RU2140335C1 - Manufacture of particles and products with specified properties - Google Patents
Manufacture of particles and products with specified properties Download PDFInfo
- Publication number
- RU2140335C1 RU2140335C1 RU98103729A RU98103729A RU2140335C1 RU 2140335 C1 RU2140335 C1 RU 2140335C1 RU 98103729 A RU98103729 A RU 98103729A RU 98103729 A RU98103729 A RU 98103729A RU 2140335 C1 RU2140335 C1 RU 2140335C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- particles
- copper
- coated
- thermal conductivity
- coating
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F1/00—Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
- B22F1/17—Metallic particles coated with metal
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2/00—Processes or devices for granulating materials, e.g. fertilisers in general; Rendering particulate materials free flowing in general, e.g. making them hydrophobic
- B01J2/006—Coating of the granules without description of the process or the device by which the granules are obtained
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
- B05D7/24—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials for applying particular liquids or other fluent materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D15/00—Electrolytic or electrophoretic production of coatings containing embedded materials, e.g. particles, whiskers, wires
- C25D15/02—Combined electrolytic and electrophoretic processes with charged materials
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3733—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon having a heterogeneous or anisotropic structure, e.g. powder or fibres in a matrix, wire mesh, porous structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/48225—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/095—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
- H01L2924/097—Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
- H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
Abstract
Description
Изобретение относится, к проектированию внутренних свойств частиц, изделий, производимых путем объединения частиц, и покрытий, образованных из частиц, а конкретнее касается производства изделий и покрытий, проектируемых так, чтобы иметь заранее выбранные удельные теплопроводности и коэффициенты температурного расширения, согласующиеся с такими же характеристиками тех материалов, к которым эти изделия и покрытия прикрепляются. The invention relates to the design of the internal properties of particles, products made by combining particles, and coatings formed from particles, and more particularly, to the production of products and coatings designed to have pre-selected specific thermal conductivities and thermal expansion coefficients consistent with the same characteristics those materials to which these products and coatings are attached.
Согласно "Правилу смесей" Лакке, внутренние физические свойства (например, удельная теплопроводность, коэффициент теплового расширения) гетерогенных изделий, составленных по меньшей мере из двух тщательно перемешанных материалов, имеют тенденцию изменяться приблизительно линейно в зависимости от отношения объема одного из этих материалов к объему другого материала. К примеру, можно ожидать, что гетерогенное изделие, составленное из 50-50 волюметрической смеси из одного материала, который имеет низкий коэффициент теплового расширения, и другого материала, который имеет высокий коэффициент теплового расширения, будет иметь коэффициент теплового расширения, который представляет собой среднее из коэффициентов теплового расширения обоих материалов. According to Lucke's Rule of Mixtures, the internal physical properties (for example, thermal conductivity, thermal expansion coefficient) of heterogeneous products composed of at least two carefully mixed materials tend to vary approximately linearly depending on the ratio of the volume of one of these materials to the volume of the other material. For example, it can be expected that a heterogeneous product made up of a 50-50 volumetric mixture of one material that has a low coefficient of thermal expansion, and another material that has a high coefficient of thermal expansion, will have a coefficient of thermal expansion, which is the average of thermal expansion coefficients of both materials.
В известном способе производства гетерогенных изделий смесь из двух металлических порошков, которые имеют разные удельные теплопроводности и коэффициенты теплового расширения, уплотняется и спекается для получения изделия. Это изделие имеет запроектированный коэффициент теплового расширения, который примерно соответствует коэффициенту теплового расширения того объекта, к которому изделие предназначено прикрепляться, и запроектированную удельную теплопроводность. In the known method for the production of heterogeneous products, a mixture of two metal powders, which have different specific thermal conductivities and thermal expansion coefficients, is compacted and sintered to produce the product. This product has a projected coefficient of thermal expansion, which approximately corresponds to the coefficient of thermal expansion of the object to which the product is intended to be attached, and the projected thermal conductivity.
Известно техническое решение, в котором для придания частицам желательного значения внутреннего свойства (удельной теплоемкости и/или коэффициента теплового расширения), отличавшегося от первоначального значения этого свойства, на частицы наносят покрытие, которое имеет другое значение упомянутого внутреннего свойства. При этом значение внутреннего свойства покрытых частиц зависит от отношения объема, покрытия к объему частиц (патент США N 5184662, кл. B 22 D 19/00, 1993). A technical solution is known in which in order to impart to the particles the desired value of the internal property (specific heat and / or coefficient of thermal expansion), which differs from the initial value of this property, the particles are coated, which has a different value of the said internal property. The value of the internal property of the coated particles depends on the ratio of volume, coating to volume of particles (US patent N 5184662, CL B 22 D 19/00, 1993).
