RU2182558C1 - Method of producing silicon tetrafluoride - Google Patents
Method of producing silicon tetrafluoride Download PDFInfo
- Publication number
- RU2182558C1 RU2182558C1 RU2001126317/12A RU2001126317A RU2182558C1 RU 2182558 C1 RU2182558 C1 RU 2182558C1 RU 2001126317/12 A RU2001126317/12 A RU 2001126317/12A RU 2001126317 A RU2001126317 A RU 2001126317A RU 2182558 C1 RU2182558 C1 RU 2182558C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon tetrafluoride
- fluorine
- sif
- thermal decomposition
- silicon
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/08—Compounds containing halogen
- C01B33/107—Halogenated silanes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/08—Compounds containing halogen
- C01B33/107—Halogenated silanes
- C01B33/10705—Tetrafluoride
Abstract
Description
Изобретение относится к неорганической химии, к получению фторидов неметаллов, точнее - к способам получения тетрафторида кремния. The invention relates to inorganic chemistry, to the production of non-metal fluorides, more specifically, to methods for producing silicon tetrafluoride.
Тетрафторид кремния используется в электронной промышленности, а также для придания изделиям водоотталкивающих свойств, устойчивости к коррозии и истиранию. Известно его применение для улучшения гидрофобных свойств кристаллических молекулярных сит [ЕР 83-104533], в синтезе мелкодисперсной кремниевой кислоты [патент США 2631083, з. 10.01.1952, oп. 10.03.1953], и т.д. Silicon tetrafluoride is used in the electronics industry, as well as to give products water-repellent properties, corrosion and abrasion resistance. It is known for its use to improve the hydrophobic properties of crystalline molecular sieves [EP 83-104533], in the synthesis of finely divided silicic acid [US patent 2631083, s. 01/10/1952, op. 03/10/1953], etc.
Известны различные способы получения тетрафторида кремния. Например, его получают из диоксида кремния воздействием на последний фтором или фтористым водородом [патент Великобритании 779804, кл. 1(2), А13, з. 30.03.1955, oп. 24.07.1957, патент Великобритании 1080662, кл. С 01 В 33/08, з. 5.02.1964, oп. 23.08.1967]. Various methods for producing silicon tetrafluoride are known. For example, it is obtained from silicon dioxide by exposure to the latter with fluorine or hydrogen fluoride [UK patent 779804, cl. 1 (2), A13, s. 03/30/1955, op. 07.24.1957, UK patent 1080662, CL S 01 B 33/08, c. 02/05/1964, op. 08/23/1967].
Известен способ получения из гексафторида урана и кремния [патент ФРГ 3841222, кл. С 01 В 17/45, з. 7.12.1988, oп. 13.06.1990 и т.д.]. A known method of obtaining uranium and silicon hexafluoride [patent of Germany 3841222, class. C 01 B 17/45, c. 12/07/1988, op. 06/13/1990, etc.].
Тетрафторид кремния получают при нагревании кремнефтороводородной кислоты [патент ЕР 254349, кл. С 01 В 17/45, 33/08, з. 23.07.1986]:
H2SiF6-->SiF4+2HF
Известны способы получения SiF4 в результате термического разложения солей щелочных и щелочноземельных металлов, например, натрия, бария, и т.п.Silicon tetrafluoride is obtained by heating hydrofluoric acid [patent EP 254349, cl. C 01 B 17/45, 33/08, c. 07/23/1986]:
H 2 SiF 6 -> SiF 4 + 2HF
Known methods for producing SiF 4 as a result of thermal decomposition of salts of alkali and alkaline earth metals, for example, sodium, barium, etc.
Так, описан способ получения фторида натрия разложением Na2SiF6, по которому в качестве промежуточного продукта получают тетрафторид кремния [Вольфкович С. Н., Габриелова М.Г. Химическая промышленность, 3, 1951 г, с. 72-75] . Процесс проходит при температуре 600-620oС с образованием твердого продукта NaF и газообразного SiF4:
Na2SiF6-->2NaF+SiF4
Развивающиеся в последние годы области применения тетрафторида кремния выдвигают повышенные требования к чистоте этого продукта. В результате появились работы, направленные на решение этой проблемы.So, a method for producing sodium fluoride by decomposition of Na 2 SiF 6 is described, according to which silicon tetrafluoride is obtained as an intermediate product [Volfkovich S. N., Gabrielova MG Chemical industry, 3, 1951, p. 72-75]. The process takes place at a temperature of 600-620 o With the formation of a solid product of NaF and gaseous SiF 4 :
Na 2 SiF 6 -> 2NaF + SiF 4
Developing in recent years, the applications of silicon tetrafluoride put forward increased requirements for the purity of this product. As a result, work aimed at solving this problem appeared.
