RU2234076C1 - Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала - Google Patents

Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала Download PDF

Info

Publication number
RU2234076C1
RU2234076C1 RU2002135289/28A RU2002135289A RU2234076C1 RU 2234076 C1 RU2234076 C1 RU 2234076C1 RU 2002135289/28 A RU2002135289/28 A RU 2002135289/28A RU 2002135289 A RU2002135289 A RU 2002135289A RU 2234076 C1 RU2234076 C1 RU 2234076C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
determination
parameters
polycrystalline material
secθ
crystal structure
Prior art date
Application number
RU2002135289/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2002135289A (ru
Inventor
А.Б. Коршунов (RU)
А.Б. Коршунов
А.Н. Иванов (RU)
А.Н. Иванов
Original Assignee
Научно-исследовательский институт механики Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский институт механики Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова filed Critical Научно-исследовательский институт механики Московского государственного университета им. М.В.Ломоносова
Priority to RU2002135289/28A priority Critical patent/RU2234076C1/ru
Publication of RU2002135289A publication Critical patent/RU2002135289A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2234076C1 publication Critical patent/RU2234076C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к области определения параметров тонкой кристаллической структуры различных поликристаллических материалов методом рентгеновской дифрактометрии. Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала включает в себя подготовку образцов без пластической деформации, воздействие на образец рентгеновского излучения для регистрации его дифракционного спектра, определение физических уширений (β) двух порядков отражения от одной совокупности кристаллографических плоскостей, т.е. β1 и β2, и угловых положений центров тяжести (θ) выбранных линий, т.е. θ1 и θ2, и определение расчетным путем размеров блоков D и величины микродеформаций кристаллической решетки ε, а также соответствующих ошибок измерений. Данное изобретение направлено на увеличение эффективности способа за счет его упрощения и повышения точности. 3 табл.

