RU2183153C2 - Electron beam welding method - Google Patents
Electron beam welding method Download PDFInfo
- Publication number
- RU2183153C2 RU2183153C2 RU2000118906A RU2000118906A RU2183153C2 RU 2183153 C2 RU2183153 C2 RU 2183153C2 RU 2000118906 A RU2000118906 A RU 2000118906A RU 2000118906 A RU2000118906 A RU 2000118906A RU 2183153 C2 RU2183153 C2 RU 2183153C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electron beam
- focusing
- current
- electric current
- frequency
- Prior art date
Links
Landscapes
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области электронно-лучевой сварки и может быть использовано при электронно-лучевой сварке конструкционных материалов с контролем и управлением удельной мощностью электронного пучка непосредственно в процессе сварки. The invention relates to the field of electron beam welding and can be used in electron beam welding of structural materials with monitoring and control of the specific power of the electron beam directly in the welding process.
Известен способ электронно-лучевой сварки с контролем удельной мощности электронного пучка в зоне взаимодействия с металлом, при котором фокусировку электронного пучка устанавливают по сигналу, получаемому в результате выделения и обработки переменных составляющих вторичного тока с пересекающимися частотными спектрами [1]. A known method of electron beam welding with the control of the specific power of the electron beam in the zone of interaction with the metal, in which the focus of the electron beam is set according to the signal obtained by isolating and processing the alternating components of the secondary current with intersecting frequency spectra [1].
Известный способ обеспечивает высокую точность контроля фокусировки электронного пучка при сварке немодулированным пучком. Но при модуляции мощности электронного пучка точность контроля фокусировки снижается. The known method provides high accuracy control focusing of the electron beam when welding with an unmodulated beam. But when modulating the power of the electron beam, the accuracy of focus control decreases.
Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности и достигаемому эффекту является способ электронно-лучевой сварки, при котором модулируют удельную мощность электронного пучка путем наложения на ток пучка и (или) на ток фокусирующей линзы электронной пушки переменного компонента, а фокусировку электронного пучка устанавливают по амплитуде переменной составляющей вторичного тока, имеющей частоту, равную частоте модуляции удельной мощности пучка [2]. При данном способе максимальное значение удельной мощности определяют по максимальной амплитуде переменной составляющей тока коллектора. The closest to the proposed technical essence and the achieved effect is the method of electron beam welding, in which the specific power of the electron beam is modulated by applying an alternating component to the beam current and (or) the current of the focusing lens of the electron gun, and the electron beam is focused on the amplitude of the variable component of the secondary current having a frequency equal to the modulation frequency of the specific power of the beam [2]. With this method, the maximum value of the specific power is determined by the maximum amplitude of the variable component of the collector current.
Известный способ позволяет с высокой точностью определять фокусировку электронного пучка при сварке в режиме поверхностного расплавления, однако при сварке глубоким проплавлением, сопровождающимся образованием канала проплавления в металле, точность данного способа существенно снижается. Кроме того, данный способ не позволяет определять фокусировку электронного пучка, отличную от экстремальной, что существенно сужает технологические возможности способа. The known method allows to accurately determine the focus of the electron beam during welding in the surface melting mode, however, when welding by deep penetration, accompanied by the formation of a penetration channel in the metal, the accuracy of this method is significantly reduced. In addition, this method does not allow to determine the focusing of the electron beam, other than extreme, which significantly reduces the technological capabilities of the method.
Задача изобретения - повышение точности контроля фокусировки электронного пучка при электронно-лучевой сварке модулированным пучком в режиме глубокого проплавления, сопровождающегося образованием канала проплавления в металле, а также расширение технологических возможностей способа. The objective of the invention is to increase the accuracy of control of focusing of an electron beam during electron beam welding with a modulated beam in the deep penetration mode, accompanied by the formation of a penetration channel in the metal, as well as expanding the technological capabilities of the method.