Известен способ [патент США 4615872, кл. С 01 В 33/08, oп. 07.10.1986], включающий гидролиз газа, содержащего фторид кремния, взаимодействие кремнефтористой кислоты с фторидами натрия, калия или бария, и последующее термическое разложение образованной соли. В результате получают целевой тетрафторид кремния чистотой 99 об.%. The known method [US patent 4615872, cl. S 01 B 33/08, op. 10/07/1986], including the hydrolysis of a gas containing silicon fluoride, the interaction of silicofluoric acid with sodium, potassium or barium fluorides, and subsequent thermal decomposition of the formed salt. The result is the target silicon tetrafluoride with a purity of 99% vol.
Для полного извлечения диоксида углерода из тетрафторида кремния предлагается [патент Японии 4175217, кл. С 01 В 33/107, з. 08.11.1990, oп. 23.06.1992] пропускать SiF4 через гидроталькит, который предварительно подвергают дегидратации. Обработку гидроталькита ведут при температуре 100-900oС, подачу SiF4 осуществляют под давлением выше атмосферного - до 10 атм.For the complete extraction of carbon dioxide from silicon tetrafluoride is proposed [Japan patent 4175217, class. S 01 B 33/107, c. 11/08/1990, op. 06/23/1992] pass SiF 4 through hydrotalcite, which is previously subjected to dehydration. Hydrotalcite is treated at a temperature of 100-900 o C, the supply of SiF 4 is carried out at a pressure above atmospheric - up to 10 atm.
Для получения чистого тетрафторида кремния его пропускают через слой активного глинозема, предварительно подвергнутого обезвоживанию при температуре 200-900oС [Вылож. заявка Японии 59-162122 от 13.09.1984, заявка 58-36611, заявл. 08.03.1983]. Цель этого способа - извлечение силоксана, который образуется на стадии получения тетрафторида кремния при наличии водного компонента, содержащегося в сырье. Удалить полностью водный компонент на стадии получения тетрафторида кремния и таким образом предотвратить образование силоксана чрезвычайно трудно.To obtain pure silicon tetrafluoride, it is passed through a layer of active alumina, previously subjected to dehydration at a temperature of 200-900 o [Lay. Japanese application 59-162122 of 09/13/1984, application 58-36611, declared. 03/08/1983]. The purpose of this method is the extraction of siloxane, which is formed at the stage of obtaining silicon tetrafluoride in the presence of an aqueous component contained in the feed. It is extremely difficult to remove the completely aqueous component in the silicon tetrafluoride production step and thus prevent the formation of siloxane.
Известен способ получения гексафторида кремния [заявка Японии 10-231114, кл. С 01 В 33/107, з. 18.02.1997, oп. 2.09.1998, Mitsui Chemical Inc.] Способ заключается в том, что соли, например, Na2SiF6 или BaSiF6, перемешивают с SiO2 и/или Аl2О3 и нагревают до 500-800oС. Применяемая температура зависит от типа используемого силиката. Данный способ более близок к предлагаемому изобретению, т.к. состоит в получении SiF4 и включает термическое разложение натриевой соли гексафторкремниевой кислоты. Согласно этому способу, предпочтительно использование оксидов кремния и алюминия 99%-ной чистоты, с размером частиц от 0,1 до 100 мкм, в количестве от 1 до 20 вес.% из расчета на гексафторкремниевую кислоту. Полученный твердый компонент - NaF - содержит примеси введенных оксидов кремния и/или алюминия, что усложняет его использование и требует утилизации. К тому же использование этих оксидов увеличивает массу твердых веществ, участвующих в процессе и требующих дополнительных затрат на ее нагрев и перемещение в системе аппаратов.A known method of producing silicon hexafluoride [application of Japan 10-231114, class. S 01 B 33/107, c. 02/18/1997, op. 2.09.1998, Mitsui Chemical Inc.] The method consists in the fact that salts, for example, Na 2 SiF 6 or BaSiF 6 , are mixed with SiO 2 and / or Al 2 O 3 and heated to 500-800 o C. The temperature used depends on on the type of silicate used. This method is closer to the proposed invention, because consists in obtaining SiF 4 and involves the thermal decomposition of the sodium salt of hexafluorosilicic acid. According to this method, it is preferable to use oxides of silicon and aluminum of 99% purity, with a particle size of from 0.1 to 100 μm, in an amount of from 1 to 20 wt.% Based on hexafluorosilicic acid. The obtained solid component - NaF - contains impurities of the introduced oxides of silicon and / or aluminum, which complicates its use and requires disposal. In addition, the use of these oxides increases the mass of solids involved in the process and requiring additional costs for its heating and movement in the apparatus system.
