RU2172973C1 - Facility testing precision of registration of mark with focal plane of objective lens - Google Patents
Facility testing precision of registration of mark with focal plane of objective lensInfo
- Publication number
- RU2172973C1 RU2172973C1 RU2000111831/28A RU2000111831A RU2172973C1 RU 2172973 C1 RU2172973 C1 RU 2172973C1 RU 2000111831/28 A RU2000111831/28 A RU 2000111831/28A RU 2000111831 A RU2000111831 A RU 2000111831A RU 2172973 C1 RU2172973 C1 RU 2172973C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- axis
- channel
- mark
- focal plane
- parallel
- Prior art date
Links
- 210000000188 Diaphragm Anatomy 0.000 claims abstract description 18
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 21
- 101700050571 SUOX Proteins 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000002277 temperature effect Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники, более конкретно к устройствам контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива, преимущественно крупногабаритных коллиматоров. The invention relates to the field of instrumentation, and more particularly to devices for controlling the accuracy of combining marks with the focal plane of the lens, mainly large collimators.
Для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматоров чаще всего используют аттестованную на "бесконечность" зрительную трубу с механизмом перемещения сетки, включающим отсчетное устройство [1]. Наблюдая в окуляр зрительной трубы и перемещая ее сетку с помощью механизма перемещения сетки, добиваются резкого изображения марки коллиматора. О несовпадении марки коллиматора с фокальной плоскостью его объектива судят по величине перемещения сетки относительно положения "Бесконечность", фиксируемой с помощью отсчетного устройства. Фокусное расстояние объектива зрительной трубы должно быть больше фокусного расстояния объектива контролируемого коллиматора. Использование такой трубы достаточно эффективно, когда фокусное расстояние объектива коллиматора относительно невелико и не возникает существенных проблем его доставки к месту расположения зрительной трубы. В противном случае необходимо перемещение крупногабаритных оптических приборов (коллиматора или зрительной трубы) по территории предприятия, что является существенным недостатком данного устройства. To control the accuracy of combining the mark with the focal plane of the lens of the collimators, they most often use a telescope certified for infinity with a mesh moving mechanism that includes a reading device [1]. By observing into the eyepiece of the telescope and moving its mesh using the mesh moving mechanism, a sharp image of the collimator mark is achieved. The discrepancy between the mark of the collimator and the focal plane of its lens is judged by the magnitude of the displacement of the grid relative to the position of "Infinity", fixed using a reading device. The focal length of the telescope objective should be greater than the focal length of the objective of the monitored collimator. The use of such a tube is quite effective when the focal length of the collimator lens is relatively small and there are no significant problems with its delivery to the location of the telescope. Otherwise, it is necessary to move large-sized optical devices (collimator or telescope) across the enterprise, which is a significant drawback of this device.
Если фокусное расстояние объектива коллиматора значительно (1 м и более), для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматоров иногда используют автоколлимационное устройство, устанавливаемое в непосредственной близости от сетки с маркой или вместо нее, и аттестованное плоское зеркало, размещаемое перед объективом коллиматора [2]. Однако, использование указанных устройств на практике имеет ограниченное применение вследствие необходимости частичной разборки коллиматора, повышенной трудоемкости подготовительных работ и сложности количественных измерений при отсутствии механизма перемещения марки коллиматора с отсчетным устройством. If the focal length of the collimator lens is significant (1 m or more), to control the accuracy of combining the mark with the focal plane of the collimator lens, an autocollimation device is sometimes used, installed in the immediate vicinity of the grid with the mark or instead of it, and a certified flat mirror placed in front of the collimator lens [ 2]. However, the use of these devices in practice is of limited use due to the need for partial disassembly of the collimator, the increased complexity of preparatory work and the complexity of quantitative measurements in the absence of a mechanism for moving the collimator brand with a reading device.
