RU2149412C1 - Compensating acceleration meter - Google Patents

Compensating acceleration meter Download PDF

Info

Publication number
RU2149412C1
RU2149412C1 RU98112205A RU98112205A RU2149412C1 RU 2149412 C1 RU2149412 C1 RU 2149412C1 RU 98112205 A RU98112205 A RU 98112205A RU 98112205 A RU98112205 A RU 98112205A RU 2149412 C1 RU2149412 C1 RU 2149412C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resistor
resistors
output
amplifier
outputs
Prior art date
Application number
RU98112205A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU98112205A (en
Inventor
В.И. Баженов
С.В. Прозоров
Original Assignee
Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU98112205A priority Critical patent/RU2149412C1/en
Publication of RU98112205A publication Critical patent/RU98112205A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2149412C1 publication Critical patent/RU2149412C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

FIELD: measuring instruments, in particular, linear acceleration meters with electrostatic reverse converter. SUBSTANCE: device has housing, first plate, which is made from single-crystal material and comprises stationary frame, mobile member and flexible hinge, which connects them. In addition, device has second and third plates, two-phase alternating current generator, direct current reference voltage generator, differential capacitance converter with stationary electrodes, amplifier with two outputs of opposite phase, first and second resistors. First terminal of each resistor is connected to respective stationary electrode. In addition device has third, fourth, fifth and sixth resistors. Third and fourth resistors are connected to second terminal of first resistor. Fifth and sixth resistors are connected to second terminal of second resistor. Second terminal of third resistor is connected to one of outputs of amplifier. Second terminal of fifth resistor is connected to second output of amplifier. Second terminals of fourth and sixth resistors are connected to common circuit of outputs of generator and amplifier. EFFECT: possibility to alter upper limit of measured acceleration. 2 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к компенсационным преобразователям линейного ускорения с электростатическим обратным преобразователем. The invention relates to the field of measuring equipment, namely to compensation linear acceleration converters with an electrostatic inverse converter.

Известен компенсационный акселерометр, содержащий первую пластину с подвижным элементом, неподвижным элементом и соединяющим их упругим шарниром, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь положения подвижного элемента с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, электростатический обратный преобразователь с неподвижными электродами на второй и третьей пластинах, усилитель [1]. Known compensation accelerometer containing a first plate with a movable element, a fixed element and an elastic hinge connecting them, a second and third plate, a differential capacitive transducer of the position of the movable element with fixed electrodes on the second and third plates, an electrostatic inverse converter with fixed electrodes on the second and third plates amplifier [1].

В таком компенсационном акселерометре существует ограничение верхнего предела диапазона измеряемых ускорений вследствие неполного использования площади поверхности подвижного элемента для создания компенсационной электростатической силы. In such a compensation accelerometer, there is a limitation of the upper limit of the range of measured accelerations due to the incomplete use of the surface area of the movable element to create a compensation electrostatic force.

Наиболее близким по технической сущности является компенсационный акселерометр [2], содержащий первую пластину из монокристаллического материала, в которой образованы неподвижная рамка, подвижный элемент и соединяющий их упругий шарнир, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь с первым и вторым неподвижными электродами на второй и третьей пластинах соответственно и подвижным электродом, образованным электропроводной поверхностью подвижного элемента, первый и второй резисторы, причем подвижный электрод подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя, к первому неподвижному электроду дифференциального емкостного преобразователя подключен один их выходов двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод первого резистора, к второму неподвижному электроду подключен другой выход двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод второго резистора. The closest in technical essence is a compensation accelerometer [2], containing a first plate of single-crystal material in which a fixed frame, a movable element and an elastic joint connecting them, a second and third plate, a differential capacitive transducer with the first and second fixed electrodes on the second and the third plates, respectively, and the movable electrode formed by the conductive surface of the movable element, the first and second resistors, and the movable electrode p It is connected to the source of the DC voltage reference and to the amplifier input, one of the outputs of the two-phase AC voltage generator and one output of the first resistor are connected to the first stationary electrode of the differential capacitive converter, the other output of the two-phase AC voltage generator and one output of the second are connected to the second stationary electrode resistor.