Description

Предлагаемое изобретение относится к области физики рентгеновских лучей, преимущественно к способам определения параметров тонкой кристаллической структуры различных поликристаллических материалов, методом рентгеновской дифрактометрии, в частности определения параметров тонкой кристаллической структуры металлических и твердых сплавов.
Известен способ определения размеров областей когерентного рассеяния (блоков мозаики) поликристаллического материала по эффекту экстинкции [1, С.125-128], заключающийся в измерении изменений интенсивности линий с малыми индексами HKL, для чего определяют интенсивность первых линий у исследуемого образца и идеально мозаичного эталона, далее находят отношение интенсивностей линий исследуемого и эталонного образцов, находят значение nq по данным отношениям интенсивностей, где n - число отражающих плоскостей в блоке, q - отражательная способность плоскости, далее определяют значение q, а затем определяют значение n и по найденному значению n определяют размер D блоков по формуле D=n·dНКL, где dHKL - межплоскостное расстояние для плоскостей (HKL).
Недостатками известного способа являются: невозможность определения размеров блоков, меньших 0,2 мкм, а также невозможность одновременного определения размеров блоков и величины микродеформаций кристаллической решетки.
Наиболее близким к заявляемому способу является способ одновременного определения двух параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала размеров (D) областей когерентного рассеяния (блоков мозаики) и величины микронапряжений (ε ) - методом аппрокимации [1, С.131-138], позволяющей определять размеры блоков, меньшие 0,2 мкм, и микронапряжения, большие 2· 10-4, и включающий подготовку образцов без пластической деформации, воздействие на образец рентгеновского излучения для регистрации его дифракционного спектра, определение физических уширений (β ) двух порядков отражения от одной совокупности кристаллографических плоскостей, т.е. β 1 и β 2, и угловых положений центров тяжести (θ ) выбранных линий, т.е. θ 1 и θ 2, выбор конкретного вида функций (М(х) и N(х)), аппроксимирующих, соответственно, профиль линии, обусловленной дисперсностью блоков с размерами D≤ 0,2 мкм и с интегральной шириной β м=(0,94λ /D)·secθ , и профиль линии, обусловленной микродеформациями (ε ) кристаллической решетки с величиной ε ≥ 2·10-4 и интегральной шириной β N=4ε tgθ , и построение номограммы, позволяющей по величине отношения β 21, найти β M и β N и, тем самым, D и ε .
Недостатком прототипа является его сложность и малая точность определения значений параметров тонкой кристаллической структуры D и ε , связанные с необходимостью построения номограммы и отсчета по ней значений β M и β N.
Заявляемое изобретение направлено на увеличение эффективности способа за счет его упрощения и повышения точности. Указанный результат достигается тем, что осуществляется подготовка образцов без пластической деформации, воздействие на образец рентгеновского излучения для регистрации его дифракционного спектра, определение физических уширений (β ) двух порядков отражения от одной совокупности кристаллографических плоскостей, т.е. β 1 и β 2, и угловых положений центров тяжести (θ ) выбранных линий, т.е. θ 1 и θ 2, и определение размеров блоков D и величины микродеформаций кристаллической решетки ε по следующим формулам:
D=C1·M,
ε =C2·N,
где C1=(0,94λ ·secθ 1)/β 1, C21/4tgθ 1,
M=(a2-bc)/(a2-b2), N=[(b2-bc)/(a2-bc)]1/2;
а=tgθ 2/tgθ 1, b=β 21, c=secθ 2/secθ 1, λ - длина волны рентгеновского излучения, и последующее определение ошибок измерений по формулам:
Δ D/D=Δ M/M+Δ β 11,
Δ ε /ε =Δ N/N+Δ β 11,
где Δ M/M=F· M, Δ N/N=F/2N2;
Figure 00000001
Δ b=b(Δ β 11+Δ β 22), Δ β 1 и Δ β 2 - ошибки определения β 1 и β 2, соответственно.
Заявляемое изобретение поясняется нижеследующим описанием.
Согласно [1, С.131-138] наилучшей аппрокимацией функции М(х) является функция Коши, a N(x) - функция Гаусса. Тогда связь между β , β M и β N дается выражением
Figure 00000002
Используя уравнение (1) для интегральной ширины физического профиля, например: первого (HKL) и второго (2H2K2L) порядка отражения, получим систему уравнений
Figure 00000003
Figure 00000004
где β 1M=(0,94λ /D)secθ 1, β 2M=(0,94λ /D)secθ 2,
β 1N=4ε tgθ 1, β 2N=4ε tgθ 2
Для решения системы уравнений (2) введем следующие обозначения:
Figure 00000005
Тогда система уравнений (2) примет вид:
Figure 00000006
Figure 00000007
Умножением обеих частей уравнений (4) на 2 и переносом в левые части уравнений неизвестных x1 и х2 приведем систему (4) к виду
Figure 00000008
Figure 00000009
Возведя левые и правые части уравнений (5) в квадрат и произведя приведение подобных членов, получим:
Figure 00000010
Figure 00000011
После сокращения на 4 система уравнений (6) принимает вид:
Figure 00000012
Figure 00000013
Система уравнений (7) может быть использована для нахождения искомых неизвестных: х1, х2, у1, у2. Действительно, разделив левую и правую части второго уравнения (7) соответственно на левую и правую части первого уравнения, получаем:
Figure 00000014
Преобразуем левую часть уравнения (8)
Figure 00000015
где b=β 21.
Таким образом,
Figure 00000016
Дальнейшие алгебраические преобразования уравнения (9) позволяют получить уравнение первой степени относительно одного неизвестного - x1.
Figure 00000017
a2/b-b=a2x12-x21=x1(a22-c/β 1),
где c=secθ 2/secθ 1=x2/x1
Из уравнения (10) получаем
Figure 00000018
Итак,
Figure 00000019
Разрешая (12) относительно D, окончательно получаем:
Figure 00000020
где
Figure 00000021
Та же формула (13) может быть получена, если разрешить среднюю часть уравнения (10) относительно другого неизвестного - х2
Figure 00000022
Разрешая правую часть уравнения (15) относительно х2, получаем
Figure 00000023
Разрешая (16) относительно D, получаем
Figure 00000024
Но из определения c=secθ 2/secθ 1 вытекает, что формула (17) тождественна формуле (13).
Найдем теперь вторую пару неизвестных: y1 и y2.
Из первого уравнения (7) и уравнения (11) следует
Figure 00000025
Итак,
Figure 00000026
где N=[(b2-bc)/(a2-bc)]1/2;
Учитывая (3), находим
Figure 00000027
Откуда
Figure 00000028
Ту же формулу (21) получаем, если воспользоваться вторым уравнением (7), определяющим другое неизвестное - y2 и уравнением (15).
