RU222169U1 - Gas leak for vacuum spraying installation - Google Patents

Gas leak for vacuum spraying installation Download PDF

Info

Publication number
RU222169U1
RU222169U1 RU2023128645U RU2023128645U RU222169U1 RU 222169 U1 RU222169 U1 RU 222169U1 RU 2023128645 U RU2023128645 U RU 2023128645U RU 2023128645 U RU2023128645 U RU 2023128645U RU 222169 U1 RU222169 U1 RU 222169U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
capillary tube
vacuum
gas leak
gas
section
Prior art date
Application number
RU2023128645U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Алиса Дмитриевна Будная
Иван Юрьевич Голованов
Original Assignee
Алиса Дмитриевна Будная
Иван Юрьевич Голованов
Filing date
Publication date
Application filed by Алиса Дмитриевна Будная, Иван Юрьевич Голованов filed Critical Алиса Дмитриевна Будная
Application granted granted Critical
Publication of RU222169U1 publication Critical patent/RU222169U1/en

Links

Images

Abstract

Полезная модель относится к области ионно-плазменной металлизации и может применяться в установках вакуумного напыления.The utility model relates to the field of ion-plasma metallization and can be used in vacuum deposition installations.

Натекатель газа для установки вакуумного напыления включает вакуумную камеру, газовый баллон высокого давления, установленный на газовом баллоне высокого давления и снабженный краном и манометром редуктор подачи газа, капиллярную трубку постоянного сечения с внутренней шириной от 0,1 мм до 1 мм и длиной от 0,5 м до 2,0 м, герметично соединяющий капиллярную трубку и вакуумную камеру штуцер, герметично соединяющий капиллярную трубку и газовый баллон высокого давления штуцер, причем капиллярная трубка в поперечном сечении имеет форму кардиоиды.A gas leak for a vacuum spraying installation includes a vacuum chamber, a high-pressure gas cylinder installed on a high-pressure gas cylinder and equipped with a gas supply valve and pressure gauge, a capillary tube of constant cross-section with an internal width from 0.1 mm to 1 mm and a length from 0. 5 m to 2.0 m, a fitting that hermetically connects the capillary tube and the vacuum chamber, a fitting that hermetically connects the capillary tube and a high-pressure gas cylinder, and the capillary tube has a cardioid shape in cross section.

Редуктор подачи газа может быть снабжен расходомером.The gas supply reducer can be equipped with a flow meter.

Полезная модель направлена на повышение эксплуатационной надежности натекателя газа для установки вакуумного напыления.The utility model is aimed at increasing the operational reliability of a gas leak for a vacuum spraying installation.

Указанный результат достигается за счёт того, что капиллярная трубка натекателя газа для установки вакуумного напыления в поперечном сечении имеет форму кардиоиды.This result is achieved due to the fact that the capillary tube of the gas leak for the vacuum deposition installation has a cardioid shape in cross section.

Выполнение капиллярной трубки, имеющей в поперечном сечении форму кардиоиды, уменьшает шанс ее деформации и перелома, и тем самым повышается эксплуатационная надежность натекателя газа для установки вакуумного напыления.Making the capillary tube having a cardioid shape in cross section reduces the chance of its deformation and fracture, and thereby increases the operational reliability of the gas leak for the vacuum deposition installation.

Снабжение редуктора подачи газа расходомером позволит контролировать непрерывность работы и дополнительно повысить эксплуатационную надежность натекателя газа для установки вакуумного напыления.Equipping the gas supply reducer with a flow meter will allow you to control the continuity of operation and further increase the operational reliability of the gas leak for the vacuum spraying installation.

Description

Полезная модель относится к области ионно-плазменной металлизации и может применяться в установках вакуумного напыления.The utility model relates to the field of ion-plasma metallization and can be used in vacuum deposition installations.

Известен натекатель газа для установки вакуумного напыления, включающий вакуумную камеру, газовый баллон высокого давления, установленный на газовом баллоне высокого давления и снабженный краном и манометром редуктор подачи газа, капиллярную трубку постоянного сечения с внутренней шириной от 0,1 мм до 1 мм и длиной от 0,5 м до 2,0 м, герметично соединяющий капиллярную трубку и вакуумную камеру штуцер, герметично соединяющий капиллярную трубку и газовый баллон высокого давления штуцер [Патент на полезную модель RU 141916 U1, опубликован 20.06.2014].A known gas leak for a vacuum spraying installation includes a vacuum chamber, a high-pressure gas cylinder mounted on a high-pressure gas cylinder and equipped with a valve and pressure gauge, a gas supply reducer, a capillary tube of constant cross-section with an internal width of 0.1 mm to 1 mm and a length of 0.5 m to 2.0 m, a fitting that hermetically connects the capillary tube and the vacuum chamber, a fitting that hermetically connects the capillary tube and a high-pressure gas cylinder [Utility model patent RU 141916 U1, published 06/20/2014].

