RU2232453C1 - Dual-channel waveguide gas channel - Google Patents
Dual-channel waveguide gas channel Download PDFInfo
- Publication number
- RU2232453C1 RU2232453C1 RU2002134884/28A RU2002134884A RU2232453C1 RU 2232453 C1 RU2232453 C1 RU 2232453C1 RU 2002134884/28 A RU2002134884/28 A RU 2002134884/28A RU 2002134884 A RU2002134884 A RU 2002134884A RU 2232453 C1 RU2232453 C1 RU 2232453C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- rod
- flange
- mirrors
- elastically deformable
- Prior art date
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области квантовой электроники и может быть использовано при создании волноводных двухканальных газовых лазеров со стабильными выходными параметрами.The invention relates to the field of quantum electronics and can be used to create waveguide two-channel gas lasers with stable output parameters.
Известен газовый лазер, содержащий размещенные в оболочке активного элемента разрядный капилляр с электродами и зеркала резонатора, одно из которых закреплено на пьезокорректоре, последний размещен в камере герметично соединенной с торцом оболочки активного элемента и одной своей стороной закреплен на его внешней поверхности, на противоположной стороне пьезокорректора закреплены кольцо и диэлектрическая втулка, установленная с возможностью перемещения в осевом направлении в отверстии, выполненном в торце оболочки активного элемента аксиально разрядному капилляру, основание втулки соединено с зеркалом резонатора и через сильфон с внутренней поверхностью торца оболочки активного элемента (см. пат. РФ №1115646, кл. H 01 S 3/10, опубл. 1996 г.).A gas laser is known that contains a discharge capillary with electrodes and resonator mirrors located in the shell of the active element, one of which is mounted on the piezoelectric corrector, the latter is placed in the chamber hermetically connected to the end face of the shell of the active element and is fixed on its outer surface on the opposite side of the piezoelectric corrector fixed ring and dielectric sleeve mounted with the possibility of movement in the axial direction in the hole made in the end of the shell of the active element and axially discharge capillary, the base sleeve is connected to the cavity mirror and through the bellows with the inner surface of the shell end of the active element (see. US Pat. RF №1115646, cl. H 01 S 3/10, publ. 1996 YG).
К причинам, препятствующим достижению требуемого технического результата, относится низкая устойчивость к угловым перемещениям узла пьезокорректора, а также к продольным перемещениям при механо-климатических воздействиях.The reasons that impede the achievement of the required technical result include low resistance to angular displacements of the piezoelectric corrector assembly, as well as to longitudinal displacements during mechanical and climatic influences.
Известен газовый лазер, в котором зеркала резонатора примыкают к торцам газоразрядной трубки, причем одно из зеркал закреплено на пьезоэлементе, выполненном в виде диска. Газоразрядная трубка выполнена в виде стержня с каналом, ограничивающим разрядную область, изготовленного из диэлектрического материала. Газоразрядная трубка с зеркалами оптического резонатора расположена в герметичной оболочке с закрепленными внутри нее пружинами для прижатия зеркал к торцам газоразрядной трубки (см. патент №591161, Кл2 Н 01 3/10, опубл. 1978 г.).A gas laser is known in which the resonator mirrors are adjacent to the ends of the gas discharge tube, one of the mirrors being mounted on a piezoelectric element made in the form of a disk. The gas discharge tube is made in the form of a rod with a channel restricting the discharge region made of dielectric material. The gas discharge tube with mirrors of the optical resonator is located in a sealed shell with springs fixed inside it to press the mirrors to the ends of the gas discharge tube (see patent No. 591161, Cl 2 H 01 3/10, publ. 1978).
Недостатком известной конструкции является необходимость размещения пьезокорректора внутри вакуумного объема, что ограничивает диапазон его удлинения, кроме того, в процессе работы может наблюдаться сильное газоотделение из пьезокорректора и загрязнение рабочей смеси, что приводит к нестабильности выходных параметров.A disadvantage of the known design is the need to place the piezoelectric corrector inside the vacuum volume, which limits the range of its elongation, in addition, during operation, there may be a strong gas separation from the piezoelectric corrector and contamination of the working mixture, which leads to instability of the output parameters.
