RU2169401C2 - Temperature-compensated scanner - Google Patents
Temperature-compensated scanner Download PDFInfo
- Publication number
- RU2169401C2 RU2169401C2 RU99109202/28A RU99109202A RU2169401C2 RU 2169401 C2 RU2169401 C2 RU 2169401C2 RU 99109202/28 A RU99109202/28 A RU 99109202/28A RU 99109202 A RU99109202 A RU 99109202A RU 2169401 C2 RU2169401 C2 RU 2169401C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- flange
- holder
- ring
- scanning
- carrier
- Prior art date
Links
Abstract
Description
Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим сканирование образца относительно зонда в широком диапазоне температур. The invention relates to nanotechnological equipment, and more particularly to devices for scanning a sample relative to a probe in a wide temperature range.
Известен термокомпенсированный сканер, содержащий X, Y,Z сканирующий пьезоэлемент с держателем носителя объекта, соединенный с симметрично расположенным набором пьезоэлементов, которые в свою очередь подсоединены к основанию [1]. Known thermally compensated scanner containing X, Y, Z scanning a piezoelectric element with an object carrier holder connected to a symmetrically located set of piezoelectric elements, which in turn are connected to the base [1].
Недостатки указанного устройства заключаются в том, что невозможно проводить активную термокомпенсацию, что снижает разрешающую способность и функциональные возможности. Второй недостаток заключается в отсутствии демпфирующих элементов, что снижает разрешающую способность. Третий недостаток заключается в подсоединении гибких теплопроводов к сканирующим частям сканера. Это усложняет конструкцию, снижает надежность, разрешающую способность и теплоотвод. The disadvantages of this device are that it is impossible to carry out active thermal compensation, which reduces the resolution and functionality. The second disadvantage is the lack of damping elements, which reduces the resolution. The third drawback is the connection of flexible heat pipes to the scanning parts of the scanner. This complicates the design, reduces reliability, resolution and heat dissipation.
Известен также пьезосканер (в дальнейшем сканер), содержащий сканирующий пьезоэлемент с держателем носителя объекта, закрепленный на фланце, который соединен с компенсатором термодрейфа, установленным на держателе, соединенным с зондом, при этом зонд, компенсатор дрейфа и сканирующий пьезоэлемент подключены к основной и дополнительной следящей системе [2]. Also known is a piezoscanner (hereinafter referred to as a scanner) containing a scanning piezoelectric element with an object carrier holder mounted on a flange that is connected to a thermal drift compensator mounted on a holder connected to the probe, while the probe, the drift compensator and the scanning piezoelectric element are connected to the main and additional tracking system [2].
Недостатки указанного устройства заключаются в несимметричности конструкции, что приводит к боковым термодрейфам и снижению разрешающей способности и функциональных возможностей. Второй недостаток заключается в отсутствии демпфирующих элементов, что снижает разрешающую способность. Третий недостаток заключается в отсутствии активного теплоотвода, что также ухудшает разрешающую способность. The disadvantages of this device are the asymmetry of the design, which leads to lateral thermal drifts and a decrease in resolution and functionality. The second disadvantage is the lack of damping elements, which reduces the resolution. The third disadvantage is the lack of active heat sink, which also degrades the resolution.
Технический результат изобретения заключается в повышении разрешающей способности измерения, расширении функциональных возможностей и повышении надежности устройства. The technical result of the invention is to increase the resolution of the measurement, expanding the functionality and increasing the reliability of the device.