Недостатком известного натекателя газа для установки вакуумного напыления является низкая эксплуатационная надежность, что обусловлено возможной деформацией и переломом капиллярной трубки.The disadvantage of the known gas leak for vacuum spraying installation is low operational reliability, which is due to possible deformation and fracture of the capillary tube.

Полезная модель направлена на повышение эксплуатационной надежности натекателя газа для установки вакуумного напыления.The utility model is aimed at increasing the operational reliability of a gas leak for a vacuum spraying installation.

Указанный результат достигается за счёт того, что в натекателе газа для установки вакуумного напыления, включающем вакуумную камеру, газовый баллон высокого давления, установленный на газовом баллоне высокого давления и снабженный краном и манометром редуктор подачи газа, капиллярную трубку постоянного сечения с внутренней шириной от 0,1 мм до 1 мм и длиной от 0,5 м до 2,0 м, герметично соединяющий капиллярную трубку и вакуумную камеру штуцер, герметично соединяющий капиллярную трубку и газовый баллон высокого давления штуцер, капиллярная трубка в поперечном сечении имеет форму кардиоиды.This result is achieved due to the fact that in the gas leak for the vacuum spraying installation, including a vacuum chamber, a high-pressure gas cylinder mounted on a high-pressure gas cylinder and equipped with a valve and pressure gauge, a gas supply reducer, a capillary tube of constant cross-section with an internal width of 0. 1 mm to 1 mm and a length from 0.5 m to 2.0 m, a fitting that hermetically connects the capillary tube and the vacuum chamber, a fitting that hermetically connects the capillary tube and a high-pressure gas cylinder, the capillary tube has a cardioid shape in cross section.

Натекатель газа для установки вакуумного напыления по п.1 формулы полезной модели схематично изображен на фиг. 1. Натекатель газа для установки вакуумного напыления по п.2 формулы полезной модели схематично изображен на фиг. 2. На фиг. 3 представлено поперечное сечение капиллярной трубки в форме кардиоиды.The gas leak for the vacuum spraying installation according to claim 1 of the formula of the utility model is schematically shown in Fig. 1. The gas leak for the vacuum spraying installation according to claim 2 of the formula of the utility model is schematically shown in Fig. 2. In FIG. Figure 3 shows a cross section of a capillary tube in the shape of a cardioid.

Натекатель газа для установки вакуумного напыления включает вакуумную камеру 1, газовый баллон высокого давления 2, установленный на газовом баллоне высокого давления 2 и снабженный краном 3 и манометром 4 редуктор подачи газа 5, капиллярную трубку 6 постоянного сечения с внутренней шириной от 0,1 мм до 1 мм и длиной от 0,5 м до 2,0 м, герметично соединяющий капиллярную трубку 6 и вакуумную камеру 1 штуцер 7, герметично соединяющий капиллярную трубку 6 и газовый баллон высокого давления 2 штуцер 8, причем капиллярная трубка 6 в поперечном сечении имеет форму кардиоиды.The gas leak for the vacuum spraying installation includes a vacuum chamber 1, a high-pressure gas cylinder 2, mounted on a high-pressure gas cylinder 2 and equipped with a valve 3 and a pressure gauge 4, a gas supply reducer 5, a capillary tube 6 of constant cross-section with an internal width from 0.1 mm to 1 mm and a length from 0.5 m to 2.0 m, hermetically connecting the capillary tube 6 and the vacuum chamber 1, fitting 7, hermetically connecting the capillary tube 6 and the high-pressure gas cylinder 2, fitting 8, and the capillary tube 6 in cross section has the shape cardioids.

При выполнении натекателя газа для установки вакуумного напыления по п.2 формулы полезной модели, редуктор подачи газа 5 снабжен расходомером 9.When making a gas leak for installing vacuum spraying according to claim 2 of the formula of the utility model, the gas supply reducer 5 is equipped with a flow meter 9.