Наиболее близким устройством того же назначения к заявленному объекту по совокупности признаков является волноводный двухканальный газовый лазер, конструкция которого позволяет повысить стабильность выходных параметров в условиях жестких механо-климатических воздействий. Лазер включает расположенные в корпусе разрядные каналы, сформированные электродами и диэлектрическими пластинами, на одном конце которых установлены светоделительное и высокоотражающее зеркала, а на другом - два высокоотражающих поверхностных зеркала, размещенные на юстировочном фланце, жестко связанном в корпусом лазера. Во фланце выполнены два отверстия, в каждом из которых установлен с возможностью перемещения в осевом направлении с помощью резьбового соединения держатель зеркала, выполненный в виде стойки со шляпкой, на поверхности которого укреплено высокоотражающее поворотное зеркало, вокруг каждого отверстия выполнены, по крайней мере, три резьбовых отверстия для размещения юстировочных винтов (см. патент РФ №1547646, кл. Н 01 3/02, опубл. 28.02.1988 г.) - прототип.The closest device of the same purpose to the claimed object in terms of features is a waveguide two-channel gas laser, the design of which improves the stability of the output parameters under severe mechanical and climatic influences. The laser includes discharge channels located in the housing, formed by electrodes and dielectric plates, at one end of which there are beam splitting and highly reflective mirrors, and at the other, two highly reflective surface mirrors placed on an alignment flange rigidly connected to the laser housing. Two holes are made in the flange, each of which is mounted with the possibility of axial movement using a threaded connection, a mirror holder made in the form of a rack with a hat, on the surface of which a highly reflective rotary mirror is mounted, at least three threaded holes are made around each hole holes for accommodating adjusting screws (see RF patent No. 1547646, class N 01 3/02, publ. 02.28.1988) - prototype.
К причинам, препятствующим достижению требуемого технического результата, относится отсутствие управляемых продольных перемещений, что не обеспечивает возможность активной стабилизации параметров лазерного излучения.The reasons that impede the achievement of the required technical result include the absence of controlled longitudinal displacements, which does not provide the possibility of active stabilization of the parameters of laser radiation.
Задачей заявленного изобретения является создание волноводного двухканального газового лазера со стабильной мощностью и частотой излучения, устойчивого к механо-климатическим воздействиям.The objective of the claimed invention is the creation of a waveguide two-channel gas laser with stable power and frequency of radiation, resistant to mechanical and climatic influences.
Технический результат, который может быть получен при осуществлении изобретения, выражается в возможности подстройки длины резонатора лазера, обеспечивающей стабилизацию частоты и мощности излучения.The technical result that can be obtained by carrying out the invention is expressed in the possibility of adjusting the length of the laser cavity, which ensures stabilization of the frequency and radiation power.
Указанный технический результат при осуществлении изобретения достигается тем, что в волноводный двухканальный газовый лазер, содержащий расположенные в корпусе разрядные каналы, на одном конце которых установлены светоделительное и высокоотражающее зеркала, а на другом - два высокоотражающих поворотных зеркала, размещенных на юстировочном фланце, введен узел продольно-осевых перемещений поворотных зеркал, герметично соединенный через упорную втулку с корпусом и выполненный в виде штока, на котором расположен пьезокорректор, зафиксированный с одного конца гайкой, а с другого - тыльной частью жестко закрепленного на штоке цилиндрического стакана, и упругодеформируемого фланца, жестко связанного с юстировочным фланцем поворотных зеркал и закрепленного центральной частью на штоке, а по периметру - на цилиндрическом стакане, при этом юстировочный и упругодеформируемый фланцы установлены с зазором относительно упорной втулки и торца корпуса лазера.The specified technical result in the implementation of the invention is achieved by the fact that in the waveguide two-channel gas laser containing discharge channels located on the housing, at one end of which there are beam splitting and highly reflective mirrors, and at the other end, two highly reflective rotary mirrors placed on the alignment flange, the assembly is longitudinally introduced - axial movements of the rotary mirrors, hermetically connected through the thrust sleeve to the housing and made in the form of a rod on which the piezoelectric corrector is located, fix mounted on one end with a nut, and on the other, with the back of a cylindrical cup rigidly fixed to the rod, and an elastically deformable flange rigidly connected to the adjustment flange of the rotary mirrors and fixed with the central part on the rod, and around the perimeter - on the cylindrical cup, while the alignment and elastically deformable the flanges are installed with a gap relative to the thrust sleeve and the end of the laser housing.