Это достигается тем, что в термокомпенсированный сканер, содержащий сканирующий пьезоэлемент с держателем носителя объекта, компенсатор термодрейфа, зонд, основную и дополнительную следящие системы, введен нагреватель, две термопары, упругое разделительное кольцо, кольцо с хладопроводом, первый и второй теплоносители, термокомпенсатор выполнен в виде компенсирующего элемента и соединен с кольцом и фланцем соответственно с противоположенных концов, кольцо соединено упруго с держателем объекта, который в свою очередь через упругое соединительное кольцо соединен с фланцем, причем нагреватель установлен на фланце с возможностью взаимодействия с носителем объекта, а термопары: первая - с возможностью взаимодействия с держателем объекта, а вторая - со сканирующим пьезоэлементом, причем хладопровод соединен с криостатом, а первый теплоноситель размещен между держателем объекта и фланцем, а второй теплоноситель - между сканирующим пьезоэлементом и термокомпенсатором. This is achieved by the fact that a temperature compensated scanner containing a scanning piezoelectric element with an object carrier holder, a thermal drift compensator, a probe, a primary and secondary tracking system, a heater, two thermocouples, an elastic dividing ring, a ring with a cold conductor, the first and second heat carriers, the temperature compensator is installed in in the form of a compensating element and connected to the ring and flange, respectively, from opposite ends, the ring is connected elastically to the holder of the object, which in turn is through elastic soy The body ring is connected to the flange, and the heater is mounted on the flange with the possibility of interacting with the object carrier, and thermocouples: the first with the possibility of interaction with the object holder, and the second with the scanning piezoelectric element, the coolant being connected to the cryostat, and the first heat carrier is located between the object holder and a flange, and the second coolant is between the scanning piezoelectric element and the temperature compensator.
На чертеже изображен термокомпенсированный пьезосканер. The drawing shows a thermally compensated piezoscanner.
Термокомпенсированный сканер содержит фланец 1 с нагревателем 2, выводы которого 3 и 4 закреплены через изоляторы 5 посредством планок 6 на фланце 1, на котором закреплены термопара 7. (Вариант закрепления термопары подробно не показан с целью упрощения графических материалов. В простейшем случае два ее вывода могут быть закреплены через изоляторы и планки, аналогично нагревателю 2). Держатель 8 носителя 9 объекта 10 содержит отверстия 11 и 12, в которых соответственно размещены нагреватель 2 и термопара 7. Пружина 13 и упор 14 закреплены на держателе 8. Держатель 8 соединен с фланцем 1 посредством упругого кольца 15 и накладок 16. Внутри держателя 8 расположен неподвижный отражатель 17 и поворотные в разных плоскостях отражатели 18 и 19, изображенные без детализации конструкции. В держателе 8 также закреплена трубка 20 и установлены шарики 21. Термокомпенсатор закреплен на фланце 1 и состоит из трубы 22, компенсирующего элемента 23 и экрана 24. Сканирующий элемент 25 посредством упругого шарнира 26 скреплен с держателем 8 и кольцом 27. Между кольцами 27 и 28 закреплены теплопроводы (хладопроводы) 29 другими кольцами, соединенными посредством кольца 30 с фланцем 1 и далее с криостатом 31. Упругое кольцо 15 разделяет замкнутую полость 32 и открытую полость 33. Внутри полости 32 в зоне края пьезотрубки 25 закреплена термопара 34. Внутри полости 32 расположен теплоноситель 35, а внутри полости 33 - теплоноситель 36. Над объектом 10 установлен зонд, соединенный через кронштейны 38 и 39 и грубый привод 40 с фланцем 1 (изображены условно). The temperature-compensated scanner contains a flange 1 with a heater 2, the conclusions of which 3 and 4 are fixed through insulators 5 by means of strips 6 on the flange 1, on which the thermocouple is fixed 7. (The option of fixing the thermocouple is not shown in detail in order to simplify the graphic materials. In the simplest case, its two outputs can be fixed through insulators and strips, similar to a heater 2). The holder 8 of the carrier 9 of the object 10 contains holes 11 and 12, in which the heater 2 and the thermocouple are respectively placed 7. The spring 13 and the stop 14 are mounted on the holder 8. The holder 8 is connected to the flange 1 by means of an elastic ring 15 and plates 16. Inside the holder 8 is located fixed reflector 17 and rotary in different planes reflectors 18 and 19, depicted without design detail. A tube 20 is also fixed in the holder 8 and balls 21 are installed. The temperature compensator is mounted on the flange 1 and consists of a pipe 22, a compensating element 23 and a screen 24. The scanning element 25 is fastened to the holder 8 and the ring 27 by means of an elastic hinge 26. Between the rings 27 and 28 heat pipes (cold pipes) 29 are fixed by other rings connected by a ring 30 to a flange 1 and then to a cryostat 31. An elastic ring 15 separates a closed cavity 32 and an open cavity 33. A thermocouple 34 is fixed inside the cavity 32 in the region of the edge of the piezotube 25. Inside the floor STI 32 is the coolant 35, and inside the cavity 33 - coolant over the object 36. Sensor 10 is connected through the brackets 38 and 39 and coarse actuator 40 with a flange 1 (shown in phantom).