Недостатком такого компенсационного акселерометра является отсутствие возможности изменения верхнего предела диапазона измеряемых ускорений без изменения таких основных конструктивных параметров акселерометра, как масса подвижного элемента, зазор между электродами и т.д. The disadvantage of such a compensation accelerometer is the inability to change the upper limit of the range of measured accelerations without changing such basic design parameters of the accelerometer as the mass of the movable element, the gap between the electrodes, etc.

Техническим результатом изобретения является расширение возможности варьирования верхним пределом диапазона измеряемых ускорений компенсационного акселерометра. The technical result of the invention is to expand the possibility of varying the upper limit of the range of measured accelerations of the compensation accelerometer.

Данный технический результат достигается в компенсационном акселерометре, содержащем первую пластину из монокристаллического материала, в которой образованы неподвижная рамка, подвижный элемент и соединяющий их упругий шарнир, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь с первым и вторым неподвижными электродами на второй и третьей пластинах соответственно и подвижным электродом, образованным электропроводной поверхностью подвижного элемента, первый и второй резисторы, причем подвижный электрод подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя, к первому неподвижному электроду дифференциального емкостного преобразователя подключен один из выходов двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод первого резистора, к второму неподвижному электроду подключен другой выход двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод второго резистора, тем, что введены третий, четвертый, пятый и шестой резисторы, к второму выводу первого резистора подключены первые выводы третьего и четвертого резисторов, к второму выводу второго резистора подключены первые выводы пятого и шестого резисторов, второй вывод третьего резистора подключен к одному из противофазных выходов усилителя, вторые выводы четвертого и шестого резисторов подключены к общей линии генератора и усилителя, второй вывод пятого резистора подключен к другому противофазному выходу усилителя, при этом верхний предел aв диапазона измеряемых ускорений определяется соотношением

Figure 00000002

где aвм - максимальный верхний предел диапазона измеряемых ускорений;
r1 - сопротивление четвертого или шестого резисторов;
r2 - сопротивление третьего или пятого резисторов.This technical result is achieved in a compensation accelerometer containing a first plate of single-crystal material, in which a fixed frame, a movable element and an elastic joint connecting them, a second and third plate, a differential capacitive transducer with the first and second fixed electrodes on the second and third plates, respectively, are formed and the movable electrode formed by the conductive surface of the movable element, the first and second resistors, and the movable electrode is connected one of the outputs of the two-phase AC voltage generator and one output of the first resistor are connected to the source of the reference DC voltage and to the input of the amplifier, to the first fixed electrode of the differential capacitive converter, one other output of the two-phase AC voltage generator and one output of the second resistor are connected , the fact that the third, fourth, fifth and sixth resistors are introduced, the first conclusions of the third and fourth are connected to the second output of the first resistor of the second resistors, the first terminals of the fifth and sixth resistors are connected to the second terminal of the second resistor, the second terminal of the third resistor is connected to one of the antiphase outputs of the amplifier, the second terminals of the fourth and sixth resistors are connected to the common line of the generator and amplifier, the second terminal of the fifth resistor is connected to another antiphase the output of the amplifier, while the upper limit a in the range of measured accelerations is determined by the relation
Figure 00000002

where a vm is the maximum upper limit of the range of measured accelerations;
r 1 is the resistance of the fourth or sixth resistors;
r 2 is the resistance of the third or fifth resistors.

В частном случае выполнения компенсационного акселерометра первая пластина выполнена из монокристаллического кремния. In the particular case of the execution of the compensation accelerometer, the first plate is made of single-crystal silicon.