Из всех известных технических решений наиболее близким к заявляемому техническому решению является устройство, включающее анализатор параллельности лучей коллимированного светового пучка в виде узла с подвижной пентапризмой и оптически сопряженную с ним зрительную трубу, установленную по ходу лучей света коллиматора, прошедших пентапризму [3]. Величину несовпадения марки коллиматора с фокальной плоскостью объектива коллиматора определяют по измеренной величине смещения изображения марки в поле зрения зрительной трубы при перемещении пентапризмы в направлении, перпендикулярном направлению коллимированного светового пучка. Of all the known technical solutions, the closest to the claimed technical solution is a device that includes a collimated light beam parallelism analyzer in the form of a node with a movable pentaprism and an optical tube optically conjugated to it installed along the collimator light rays passing through the pentaprism [3]. The magnitude of the discrepancy between the mark of the collimator and the focal plane of the lens of the collimator is determined by the measured displacement of the image of the mark in the field of view of the telescope when the pentaprism moves in the direction perpendicular to the direction of the collimated light beam.
Данное устройство не позволяет добиться высокой точности измерений вследствие необходимости перемещения пентапризмы и снятия отсчетов в различных ее положениях для оценки контролируемой величины, в результате чего возрастает случайная составляющая погрешности измерений и появляются дополнительные составляющие погрешности измерений, связанные с возможностью расстраивания измерительной схемы в процессе проведения измерений. Данное устройство отличается сложностью процесса измерений, так как необходима достаточно длительная настройка относительного положения контролируемого коллиматора, узла с перемещаемой пентапризмой и длиннофокусной зрительной трубы и необходимостью снятия отсчета в различных положениях пентапризмы, причем необходимо обеспечение жесткой связи всех указанных элементов, что не всегда легко осуществимо в цеховых условиях. This device does not allow to achieve high measurement accuracy due to the need to move the pentaprism and take readings in its various positions to estimate the controlled value, as a result of which the random component of the measurement error increases and additional components of the measurement error appear due to the possibility of upsetting the measuring circuit during the measurement process. This device is notable for the complexity of the measurement process, since a sufficiently long adjustment of the relative position of the monitored collimator, a node with a movable pentaprism and a telephoto telescope, and the need to take readouts at different positions of the pentaprism is necessary, and it is necessary to provide a rigid connection of all these elements, which is not always easy to workshop conditions.
Задачей изобретения является повышение точности измерений, упрощение процесса измерений и расширение эксплуатационных возможностей. The objective of the invention is to increase the accuracy of measurements, simplifying the measurement process and expanding operational capabilities.
Для решения поставленной задачи в устройстве для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора, содержащем оптически сопряженные анализатор параллельности лучей светового пучка и зрительную трубу, в отличие от прототипа анализатор параллельности лучей светового пучка выполнен в виде оптического блока, включающего два параллельных канала, на оси первого канала расположены последовательно первая диафрагма, отклоняющее устройство с измерительным механизмом, компенсатор ошибок направления световых пучков и светоделительная пластина, составляющая угол 45o с осью первого канала, на оси второго канала расположены последовательно вторая диафрагма, разделительное устройство и плоское зеркало, параллельное светоделительной пластине и жестко связанное с ней, причем расстояние между центрами первой и второй диафрагм равно расстоянию между плоским зеркалом и светоделительной пластиной вдоль оси второго канала, разделительное устройство выполнено в виде двух клиновидных пластин, главные сечения которых параллельны плоскости, содержащей оси двух каналов, вершины клиновидных пластин диаметрально противоположны, а граница их раздела расположена на оси второго канала.To solve this problem, in a device for controlling the accuracy of aligning the mark with the focal plane of the collimator lens, which contains an optically coupled light beam parallelism analyzer and a telescope, in contrast to the prototype, the light beam parallelism analyzer is made in the form of an optical unit including two parallel channels, on the axis of the first channel are arranged sequentially the first diaphragm, a deflecting device with a measuring mechanism, a compensator for errors in the direction of light uchek and a beam splitter plate, making an angle of 45 o with the axis of the first channel, on the axis of the second channel there are sequentially a second diaphragm, a separation device and a flat mirror parallel to the beam splitter plate and rigidly connected with it, and the distance between the centers of the first and second diaphragms is equal to the distance between the flat a mirror and a beam splitting plate along the axis of the second channel, the separation device is made in the form of two wedge-shaped plates, the main sections of which are parallel to the plane containing the axes of the two channels, the vertices of the wedge-shaped plates are diametrically opposite, and the interface is located on the axis of the second channel.