Введение в лазер узла продольно-осевых перемещений поворотных зеркал позволяет повысить стабильность мощности и частоты излучения за счет управления длиной резонатора, а следовательно, частотой настройки резонатора в зоне контура усиления активной среды лазера. И, кроме того, устойчивость к механо-климатическим воздействиям обеспечивается конструктивным выполнением и взаимным расположением элементов узла.The introduction of a longitudinal-axial displacements unit of rotary mirrors into the laser makes it possible to increase the stability of the radiation power and frequency by controlling the cavity length and, therefore, the resonator tuning frequency in the area of the gain loop of the active medium of the laser. And, in addition, resistance to mechanical and climatic influences is ensured by the constructive implementation and mutual arrangement of the elements of the node.
Проведенный заявителем анализ уровня техники, включающий поиск по патентным и научно-техническим источникам информации и выявление источников, содержащих сведения об аналогах заявленного изобретения, позволил установить, что заявителем не обнаружен аналог, характеризующийся признаками, идентичными всем существенным признакам заявленного изобретения, а определение из перечня выявленных аналогов прототипа, как наиболее близкого по совокупности признаков аналога, позволило выявить совокупность существенных по отношению к усматриваемому заявителем техническому результату отличительных признаков в заявленном объекте, изложенных в формуле изобретения.The analysis of the prior art by the applicant, including a search by patent and scientific and technical sources of information and identification of sources containing information about analogues of the claimed invention, allowed to establish that the applicant did not find an analogue characterized by features identical to all the essential features of the claimed invention, and the definition from the list identified analogues of the prototype, as the closest in the totality of the features of the analogue, allowed to identify the set of essential in relation to to the applicant the technical result of the distinguishing features in the claimed object set forth in the claims.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "новизна" по действующему законодательству.Therefore, the claimed invention meets the requirement of "novelty" under applicable law.
Для проверки соответствия заявленного изобретения требованию изобретательского уровня заявитель провел дополнительный поиск известных решений с целью выявления признаков, совпадающих с отличительными от прототипа признаками заявленного изобретения, результаты которого показывают, что заявленное решение не следует для специалиста явным образом из известного уровня техники, поскольку из уровня техники, определенного заявителем, не выявлено влияние предусматриваемых существенными признаками заявленного изобретения преобразований на достижение технического результата, в частности, не выявлен волноводный двухканальный газовый лазер, в котором повышение стабильности мощности и частоты излучения достигалось бы за счет введения в прибор узла продольно-осевых перемещений поворотных зеркал, обеспечивающего управление настройкой резонатора в зоне контура усиления активной среды лазера.To verify the conformity of the claimed invention to the requirements of the inventive step, the applicant conducted an additional search for known solutions in order to identify features that match the distinctive features of the claimed invention, the results of which show that the claimed solution does not follow explicitly from the prior art, since the prior art defined by the applicant, the influence of the transformations provided for by the essential features of the claimed invention has not been identified to achieve a technical result, in particular, a waveguide two-channel gas laser was not detected in which an increase in the stability of power and radiation frequency would be achieved by introducing into the device a unit of longitudinal-axial movements of rotary mirrors, providing control of the resonator tuning in the zone of the gain of the active medium of the laser.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "изобретательский уровень" по действующему законодательству.Therefore, the claimed invention meets the requirement of "inventive step" under applicable law.
На чертеже приведена конструкция предлагаемого лазера.The drawing shows the design of the proposed laser.
