RU2172573C1 - Генератор электронного пучка - Google Patents
Генератор электронного пучкаInfo
- Publication number
- RU2172573C1 RU2172573C1 RU2000105510A RU2000105510A RU2172573C1 RU 2172573 C1 RU2172573 C1 RU 2172573C1 RU 2000105510 A RU2000105510 A RU 2000105510A RU 2000105510 A RU2000105510 A RU 2000105510A RU 2172573 C1 RU2172573 C1 RU 2172573C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- cathode
- hole
- anode
- coat
- generator
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 9
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 19
- 230000002547 anomalous Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 abstract description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000000977 initiatory Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 210000003298 Dental Enamel Anatomy 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Abstract
Изобретение относится к физической электронике и может быть использовано в системах накачки газовых лазеров и для инициирования плазмохимических реакций в газах среднего давления (10-100 торр). Технический результат - создание генератора пучка электронов с энергией в диапазоне килоэлектронвольт с повышенной средней мощностью непосредственно в газе среднего давления. Генератор электронного пучка содержит разрядную структуру, состоящую из катодного и анодного элементов, расположенных в рабочем газе. Катодный элемент выполнен в виде охлаждаемой металлической пластины, на обращенную к аноду поверхность которой нанесено диэлектрическое покрытие со сквозным отверстием. Анод выполнен в виде расположенной вплотную к диэлектрическому покрытию пластины с отверстием, размещенным над отверстием в диэлектрическом покрытии. Выбор толщины покрытия h и диаметра отверстия в нем d производится исходя из соотношений h≥U/Епр, где U - рабочее напряжение генератора, Епр - пробивная напряженность электрического поля для покрытия, d ≅ P/ΔTλ, где Р - вкладываемая мощность, ΔТ - допустимая величина перегрева диэлектрического покрытия, λ - коэффициент теплопроводности материала катодной пластины. Пучок ускоренных электронов формируется в области катодного падения потенциала аномального тлеющего разряда, возникающего при подаче рабочего напряжения на разрядную структуру генератора. 1 ил., 1 табл.
Description
Изобретение относится к области физической электроники и может быть использовано в системах накачки газовых лазеров и для инициирования плазмохимических реакций в газах среднего давления (10-100 торр).
Известен генератор электронного пучка (ГЭП), основным элементом которого является вакуумный диод, состоящий из катода, изолятора и тонкого анода для выпуска электронов в рабочий газ. (С.П. Бугаев, Е.А. Литвинов, Г.А. Месяц, Д. И. Проскуровский. Взрывная эмиссия электронов. УФН т. 115, вып. 1, с. 101-120, 1975). Для эффективного вывода электронов в рабочий газ применяется фольговый анод, обладающий минимальным поглощением для электронов пучка, но способный выдерживать давление, оказываемое газовой средой.
Недостатком такого ГЭП является ограничение средней мощности пучка тепловой стойкостью анодной фольги. Требования к механической прочности приводят к ограничению на минимальную толщину анода, вследствие чего технически невозможно получение пучков с энергией приблизительно ≅ 100 кэВ. Известен также ГЭП, содержащий разрядную структуру, расположенную непосредственно в рабочем газе и состоящую из металлического катода и сетчатого анода, расположенных на незначительном расстоянии друг от друга (П.А. Бохан, А.П. Сорокин. Открытый разряд, генерирующий электронный пучок: механизм, свойства и использование для накачки лазеров среднего давления. ЖТФ, т.55, вып.1, с. 88-95, 1985). Генерация электронного пучка в газе при давлении p возникает при размещении анода на расстоянии d, определяемом из условия pd ≅ pdmin, где pdmin ~ 1-3 торр•см - произведение давления газа на длину промежутка в минимуме Пашеновской кривой пробоя газа.
Недостатком такого ГЭП является ограничение средней мощности генерируемого пучка тепловой стойкостью тонкой анодной сетки из-за вынужденно малых размеров разрядного промежутка в плотном газе.