Выполнение анализатора параллельности световых лучей в виде оптического блока, имеющего два параллельных канала, обеспечивает возможность оценки контролируемой величины без изменения положения элементов измерительной схемы при однократном измерении. Это позволяет повысить точность измерений за счет исключения случайной составляющей погрешности измерений, связанной с необходимостью нескольких наводок, и упростить процесс измерений. Выполнение разделительного устройства в виде двух клиньев позволило реализовать условия для наиболее точной оценки контролируемой величины по угловому рассогласованию штриха и биссектора, формируемых каналами оптического блока, что также позволяет повысить точность измерений. Использование в оптическом блоке компенсатора ошибок направления световых пучков позволяет исключить влияние на результаты измерений погрешностей изготовления оптических элементов. Использование в анализаторе параллельности световых лучей нерастраивающихся элементов (плоскопараллельных пластин, клиньев) и обеспечение жесткой связи между светоделительной пластиной и плоским зеркалом обеспечивают нерасстраиваемость измерительной схемы устройства, что также приводит к повышению точности измерений за счет исключения влияния вибраций, температурных воздействий и позволяет использовать устройство не только в лабораторных, но и в цеховых условиях, что расширяет эксплуатационные возможности устройства. The implementation of the parallelism analyzer of light rays in the form of an optical unit having two parallel channels, makes it possible to evaluate the controlled value without changing the position of the elements of the measuring circuit in a single measurement. This allows to increase the accuracy of measurements by eliminating the random component of the measurement error associated with the need for several pickups, and to simplify the measurement process. The implementation of the separation device in the form of two wedges made it possible to realize the conditions for the most accurate assessment of the controlled value by the angular mismatch of the line and the bisector formed by the channels of the optical unit, which also allows to increase the measurement accuracy. The use of errors in the direction of light beams in the optical block of the compensator eliminates the influence on the measurement results of errors in the manufacture of optical elements. The use in the analyzer of light rays parallelism of non-aligned elements (plane-parallel plates, wedges) and the provision of a rigid connection between the beam-splitting plate and the flat mirror provide non-alignment of the measuring circuit of the device, which also leads to increased measurement accuracy by eliminating the influence of vibration, temperature effects and allows the device to be used without only in laboratory, but also in workshop conditions, which expands the operational capabilities of the device.
На фиг. 1 изображена принципиальная схема устройства, на фиг. 2 показан вид поля зрения зрительной трубы в момент контроля при отсутствии ошибки совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора, а на фиг. 3 - вид поля зрения зрительной трубы при наличии ошибки совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора. In FIG. 1 shows a schematic diagram of a device, FIG. 2 shows a view of the field of view of the telescope at the time of monitoring in the absence of an error in aligning the mark with the focal plane of the lens of the collimator, and in FIG. 3 is a view of the field of view of the telescope in the presence of an error in aligning the mark with the focal plane of the collimator lens.
Устройство для контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора включает (фиг. 1) оптически сопряженные анализатор параллельности светового пучка 1 и зрительную трубу 2. Анализатор параллельности светового пучка 1 выполнен в виде оптического блока, который включает первую диафрагму 3 и вторую диафрагму 4, установленные в двух его параллельных каналах. За первой диафрагмой 3 на оси первого канала расположены последовательно отклоняющее устройство 5 с измерительным механизмом, компенсатор ошибок направления световых пучков 6 и светоделительная пластина 7, составляющая угол 45o с осью первого канала. За второй диафрагмой 4 на оси второго канала последовательно установлены разделительное устройство 8 и плоское зеркало 9, параллельное светоделительной пластине 7. Разделительное устройство 8 состоит из двух клиновидных пластин, главные сечения которых параллельны плоскости, содержащей оси первого и второго каналов оптического блока, вершины клиновидных пластин диаметрально противоположны, а граница их раздела расположена на оси второго канала. Светоделительная пластина 7 и зеркало 9 жестко связаны друг с другом, например, путем приклеивания к дополнительной пластине 10. Расстояние В между центрами диафрагм 3 и 4 равно расстоянию между зеркалом 9 и пластиной 7 вдоль оси второго канала, что обеспечивает совпадение главных лучей световых пучков, входящих в диафрагмы 3 и 4, после прохождения или отражения от светоделительной пластины 7. Отклоняющее устройство 5 с измерительным механизмом выполнено в виде клиновидной пластины с нанесенной на ее оправе шкалой. Клиновидная пластина отклоняющего устройства 5 установлена с возможностью вращения и возможностью оценки угла поворота по шкале относительно неподвижного индекса, нанесенного на корпусе оптического блока. Компенсатор ошибок направления световых пучков 6 выполнен в виде двух клиновидных пластин, установленных с возможностью вращения вокруг оси первого канала оптического блока. Зрительная труба 2 включает объектив 11, плоское зеркало 12 (для удобства компоновки), сетку 13 и окуляр 14. Сетка 13, необязательный элемент схемы, используется лишь для ориентировочного определения центра поля зрения зрительной трубы. Анализатор параллельности светового пучка 1 установлен в световом пучке, выходящем из контролируемого коллиматора 15, а зрительная труба 2 установлена по ходу лучей света коллиматора, прошедших анализатор параллельности светового пучка, то есть все указанные элементы схемы оптически сопряжены друг с другом.A device for controlling the accuracy of aligning the mark with the focal plane of the collimator lens includes (Fig. 1) optically coupled light
Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.