Путем введения третьего, четвертого, пятого и шестого резисторов, соединения их с первым и вторым резисторами, подключения третьего резистора к одному из противофазных выходов усилителя, подключения четвертого резистора к другому противофазному выходу усилителя обеспечивается перераспределение напряжения между выходами усилителя и неподвижными электродами дифференциального емкостного преобразователя. В результате при максимальном выходном напряжении усилителя на неподвижные электроды подается неполное выходное напряжение усилителя, создается меньший компенсационный момент от пондемоторных сил дифференциального емкостного преобразователя, и уменьшается верхний предел диапазона измеряемых ускорений компенсационного акселерометра. Таким образом изменяется верхний предел диапазона измеряемых ускорений без изменения таких основных конструктивных параметров компенсационного акселерометра, как масса подвижного элемента, зазор между электродами дифференциального емкостного преобразователя и т.д. By introducing the third, fourth, fifth and sixth resistors, connecting them to the first and second resistors, connecting the third resistor to one of the out-of-phase outputs of the amplifier, connecting the fourth resistor to the other out-of-phase output of the amplifier, the voltage is redistributed between the outputs of the amplifier and the stationary electrodes of the differential capacitive converter. As a result, at the maximum output voltage of the amplifier, an incomplete output voltage of the amplifier is supplied to the stationary electrodes, a smaller compensation moment from the pondemotor forces of the differential capacitive converter is created, and the upper limit of the range of measured accelerations of the compensation accelerometer decreases. Thus, the upper limit of the range of measured accelerations is changed without changing such basic design parameters of the compensation accelerometer as the mass of the moving element, the gap between the electrodes of the differential capacitive transducer, etc.

На фиг. 1 представлен общий вид компенсационного акселерометра, на фиг. 2 - электрическая схема компенсационного акселерометра. Компенсационный акселерометр (фиг. 1) содержит корпус 1, в котором установлены первая пластина 2 из монокристаллического материала, например кремния, вторая пластина 3 и третья пластина 4. В первой пластине 2 выполнены неподвижная рамка 5, подвижный элемент 6 с электропроводной поверхностью 7 и соединяющий неподвижную рамку 5 с подвижным элементом 6 упругий шарнир 8 в виде упругой перемычки. На второй пластине 3 расположен первый неподвижный электрод 9 дифференциального емкостного преобразователя, на третьей пластине 4 расположен второй неподвижный электрод 10. In FIG. 1 is a perspective view of a compensation accelerometer; FIG. 2 is a circuit diagram of a compensation accelerometer. The compensation accelerometer (Fig. 1) comprises a housing 1 in which a first plate 2 of single-crystal material, for example silicon, is installed, a second plate 3 and a third plate 4. In the first plate 2, a fixed frame 5, a movable element 6 with an electrically conductive surface 7, and connecting a fixed frame 5 with a movable element 6 an elastic hinge 8 in the form of an elastic bridge. On the second plate 3 is located the first stationary electrode 9 of the differential capacitive transducer, on the third plate 4 is the second stationary electrode 10.

Между второй пластиной 3 и неподвижной рамкой 5 расположен платик 11 так, чтобы образовать зазор d между первым неподвижным электродом 9 и подвижным элементом 6. Такой же платик 12 расположен между третьей пластиной 4 и неподвижной рамкой 5. A plate 11 is located between the second plate 3 and the fixed frame 5 so as to form a gap d between the first fixed electrode 9 and the movable element 6. The same plate 12 is located between the third plate 4 and the fixed frame 5.

Корпус 1 закрыт крышкой 13. Case 1 is closed by a cover 13.

В дифференциальном емкостном преобразователе (фиг. 2) выполнены конденсаторы C1 и C2. Конденсатор C1 образован первым неподвижным электродом 9 и подвижным электродом, в качестве которого служит электропроводная поверхность 7 подвижного элемента 6. Конденсатор C2 образован вторым неподвижным электродом 10 и тем же самым подвижным электродом в виде электропроводной поверхности 7 подвижного элемента 6. In the differential capacitive converter (Fig. 2), capacitors C1 and C2 are made. The capacitor C1 is formed by the first fixed electrode 9 and the movable electrode, which is the electrically conductive surface 7 of the movable element 6. The capacitor C2 is formed by the second stationary electrode 10 and the same movable electrode in the form of the electrically conductive surface 7 of the movable element 6.

Один выход двухфазного генератора 14 напряжения переменного тока подключен через конденсатор C3 к первому неподвижному электроду 9. Второй выход двухфазного генератора 14 через конденсатор C4 подключен к второму неподвижному электроду 10. One output of the two-phase generator 14 of the AC voltage is connected through the capacitor C3 to the first stationary electrode 9. The second output of the two-phase generator 14 through the capacitor C4 is connected to the second stationary electrode 10.