Наиболее близким по технической сущности к заявляемому изобретению является ГЭП на основе аномального тлеющего разряда (Ю.С. Акишев, Н.А. Дятко, А. П. Напартович, П. И. Перетятько. Аномальный тлеющий разряд в плотных газах как источник быстрых электронов килоэлектронвольтного диапазона. ЖТФ, т. 89, вып. 8, c. 14-16, 1989). ГЭП содержит разрядную структуру, катодными элементами которой являются запрессованные в керамику металлические стержни диаметром 1 мм, а анод выполнен в виде сетки, расположенной на расстоянии ≈ 1 мм от керамической поверхности. Возможность применения массивных анодных сеток позволяет повысить среднюю мощность пучка и обеспечить квазинепрерывную генерацию электронного пучка в плотном газе.
Недостатком данной конструкции являются высокие потери электронов пучка на анодной сетке, ограниченная тепловая стойкость сетки и тонких катодных элементов, что приводит к ограничению на среднюю мощность пучка.
Предлагаемое изобретение решает задачу создания генератора электронов килоэлектронвольтного энергетического диапазона с повышенной средней мощностью в газе среднего давления. Осуществление изобретения позволит создать конструкцию ГЭП, обеспечивающую минимальные потери электронов пучка и работу в непрерывном режиме в газе среднего давления.
Это достигается тем, что катодный элемент генератора выполняется в виде охлаждаемой (например проточной водой) металлической пластины толщиной H, на одну из поверхностей которой наносится диэлектрическое покрытие толщины h со сквозным отверстием диаметра d<H. Толщина покрытия h определяется электрической стойкостью используемого покрытия и выбирается из условия h ≥ U/Eпр, где U - рабочее напряжение генератора, Eпр - пробивная напряженность электрического поля для покрытия. Диаметр отверстия d определяется допустимой величиной перегрева диэлектрического покрытия ΔT, при котором резко ухудшается его электрическая прочность (напряжение пробоя падает в два раза) и выбирается исходя из значения вкладываемой мощности P и данных о коэффициенте теплопроводности материала катодной пластины λ с помощью соотношения
Для стекол и эмалей, могущих служить в качестве диэлектрического покрытия, типичные значения Eпр и ΔT лежат в области Eпр = (1.5-2)106 B/см, ΔT = 50-100oC. Типичная величина λ для стали составляет λ ≈ Вт/(К•см).
Для стекол и эмалей, могущих служить в качестве диэлектрического покрытия, типичные значения Eпр и ΔT лежат в области Eпр = (1.5-2)106 B/см, ΔT = 50-100oC. Типичная величина λ для стали составляет λ ≈ Вт/(К•см).
Принципиальная схема генератора представлена на чертеже, где 1 - катодная пластина, 2 - диэлектрическое покрытие, 3 - анод. Анод генератора выполняется из электропроводного материала и располагается вплотную к диэлектрическому покрытию. В аноде делается отверстие, расположенное над отверстием в диэлектрическом покрытии. Диаметр отверстия в аноде может быть больше диаметра в диэлектрическом покрытии либо равен ему (см. чертеж).
Принцип действия предлагаемого устройства состоит в следующем. При подаче напряжения от источника постоянного или импульсного униполярного тока на электроды 1, 3 происходит пробой газа между ними и зажигается тлеющий разряд. Поскольку площадь катода 1 ограничена диэлектрическим покрытием 2, увеличение тока через разряд приводит к его переходу в аномальную форму. Вследствие большой разности в подвижностях между электронами и ионами происходит накопление объемного заряда положительных ионов вблизи поверхности катода. Практически все напряжение источника питания оказывается приложенным к узкому слою катодного падения потенциала, расположенного вблизи поверхности катода. Электроны, выбиваемые из катода за счет ион-электронной, атом-электронной и фотоэмиссии, ускоряются в сильном поле катодного падения до энергии, практически равной приложенному напряжению, и инжектируются в окружающий газ.