Лучи света, выходящие из контролируемого коллиматора 15, входят в диафрагмы 3 и 4 по направлению стрелок A1 и A2 соответственно. Пройдя диафрагму 3, лучи света проходят отклоняющее устройство 5, компенсатор ошибок направления световых пучков 6, светоделительную пластину 7 и входят в объектив 11 зрительной трубы 2. В плоскости сетки 13 формируется изображение марки коллиматора I1 (фиг. 2), которое рассматривается наблюдателем через окуляр 14. Лучи света, входящие в диафрагму 4, проходят разделительное устройство 8. На выходе разделительного устройства 8 образуются два световых пучка, угол α между которыми равен α ≈ (2(n-1)θ, где n и θ - показатель преломления и величина угла клина клиновидных пластин разделительного устройства 8. Эти световые пучки отражаются от плоского зеркала 9, затем от светоделительной пластины 7 и также входят в объектив 11 зрительной трубы 2. В плоскости ее сетки образуются еще два изображения марки коллиматора I'2 и I''2 (фиг. 2). Если пучки лучей, входящие в диафрагмы 3 и 4 (по стрелкам A1 и A2), строго параллельны, а отклоняющее устройство 5 установлено в исходное положение, при котором отсчет по его шкале равен нулю, то разворотом клиньев компенсатора 6 можно добиться симметричного расположения изображений I'2 и I''2 относительно изображения I1, как показано на фиг. 2. Настроенное таким образом устройство может быть использовано для контроля точности несовпадения марки с фокальной плоскостью объективов реальных коллиматоров.The rays of light leaving the monitored collimator 15 enter the diaphragms 3 and 4 in the direction of the arrows A 1 and A 2, respectively. After passing through the diaphragm 3, the light rays pass through the deflecting device 5, the compensator for errors in the direction of the light beams 6, the beam splitter plate 7 and enter the lens 11 of the telescope 2. An image of the collimator mark I 1 is formed in the plane of the grid 13 (Fig. 2), which is viewed by an observer through eyepiece 14. The rays of light entering the diaphragm 4 pass the separation device 8. At the output of the separation device 8 two light beams are formed, the angle α between which is equal to α ≈ (2 (n-1) θ, where n and θ are the refractive index and wedge angle wedge-shaped plates of the separation device 8. These light beams are reflected from the flat mirror 9, then from the beam splitter plate 7 and also enter the lens 11 of the telescope 2. Two more images of the collimator mark I ' 2 and I'' 2 are formed in the plane of its grid (Fig. .2) .If the beams of rays entering the diaphragms 3 and 4 (along arrows A 1 and A 2 ) are strictly parallel, and the deflecting device 5 is set to its original position, at which the countdown on its scale is zero, then by turning the wedges of the compensator 6 can achieve a symmetrical arrangement of CONTROL I '2 and I''2 with respect to the image I 1 as shown in FIG. 2. A device so configured can be used to control the accuracy of mismatch between the brand and the focal plane of the lenses of real collimators.
Практически настройка устройства на "бесконечность" может быть выполнена путем наблюдения одиночной звезды. In practice, the device can be set to "infinity" by observing a single star.