Известна покрытая частица, содержащая дискретную сердцевинную частицу, содержащую первый материал, причем упомянутая сердцевинная частица имеет первое значение по меньшей мере одного внутреннего свойства, а покрытие содержит второй материал, и образовано на поверхности упомянутой сердцевинной частицы, причем упомянутое покрытие имеет второе значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства, упомянутое второе значение отличное от упомянутого первого значения, объем упомянутого покрытия находится в отношении к объему упомянутой сердцевинной частицы, при этом упомянутая покрытая частица проявляет третье значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства, при этом упомянутые первый и второй материалы и упомянутый объем упомянутого покрытия по отношению к упомянутому объему упомянутой сердцевинной частицы выбираются так, чтобы упомянутая покрытая частица проявляла, упомянутое значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства, причем упомянутое третье значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства является функцией упомянутых первого и второго значений и упомянутого объема, упомянутое третье значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства отлично от упомянутых первого и второго значений (патенты США N 4711814, кл. B 05 D 5/12, 1987, N 5184662, кл. B 22 D 19/00, 1993). A coated particle is known comprising a discrete core particle containing a first material, said core particle having a first value of at least one internal property and a coating containing a second material and formed on a surface of said core particle, said coating having a second value of said at least at least one internal property, said second value different from said first value, the volume of said coating is relative to the volume said core particle, wherein said coated particle exhibits a third value of said at least one internal property, wherein said first and second materials and said volume of said coating with respect to said volume of said core particle exhibits such that said coated particle exhibits said the value of said at least one intrinsic property, said third value of said at least one intrinsic property being is a function of said first and second values and said volume, said third value of said at least one internal property is different from said first and second values (US Pat. Nos. 4,711,814, cl. B 05 D 5/12, 1987, N 5184662, cl. B 22 D 19/00, 1993).
Известно также техническое решение изготовления изделия, включающее заготовку множества частиц, содержащих первый материал с первым значением по меньшей мере одного внутреннего свойства, образование покрытия, содержащего второй материал со вторым значением упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства, объединение упомянутых покрытых частиц таким образом, чтобы упомянутые частицы соединились друг с другом для образования упомянутого изделия с выбранной плотностью, и в котором дискретные слои покрытий на частицах практически сохраняются, так что второй материал и первый материал практически не смешиваются и не сплавляются, выбор упомянутых первого и второго материалов, осуществляемое таким образом, чтобы упомянутое изделие проявляло третье значение упомянутого по меньшей мере одного внутреннего свойства, и выбор упомянутой плотности для управления упомянутым внутренним свойством, как функцией температуры (патент США N 4894293, кл. C 22 C 9/00, 1990). There is also known a technical solution for manufacturing an article of manufacture, comprising preforming a plurality of particles containing a first material with a first value of at least one internal property, forming a coating containing a second material with a second value of said at least one internal property, combining said coated particles so that said particles are joined together to form said article with a selected density, and in which discrete coating layers on the particles are practical are stored so that the second material and the first material practically do not mix and do not fuse, the selection of said first and second materials, carried out so that said article exhibits a third value of said at least one internal property, and a choice of said density to control said internal property as a function of temperature (US patent N 4894293, CL C 22 C 9/00, 1990).
Известно также изготовление слоистого изделия с различными значениями выбранного свойства у каждого слоя для присоединения друг к другу двух объектов с различными значениями этого внутреннего свойства (патент США N 4602956, кл. C 22 C 29/12, 1986). It is also known to manufacture a layered product with different values of the selected property of each layer for attaching to each other two objects with different values of this internal property (US patent N 4602956, CL C 22 C 29/12, 1986).
Известные технические решения, характеризующие способ производства гетерогенных изделий, нанесение покрытия на частицы, изготовление покрытых частиц с дискретной сердцевинной частицей, изделие, изготовленное из множества покрытых частиц, а также слоистое изделие - являются наиболее близкими к настоящей группе изобретений по технической сущности и достигаемому результату при их использовании. Решая возложенные на них задачи, они тем не менее не обеспечивают создание изделий с заданными параметрами удельной теплопроводности и коэффициента теплового расширения в заданных диапазонах. Кроме того, изготавливаемые изделия не обеспечивают стабильной воспроизводимости упомянутых параметров от образца, к образцу. Known technical solutions that characterize the method of manufacturing heterogeneous products, coating particles, manufacturing coated particles with a discrete core particle, an article made of a plurality of coated particles, and also a layered product are the closest to this group of inventions in terms of technical nature and the achieved result with their use. Solving the tasks assigned to them, they nevertheless do not provide for the creation of products with given parameters of specific thermal conductivity and coefficient of thermal expansion in given ranges. In addition, the manufactured products do not provide stable reproducibility of the mentioned parameters from sample to sample.