Задача, стоящая перед авторами данного изобретения, - разработка способа, позволяющего получать тетрафторид кремния более высокой чистоты - не менее 99,99%, термическим разложением гексафторида кремния, позволяющего избежать комкования, без необходимости введения в процесс оксидов кремния и/или алюминия. The challenge facing the authors of this invention is the development of a method that allows to obtain silicon tetrafluoride of higher purity - not less than 99.99%, by thermal decomposition of silicon hexafluoride, to avoid clumping, without the need for the introduction of silicon and / or aluminum oxides.
Указанная задача решается тем, что тетрафторид кремния получают терморазложением гексафторсиликата натрия Na2SiF6, при этом исходную соль выдерживают при температуре 300-350oС при остаточном давлении до 5 мм рт.ст. в течение 1,5-3 часов, затем при тех же условиях обрабатывают фтором в течение 0,5-1,5 часов, при массовом отношении гексафторсиликат натрия:фтор от 50 до 100, с последующим вакуумированием и отгонкой газообразных примесей, после чего соль подвергают терморазложению с одновременным отводом тетрафторида кремния. На обработку исходной соли фтор может подаваться в смеси с инертным газом.This problem is solved by the fact that silicon tetrafluoride is obtained by thermal decomposition of sodium hexafluorosilicate Na 2 SiF 6 , while the initial salt is maintained at a temperature of 300-350 o With a residual pressure of up to 5 mm Hg for 1.5-3 hours, then under the same conditions, it is treated with fluorine for 0.5-1.5 hours, with a mass ratio of sodium hexafluorosilicate: fluorine from 50 to 100, followed by evacuation and distillation of gaseous impurities, after which the salt subjected to thermal decomposition with the simultaneous removal of silicon tetrafluoride. Fluorine may be fed into a mixture with an inert gas to treat the starting salt.
Процесс проводится на установке получения тетрафторида кремния, принципиальная схема которой иллюстрируется фигурой 1, однако возможна и другая схема установки с использованием реактора, позволяющего осуществить процесс при указанных параметрах. The process is carried out on a plant for producing silicon tetrafluoride, the circuit diagram of which is illustrated in figure 1, however, another setup scheme using a reactor is also possible, allowing the process to be carried out at the indicated parameters.
Фторирование может проводиться фтором, разбавленным чистым инертным газом, например, гелием, азотом, и т.п. На стадии предварительной термообработки выделяются примеси, которые могут быть отогнаны при указанных условиях, в частности, пары воды, азот и другие адсорбированные газы. При обработке фтором происходит взаимодействие оставшихся примесей и переход их во фторсодержащие газы, например, SiOF2, OF2, COF2, которые удаляют вакуумированием при остаточном давлении около 5 мм рт.ст.Fluorination can be carried out by fluorine diluted with a pure inert gas, for example, helium, nitrogen, etc. At the preliminary heat treatment stage, impurities are released that can be distilled off under the indicated conditions, in particular water vapor, nitrogen and other adsorbed gases. During fluorine treatment, the remaining impurities interact and transfer to fluorine-containing gases, for example, SiOF 2 , OF 2 , COF 2 , which are removed by evacuation at a residual pressure of about 5 mm Hg.