При контроле реальных коллиматоров в общем случае наблюдается несимметричное расположение изображений I'2 и I''2 относительно изображения I1 (фиг. 3), что свидетельствует о наличии ошибки совмещения марки с фокальной плоскостью объектива коллиматора. Чтобы устранить эту ошибку, следует, перемещая марку коллиматора вдоль оси его объектива, добиться симметричного расположения наблюдаемых изображений, как показано на фиг. 2. При необходимости измерения этой ошибки следует добиться того же результата путем разворота клиновидной пластины отклоняющего устройства 5 и зафиксировать отсчет по шкале измерительного механизма. Если шкала проградуирована в углах β отклонения лучей света отклоняющим устройством, то величину Δ ошибки совмещения марки коллиматора с фокальной плоскостью объектива коллиматора можно определить по формуле:
Δ ≈ (f2/B)β,
где f' - фокусное расстояние объектива контролируемого коллиматора, а В - расстояние между центрами диафрагм 3 и 4.When controlling real collimators, in the general case, an asymmetric arrangement of images I ' 2 and I'' 2 relative to image I 1 is observed (Fig. 3), which indicates the presence of an error in aligning the mark with the focal plane of the collimator lens. To eliminate this error, moving the collimator mark along the axis of its lens should achieve a symmetrical arrangement of the observed images, as shown in FIG. 2. If you need to measure this error, you must achieve the same result by turning the wedge-shaped plate of the deflecting device 5 and fix the reading on the scale of the measuring mechanism. If the scale is calibrated in the angles β of the deviation of the light rays by the deflecting device, then the value Δ of the error of combining the collimator brand with the focal plane of the collimator lens can be determined by the formula:
Δ ≈ (f 2 / B) β,
where f 'is the focal length of the lens of the controlled collimator, and B is the distance between the centers of the diaphragms 3 and 4.
Заявляемое устройство достаточно компактно. Оно не требует значительных затрат времени на подготовку и проведение измерений, так как подготовка к измерениям заключается лишь в установке его в коллимированном световом пучке, а процесс контроля - лишь в наблюдении в окуляр зрительной трубы. Кроме того, устройство может быть использовано как в лабораторных, так и в цеховых условиях, так как оно имеет нерасстраивающуюся измерительную схему, состоящую только из элементов, малые подвижки и повороты которых не вызывают отклонения лучей света от их исходного направления. Применение заявляемого устройства позволяет повысить точность контроля благодаря нерасстраиваемости измерительной схемы, возможности оценки контролируемой величины при единичном измерении, не требующем изменения положения элементов схемы, а также реализации в анализаторе параллельности светового пучка условий для наиболее точной оценки контролируемой величины по угловому рассогласованию штриха и биссектора. The inventive device is compact enough. It does not require a significant investment of time in the preparation and conduct of measurements, since preparation for measurements consists only in installing it in a collimated light beam, and the control process is only in observing into the eyepiece of the telescope. In addition, the device can be used both in laboratory and in workshop conditions, since it has a non-upset measuring circuit consisting only of elements whose small movements and rotations do not cause light rays to deviate from their original direction. The use of the inventive device allows to increase the accuracy of control due to the inconsistency of the measuring circuit, the possibility of evaluating the controlled value in a single measurement that does not require a change in the position of the circuit elements, as well as the implementation of the conditions for the most accurate assessment of the controlled value in the analyzer of light beam parallelism from the angular mismatch between the line and the bisector.
Экспериментальные исследования опытного образца показали, что его настройка по реальному объекту - звезде обеспечивает имитацию дистанции сравнения около 160 км. При фокусном расстоянии объектива коллиматора 1600 мм это обеспечивает систематическую составляющую погрешности измерений не более 0,01 мм. Случайная составляющая погрешности измерений не превышает 0,03 мм. Габаритные размеры устройства (включая зрительную трубу) не превышают (220 x 185 x 65) мм. Experimental studies of the prototype showed that its tuning to a real object - a star provides a simulation distance of comparison of about 160 km. With a focal length of the collimator lens of 1600 mm, this provides a systematic component of the measurement error of not more than 0.01 mm. The random component of the measurement error does not exceed 0.03 mm. The overall dimensions of the device (including the telescope) do not exceed (220 x 185 x 65) mm.