Волноводный двухканальный лазер включает расположенные в корпусе 1 разрядные каналы 2, 3, сформированные электродами и диэлектрическими пластинами, на одном конце которых установлены светоделительное 4 и высокоотражающее 5 зеркала. На другом конце каналов 2, 3 расположены высокоотражающие поворотные зеркала 6, 7, размещенные на юстировочном фланце 8. В лазер введен узел 9 продольно-осевых перемещений поворотных зеркал 6, 7, герметично соединенный через упорную втулку 10 с корпусом 1. Узел 9 выполнен в виде штока 11, на котором расположен пьезокорректор 12, зафиксированный с одного конца гайкой 13, а с другого конца - тыльной частью жестко закрепленного на штоке 11 фланца в виде цилиндрического стакана 14 и упругодеформируемого фланца 15, который жестко связан с юстировочным фланцем 8 поворотных зеркал 6, 7. Упругодеформируемый фланец 15 в центре закреплен на штоке 11, а по периметру - на цилиндрическом стакане 14. Юстировочный 8 и упругодеформируемый 15 фланцы установлены с зазором 16 относительно упорной втулки 10 и торца 17 корпуса 1 лазера.A waveguide two-channel laser includes discharge channels 2, 3 located in the housing 1, formed by electrodes and dielectric plates, at one end of which there are a beam splitter 4 and a highly reflective 5 mirror. At the other end of the channels 2, 3, highly reflective rotary mirrors 6, 7 are located on the alignment flange 8. A node 9 of longitudinal-axial movements of the rotary mirrors 6, 7 is inserted into the laser, hermetically connected through the thrust sleeve 10 to the housing 1. Unit 9 is made view of the rod 11, on which the piezoelectric corrector 12 is located, fixed on one end by a nut 13, and on the other end, by the back of a flange rigidly fixed to the rod 11 in the form of a cylindrical cup 14 and an elastically deformable flange 15, which is rigidly connected to the adjustment flange 8 rotary mirrors 6 and 7. The compliant flange 15 secured to the center rod 11, and on the perimeter - on a cylindrical cup 8 and 14. Adjustment resiliently deformable flanges 15 are installed with a gap 16 relative to the stop sleeve 10 and the end 17 of the body 1 of the laser.
Лазер работает следующим образом. При подаче электрического напряжения на ВЧ электрод лазера в разрядных каналах 2, 3 зажигается разряд. Возникновение разряда вызывает появление излучения. Распространяющееся внутри резонатора, образованного зеркалами 4, 5, 6, 7, электромагнитное поле характеризуется частотой и мощностью излучения. Одним из основных факторов, влияющих на стабильность частоты и мощности излучения, является изменение оптической длины резонатора (nL, где n - показатель преломления, L - расстояние между зеркалами резонатора). Для ее стабилизации служит узел продольно-осевых перемещений, который обеспечивает подстройку оптической длины перемещением поворотных зеркал 6, 7 резонатора. Способы стабилизации длины резонатора, а следовательно, частоты и мощности лазерного излучения могут быть различными (с использованием оптогальванического эффекта, реперных точек фотоприемного тракта, эффектов резонансного поглощения или усиления и т.д.).The laser operates as follows. When an electrical voltage is applied to the HF electrode of the laser in the discharge channels 2, 3, the discharge is ignited. The occurrence of a discharge causes the appearance of radiation. The electromagnetic field propagating inside the resonator formed by mirrors 4, 5, 6, 7 is characterized by the frequency and power of the radiation. One of the main factors affecting the stability of the frequency and radiation power is the change in the optical length of the resonator (nL, where n is the refractive index, L is the distance between the cavity mirrors). For its stabilization, a node of longitudinal-axial displacements is used, which provides adjustment of the optical length by moving the rotary mirrors 6, 7 of the resonator. The methods for stabilizing the cavity length, and therefore, the frequency and power of laser radiation, can be different (using the opto-galvanic effect, reference points of the photodetector path, effects of resonant absorption or amplification, etc.).