Технический эффект заключается в возможности определения и установки тока фокусировки электронного пучка при электронно-лучевой сварке модулированным пучком, обеспечивающего либо максимальную глубину проплавления металла, либо значение глубины вблизи максимальной по обе стороны экстремума. The technical effect consists in the possibility of determining and setting the focusing current of the electron beam in electron beam welding with a modulated beam, providing either the maximum penetration depth of the metal, or the depth near the maximum on both sides of the extremum.
Это достигается тем, что в способе электронно-лучевой сварки, при котором модулируют удельную мощность электронного пучка путем наложения на ток пучка и на ток фокусирующей линзы электронной пушки переменных компонентов, модуляцию тока пучка осуществляют с частотой, значительно превышающей частоту модуляции тока фокусирующей линзы, выделяют переменную составляющую вторичного тока с частотой, равной частоте модуляции тока пучка, последовательно производят амплитудное детектирование этой составляющей, затем синхронное детектирование полученного сигнала на частоте, равной частоте модуляции тока фокусирующей линзы, а фокусировку пучка устанавливают по величине и знаку напряжения, полученного после синхронного детектирования сигнала. This is achieved by the fact that in the method of electron beam welding, in which the specific power of the electron beam is modulated by applying alternating components to the beam current and the focusing lens current of the electron gun, the beam current is modulated at a frequency significantly higher than the frequency modulation frequency of the focusing lens current, and an alternating component of the secondary current with a frequency equal to the frequency of modulation of the beam current, amplitude detection of this component is sequentially performed, then synchronous detection the received signal at a frequency equal to the frequency modulation of the focusing lens current and the beam focus is set on the magnitude and sign of the voltage, the received signal after synchronous detection.
Отличительными признаками предлагаемого способа является то, что модуляцию тока пучка осуществляют с частотой, значительно превышающей частоту модуляции тока фокусирующей линзы, и выделяют переменную составляющую вторичного тока с частотой, равной частоте модуляции тока пучка, а затем последовательно производят амплитудное детектирование этой составляющей и синхронное детектирование полученного сигнала на частоте, равной частоте модуляции тока фокусирующей линзы, а фокусировку пучка устанавливают по величине и знаку напряжения, полученного после синхронного детектирования сигнала. Distinctive features of the proposed method is that the modulation of the beam current is carried out with a frequency significantly higher than the frequency modulation of the current of the focusing lens, and the alternating component of the secondary current is isolated with a frequency equal to the frequency of modulation of the beam current, and then the amplitude detection of this component and the synchronous detection of the resulting signal at a frequency equal to the modulation frequency of the current of the focusing lens, and the beam focusing is set according to the magnitude and sign of the voltage, p radiation signal after synchronous detection.
При электронно-лучевой сварке модулированным пучком с глубоким проплавлением металла, сопровождающимся образованием канала проплавления в металле, достигается повышение точности контроля фокусировки электронного пучка. Также существенно расширяются технологические возможности способа в результате того, что обработка вторичного тока с амплитудным и синхронным детектированием позволяет получить сигнал, величина и знак которого полностью определяют режим фокусировки электронного пучка, и в частности, - отклонение тока фокусировки от значения, соответствующего острой фокусировке пучка, обеспечивающей максимальную глубину проплавления при заданных значениях ускоряющего напряжения и тока пучка. Это позволяет производить электронно-лучевую сварку с контролируемыми режимами фокусировки пучка при недофокусированном и перефокусированном пучке. In electron beam welding with a modulated beam with deep penetration of the metal, accompanied by the formation of a penetration channel in the metal, an increase in the accuracy of focus control of the electron beam is achieved. The technological capabilities of the method are also significantly expanded as a result of the fact that the processing of the secondary current with amplitude and synchronous detection makes it possible to obtain a signal whose magnitude and sign completely determine the focusing mode of the electron beam, and in particular, the deviation of the focusing current from the value corresponding to sharp beam focusing providing the maximum penetration depth at specified values of the accelerating voltage and beam current. This makes it possible to perform electron beam welding with controlled beam focusing modes with an underfocused and refocused beam.
