27, 233. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2472629C2 (en) * | 2008-05-29 | 2013-01-20 | Федеральное государственное автономное научное учреждение "Центральный научно-исследовательский и опытно-конструкторский институт робототехники и технической кибернетики" (ЦНИИ РТК) | Method of laser engraving |
| RU2460619C2 (en) * | 2010-12-07 | 2012-09-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Лазерный Центр" | Metal or alloy laser etching method |
| RU2696804C1 (en) * | 2018-12-20 | 2019-08-06 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики" (Университет ИТМО) | Method of surface marking with controlled periodic structures |
| RU217736U1 (en) * | 2022-09-22 | 2023-04-14 | Общество с ограниченной ответственностью "МКС Плюс" | Device for laser marking of moving non-oriented objects |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2002122970A (en) | 2004-03-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9012806B2 (en) | Pulse laser processing device | |
| KR0185231B1 (en) | Beam scanning type laser marking method and device therefor | |
| JP5654234B2 (en) | XY high speed drilling system | |
| US5361275A (en) | Apparatus for removing material from a target | |
| US20050224469A1 (en) | Efficient micro-machining apparatus and method employing multiple laser beams | |
| US20150129565A1 (en) | Method and device for processing a workpiece using laser radiation | |
| GB1576460A (en) | Method of and apparatus for machining a predetermined pattern of discrete areas on an object | |
| US6545248B2 (en) | Laser irradiating apparatus | |
| CN108139690A (en) | Pattern plotter device and pattern plotter method | |
| CN113518684A (en) | High speed dynamic beam shaping | |
| JP3872462B2 (en) | Laser processing apparatus and laser processing method | |
| JP2001105166A (en) | Method for generating distribution of intensity over working laser beam and device therefor | |
| KR20160113050A (en) | Systems and methods for reducing pulsed laser beam profile non-uniformities for laser annealing | |
| RU2445175C1 (en) | Method of laser surface processing and device to this end | |
| RU2236952C2 (en) | Method and device for carrying out high speed marking | |
| JP2006287183A (en) | Laser irradiation equipment of laser annealing device | |
| CN110133842A (en) | A kind of galvanometer scanning device and system | |
| DE60102597T2 (en) | HIGH-PERFORMANCE LASER AND ITS APPLICATION FOR GENERATING LIGHT IN EXTREME UV RANGE | |
| KR100371125B1 (en) | Solid-state pulse laser system with low average power and high luminance | |
| JP5632662B2 (en) | Pulsed laser processing method | |
| JP3463281B2 (en) | Multi-axis laser processing apparatus and laser processing method | |
| CN115519243B (en) | Laser pulse space-time correlation positioning scanning method, device and system | |
| JP3379480B2 (en) | Laser processing equipment for display substrates | |
| US7724785B2 (en) | Multiple pulsed-laser system for silicon crystallization | |
| KR101066656B1 (en) | Excimer laser annealing apparatus using multi laser beam |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20140528 |