Для изменения длины резонатора к пьезокорректору прикладывается электрическое напряжение. При этом пьезокорректор 12, опираясь на тыльную сторону фланца 14, выполненного в виде цилиндрического стакана, своей противоположной стороной (при удлинении или сжатии) ведет за собой в осевом направлении гайку 13, шток 11 и центральную часть жестко связанного с ним фланца 14, а также упругодеформируемый фланец 15. Осевое перемещение центральной области упругодеформируемого фланца 15 приводит к перемещению юстировочного фланца 8 с закрепленными на нем поворотными зеркалами 6, 7 и тем самым - к изменению длины резонатора, что обеспечивает управление выходной мощностью и частотой излучения. Жесткое соединение по периметру упругодеформируемого фланца 15 и цилиндрического стакана 14 и одновременное жесткое и резьбовое соединение центральных областей последних со штоком 11 обеспечивает дополнительную механо-климатическую устойчивость узла осевых перемещений к угловой разъюстировке.To change the length of the resonator, a voltage is applied to the piezoelectric corrector. In this case, the piezoelectric corrector 12, relying on the back side of the flange 14, made in the form of a cylindrical glass, with its opposite side (when elongating or compressing) leads in the axial direction of the nut 13, the rod 11 and the Central part of the flange 14 rigidly connected with it, and elastically deformable flange 15. Axial movement of the Central region of the elastically deformable flange 15 leads to the movement of the alignment flange 8 with rotary mirrors 6, 7 mounted on it and thereby to a change in the length of the resonator, which provides control s output power and frequency of the radiation. A rigid connection along the perimeter of the elastically deformable flange 15 and the cylindrical cup 14 and the simultaneous rigid and threaded connection of the central regions of the latter with the rod 11 provide additional mechanical and climatic stability of the axial displacement unit to angular misalignment.
Устойчивость к механо-климатическим воздействиям при одновременном обеспечении прецизионных продольно-осевых перемещений зеркал обусловлена созданием предварительных упругих напряжений, превышающих величину внешних воздействующих усилий. Дополнительная жесткость к угловым перемещениям узла продольно-осевых перемещений и лазера в целом обеспечивается одновременным жестким креплением центральной и периферийной зон цилиндрического стакана 14 и упругодеформируемого фланца 15.Resistance to mechanical and climatic influences while ensuring precise longitudinal axial movements of the mirrors is due to the creation of preliminary elastic stresses exceeding the magnitude of the external acting forces. Additional rigidity to the angular displacements of the axial-longitudinal displacements unit and the laser as a whole is provided by the simultaneous rigid fastening of the central and peripheral zones of the cylindrical cup 14 and the elastically deformable flange 15.
Предлагаемое изобретение можно использовать при производстве волноводных двухканальных газовых лазеров, а именно угла продольно-осевых перемещений, оно использовано в приборе LCD-5G-M. Основные детали узла выполнены из сплавов железо-никель (29НК, 47НД, НАВИ). Необходимое различие конструктивной жесткости и упругопластических деформаций деталей достигается подбором их формы и геометрических размеров. В качестве пьезокорректора использован набор пьезокерамических шайб типа ПП-4. Необходимые жесткие и герметичные (вакуумно-плотные) соединения в узле обеспечены лазерной сваркой.The present invention can be used in the manufacture of waveguide two-channel gas lasers, namely the angle of longitudinal-axial movements, it is used in the device LCD-5G-M. The main components of the assembly are made of iron-nickel alloys (29NK, 47ND, NAVI). The necessary difference in structural rigidity and elastoplastic deformations of parts is achieved by selecting their shape and geometric dimensions. A set of piezoceramic washers of the PP-4 type was used as a piezocorrector. The necessary rigid and tight (vacuum tight) joints in the assembly are provided by laser welding.
Реально измеренный диапазон осевых перемещений составил 8-10 мкм, что превышает 3/4 длины волны генерации СО2-лазера. В результате при подаче управляющего напряжения на пьезокорректор, за счет изменения длины резонатора, выходную мощность и частоту лазерного излучения прибора LCD-5G-M можно изменять в пределах всей области генерации.The actually measured range of axial displacements was 8–10 μm, which exceeds 3/4 of the wavelength of the generation of a CO 2 laser. As a result, when a control voltage is applied to the piezoelectric corrector, by changing the cavity length, the output power and laser frequency of the LCD-5G-M can be changed within the entire generation area.