Нагреватель 2 целесообразно выполнять из вольфрамовой проволоки, соединенной с блоком управления медными приводами. The heater 2 is expediently made of a tungsten wire connected to a control unit of copper drives.
Выводы 3 и 4 располагаются центрально - симметрично на фланце 1. Pins 3 and 4 are located centrally symmetrically on flange 1.
Термопары 7 и 34 могут быть вольфрам - рениевые. Объект 10 может крепиться к носителю 9 пружинными лапками (не показаны). Закрепление носителя 9 на держателе 8 может быть осуществлено, либо двумя пружинами 13 и одним упором 14, либо одной пружиной 13 и двумя упорами 14. Thermocouples 7 and 34 can be tungsten - rhenium. The object 10 can be attached to the carrier 9 with spring tabs (not shown). The fastening of the carrier 9 to the holder 8 can be carried out either by two springs 13 and one stop 14, or one spring 13 and two stops 14.
Упругое кольцо 15 для сверхвысоковакуумного исполнения должно быть выполнено из сверхвысовакуумного витона. Отражатели 17, 18 и 19 целесообразно выполнять из тантала. Профиль отражателя 17 может иметь эллиптическую, сферическую или иную поверхность для оптимального нагрева образца. Экраны 18 и 19 могут иметь, как оперативную возможность изменения угла (винтовой шток с контргайкой), так и установочную. Трубу 20, фланец 1, держатель 8, кольца 27 и 28, шарнир 26 целесообразно выполнять из одного и того же материала с коэффициентом температурного расширения, близким к КТР пьезокерамики пьезоэлемента 2 (например, из титана). The elastic ring 15 for ultra-high performance must be made of ultra-high vacuum Viton. Reflectors 17, 18 and 19, it is advisable to perform from tantalum. The profile of the reflector 17 may have an elliptical, spherical or other surface for optimal heating of the sample. Screens 18 and 19 can have both the operational ability to change the angle (screw rod with lock nut) and installation. The pipe 20, flange 1, holder 8, rings 27 and 28, hinge 26 are expediently made of the same material with a coefficient of thermal expansion close to the CTE of the piezoelectric ceramics of the piezoelectric element 2 (for example, titanium).
В качестве компенсирующего элемента может быть использован вместо нагревателя (см. [2]), набор пьезоэлементов (см. [3]). Возможно также объединение нагревателя и пьезоэлементов. Instead of a heater (see [2]), a set of piezoelectric elements (see [3]) can be used as a compensating element. The combination of a heater and piezoelectric elements is also possible.
Компенсирующий элемент 23, выполненный в виде нагревательного элемента, может быть изготовлен из вольфрамовой проволоки, размещенной в керамических втулках. Экран 24 может быть сделан из тантала, из меди с отражающим покрытием и т.п. Хладопроводы 29 могут быть изготовлены из медной проволоки. Следует заметить, что хладопроводы 29 от кольца 27 могут идти как на фланец 1, так и непосредственно на криостат 31, в простейшем случае состоящим, например, из сосуда с двойными стенками, наполненного жидким азотом. Использование криостата целесообразно для сверхвысоковакуумного исполнения сканера. Для воздушного варианта криостат может иметь более высокую температуру и не обязательно заливаться жидким азотом. В простейшем случае это может быть массивная металлическая болванка. В качестве теплоносителя 35 целесообразно использовать непроводящий материал: стекловолокно, вакуумное масло и т.п. Теплоноситель 36 может быть проводящим: вольфрамовый порошок, тонкая медная проволока и т.п. Compensating element 23, made in the form of a heating element, can be made of tungsten wire placed in ceramic bushings. The screen 24 may be made of tantalum, of copper with a reflective coating, etc. Cooling pipes 29 can be made of copper wire. It should be noted that the refrigerant pipes 29 from the ring 27 can go both to the flange 1, and directly to the cryostat 31, in the simplest case consisting, for example, of a double-walled vessel filled with liquid nitrogen. The use of a cryostat is advisable for ultrahigh-vacuum scanner performance. For the air version, the cryostat may have a higher temperature and it is not necessary to be filled with liquid nitrogen. In the simplest case, it can be a massive metal disc. As a heat carrier 35, it is advisable to use a non-conductive material: fiberglass, vacuum oil, etc. The coolant 36 may be conductive: tungsten powder, thin copper wire, etc.