Задача, на решение которой направлена данная группа изобретений, заключается в создании частиц, изделий с заранее заданными параметрами удельной теплопроводности и коэффициента теплового расширения, при этой обеспечивается более высокая надежность воспроизводимости указанных параметров у создаваемых изделий. The problem to which this group of inventions is directed is to create particles, products with predetermined parameters of specific thermal conductivity and coefficient of thermal expansion, while providing higher reliability of the reproducibility of these parameters for the created products.
Упомянутый технический результат достигается за счет предлагаемой технологии и параметров и режимов, сопровождающих процесс изготовления изделий. The mentioned technical result is achieved due to the proposed technology and the parameters and modes that accompany the manufacturing process.
В одном своем аспекте изобретение определяет покрытие частицы, изготовленной из первого материала, вторым материалом так, что отношение объема этого покрытия к объему самой частицы практически равно выбранному отношению объемов. Первый и второй материалы и отношение объемов выбираются так, чтобы заставить покрытую частицу проявлять по меньшей мере одно выбранное внутреннее свойство, которое является функцией внутренних свойств первого и второго материалов. Первый материал является, например, вольфрамом, молибденом, графитом, карбидом кремния или алмазом. Второй материал является, например, медью. In one aspect, the invention defines a coating of a particle made of the first material with a second material such that the ratio of the volume of this coating to the volume of the particle itself is almost equal to the selected volume ratio. The first and second materials and the volume ratio are selected so as to cause the coated particle to exhibit at least one selected internal property, which is a function of the internal properties of the first and second materials. The first material is, for example, tungsten, molybdenum, graphite, silicon carbide or diamond. The second material is, for example, copper.
В другом аспекте изобретение определяет производство изделия из частиц, управляемое таким образом, чтобы заставить изделие иметь выбранную плотность. Частицы, по меньшей мере часть из которых содержит первый материал и имеет поверхности, на которых образовано покрытие, содержащее второй материал, объединяются, чтобы заставить их соединиться друг с другом для образования изделия выбранной плотности. Первый и второй материалы выбираются так, чтобы изделие проявляло выбранное внутреннее свойство, а плотность выбирается так, чтобы это внутреннее свойство проявляло запроектированное поведение как функция температуры. К примеру, степень линейности коэффициента теплового расширения изделия, образованного из объединенных частиц, зависит от плотности изделия. Посредством выбора и управления плотностью изделия управляется поведение коэффициента теплового расширения как функция температуры, и, в общем случае, дополнительно уточняется выбор коэффициента теплового расширения. In another aspect, the invention defines the manufacture of an article of particles controlled in such a way as to make the article have a selected density. Particles, at least part of which contains the first material and has surfaces on which a coating containing the second material is formed, are combined to cause them to join together to form an article of a selected density. The first and second materials are selected so that the product exhibits the selected internal property, and the density is selected so that this internal property exhibits the projected behavior as a function of temperature. For example, the degree of linearity of the coefficient of thermal expansion of the product formed from the combined particles depends on the density of the product. By selecting and controlling the density of the product, the behavior of the coefficient of thermal expansion as a function of temperature is controlled, and, in the general case, the choice of coefficient of thermal expansion is further refined.
В другом аспекте изобретение определяет производство изделия из частиц, причем это изделие имеет две или более части, имеющие различные внутренние свойства. Первое множество частиц содержит по меньшей мере один материал, а второе множество частиц содержит по меньшей мере один другой материал. Первое множество частиц и второе множество частиц объединяются для соединения первого множества частиц друг с другом для образования первой части (например, слоя) изделия, а второе множество частиц соединяется вместе для образования второй части изделия; частицы, расположенные около поверхности раздела между первой и второй частями изделия, соединяются вместе. Первая и вторая части изделия проявляют разные выбранные внутренние свойства согласно композициям (и отношение объемов) частиц. In another aspect, the invention defines the manufacture of an article of particles, wherein the article has two or more parts having different internal properties. The first plurality of particles contains at least one material, and the second plurality of particles contains at least one other material. The first plurality of particles and the second plurality of particles are combined to connect the first plurality of particles to each other to form a first part (eg, a layer) of an article, and the second plurality of particles are joined together to form a second part of an article; particles located near the interface between the first and second parts of the product are connected together. The first and second parts of the product exhibit different selected internal properties according to the compositions (and volume ratio) of the particles.