В приборах серии LCD без узла осевых перемещений изменение мощности лазерного излучения в процессе экспуатации составляет ~±3-5% и более, а частота излучения перестраивается в пределах 130-150 МГц.In LCD series devices without an axial displacement unit, the change in the laser radiation power during operation is ~ ± 3-5% or more, and the radiation frequency is tuned within 130-150 MHz.
В приборе LCD-5G-M за счет подстройки длины резонатора при использовании узла продольно-осевых перемещений долговременная нестабильность мощности лазерного излучения не превышает ±1%, а дрейф частоты находится в пределах 1-2 МГц, что составляет ≤1·10-8 отн.ед.In the LCD-5G-M device, by adjusting the cavity length when using the axial-longitudinal displacement unit, the long-term instability of the laser radiation power does not exceed ± 1%, and the frequency drift is within 1-2 MHz, which is ≤1 · 10 -8 rel .ed.
Следовательно, заявленное изобретение соответствует требованию "промышленная применимость" по действующему законодательству.Therefore, the claimed invention meets the requirement of "industrial applicability" under applicable law.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002134884/28A RU2232453C1 (en) | 2002-12-23 | 2002-12-23 | Dual-channel waveguide gas channel |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2002134884/28A RU2232453C1 (en) | 2002-12-23 | 2002-12-23 | Dual-channel waveguide gas channel |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2002134884A RU2002134884A (en) | 2004-06-27 |
| RU2232453C1 true RU2232453C1 (en) | 2004-07-10 |
Family
ID=33413605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2002134884/28A RU2232453C1 (en) | 2002-12-23 | 2002-12-23 | Dual-channel waveguide gas channel |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2232453C1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2109198A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-14 | BAE Systems PLC | Laser display |
| WO2009125215A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | Bae Systems Plc | Laser displays |
-
2002
- 2002-12-23 RU RU2002134884/28A patent/RU2232453C1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2109198A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-14 | BAE Systems PLC | Laser display |
| WO2009125215A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | Bae Systems Plc | Laser displays |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5172390A (en) | Pre-aligned diode laser for external cavity operation | |
| CA2354632C (en) | Diode-pumped laser amplifier | |
| US5353297A (en) | Gas slab laser with folded resonator structure | |
| JP2005222049A (en) | Method and apparatus for adjusting path of optical beam in waveguide | |
| US3718868A (en) | I{11 {11 {11 {11 INVERTED LAMB DIP STABILIZED He-Ne LASER | |
| US3564452A (en) | Laser with stable resonator | |
| US3987373A (en) | Laser having etalon assembly | |
| US3886474A (en) | Gas laser having an integral optical resonator with external stabilizing means | |
| US6603794B2 (en) | System and method for laser beam coupling between waveguide and optics | |
| RU2232453C1 (en) | Dual-channel waveguide gas channel | |
| US6819689B2 (en) | Passive mode lock fiber laser | |
| US4554667A (en) | Sealed-off CO2 laser | |
| CN213753441U (en) | Class-synchronous tuning external cavity semiconductor laser based on flexible mechanical structure | |
| TW202135129A (en) | Radio-frequency excited gas laser | |
| WO2002062246A1 (en) | Laser apparatus useful for myocardial revascularization | |
| US3783404A (en) | Gas laser | |
| Collinson | A Stable, Single‐Frequency RF‐Excited Gas Laser at 6328Å | |
| RU2279166C1 (en) | Double-mode tunable carbon dioxide laser | |
| RU2290728C1 (en) | Laser using automatic adjustment of resonator mirrors | |
| JP4132690B2 (en) | Slab laser | |
| US3613026A (en) | Plasma tube impedance variation frequency stabilized gas laser | |
| Knittel et al. | High-pressure single-mode CO 2 laser with picosecond plasma shutter | |
| US3798567A (en) | Laser generator | |
| JP7288666B2 (en) | Cavity length adjustment device | |
| JP4849088B2 (en) | Slab laser |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20131224 |