Устройство работает следующим образом. На держатель 8 закрепляют носитель 9 с объектом 10. Термопара 7 может быть расположена в отверстии 12 носителя 8, внутри экрана 17 без касания с объектом 10, как на фиг. 1, с касанием объекта 10, с касанием носителя 9. В любом случае термопара 7 должна быть прокалибрована на действительную температуру рабочей поверхности объекта с помощью самостоятельного изменения температуры рабочей поверхности (термопарный измеритель, пирометр и т.д.). The device operates as follows. A carrier 9 is attached to the holder 8 with an object 10. A thermocouple 7 can be located in the hole 12 of the carrier 8, inside the screen 17 without touching the object 10, as in FIG. 1, with the touch of the object 10, with the touch of the carrier 9. In any case, the thermocouple 7 must be calibrated to the actual temperature of the working surface of the object by independently changing the temperature of the working surface (thermocouple meter, pyrometer, etc.).
Во время нагрева образца 10 основная следящая система контролирует термодрейф устройства, а дополнительная следящая система, нагревая элемент 23, компенсирует термодрейф. During heating of the sample 10, the main tracking system controls the thermal drift of the device, and the additional tracking system, heating the element 23, compensates for the thermal drift.
В случае использования набора пьезоэлементов, управление ими осуществляется универсальный блок 41 (см. [4]). In the case of using a set of piezoelectric elements, they are controlled by the universal block 41 (see [4]).
Отличие блока 41 от следящих систем прототипа заключается в управлении нагревателем и контроле термопарами температуры объектов. Блок управления подробно не описан. В простейшем случае термопары могут быть подключены к тестеру, а нагреватель - к источнику питания, например ЛИПС II-80, и управляется вручную. The difference of block 41 from the servo systems of the prototype is to control the heater and control the thermocouples of the temperature of the objects. The control unit is not described in detail. In the simplest case, thermocouples can be connected to the tester, and the heater can be connected to a power source, such as LIPS II-80, and is controlled manually.
Наличие нагревателя и первой термопары позволяет производить нагрев объекта с одновременным измерением температуры, что расширяет функциональные возможности, повышает надежность (в случае аварийного увеличения температуры произойдет остановка нагрева), а также повышает разрешающую способность при конкретной температуре, благодаря постоянному измерению температуры в процессе измерения. The presence of a heater and the first thermocouple allows heating the object with simultaneous temperature measurement, which expands the functionality, increases reliability (in case of an emergency increase in temperature, heating stops), and also increases the resolution at a specific temperature, due to the constant measurement of temperature during the measurement.
Вторая термопара повышает надежность устройства, так как позволяет останавливать процесс нагрева при достижении критической температуры сканирующего элемента. The second thermocouple increases the reliability of the device, as it allows you to stop the heating process when the critical temperature of the scanning element is reached.
При этом, благодаря ее использованию, процесс нагрева объекта может идти до максимально возможной температуры, что расширяет функциональные возможности прибора, а также повышает разрешающую способность, благодаря возможности использования сканирующего элемента в оптимальных тепловых режимах. Moreover, due to its use, the process of heating the object can go up to the maximum possible temperature, which expands the functionality of the device and also increases the resolution, due to the possibility of using the scanning element in optimal thermal conditions.