Если наложить модулирующую компоненту с частотой ω на ток электронного пучка, модулирующую компоненту с частотой Ω на ток фокусирующей линзы электронной пушки (Ω≪ω) и регистрировать ток коллектора заряженных частиц, установленного над зоной электронно-лучевой сварки, то выражение для тока коллектора Iк будет иметь вид:
Iк= F(Ie)mf[Ifo-If(1+ξcosΩt)]cosωt, (1)
где F(Iе) - параметр, определяющий зависимость среднего значения тока коллектора от тока электронного пучка Iе; m - индекс модуляции тока пучка; Ifo - ток острой фокусировки; If - текущее значение тока фокусировки; ξ- индекс модуляции тока фокусирующей линзы; t - время.If we superimpose a modulating component with a frequency ω on the electron beam current, a modulating component with a frequency Ω on the current of the focusing lens of the electron gun (Ω≪ω) and register the current of the charged particle collector installed above the electron beam welding zone, then the expression for the collector current I to will look like:
I к = F (I e ) mf [I fo -I f (1 + ξcosΩt)] cosωt, (1)
where F (I e ) is a parameter that determines the dependence of the average value of the collector current on the electron beam current I e ; m is the modulation index of the beam current; I fo - sharp focus current; I f is the current value of the focusing current; ξ is the modulation index of the current of the focusing lens; t is time.
Зависимость f(Ifo-If) при отсутствии модуляции тока фокусирующей линзы (ξ = 0), как показали эксперименты, имеет экстремальный характер с экстремумом (минимумом) при Ifo=If, и в окрестностях этой точки может быть приближенно аппроксимирована параболической функцией. Тогда выражение для тока коллектора приобретает вид:
Iк= F(Ie)mk[(Ifo-If)+IfξcosΩt]2cosωt, (2)
где k - коэффициент.The dependence f (I fo -I f ) in the absence of modulation of the current of the focusing lens (ξ = 0), as shown by experiments, has an extremal character with an extremum (minimum) at I fo = I f , and in the vicinity of this point can be approximately approximated parabolic function. Then the expression for the collector current takes the form:
I к = F (I e ) mk [(I fo -I f ) + I f ξcosΩt] 2 cosωt, (2)
where k is the coefficient.
Если теперь выделить из тока коллектора узкополосным фильтром составляющую с частотой ω и осуществить ее амплитудное детектирование с последующим подавлением с помощью фильтра низких частот пульсаций с частотой ω, то полученный сигнал будет описываться следующим выражением:
Если данный сигнал подвергнуть синхронному детектированию на частоте Ω, то после синхронного детектирования и низкочастотной фильтрации с целью устранения модуляционных осцилляций получаем сигнал, описываемый выражением:
IkΩ= 2Ifξ(If-Ifo) (4)
Данный сигнал позволяет с высокой точностью определить и произвести установку тока фокусировки электронного пучка, обеспечивающего либо максимальную глубину проплавления металла (острая фокусировка пучка), либо значение глубины вблизи максимальной по обе стороны экстремума, соответствующего острой фокусировке пучка.If now we select a component with a frequency ω from the collector current with a narrow-band filter and perform its amplitude detection with subsequent suppression of the ripple frequencies with a frequency ω using the low-pass filter, then the resulting signal will be described by the following expression:
If this signal is subjected to synchronous detection at a frequency Ω, then after synchronous detection and low-pass filtering in order to eliminate modulation oscillations, we obtain a signal described by the expression:
I kΩ = 2I f ξ (I f -I fo ) (4)
This signal allows one to determine and set the focusing current of the electron beam with high accuracy, providing either the maximum penetration depth of the metal (sharp focusing of the beam) or a depth value near the maximum on both sides of the extremum corresponding to sharp focusing of the beam.