Указанные выше процедуры обработки проводятся в течение определенного времени, необходимого для перехода примесей в состояние, при котором возможно их извлечение из исходного сырья, находящегося в твердой фазе. The above processing procedures are carried out for a certain time necessary for the transition of impurities to a state in which it is possible to extract them from the feedstock in the solid phase.
Это время на каждой из стадий составляет от 0,5 и до 3 часов на первой стадии и от 0,5 до 1,5 часов - на второй. Более длительное время проведения первой стадии объясняется тем, что здесь удаляются трудно извлекаемые примеси, которых уже нет на второй стадии их отгонки. Процесс может проводиться как в непрерывном, так и в периодическом режиме. This time at each stage is from 0.5 to 3 hours in the first stage and from 0.5 to 1.5 hours in the second. The longer time of the first stage is due to the fact that it removes difficult to remove impurities that are no longer in the second stage of their distillation. The process can be carried out both continuously and in batch mode.
Способ по изобретению осуществляют следующим образом: в качестве исходного сырья используют коммерческий продукт - гексафторсиликат натрия с содержанием основного вещества - Na2SiF6 около 99,0 мас.% и более.The method according to the invention is carried out as follows: as a starting material, a commercial product is used - sodium hexafluorosilicate with a basic substance content of Na 2 SiF 6 of about 99.0 wt.% Or more.
Это могут быть, например, сорта "ч" и "чда", содержащие около 99,5-99,6 мас. % основного вещества и примеси сульфатов (0,01-0,02%), хлоридов (0,1-0,04), железа до 0,002%, тяжелых металлов до 0,002%. It can be, for example, varieties "h" and "chda" containing about 99.5-99.6 wt. % of the main substance and impurities of sulfates (0.01-0.02%), chlorides (0.1-0.04), iron up to 0.002%, heavy metals up to 0.002%.
Гексафторсиликат натрия может содержать в качестве примесей некоторое количество кислородсодержащих соединений, например, Na2SiOF4, SiO2 и т.п.Sodium hexafluorosilicate may contain as impurities a certain amount of oxygen-containing compounds, for example, Na 2 SiOF 4 , SiO 2, and the like.
Исходное сырье из бункера поз.1 загружают в реактор поз.2, выполненный из никеля, емкостью около 1 л, снабженный датчиками температуры и манометрами. Реактор проверяется на герметичность вакуумированием при остаточном давлении около 5 мм рт.ст. После этого температуру в реакторе повышают до 300-350oС и выдерживают при этой температуре и давлении около 5 мм рт.ст. в течение 1,5-3 часов. Затем в реактор подают фтор или фтор, разбавленный инертным газом, при массовом отношении Na2SiF6 к поданному фтору, равном 50-100, причем подачу осуществляют в течение 0,5-1,5 часов. Соотношение фтора и инертного газа значения не имеет, важно только отношение Na2SiF6 к пропущенному фтору.The feedstock from the hopper pos. 1 is loaded into the reactor pos. 2, made of nickel, with a capacity of about 1 l, equipped with temperature sensors and pressure gauges. The reactor is checked for leaks by evacuation at a residual pressure of about 5 mm Hg. After that, the temperature in the reactor is increased to 300-350 o C and maintained at this temperature and pressure of about 5 mm RT.article. within 1.5-3 hours. Then, fluorine or fluorine, diluted with an inert gas, is fed into the reactor with a mass ratio of Na 2 SiF 6 to the fluorine fed, equal to 50-100, the feed being carried out for 0.5-1.5 hours. The ratio of fluorine and inert gas does not matter, only the ratio of Na 2 SiF 6 to the missed fluorine is important.
После этого отгоняют газообразные продукты и/или продувают чистым гелием или азотом, а затем реагенты подвергают термическому разложению при температуре 550-650oС. Во время проведения термического разложения из реактора непрерывно выводят образующуюся газовую фазу и конденсируют ее в сборнике поз.3, охлаждаемом жидким азотом.After that, gaseous products are distilled off and / or purged with pure helium or nitrogen, and then the reagents are subjected to thermal decomposition at a temperature of 550-650 o C. During the thermal decomposition, the resulting gas phase is continuously withdrawn from the reactor and condensed in the collector pos. liquid nitrogen.