Упругое разделительное кольцо позволяет разделить первую и вторую полости, что позволяет использовать в качестве первого теплоносителя проводящий материал, а в качестве второго - непроводящий, что увеличивает теплоотвод от держателя носителя объекта и улучшает термокомпенсацию и соответственно разрешение. При этом повышается также надежность устройства за счет тепловой оптимизации работы сканирующего элемента, а также расширяются функциональные возможности за счет использования пьезоэлементов из различных марок пьезокерамики. Вместе с этим упругое разделительное кольцо в совокупности с первым и вторым теплоносителем изменяет добротность сканирующего элемента, что повышает разрешение прибора. An elastic dividing ring allows you to separate the first and second cavities, which allows you to use conductive material as the first heat carrier, and non-conductive material as the second, which increases the heat sink from the carrier holder of the object and improves thermal compensation and, accordingly, resolution. This also increases the reliability of the device due to thermal optimization of the scanning element, as well as expanding the functionality through the use of piezoelectric elements from various grades of piezoceramics. At the same time, the elastic dividing ring in combination with the first and second coolant changes the quality factor of the scanning element, which increases the resolution of the device.
Наличие хладопровода, соединенного с кольцом и криостатом, позволяет отсечь нефункциональное тепло нагревательного элемента от сканирующего элемента, что улучшает компенсацию термодрейфа и приводит, в свою очередь, к повышению разрешения. Надежность при этом повышается за счет оптимизации тепловых режимов работы сканирующего элемента, а функциональные возможности - за счет использования различных пьезокерамических материалов. Использование в качестве термокомпенсатора набора элементов, способных изменять линейные размеры, позволяет повышать разрешающую способность, расширяет функциональные возможности за счет использования большей номенклатуры материалов объекта с различными коэффициентами термического расширения. Повышение надежности обусловлено уменьшением вероятности нефункционального контакта объекта с зондом. Использование упругого закрепления держателя носителя объекта на сканирующем элементе, а также использование упругого разделительного кольца повышает надежность закрепления держателя и уменьшает добротность сканирующего элемента, что повышает разрешающую способность. Функциональные возможности повышаются при этом за счет использования сканирующих элементов различной толщины. The presence of a cold conduit connected to the ring and the cryostat allows the non-functional heat of the heating element to be cut off from the scanning element, which improves the thermal drift compensation and, in turn, leads to an increase in resolution. Reliability is enhanced by optimizing the thermal conditions of the scanning element, and functionality through the use of various piezoceramic materials. Using as a temperature compensator a set of elements capable of changing linear dimensions, it allows to increase the resolution, expands functionality by using a larger range of object materials with different coefficients of thermal expansion. The increase in reliability is due to a decrease in the probability of non-functional contact of the object with the probe. The use of elastic fastening of the holder of the carrier of the object on the scanning element, as well as the use of an elastic spacer ring increases the reliability of fixing the holder and reduces the quality factor of the scanning element, which increases the resolution. Functionality is enhanced by the use of scanning elements of various thicknesses.
Трубка 20 позволяет открыть герметичную полость 32 для сверхвысоковакуумного варианта, кроме этого, тонкий внутренний капилляр удлиняет путь диффундирующего масла (в случае его использования), нижний конец трубки масла при этом не касается, что препятствует замасливанию устройства. The tube 20 allows you to open the sealed cavity 32 for the ultra-high vacuum version, in addition, a thin internal capillary extends the path of the diffusing oil (if used), while the lower end of the oil tube does not touch, which prevents oiling of the device.
Литература
1. К.Н. Ельцов и др. "Сверхвысоковакуумный сканирующий туннельный микроскоп с измеряемой температурой образца", Зондовая микроскопия - 98. Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, 1998, с. 112.Literature
1. K.N. Yeltsov et al. "Ultra-high-speed scanning tunneling microscope with measured sample temperature", Probe microscopy - 98. Materials of the All-Russian meeting, Nizhny Novgorod, 1998, p. 112.
2. А.О. Голубок и др. "Сканирующий зондовый микроскоп с активной компенсацией Z дрейфа", Зондовая микроскопия - 98. Материалы всероссийского совещания, Нижний Новгород, 1998, с. 192. 2. A.O. Golubok et al. "Scanning probe microscope with active compensation of Z drift", Probe microscopy - 98. Materials of the All-Russian meeting, Nizhny Novgorod, 1998, p. 192.