Figure 00000029
Т.е.
Figure 00000030
Подставляя в (23) значение а2, получаем
Figure 00000031
Откуда вытекают формулы (20) и (21)
Для определения относительных ошибок измерений, которые, в соответствии с [2], равны:
Figure 00000032
Figure 00000033
воспользуемся правилом дифференцирования натурального логарифма функции:
Figure 00000034
Поэтому
Figure 00000035
Figure 00000036
Следовательно,
Figure 00000037
где
Figure 00000038
В свою очередь, согласно [2],
Figure 00000039
Аналогично предыдущему находим dN/N
Figure 00000040
Figure 00000041
Следовательно,
Figure 00000042
Итак,
Figure 00000043
Figure 00000044
Абсолютные ошибки определения D и ε (Δ D и Δ ε ) получаются умножением найденных значений Δ D/D и Δ ε /ε на D и ε соответственно.
Заметим, что в интервале с<b<а корректирующие множители М и N действительны и положительны, В точке b=с М=1, N=0; в точке b=а М=∞ , N=1.
Если b>а, то полагают, что
Figure 00000045
Figure 00000046
Справедливость последней формулы может быть пояснена следующим рассуждением. В интервале a<b<a2/c M<0 (что не имеет физического смысла), а 1<N<∞ . Но вывод формулы (21) для расчета N основывался на таком выборе функций, аппроксимирующих М(х) и N(x) (функции Коши и Гаусса), который несправедлив при b>а [3]. Поэтому естественно взять в качестве предельного значения N его значение, равное единице. Но при N=1
Figure 00000047
что легко доказывается из определения функций а и b. На практике при экспериментальных значениях b>а равенство (40) не выполняется. Следовательно, значения ε в этом случае будут больше, чем рассчитываемые при N=1 по формуле (21). Ниже в примерах 1 и 2 будет экспериментально обоснован вид формулы (39).
Заявленный способ использован на практике для исследования изменений тонкой кристаллической структуры компонентов твердых сплавов, вызываемых различными видами их обработок. Ниже следуют примеры использования способа.
Пример 1. Изменение параметров тонкой кристаллической структуры монокарбида вольфрама WC в режущих пластинах из твердого сплава ВК6ОМ после течения и облучения γ -квантами.
Точение осуществлялось на ОАО ММП им. В.В.Чернышева при механической обработке заготовок пластинами из твердого сплава ВК6ОМ (состав в маc.%: WC-94, Со-6). Облучение γ -квантами от радиоизотопного источника Cs137 с энергией 661 кэВ проводилось в ФГУП НИИ "Пульсар". Рентгеновские измерения выполнялись в МИСиС. Использовалось излучение СuКa. Исследовались рентгеновские линии WC 20,1 (θ 1=42,2 угл. град.) и θ 2=21,1 58,6 угл. град.).
Результаты определения параметров тонкой кристаллической структуры (ТКС) монокарбида вольфрама WC по формулам (15), (21) и ошибок измерений по формулам (25), (26), (36), (37) заявляемого способа представлены в табл. 1. Там же указаны значения а и с.
Следует отметить, что, как правило, точение слабо изменяет параметры ТКС фазы WC. Исключение составляют лишь три пластины: 3, 6 и 8. В них после точения размера блоков либо были велики (пластина 3), либо не могли быть измерены методом рентгеновской дифрактометрии (пластины 6 и 8) (b>a, D>200 нм). Интересно отметить, что после облучения этих образцов γ -квантами с экспозиционной дозой 6· 104 рентген произошла перестройка дефектной структуры: упругая энергия перераспределилась от микродеформаций кристаллической решетки WC к границам блоков.
В пластинах 6 и 8 до облученния электронами (когда b больше а) значения ε не могут быть рассчитаны по формуле (21), а должны определяться по формуле (39). Ее справедливость подтверждается приведенными в табл. 1 значениями отношений β 20,1/tgθ 1 и β 21,1/tgθ 2.
Как видно из табл. 1, в обеих пластинах 6 и 8 второе отношение больше первого отношения. Как будет показано ниже в примере 3 (табл. 3), указанное положение выполняется всегда. Оно объясняется весьма большими трудностями определения истинных значений β 1: как правило расчет дает заниженные их значения.
В пластинах 3, 6 и 8 после облучения электронами (когда b делается меньше с) значения D должны рассчитываться по формуле (13), в которой следует положить М≡ 1, что и проделано в табл. 1.
Пример 2. Изменение параметров тонкой кристаллической структуры в фазах WC и (Ti, W)C в фрезерных пластинах из твердого сплава МК8, облученных электронами высоких энергий.
Облучение электронами фрезерных пластин из твердого сплава МК8 (состав в маc.%: WC-85,0; TiC-7,7; Co-7,3) осуществлялось от радиоизотопного источника Sr90+Y90 (Ee max≈ 2,3 МэВ) на ФГУП НИИ "Пульсар". Рентгеновские измерения проводились в МИСиС при тех же условиях, что и в примере 1. Исследовались линии фазы WC 10,1 (θ 1=24,4 угл. град.) и 11,2 (θ 2=49,4 угл. град.) и линии фазы (Ti, W)C 220 (θ 1=30,5 угл. град.) и 422 (θ 2=61,1 угл. град.).
В табл. 2 приведены данные об изменении ТКС фазы WC в пластинах из твердого сплава МК8, подвергнутых облучению электронами в интервале флюенсов Ф от 1011 до 1016 эл/см2. Из табл. 2 следует, что всюду параметр b заключен в интервале (с, а): с<b<а. Облучение всюду (за исключением Ф=1· 1016 эл/см2) уменьшает значения как ε , так и D по сравнению с исходными пластинами.
В табл. 3 представлены изменения параметров ТКС двойного карбида-фазы (Ti, W)C вследствие облучения электронами высоких энергий. Как видно из табл. 3, облучение фазы (Ti, W)C электронами практически не изменяет ее тонкую кристаллическую структуру. В табл. 3 параметр b, как правило, превосходит значения a (h>a), при этом β 2/tgθ 2/>β 1/tgθ 1 всегда. Поэтому расчет ε осуществлен по формуле (39).
Данные, представленные в примерах 1 и 2, подтверждают, что заявленный способ позволяет рассчитать значения размеров блоков D и микродеформаций кристаллической решетки ε без построения номограммы (чего требует способ-прототип), а также оценить ошибки расчета D и ε .
Источники информации
1. Горелик С.С., Скаков Ю.А., Расторгуев Л.И. Рентгенографический и электронно-оптический анализ. Учебное пособие для вузов. Изд. 4-е, перераб. и доп. - М: МИСиС, 2002, - 360 с.
2. Физический практикум. Изд. - 3-е/Под ред.проф. В.И.Ивероновой - М: Гостехиздат. 1955, - 636 с.
3. Селиванов В.И., Смыслов Е.Ф. Рентгеноструктурный анализ дислокационной структуры поликристаллов по распределению микродеформаций. / Заводская лаборатория. - 1994. - Т.60, №2, - с.31-36.
Figure 00000048
Figure 00000049
Figure 00000050