Подвижный электрод в виде электропроводной поверхности 7 подвижного элемента 6 подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока 15 и через конденсатор C5 - к входу усилителя 16 с двумя противофазными выходами. The movable electrode in the form of an electrically conductive surface 7 of the movable element 6 is connected to a source of DC voltage reference 15 and through the capacitor C5 to the input of the amplifier 16 with two antiphase outputs.

К первому неподвижному электроду 9 подсоединен один вывод первого резистора R1, к второму неподвижному электроду 10 подсоединен один вывод второго резистора R2. К второму выводу первого резистора R1 подсоединены первые выводы третьего резистора R3 и четвертого резистора R4. Второй вывод третьего резистора R3 подключен к одному из противофазных выходов усилителя 16. К второму выводу второго резистора 2 подсоединены первые выводы пятого резистора R5 и шестого резистора R6. Второй вывод пятого резистора R5 подсоединен к второму выходу усилителя 16 с двумя противофазными выходами. Вторые выводы четвертого резистора R4 и шестого резистора R6 соединены с общей линией выхода генератора 14 и усилителя 16. One terminal of the first resistor R1 is connected to the first stationary electrode 9, and one terminal of the second resistor R2 is connected to the second stationary electrode 10. The first terminals of the third resistor R3 and the fourth resistor R4 are connected to the second terminal of the first resistor R1. The second terminal of the third resistor R3 is connected to one of the antiphase outputs of the amplifier 16. The first terminals of the fifth resistor R5 and the sixth resistor R6 are connected to the second terminal of the second resistor 2. The second output of the fifth resistor R5 is connected to the second output of the amplifier 16 with two antiphase outputs. The second terminals of the fourth resistor R4 and the sixth resistor R6 are connected to a common output line of the generator 14 and amplifier 16.

Компенсационный акселерометр работает следующим образом. При наличии ускорения a по измерительной оси компенсационного акселерометра, направленной перпендикулярной поверхности 7 подвижного элемента 6, на подвижный элемент 6 действует инерционный момент Mи
M=mlna, (1)
где m - масса подвижного элемента;
ln - расстояние центра масс подвижного элемента от оси упругого шарнира.Compensation accelerometer works as follows. In the presence of acceleration a along the measuring axis of the compensation accelerometer directed perpendicular to the surface 7 of the movable element 6, the inertial moment M acts on the movable element 6 and
M = ml n a, (1)
where m is the mass of the movable element;
l n is the distance of the center of mass of the moving element from the axis of the elastic hinge.

Под действием инерционного момента происходит угловое перемещение подвижного элемента 6, емкости конденсаторов C1, C2 дифференциального емкостного преобразователя изменяются, и с его выхода на вход усилителя 16 поступает сигнал рассогласования следящей системы компенсационного акселерометра. После преобразования и усиления сигнала рассогласования на каждом из противофазных выходов усилителя 16 появляется напряжение Uу. В результате на подвижный элемент 6 действует компенсационный момент Mк, вызванный пондемоторной силой

Figure 00000003

где ε - относительная диэлектрическая проницаемость среды между подвижным и неподвижным электродами;
εo - абсолютная диэлектрическая проницаемость;
Uо - напряжение источника опорного напряжения 15;
s - площадь каждого из подвижных и неподвижных электродов;
d - зазор между каждым неподвижным и подвижным электродами.Under the influence of the inertial moment, the movable element 6 is angularly displaced, the capacitances of the capacitors C1, C2 of the differential capacitive transducer are changed, and from its output to the input of the amplifier 16, a mismatch signal of the tracking system of the compensation accelerometer is received. After the conversion and amplification of the error signal at each of the antiphase outputs of the amplifier 16, a voltage U у appears. As a result, the compensation element M k acts on the movable element 6, caused by pondemotor force
Figure 00000003

where ε is the relative dielectric constant of the medium between the movable and fixed electrodes;
ε o - absolute dielectric constant;
U about the voltage of the source of the reference voltage 15;
s is the area of each of the movable and fixed electrodes;
d is the gap between each fixed and movable electrodes.

В момент компенсации
Mк = Mи (3)
В результате подстановки в (3) выражений (1), (2) и преобразования получается:

Figure 00000004

Таким образом измеряемое компенсационным акселерометром ускорение пропорционально выходному напряжению усилителя.At the time of compensation
M k = M and (3)
As a result of substituting expressions (1), (2) and transformation in (3), we obtain:
Figure 00000004

Thus, the acceleration measured by the compensation accelerometer is proportional to the output voltage of the amplifier.