3. Пьезоприводы ППУ-9÷ППУ-14 V/O ELECTRONINTORG. 3. Piezo actuators PPU-9 ÷ PPU-14 V / O ELECTRONINTORG.
4. В.А. Быков и др. Сканирующий туннельный микроскоп и головка для него. Патент RU 2069056. 4. V.A. Bykov et al. Scanning tunneling microscope and head for it. Patent RU 2069056.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99109202/28A RU2169401C2 (en) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Temperature-compensated scanner |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU99109202/28A RU2169401C2 (en) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Temperature-compensated scanner |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU99109202A RU99109202A (en) | 2001-01-27 |
| RU2169401C2 true RU2169401C2 (en) | 2001-06-20 |
Family
ID=20219317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU99109202/28A RU2169401C2 (en) | 1999-04-22 | 1999-04-22 | Temperature-compensated scanner |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2169401C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104714053A (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | Liquid-helium-free low-temperature scanning tunneling microscope |
-
1999
- 1999-04-22 RU RU99109202/28A patent/RU2169401C2/en not_active IP Right Cessation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ВОИТЕНКО С.М. и др. Сканирующий зондовый микроскоп с активной компенсацией Z дрейфа. Зондовая микроскопия-98, Материалы всероссийского совещания. - Нижний Новгород, 1998, с.192. Пьезоприводы ППУ-9 - ППУ-14. V/O ELECTRONINTORG, 1998; * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104714053A (en) * | 2013-12-11 | 2015-06-17 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | Liquid-helium-free low-temperature scanning tunneling microscope |
| CN104714053B (en) * | 2013-12-11 | 2017-10-03 | 绍兴匡泰仪器设备有限公司 | One kind is without liquid helium low-temperature scanning tunneling microscope |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US9140612B2 (en) | Measuring seebeck coefficient | |
| US20070234751A1 (en) | Sample cooling apparatus | |
| Bott et al. | Design principles of a variable temperature scanning tunneling microscope | |
| KR20080031096A (en) | Assembly with enhanced thermal conductivity and method for making thereof | |
| US4841148A (en) | Variable temperature scanning tunneling microscope | |
| US5821545A (en) | Heated stage for a scanning probe microscope | |
| US20180376537A1 (en) | Multiple Heaters in a MEMS Device for Drift-Free HREM with High Temperature Changes | |
| RU2169401C2 (en) | Temperature-compensated scanner | |
| US10416190B2 (en) | Modular atomic force microscope with environmental controls | |
| US5635836A (en) | Mechanical apparatus with rod, pivot, and translation means for positioning a sample for use with a scanning microscope | |
| JP5368636B2 (en) | Local temperature control | |
| Yarlagadda et al. | Low temperature thermal conductivity, heat capacity, and heat generation of PZT | |
| US8763161B2 (en) | Zero thermal expansion, low heat transfer, variable temperature sample assembly for probe microscopy | |
| Gross et al. | Temperature stabilized sample stage for the investigation of high Tc superconductors by scanning electron microscopy | |
| Heiderhoff et al. | From diffusive in-plane to ballistic out-of-plane heat transport in thin non-crystalline films | |
| US10168261B2 (en) | Structure for achieving dimensional stability during temperature changes | |
| JP7317963B2 (en) | Low-drift system for instrumentation | |
| Oulevey et al. | Simple low-drift heating stage for scanning probe microscopes | |
| TWI838425B (en) | Low drift heater assembly and heating method of a metrology instrument for measuring a sample | |
| RU2169440C2 (en) | Heating device for scanning sonde microscopes | |
| EP1968352A1 (en) | Thermostat and testing machine provided with the same | |
| JP2003068240A (en) | Sample holder for electron microscope | |
| Altshuler | Thermal Expansion of Silicon Between 293 K and 873 K Using a Capacitor Dilatometer | |
| JPH02504314A (en) | Variable temperature scanning tunneling microscope | |
| RU2271583C1 (en) | Cryogenic scanning probing microscope |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20040423 |