Устройство допускает генерацию множественных и специальным образом расположенных электронных пучков при параллельном подключении к источнику нескольких разрядных ячеек, показанных на чертеже. Одновременность генерации во многих разрядных промежутках обеспечивается за счет растущей вольт-амперной характеристики аномального тлеющего разряда.
В соответствии с данным предложением создан ГЭП непрерывного действия с техническими характеристиками, приведенными в таблице.
Claims (1)
- Генератор электронного пучка, содержащий разрядную структуру, состоящую из катодного и анодного элементов, расположенных непосредственно в рабочем газе, отличающийся тем, что катодный элемент выполнен в виде охлаждаемой металлической пластины, на обращенную к аноду поверхность которой нанесено диэлектрическое покрытие толщины h со сквозным отверстием диаметра d, которые определяются из соотношений h ≥ U/Eпр, где U - рабочее напряжение генератора, Eпр - пробивная напряженность электрического поля для покрытия, d ≅ P/ΔTλ, где P - вкладываемая мощность, ΔT - допустимая величина перегрева диэлектрического покрытия, λ - коэффициент теплопроводности материала катодной пластины, а анод выполнен в виде расположенной вплотную к диэлектрическому покрытию пластины с отверстием, размещенным над отверстием в диэлектрическом покрытии.
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2172573C1 true RU2172573C1 (ru) | 2001-08-20 |
Family
ID=
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
АКИШЕВ Ю.С. и др. Аномальный тлеющий разряд в плотных газах как источник быстрых электронов килоэлектронвольтного диапазона, - ЖФТ, т.89, вып.8, 1989, с.14-16. * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Schoenbach et al. | Microhollow cathode discharges | |
Kirkman et al. | Low pressure, light initiated, glow discharge switch for high power applications | |
Togawa et al. | CeB 6 electron gun for low-emittance injector | |
US5502354A (en) | Direct current energized pulse generator utilizing autogenous cyclical pulsed abnormal glow discharges | |
Oks et al. | Development of plasma cathode electron guns | |
Shiffler et al. | Review of cold cathode research at the Air Force Research Laboratory | |
US8735766B2 (en) | Cathode assembly and method for pulsed plasma generation | |
Stirling et al. | Magnetic multipole line‐cusp plasma generator for neutral beam injectors | |
US5014289A (en) | Long life electrodes for large-area x-ray generators | |
EP0026923B1 (en) | Apparatus for generating a radiation emitting recombination plasma | |
US4317067A (en) | Dielectric surface electrical discharge device | |
Sismanoglu et al. | Microhollow cathode discharge and breakdown in micron separations | |
WO2009018838A1 (en) | Cathode assembly and method for pulsed plasma generation | |
RU2172573C1 (ru) | Генератор электронного пучка | |
EP0105349B1 (en) | Segmented plasma excitation recombination light source | |
CN100482030C (zh) | 用于产生远紫外线和软x射线的装置 | |
RU170782U1 (ru) | Вакуумный разрядник | |
US5072148A (en) | Dispenser cathode with emitting surface parallel to ion flow and use in thyratrons | |
US5477106A (en) | Cathode placement in a gas discharge closing switch | |
Gushenets et al. | Characteristics of a pulsed vacuum arc discharge with pure boron cathode | |
Kirkici et al. | Operating characteristics of a segmented hollow cathode over a wide pressure range | |
RU2654493C1 (ru) | Вакуумный разрядник | |
RU2496283C1 (ru) | Генератор широкоаппертурного потока газоразрядной плазмы | |
Kozlov et al. | Phenomena at the electrode surfaces and localization of the volume discharges in small-sized sealed-off TEA-CO2 lasers | |
Burdovitsin et al. | Plasma Electron Sources |