На чертеже представлена блок-схема устройства для осуществления способа. Устройство содержит электронную пушку 1 с фокусирующей линзой 2, коллектор 3 электронов, блок 4 модуляции, подключенный выходами к электронной пушке 1 и фокусирующей линзе 2, источник 5 напряжения смещения и резистор 6 нагрузки, последовательно подключенные к коллектору 3 электронов, полосовой фильтр 7, вход которого подключен к резистору 6 нагрузки, амплитудный детектор 8, подключенный входом к выходу полосового фильтра 7, синхронный детектор 9, вход которого соединен с выходом амплитудного детектора 8, блок 10 управления током фокусировки и блок 11 задания фокусировки, причем выход блока 11 задания фокусировки подключен к одному из входов блока 10 управления током фокусировки, второй вход этого блока соединен с выходом синхронного детектора 9, а выход блока 10 управления током фокусировки подключен к фокусирующей линзе 2 электронной пушки 1. The drawing shows a block diagram of a device for implementing the method. The device comprises an electron gun 1 with a focusing lens 2, an electron collector 3, a modulation unit 4 connected by outputs to the electron gun 1 and a focusing lens 2, a bias voltage source 5 and a load resistor 6 connected in series to the electron collector 3, a bandpass filter 7, input which is connected to the load resistor 6, an amplitude detector 8, connected by an input to the output of the bandpass filter 7, a synchronous detector 9, the input of which is connected to the output of the amplitude detector 8, block 10 focus current control and 11 to set the focus, and to set the focus block output 11 is connected to one of the inputs of the current control unit 10 is focusing, the second input of this block is connected to the output of the synchronous detector 9, and the output current control unit 10 is connected to the focus of the focusing lens of the electron gun 2 1.
Способ осуществляется следующим образом. The method is as follows.
В процессе электронно-лучевой сварки с помощью блока 4 модуляции модулируют ток электронного пучка с частотой ω и ток фокусирующей линзы 2 с частотой Ω и регистрируют вторичный ток в цепи, содержащей источник 5 напряжения смещения, резистор 6 нагрузки и коллектор 3 электронов. Напряжение с резистора 6 нагрузки, пропорциональное величине вторичного тока, обрабатывается полосовым фильтром 7 с целью выделения из спектра колебаний вторичного тока составляющей с частотой, равной частоте ω модуляции тока электронного пучка. Сигнал с выхода фильтра 7 поступает на амплитудный детектор 8, который производит амплитудное детектирование сигнала и фильтрацию модуляционных осцилляций с частотой ω. Сигнал с выхода амплитудного детектора 8, изменяющийся с частотой Ω, поступает на вход синхронного детектора 9, где он подвергается синхронному детектированию на частоте Ω и низкочастотной фильтрации с целью подавления модуляционных осцилляций с частотой Ω. Сигнал с выхода синхронного детектора 9 пропорционален величине отклонения текущего значения тока фокусировки от значения тока острой фокусировки. Этот сигнал подается на блок 10 управления, который управляет током фокусирующей линзы 2 таким образом, чтобы значение сигнала с выхода синхронного детектора 9 было равно заданному значению, устанавливаемому блоком задания фокусировки 11. В частном случае, это значение может быть равно нулю, что обеспечивает поддержание острой фокусировки электронного пучка при сварке. In the process of electron beam welding using the modulation unit 4, the electron beam current with a frequency ω and the focusing lens current 2 with a frequency Ω are modulated and the secondary current is recorded in a circuit containing a bias voltage source 5, a load resistor 6, and an electron collector 3. The voltage from the load resistor 6, proportional to the magnitude of the secondary current, is processed by a band-pass filter 7 in order to isolate a component from the oscillation spectrum of the secondary current with a frequency equal to the frequency ω of the electron beam current modulation. The signal from the output of the filter 7 is fed to an amplitude detector 8, which performs amplitude detection of the signal and filtering modulation oscillations with a frequency ω. The signal from the output of the amplitude detector 8, changing with a frequency of Ω, is fed to the input of a synchronous detector 9, where it is subjected to synchronous detection at a frequency of Ω and low-pass filtering in order to suppress modulation oscillations with a frequency of Ω. The signal from the output of the synchronous detector 9 is proportional to the deviation of the current value of the focus current from the value of the sharp focus current. This signal is supplied to the control unit 10, which controls the current of the focusing lens 2 so that the signal value from the output of the synchronous detector 9 is equal to the set value set by the focus setting unit 11. In the particular case, this value can be zero, which ensures maintenance sharp focusing of the electron beam during welding.