Таким образом, заявляемое устройство может быть использовано на предприятиях как универсальное высокоточное переносное средство оперативного контроля точности совмещения марки с фокальной плоскостью объектива преимущественно крупногабаритных коллиматоров как в лабораторных, так и в цеховых условиях. Thus, the inventive device can be used at enterprises as a universal high-precision portable means of operational control of the accuracy of combining marks with the focal plane of the lens of predominantly large collimators both in laboratory and in workshop conditions.
Источники информации:
1. Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов. - М.: Высшая школа, 1968. -с. 49.Sources of information:
1. Bardin A.N. Assembly and alignment of optical instruments. - M .: Higher school, 1968.-p. 49.
2. Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов. - М.: Высшая школа, 1968. - с. 50. 2. Bardin A.N. Assembly and alignment of optical instruments. - M.: Higher School, 1968. - p. fifty.
3. Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов. - М.: Высшая школа, 1968. - с. 54 (прототип). 3. Bardin A.N. Assembly and alignment of optical instruments. - M.: Higher School, 1968. - p. 54 (prototype).
Claims (1)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BYA20000247 | 2000-03-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2172973C1 true RU2172973C1 (en) | 2001-08-27 |
Family
ID=
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2018101C1 (en) * | 1991-04-15 | 1994-08-15 | Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" | Method of quality control and focusing of optic system |
| RU2078360C1 (en) * | 1995-04-25 | 1997-04-27 | Татьяна Львовна Богданова | Method of quality inspection of objective and device for its implementation |
| RU2159948C1 (en) * | 1999-08-09 | 2000-11-27 | Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет) | Method for tuning an optical instrument |
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2018101C1 (en) * | 1991-04-15 | 1994-08-15 | Научно-исследовательский институт комплексных испытаний оптико-электронных приборов и систем Всесоюзного научного центра "Государственный оптический институт им.С.И.Вавилова" | Method of quality control and focusing of optic system |
| RU2078360C1 (en) * | 1995-04-25 | 1997-04-27 | Татьяна Львовна Богданова | Method of quality inspection of objective and device for its implementation |
| RU2159948C1 (en) * | 1999-08-09 | 2000-11-27 | Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (технический университет) | Method for tuning an optical instrument |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Бардин А.Н. Сборка и юстировка оптических приборов. - М.: Высшая школа, 1968, с. 54, 50, 49. Данилевич Ф.М. и др. Сборка и юстировка оптических контрольно-измерительных приборов. - Л.: Машиностроение, 1976, с. 32-33, 37-38, 48. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100225923B1 (en) | Phase shifting diffraction interferometer | |
| Saunders | Ball and cylinder interferometer | |
| US1736682A (en) | Optical lever | |
| RU2172973C1 (en) | Facility testing precision of registration of mark with focal plane of objective lens | |
| US4033696A (en) | Lens meter | |
| US3347130A (en) | Optical measuring instruments | |
| US1978434A (en) | Optical apparatus for measuring the thickness of piezo electric crystals | |
| US2461166A (en) | Instrument for testing the accuracy of the angle between two prism faces | |
| US2239469A (en) | Sighting telescope | |
| Lieser | LISA optical bench development: experimental investigation of tilt-to-length coupling for a spaceborne gravitational wave detector | |
| JP2003269909A (en) | Method of measuring shape, instrument for measuring interference, method of manufacturing projection optical system, and projection exposure unit | |
| Zaltz et al. | Methods for the control of centering error in the fabrication and assembly of optical elements | |
| US2476426A (en) | Apparatus for testing porro prisms using nonparallel light | |
| US2846919A (en) | Interferometer | |
| US3302511A (en) | Optical system for determining deviation in body orientation | |
| CN108709505A (en) | A kind of wide range interference formula grating scale and its distance measuring method | |
| JP2000097660A (en) | Method for adjusting optical axis of optical system and interference measuring instrument | |
| JPS5890110A (en) | Interferometer | |
| US2772597A (en) | Precision refractometer | |
| JP2005003667A (en) | Reference axis setting optical system, eccentricity measuring machine and eccentricity-measuring method using the optical system | |
| SU231848A1 (en) | DEVICE FOR CONTROL OF THE GUIDE DIRECTIONS | |
| JP2000230883A (en) | Decentering measuring apparatus and its adjusting method | |
| RU2182311C1 (en) | Device for spatial orientation of objects | |
| SU600388A1 (en) | Plane simulator for specifying planenes meters | |
| SU911251A1 (en) | Channel refractometer |