Натекатель газа для установки вакуумного напыления работает следующим образом: на редукторе подачи газа 5 открывается кран 3, из газового баллона высокого давления 2 по герметично соединенной штуцером 8 с газовым баллоном высокого давления 2 и герметично соединенной штуцером 7 с вакуумной камерой 1 капиллярной трубке 6 газ поступает в вакуумную камеру 1. The gas leak for the vacuum spraying installation operates as follows: valve 3 is opened on the gas supply reducer 5, gas flows from the high-pressure gas cylinder 2 through a hermetically sealed fitting 8 with a high-pressure gas cylinder 2 and a hermetically sealed fitting 7 with a vacuum chamber 1. into vacuum chamber 1.

Давление потока поступающего газа в вакуумную камеру 1 регулируется снабженным манометром 4 редуктором подачи газа 5, а также выбором внутренней ширины от 0,1 мм до 1 мм и длины от 0,5 м до 2,0 м капиллярной трубки 6.The pressure of the flow of gas entering the vacuum chamber 1 is regulated by a gas supply reducer 5 equipped with a pressure gauge 4, as well as by selecting the internal width from 0.1 mm to 1 mm and the length from 0.5 m to 2.0 m of the capillary tube 6.

Снабжение редуктора подачи газа 5 расходомером 9 позволяет контролировать непрерывность работы натекателя газа для установки вакуумного напыления.Equipping the gas supply reducer 5 with a flow meter 9 allows you to control the continuity of operation of the gas leak for the vacuum spraying installation.

Капиллярная трубка круглого сечения, описанная в прототипе, может деформироваться и переламываться под собственным весом и от возможных изгибающих нагрузок при эксплуатации натекателя газа для установки вакуумного напыления. Деформация и перелом капиллярной трубки будут ограничивать или исключать подачу газа от газового баллона высокого давления в вакуумную камеру, тем самым нарушая или прекращая работу натекателя газа для установки вакуумного напыления.The round capillary tube described in the prototype can be deformed and broken under its own weight and from possible bending loads during operation of the gas leak for installing vacuum spraying. Deformation and fracture of the capillary tube will limit or eliminate the flow of gas from the high-pressure gas cylinder into the vacuum chamber, thereby disrupting or stopping the operation of the gas leak for the vacuum deposition installation.

Выполнение капиллярной трубки с поперечным сечением в форме кардиоиды позволяет уменьшить шанс ее деформации и перелома, за счет наличия ребра жесткости по всей длине капиллярной трубки в виде касла кардиоиды.Making the capillary tube with a cross-section in the shape of a cardioid makes it possible to reduce the chance of its deformation and fracture due to the presence of a stiffener along the entire length of the capillary tube in the form of a cardioid castle.

В случае возможных деформаций капиллярной трубки, редуктор подачи газа может быть снабжен расходомером, что позволит контролировать непрерывность работы натекателя газа для установки вакуумного напыления.In case of possible deformations of the capillary tube, the gas supply reducer can be equipped with a flow meter, which will allow monitoring the continuity of operation of the gas leak for the vacuum spraying installation.

Таким образом, выполнение капиллярной трубки, имеющей в поперечном сечении форму кардиоиды, уменьшает шанс ее деформации и перелома и тем самым повышается эксплуатационная надежность натекателя газа для установки вакуумного напыления.Thus, making the capillary tube having a cardioid shape in cross section reduces the chance of its deformation and fracture, and thereby increases the operational reliability of the gas leak for the vacuum deposition installation.

Снабжение редуктора подачи газа расходомером позволит контролировать непрерывность работы и дополнительно повысить эксплуатационную надежность натекателя газа для установки вакуумного напыления.Equipping the gas supply reducer with a flow meter will allow you to control the continuity of operation and further increase the operational reliability of the gas leak for the vacuum spraying installation.

Claims (2)