Claims (1)

  1. Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала, включающий подготовку образцов без пластической деформации, воздействие на образец рентгеновского излучения для регистрации его дифракционного спектра, определение физических уширений (β) двух порядков отражения от одной совокупности кристаллографических плоскостей, т.е. β1 и β2, угловых положений центров тяжести (θ) выбранных линий, т.е. θ1 и θ2, определение размеров блоков D и величины микродеформаций кристаллической решетки ε по следующим формулам:
    D=C1·М,
    ε=С2·N,
    где C1=(0,94λ·secθ1)/β1, C21/4tgθ1,
    M=(a2-bc)/(a2-b2), N=[(b2-bc)/(a2-bc)]1/2;
    a=tgθ2/tgθ1, b=β21, c=secθ2/secθ1,
    λ - длина волны рентгеновского излучения,
    и последующее определение ошибок измерений по формулам:
    ΔD/D=ΔМ/М+Δβ11,
    Δε/ε=ΔN/N+Δβ11,
    где ΔМ/М=F·М, ΔN/N=F/2N2, F={[a2(2b-c)-b2c]/(a2-bc)2}Δb,
    Δb=b(Δβ11+Δβ22), Δβ1 и Δβ2 - ошибки определения β1 и β2 соответственно.
RU2002135289/28A 2002-12-27 2002-12-27 Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала RU2234076C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002135289/28A RU2234076C1 (ru) 2002-12-27 2002-12-27 Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002135289/28A RU2234076C1 (ru) 2002-12-27 2002-12-27 Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002135289A RU2002135289A (ru) 2004-06-20
RU2234076C1 true RU2234076C1 (ru) 2004-08-10