Отработанную твердую фазу, состоящую из фторида натрия, выводят из реактора и направляют в сборник поз. 4. The spent solid phase, consisting of sodium fluoride, is removed from the reactor and sent to the collection pos. 4.
Таким образом, основными отличиями данного изобретения от известного является проведение предварительной термообработки, затем фторирования и вакуумирования. В результате получают продукт высокой чистоты - не менее 99,99 мас.%. Thus, the main differences of this invention from the known one is to carry out preliminary heat treatment, then fluorination and evacuation. The result is a product of high purity - not less than 99.99 wt.%.
Приведена примерная схема проведения способа, однако он может быть осуществлен и на другой установке, позволяющей осуществить описанную выше процедуру. An approximate scheme of the method is given, however, it can be implemented on another installation, allowing to carry out the above procedure.
Приведенные примеры проведения процесса иллюстрируют, но не ограничивают объем данного изобретения. The above examples of the process illustrate, but do not limit the scope of this invention.
ПРИМЕРЫ ПРОВЕДЕНИЯ СПОСОБА
ПРИМЕР 1.EXAMPLES OF THE METHOD
EXAMPLE 1
В емкость поз.1 подают гексафторид натрия сорта "ч" с содержанием основного вещества около 99,0 вес.% при размере частиц 200-1000 мкм. Из этой емкости с помощью дозатора отмеряют 0,132 кг Na2SiF6 и переносят это количество в реактор поз. 2. Реактор вакуумируют до остаточного давления около 5 мм рт. ст. , и поднимают температуру до 300±20oС, поддерживая эти условия в течение 3 часов. Затем начинают подачу газообразного фтора, вводя его в количестве 1,7 г в течение 30 минут (0,5 часа). После завершения фторирования объем реактора вновь вакуумируют до остаточного давления 3-4 мм рт.ст., в результате чего все газообразные примеси отгоняются, и затем содержимое реактора в течение 2 часов подвергают термическому разложению, нагревая его до температуры выше 550oС, с одновременным отводом и конденсацией образующегося SiF4, который собирается в сборнике поз. 3. Твердые фториды металлов направляются в приемник поз. 4.Sodium hexafluoride of grade “h” with a basic substance content of about 99.0 wt.% With a particle size of 200-1000 μm is fed into the container pos. 1. 0.132 kg of Na 2 SiF 6 are measured from this container using a batcher and this quantity is transferred to the reactor pos. 2. The reactor is evacuated to a residual pressure of about 5 mm RT. Art. , and raise the temperature to 300 ± 20 o C, maintaining these conditions for 3 hours. Then start the flow of gaseous fluorine, introducing it in an amount of 1.7 g for 30 minutes (0.5 hours). After completion of fluorination, the reactor volume is again evacuated to a residual pressure of 3-4 mmHg, as a result of which all gaseous impurities are distilled off, and then the contents of the reactor are subjected to thermal decomposition for 2 hours, heating it to a temperature above 550 o С, while removal and condensation of the resulting SiF 4 , which is collected in the collection pos. 3. Solid metal fluorides are sent to the receiver pos. 4.
В результате получают тетрафторид кремния чистотой до 99,991 мас.%, и фторид натрия - чистотой 99,0 мас.%. The result is silicon tetrafluoride with a purity of up to 99.991 wt.%, And sodium fluoride with a purity of 99.0 wt.%.
Остальные примеры проведения процесса проводились на той же установке, параметры и результаты представлены в таблице. Other examples of the process were carried out on the same installation, parameters and results are presented in the table.
Для сравнения проведены опыты без обработки фтором (пример 9) и без термической обработки исходной соли (пример 10). В результате получены продукты, чистота которых не соответствует предъявляемым к ним требованиям. For comparison, experiments were carried out without treatment with fluorine (example 9) and without heat treatment of the starting salt (example 10). As a result, products were obtained whose purity does not meet the requirements for them.