Усилитель выдает максимальное выходное напряжение Uм. При напряжении Uу = Uм, если бы оно было приложено к неподвижным электродам 9, 10, максимальный верхний предел aвм диапазона измеряемых ускорений составил бы

Figure 00000005

В схеме фиг. 2 на каждый из неподвижных электродов 9, 10 подается максимальное напряжение Uэл
Figure 00000006

где r1 - сопротивление каждого из четвертого R4 и шестого R6 резисторов;
r2 - сопротивление каждого из третьего R3 и пятого резисторов R5.The amplifier gives the maximum output voltage U m . At a voltage U y = U m , if it were applied to the stationary electrodes 9, 10, the maximum upper limit a in the range of measured accelerations would be
Figure 00000005

In the circuit of FIG. 2 for each of the stationary electrodes 9, 10 the maximum voltage U el
Figure 00000006

where r 1 is the resistance of each of the fourth R4 and sixth R6 resistors;
r 2 is the resistance of each of the third R3 and fifth resistors R5.

Тогда частный верхний предел aв диапазона измеряемых ускорений составляет

Figure 00000007

При сравнении выражений (5), (6) получается:
Figure 00000008

Следовательно, выбором сопротивлений третьего, четвертого, пятого и шестого резисторов можно изменять верхний предел диапазон измеряемых ускорений, не изменяя массы подвижного элемента и зазора между подвижным и неподвижным электродами дифференциального емкостного преобразователя компенсационного акселерометра.Then the partial upper limit a in the range of measured accelerations is
Figure 00000007

When comparing expressions (5), (6) it turns out:
Figure 00000008

Therefore, by choosing the resistances of the third, fourth, fifth and sixth resistors, you can change the upper limit of the range of measured accelerations without changing the mass of the movable element and the gap between the movable and fixed electrodes of the differential capacitive transducer of the compensation accelerometer.

Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР N 1620944 кл. G 01 P 15/08. Электростатический акселерометр. 1992 г.Sources of information
1. Copyright certificate of the USSR N 1620944 class. G 01 P 15/08. Electrostatic accelerometer. 1992

2. Электростатический уравновешенный акселерометр. НТИ N 2 (62), 1992 г. "Пилотажно-навигационное оборудование за рубежом". Изд. ГОНТИ, 1992 г. 2. Electrostatic balanced accelerometer. NTI N 2 (62), 1992 "Flight and navigation equipment abroad." Ed. GONTI, 1992

Claims (2)

1. Компенсационный акселерометр, содержащий корпус, первую пластину из монокристаллического материала, в которой образованы неподвижная рамка, подвижный элемент и соединяющий их упругий шарнир, вторую и третью пластины, дифференциальный емкостный преобразователь с первым и вторым неподвижными электродами на второй и третьей пластинах соответственно и подвижным электродом, образованным электропроводной поверхностью подвижного элемента, первый и второй резисторы, причем подвижный электрод подключен к источнику опорного напряжения постоянного тока и к входу усилителя, к первому неподвижному электроду дифференциального емкостного преобразователя подключен один из выходов двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод первого резистора, к второму неподвижному электроду подключен другой выход двухфазного генератора напряжения переменного тока и один вывод второго резистора, отличающийся тем, что введены третий, четвертый, пятый и шестой резисторы, к второму выводу первого резистора подключены первые выводы третьего и четвертого резисторов, к второму выводу второго резистора подключены первые выводы пятого и шестого резисторов, второй вывод третьего резистора подключен к одному из противофазных выходов усилителя, вторые выводы четвертого и шестого резисторов подключены к общей линии генератора и усилителя, второй вывод пятого резистора подключен к другому противофазному выходу усилителя, при этом верхний предел ав диапазона измеряемых ускорений определяется соотношением
Figure 00000009