1. Натекатель газа для установки вакуумного напыления, включающий вакуумную камеру, газовый баллон высокого давления, установленный на газовом баллоне высокого давления и снабженный краном и манометром редуктор подачи газа, капиллярную трубку постоянного сечения с внутренней шириной от 0,1 мм до 1 мм и длиной от 0,5 м до 2,0 м, герметично соединяющий капиллярную трубку и вакуумную камеру штуцер, герметично соединяющий капиллярную трубку и газовый баллон высокого давления штуцер, отличающийся тем, что капиллярная трубка в поперечном сечении имеет форму кардиоиды.1. Gas leak for a vacuum spraying installation, including a vacuum chamber, a high-pressure gas cylinder installed on a high-pressure gas cylinder and equipped with a valve and pressure gauge, a gas supply reducer, a capillary tube of constant cross-section with an internal width of 0.1 mm to 1 mm and a length from 0.5 m to 2.0 m, a fitting that hermetically connects the capillary tube and the vacuum chamber, a fitting that hermetically connects the capillary tube and a high-pressure gas cylinder, characterized in that the capillary tube has a cardioid shape in cross section. 2. Натекатель газа для установки вакуумного напыления по п.1, отличающийся тем, что редуктор подачи газа снабжен расходомером.2. Gas leak for vacuum spraying installation according to claim 1, characterized in that the gas supply reducer is equipped with a flow meter.
RU2023128645U 2023-11-06 Gas leak for vacuum spraying installation RU222169U1 (en)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU222169U1 true RU222169U1 (en) 2023-12-13

Family

ID=

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU698071A1 (en) * 1974-12-16 1979-11-15 Предприятие П/Я А-3531 Remote control gas feeding device
SU698210A2 (en) * 1977-01-10 1986-06-30 Предприятие П/Я В-2346 Device for applying emulsions and varnishes in electric field
SU1652377A1 (en) * 1987-04-27 1991-05-30 Предприятие П/Я А-1628 Apparatus for deposition of coatings in vacuum
WO1998015669A1 (en) * 1996-10-08 1998-04-16 Felts John T Method and apparatus for plasma deposition of a thin film onto the interior surface of a container
RU141916U1 (en) * 2013-11-12 2014-06-20 Открытое Акционерное Общество "Государственный Ракетный Центр Имени Академика В.П. Макеева" GAS STEAM FOR VACUUM SPRAY INSTALLATION

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU698071A1 (en) * 1974-12-16 1979-11-15 Предприятие П/Я А-3531 Remote control gas feeding device
SU698210A2 (en) * 1977-01-10 1986-06-30 Предприятие П/Я В-2346 Device for applying emulsions and varnishes in electric field
SU1652377A1 (en) * 1987-04-27 1991-05-30 Предприятие П/Я А-1628 Apparatus for deposition of coatings in vacuum
WO1998015669A1 (en) * 1996-10-08 1998-04-16 Felts John T Method and apparatus for plasma deposition of a thin film onto the interior surface of a container
DE69738690D1 (en) * 1996-10-08 2008-06-26 Nano Scale Surface Systems Inc METHOD AND DEVICE FOR PLASMA COATING OF A THIN FILM ON THE INSIDE OF A CONTAINER
RU141916U1 (en) * 2013-11-12 2014-06-20 Открытое Акционерное Общество "Государственный Ракетный Центр Имени Академика В.П. Макеева" GAS STEAM FOR VACUUM SPRAY INSTALLATION

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010134716A3 (en) Pressure reducing valve
RU222169U1 (en) Gas leak for vacuum spraying installation
RU121164U1 (en) ELECTRIC DRIVEN CONTROL UNIT
CN101750624B (en) Energy-collecting air gun shield for geological prospecting air gun
CN109083236A (en) A kind of toilet blowdown apparatus
CN208606839U (en) A kind of valve control electronic remote transmission water meter
CN214618481U (en) Split air valve with adjustable water hammer preventing device
RU2010143875A (en) MINIMUM PRESSURE VALVE
CN204239127U (en) A kind of turbine chamber with automatic inflating device structure
CN205226729U (en) A expansion joint subassembly for gas turbine inlet channel system
CN201193772Y (en) Dual-metal-sheet steam drain valve
CN108857054A (en) A kind of vacuum chamber for laser welding
CN202746659U (en) Externally-connected high-pressure water gun three-way valve
RU153779U1 (en) WATER PRESSURE FILTER REGULATOR
CN105402544A (en) Expansion joint assembly used for gas inlet channel system of steam turbine engine
CN107387926A (en) Sleeve anti-corrosion straight tube bypass pressure balance type bellows compensator
CN201569749U (en) Energy-focused air gun cover for geological exploration air gun
CN210599319U (en) Water draining silencer for air compressor
CN208950710U (en) A kind of cylinder drain valve mounting structure
CN208417938U (en) Sensor fixing structure in pipeline with pressure
CN212003281U (en) Steam turbine drainage device
CN101250893A (en) Check valve for building drainage pipeline
RU2724159C1 (en) Downhole sucker-rod pumping unit
CN210152871U (en) Novel air flow adjusting mechanism of reciprocating compressor
CN216809996U (en) Access well of small-bore pressure pipeline