Claims (2)
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001126317/12A RU2182558C1 (en) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | Method of producing silicon tetrafluoride |
KR1020047004388A KR100822333B1 (en) | 2001-09-28 | 2002-05-20 | Method for producing silicon tetrafluoride |
PCT/RU2002/000249 WO2003027014A1 (en) | 2001-09-28 | 2002-05-20 | Method for producing silicon tetrafluoride |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU2001126317/12A RU2182558C1 (en) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | Method of producing silicon tetrafluoride |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2182558C1 true RU2182558C1 (en) | 2002-05-20 |
Family
ID=20253365
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2001126317/12A RU2182558C1 (en) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | Method of producing silicon tetrafluoride |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100822333B1 (en) |
RU (1) | RU2182558C1 (en) |
WO (1) | WO2003027014A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111039293B (en) * | 2018-10-15 | 2021-06-29 | 多氟多化工股份有限公司 | Production method of silicon tetrafluoride |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2079262B (en) * | 1980-07-02 | 1984-03-28 | Central Glass Co Ltd | Process of preparing silicon tetrafluoride by using hydrogen fluoride gas |
RU2046095C1 (en) * | 1991-06-25 | 1995-10-20 | Всероссийский научно-исследовательский институт неорганических материалов им.акад. А.А.Бочвара | Method of silicon trifluoride producing |
RU2019504C1 (en) * | 1991-12-05 | 1994-09-15 | Всероссийский научно-исследовательский институт химической технологии | Process for preparing silicon tetrafluoride |
JPH10231114A (en) * | 1997-02-18 | 1998-09-02 | Mitsui Chem Inc | Production of sif4 |
JP2000302434A (en) * | 1999-04-15 | 2000-10-31 | Nippon Petrochem Co Ltd | Removal and recovery of silicon tetrafluoride by use of metal fluorides |
-
2001
- 2001-09-28 RU RU2001126317/12A patent/RU2182558C1/en not_active IP Right Cessation
-
2002
- 2002-05-20 KR KR1020047004388A patent/KR100822333B1/en not_active IP Right Cessation
- 2002-05-20 WO PCT/RU2002/000249 patent/WO2003027014A1/en not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100822333B1 (en) | 2008-04-17 |
WO2003027014A1 (en) | 2003-04-03 |
KR20040047858A (en) | 2004-06-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0665189B1 (en) | Treatment of a chemical | |
CN102317201B (en) | Method and systems for producing silicon tetrafluoride from fluorosilicates in a fluidized bed reactor | |
US20090274606A1 (en) | Process for production of silicon tetrafluoride, and apparatus for the process | |
JP2009227577A (en) | Method and apparatus for manufacturing trichlorosilane | |
EP2519470B1 (en) | Methods for producing aluminum trifluoride | |
RU2451635C2 (en) | Method of producing highly pure elementary silicon | |
CN101336209A (en) | Extraction and purification of minerals from aluminium ores | |
US9731968B2 (en) | Process for producing fluoride gas | |
EP0606447A1 (en) | Method for producing tetrafluorosilane and aluminum fluoride by hydrofluoric acid digestion of silica/alumina matrix. | |
WO2019012841A1 (en) | Treatment method and cleaning method for metal oxyfluorides | |
JP3727797B2 (en) | Method for producing nitrogen trifluoride | |
EP0151569B1 (en) | Process and apparatus for obtaining silicon from fluosilicic acid | |
RU2182558C1 (en) | Method of producing silicon tetrafluoride | |
WO2009005412A2 (en) | Method for producing polycrystalline silicon | |
JP4014451B2 (en) | Method for producing silicon tetrafluoride | |
US8529860B2 (en) | Methods for producing silicon tetrafluoride | |
US9468975B2 (en) | Treatment of chemical feedstocks | |
US20090252662A1 (en) | Process for purifying inorganic materials | |
JP7303301B2 (en) | Method for producing hydrogen fluoride | |
JPH0656421A (en) | Preparation of potassium and cesium fluoride | |
CN116081575A (en) | Method for preparing electronic grade inorganic acid by using waste hydrofluoric acid liquid as raw material | |
JP2004203630A (en) | Method for producing silicon tetrafluoride | |
WO1981000099A1 (en) | Recovery of hydrogen fluoride from metallic fluoride salts | |
JPH02133302A (en) | Production of gaseous metal fluoride |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20050929 |
|
NF4A | Reinstatement of patent | ||
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110929 |