где авм - максимальный верхний предел диапазона измеряемых ускорений;
r1 - сопротивление четвертого или шестого резисторов;
r2 - сопротивление третьего или пятого резисторов.1. Compensation accelerometer containing a housing, a first plate of single-crystal material, in which a fixed frame, a movable element and an elastic hinge connecting them, a second and third plate, a differential capacitive transducer with the first and second stationary electrodes on the second and third plates, respectively, and movable, are formed the electrode formed by the conductive surface of the movable element, the first and second resistors, and the movable electrode is connected to a reference voltage source direct current and to the input of the amplifier, to the first fixed electrode of the differential capacitive converter, one of the outputs of the two-phase alternating current voltage generator and one output of the first resistor are connected, the other output of the two-phase alternating current voltage generator and one output of the second resistor are connected to the second fixed electrode, characterized in that the third, fourth, fifth and sixth resistors are introduced, the first conclusions of the third and fourth resistors are connected to the second output of the first resistor, to the second the first output of the fifth and sixth resistors are connected to the output terminal of the second resistor, the second output of the third resistor is connected to one of the antiphase outputs of the amplifier, the second outputs of the fourth and sixth resistors are connected to the common line of the generator and amplifier, the second output of the fifth resistor is connected to another antiphase output of the amplifier, this upper limit a in the range of measured accelerations is determined by the ratio
Figure 00000009

where a VM - the maximum upper limit of the range of measured accelerations;
r 1 is the resistance of the fourth or sixth resistors;
r 2 is the resistance of the third or fifth resistors. 2. Компенсационный акселерометр по п.1, отличающийся тем, что первая пластина выполнена из монокристаллического кремния. 2. The compensation accelerometer according to claim 1, characterized in that the first plate is made of monocrystalline silicon.
RU98112205A 1998-06-24 1998-06-24 Compensating acceleration meter RU2149412C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98112205A RU2149412C1 (en) 1998-06-24 1998-06-24 Compensating acceleration meter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU98112205A RU2149412C1 (en) 1998-06-24 1998-06-24 Compensating acceleration meter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98112205A RU98112205A (en) 2000-04-10
RU2149412C1 true RU2149412C1 (en) 2000-05-20

Family

ID=20207707

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98112205A RU2149412C1 (en) 1998-06-24 1998-06-24 Compensating acceleration meter

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2149412C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461838C1 (en) * 2011-04-04 2012-09-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Accelerometre

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Электростатический уравновешенный акселерометр. НТИ N 2 (63) Пилотажно-навигационное оборудование за рубежом, ГОНТИ, 1992. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2461838C1 (en) * 2011-04-04 2012-09-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" (ОАО "РПКБ") Accelerometre

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4584885A (en) Capacitive detector for transducers
US5440939A (en) Servo-controlled pendular micro-sensor
US5517123A (en) High sensitivity integrated micromechanical electrostatic potential sensor
US6515489B2 (en) Apparatus for sensing position of electrostatic XY-stage through time-division multiplexing
US7051590B1 (en) Structure for attenuation or cancellation of quadrature error
US4149231A (en) Capacitance-to-voltage transformation circuit
US5511420A (en) Electric field attraction minimization circuit
JPH05256870A (en) Small-sized silicon accelerometer and its method
JPH04269659A (en) Accelerometer using annular mass member
US6316948B1 (en) Charge balance network with floating ground capacitive sensing
CN101680910A (en) Method of work and circuit structure with capacitance type micro mechanical sensor of analog reset
Wolffenbuttel et al. Capacitance-to-phase angle conversion for the detection of extremely small capacities
KR20020004824A (en) Capacitance-type external-force detecting device with improved sensitivity
CN111693784A (en) Weak capacitance change measuring circuit
RU2149412C1 (en) Compensating acceleration meter
RU2344374C1 (en) Electrode structure for micromechanical gyroscope and micromechanical gyroscope with such structure (versions)
RU2566655C1 (en) Measurement of apparent acceleration and piezoelectric accelerometer to this end
US20080079435A1 (en) Electrostatic Voltmeter With Spacing-Independent Speed of Response
JP3282360B2 (en) Capacitive sensor
Emmerich et al. A novel micromachined magnetic-field sensor
RU2137141C1 (en) Compensation accelerometer
RU2158903C1 (en) Gyroscope-accelerometer with electrostatic suspension of rotor
JPS6394102A (en) Position detector
RU2184380C1 (en) Accelerometer of compensation type
JP3265807B2 (en) Capacitive sensor