Экспериментальное опробование способа осуществлялось на электронно-лучевой сварочной установке ЭЛА-60/60 при использовании образцов из стали 12Х18Н10Т. Ток электронного пучка модулировали от внешнего генератора синусоидальных колебаний с частотой 550 Гц, а ток фокусирующей линзы электронной пушки - с частотой 35 Гц. Глубина модуляции тока электронного пучка составляла 28%, а глубина модуляции тока фокусирующей линзы - 6%. Сигнал с коллектора электронов, установленного над зоной сварки, обрабатывался с помощью компьютерной информационно-измерительной системы на базе IBM-совместимого компьютера, оснащенного многоканальным аналого-цифровым интерфейсом. Загруженная в оперативную память компьютера специальная программа, написанная на языке ТурбоПаскаль, обеспечивала обработку сигнала по вышеописанному алгоритму (узкополосная фильтрация сигнала на частоте ω, амплитудное детектирование с подавлением модуляционных осцилляций на частоте ω, синхронное детектирование на частоте Ω и низкочастотная фильтрация с целью подавления модуляционных осцилляций на частоте Ω). Значение сигнала после обработки визуализировалось на экране видеомонитора компьютера и позволяло эффективно определять отклонение текущего значения фокусировки от острой фокусировки. The experimental testing of the method was carried out on an ELA-60/60 electron-beam welding machine using samples of steel 12Kh18N10T. The electron beam current was modulated from an external sine wave generator with a frequency of 550 Hz, and the current of the focusing lens of the electron gun with a frequency of 35 Hz. The depth of modulation of the electron beam current was 28%, and the depth of modulation of the current of the focusing lens was 6%. The signal from the electron collector mounted above the welding zone was processed using a computer information-measuring system based on an IBM-compatible computer equipped with a multi-channel analog-to-digital interface. A special program written in TurboPascal language loaded into the computer’s main memory provided signal processing according to the above-described algorithm (narrow-band filtering of a signal at a frequency of ω, amplitude detection with suppression of modulation oscillations at a frequency of ω, synchronous detection at a frequency of Ω, and low-pass filtering to suppress modulation oscillations at frequency Ω). The signal value after processing was visualized on the screen of a computer video monitor and allowed to effectively determine the deviation of the current focus value from sharp focus.
Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает существенное повышение точности контроля фокусировки электронного пучка при электронно-лучевой сварке модулированным пучком в режиме глубокого проплавления, сопровождающегося образованием канала проплавления в металле, так как обработка вторичного тока, регистрируемого коллектором заряженных частиц, путем выделения переменной составляющей вторичного тока с частотой, равной частоте модуляции тока электронного пучка, и последующих амплитудного детектирования и синхронного детектирования на частоте, равной частоте модуляции тока фокусирующей линзы, позволяет с высокой точностью определить отклонение текущего значения тока фокусировки от острой, обеспечивающей максимальную глубину проплавления металла, и установить заданное значение тока фокусировки электронного пучка. Также расширяются технологические возможности способа. Thus, the proposed method provides a significant increase in the accuracy of focus control of the electron beam in electron beam welding with a modulated beam in deep penetration mode, which is accompanied by the formation of a penetration channel in the metal, since the secondary current recorded by the charged particle collector is processed by isolating an alternating component of the secondary current with frequency equal to the frequency modulation of the electron beam current, and subsequent amplitude detection and synchronous detection If the frequency of the current of the focusing lens is modulated, it is possible to determine with high accuracy the deviation of the current value of the focusing current from the sharp one, which provides the maximum penetration depth of the metal, and to set the set value of the focusing current of the electron beam. Also expanding the technological capabilities of the method.
Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР 1468700, кл. В 23 К 15/00.Sources of information
1. Copyright certificate of the USSR 1468700, cl. B 23K 15/00.
2. Патент Российской Федерации 2024372, кл. В 23 К 15/00. 2. Patent of the Russian Federation 2024372, cl. B 23K 15/00.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000118906A RU2183153C2 (en) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Electron beam welding method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2000118906A RU2183153C2 (en) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Electron beam welding method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2000118906A RU2000118906A (en) | 2002-04-20 |
| RU2183153C2 true RU2183153C2 (en) | 2002-06-10 |
Family
ID=20237925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2000118906A RU2183153C2 (en) | 2000-07-17 | 2000-07-17 | Electron beam welding method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2183153C2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494846C2 (en) * | 2012-01-11 | 2013-10-10 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Method of electron beam welding |
| WO2014030144A2 (en) | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Federal State Budgeted Education Institution For Higher Professional Education Perm National Research Polytechnic University | Method of operational control of electron beam welding |
| RU2532626C1 (en) * | 2013-03-26 | 2014-11-10 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Method of electron beam welding |
| RU2567962C2 (en) * | 2014-02-25 | 2015-11-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Центр электронно-лучевых и лазерных технологий" | Control over beam focusing at electron welding of metals and device to this end |
-
2000
- 2000-07-17 RU RU2000118906A patent/RU2183153C2/en not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494846C2 (en) * | 2012-01-11 | 2013-10-10 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Method of electron beam welding |
| WO2014030144A2 (en) | 2012-08-24 | 2014-02-27 | Federal State Budgeted Education Institution For Higher Professional Education Perm National Research Polytechnic University | Method of operational control of electron beam welding |
| RU2519155C2 (en) * | 2012-08-24 | 2014-06-10 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Operative control method for electron-beam welding |
| RU2532626C1 (en) * | 2013-03-26 | 2014-11-10 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет" | Method of electron beam welding |
| RU2567962C2 (en) * | 2014-02-25 | 2015-11-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Центр электронно-лучевых и лазерных технологий" | Control over beam focusing at electron welding of metals and device to this end |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Mancini et al. | Design and implementation of a flexible beamline for fs electron diffraction experiments | |
| RU2183153C2 (en) | Electron beam welding method | |
| US4567345A (en) | Process and apparatus for the in-line inspection of the depth of a weld by a pulse beam | |
| RU2148484C1 (en) | Electron-beam welding method | |
| US6560021B2 (en) | Variable optical wavelength filter | |
| US4698503A (en) | Focusing apparatus used in a transmission electron microscope | |
| RU2519155C2 (en) | Operative control method for electron-beam welding | |
| RU2024372C1 (en) | Method of and device for electron beam welding | |
| JPH08164489A (en) | Equipment for judging quality of laser beam welding | |
| RU2237557C2 (en) | Electron beam welding method | |
| Griebsch et al. | Quality assurance in pulsed laser welding | |
| US4967150A (en) | Method and apparatus for phase measurement of signals at a measuring point by an unmodulated particle beam | |
| RU2567962C2 (en) | Control over beam focusing at electron welding of metals and device to this end | |
| RU2494846C2 (en) | Method of electron beam welding | |
| JP2619403B2 (en) | Plasma processing apparatus and plasma processing end point determination method | |
| SU1544537A1 (en) | Method of electron-beam welding with through penetration | |
| JPH02213903A (en) | Controller | |
| RU144976U1 (en) | DEVICE FOR MONITORING AND CONTROL OF BEAM FOCUSING IN ELECTRON BEAM METAL WELDING | |
| JPH0227699A (en) | Acceleration energy control method for high-frequency quadruple-electrode accelerator | |
| Cayo et al. | Relationship between geometric welding parameters and optical-acoustic emissions from electric arc in GMAW-S process | |
| SU896760A1 (en) | Ultrasonic generator | |
| JPH07153404A (en) | Method and device for extracting ion from plasma by high frequency wave | |
| RU2232413C2 (en) | Method and apparatus for monitoring signal value | |
| RU2224264C2 (en) | Device measuring dynamic range of radio receiver by intermodulation | |
| EP3285279B1 (en) | Electron microscope and method of operating same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20070718 |