Family

ID=33413645

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002135289/28A RU2234076C1 (ru) 2002-12-27 2002-12-27 Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2234076C1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008052287A1 (en) * 2006-11-03 2008-05-08 Xrt Limited Formation of bragg diffraction images by simplified section topography
RU2534719C1 (ru) * 2013-06-11 2014-12-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Способ диагностики реальной структуры кристаллов
RU2617151C2 (ru) * 2015-07-20 2017-04-21 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Способ диагностики римановой кривизны решетки нанотонких кристаллов

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008052287A1 (en) * 2006-11-03 2008-05-08 Xrt Limited Formation of bragg diffraction images by simplified section topography
RU2534719C1 (ru) * 2013-06-11 2014-12-10 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Способ диагностики реальной структуры кристаллов
RU2617151C2 (ru) * 2015-07-20 2017-04-21 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Способ диагностики римановой кривизны решетки нанотонких кристаллов

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Punegov et al. Applications of dynamical theory of X-ray diffraction by perfect crystals to reciprocal space mapping
Houska X‐Ray Diffraction from a Binary Diffusion Zone
Wang et al. Determination of the stress orientation distribution function using pulsed neutron sources
Chandrasekhar Extinction in x-ray crystallography
RU2234076C1 (ru) Способ определения параметров тонкой кристаллической структуры поликристаллического материала
Abbondanza et al. Quantitative powder diffraction using a (2+ 3) surface diffractometer and an area detector
Lider Precise determination of crystal lattice parameters
Hayashi et al. Sensitivity of Bragg surface diffraction to analyze ion-implanted semiconductors
Schönfeld et al. X‐ray study of diffuse scattering in Ni–20 at% Cr
Kužel et al. On X-ray diffraction study of microstructure of ZnO thin nanocrystalline films with strong preferred grain orientation
Chapuis et al. Solving crystal structures using several wavelengths from conventional sources. Anomalous scattering by holmium
Ida et al. Flat-specimen effect as a convolution in powder diffractometry with Bragg–Brentano geometry
Maslen X-ray absorption
Nittono et al. An X-ray double-crystal method utilizing non-parallel setting for measuring local lattice mismatches between epitaxial films and substrates
Punegov X-ray Laue diffraction by sectioned multilayers. I. Pendellösung effect and rocking curves
Rees X. Data Processing and Structure‐Factor Determination
Stoica et al. Instrumental line shapes in neutron powder diffraction with focusing monochromators
Shao et al. Glancing incidence x-ray fluorescence spectrometry based on a single-bounce parabolic capillary
Bärwolf et al. Dynamic SIMS, spectroscopic ellipsometry and x-ray diffractometry analysis of SiGe HBTs with Ge grading
Wołcyrz et al. The application of asymmetric Bragg reflections in the Bond method of measuring lattice parameters
Arthur Use of simultaneous reflections for precise absolute energy calibration of x rays
Punegov et al. Dynamical Theory of X-Ray Diffraction for Restricted Beams: III. Analysis of Experimental Data for a Porous Crystal
Tomov et al. Texture and secondary extinction measurements in Al\Ti stratified films by X-ray diffraction
Suortti Experimental correction for primary and secondary extinction. II. Application to beryllium
Zaumseil A Comparison of Different Multiple‐Crystal Diffractometer Arrangements to Measure the Reflection Curve of SiGe Layers on Si Substrates

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20041228