К примеру, первая и вторая части могут иметь разные коэффициенты теплового расширения, и изделие может быть включено непосредственно между двумя объектами с разными коэффициентами теплового расширения, которые соответствуют коэффициентам теплового расширения этих двух частей. Имеется лишь одна граница (расположенная на поверхности раздела между двумя частями изделия), на которой коэффициенты теплового расширения не совпадают, а не серия таких границ, расположенных между следующими друг за другом слоями разнородных изделий. Границы между частицами имеют тенденцию поглощать напряжения от тепловою расширения, и, следовательно, предотвращается растрескивание или расслоение на соединении между двумя частями. For example, the first and second parts can have different coefficients of thermal expansion, and the product can be included directly between two objects with different coefficients of thermal expansion, which correspond to the coefficients of thermal expansion of these two parts. There is only one boundary (located on the interface between the two parts of the product) at which the thermal expansion coefficients do not coincide, and not a series of such boundaries located between successive layers of dissimilar products. The boundaries between the particles tend to absorb stress from thermal expansion, and therefore, cracking or delamination at the joint between the two parts is prevented.
Многочисленные признаки, цели и преимущества изобретения станут яснее из нижеследующего подробного описания и из формулы изобретения. Numerous features, objects, and advantages of the invention will become clearer from the following detailed description and from the claims.
Фиг. 1 показывает сечение покрытой частицы по изобретению. FIG. 1 shows a cross section of a coated particle of the invention.
Фиг. 2 иллюстрирует объединение покрытых частиц по фиг. 1 посредством уплотнения. FIG. 2 illustrates the combination of coated particles of FIG. 1 through compaction.
Фиг. 3 показывает слой покрытых частиц по фиг. 1, нанесенный на поверхность изделия. FIG. 3 shows a layer of coated particles of FIG. 1, applied to the surface of the product.
Фиг. 4 иллюстрирует корпус электроники, который включает в себя комбинацию конструктивной, тепловой и заземляющей пластин, изготовленных из покрытых частиц по фиг. 1, и выводных рамок, изготовленных из покрытых частиц по фиг. 1. FIG. 4 illustrates an electronics enclosure that includes a combination of structural, thermal, and ground plates made of coated particles of FIG. 1, and lead frames made of the coated particles of FIG. 1.
Фиг. 5 является диаграммой, иллюстрирующей расширение изделия в функции температуры при плотностях 90%, 95% и 100%. FIG. 5 is a diagram illustrating product expansion as a function of temperature at densities of 90%, 95%, and 100%.
Фиг. 6 иллюстрирует объединение двух отдельных слоев покрытых частиц по фиг. 1 посредством уплотнения. FIG. 6 illustrates the combination of two separate layers of coated particles of FIG. 1 through compaction.
Фиг. 7 отображает гибридный корпус электроники, используемый для размещения в нем интегральных схем, который изготавливается из покрытых частиц по фиг. 1. FIG. 7 depicts a hybrid electronics housing used to accommodate integrated circuits in it, which is made of coated particles of FIG. 1.
Фиг. 8 показывает корпус электроники с низкотемпературной керамической подложкой, которая прокаливается, когда поддерживает предварительно спеченную комбинацию конструктивной, тепловой и заземляющей пластин, изготовленных из покрытых частиц по фиг. 1. FIG. 8 shows an electronics housing with a low-temperature ceramic substrate that is calcined when it supports a pre-sintered combination of structural, thermal, and ground plates made of coated particles of FIG. 1.
Фиг. 9 показывает высокомощный полупроводниковый компрессионный модуль, содержащий полупроводниковый прибор, который прижат под давлением к теплоотводу, образованному из покрытых частиц по фиг. 1. FIG. 9 shows a high-power semiconductor compression module comprising a semiconductor device that is pressed under pressure to a heat sink formed from coated particles of FIG. 1.
Фиг. 10 показывает сечение покрытой частицы по изобретению, причем частица имеет тонкое пограничное предварительное покрытие. FIG. 10 shows a cross section of a coated particle according to the invention, the particle having a thin boundary precoating.
Фиг. 11 показывает покрытые частицы по фиг. 10, электролитически осаждаемые на изделие совместно с матричным материалом. FIG. 11 shows the coated particles of FIG. 10 electrolytically deposited on the product together with the matrix material.
Фиг. 12 показывает предварительно покрытые частицы, электролитически осаждаемые на изделие совместно с матричным материалом. FIG. 12 shows precoated particles electrolytically deposited onto an article in conjunction with matrix material.
На чертежах, а конкретнее на их фиг. 1 частица 12, которая может иметь всего несколько микрон в диаметре и которая включает в себя элементный металл, металлический сплав или неметалл, покрыта покрытием 14 из элементного металла, металлического сплава или неметалла для образования покрытой частицы 10. Покрытая частица 10 проявляет запроектированные внутренние физические свойства (например, удельную теплопроводность или коэффициент теплового расширения) и/или внутренние механические свойства (например, прочность на разрыв). Внутренние физические свойства (но не внутренние механические свойства) покрытой частицы 10 имеют тенденцию вести себя в соответствии с правилом смесей Лакке, согласно которому внутренние физические свойства изменяются примерно линейно с отношением объема покрытия 14 к объему частицы 12. Механические свойства меняются нелинейно с отношением объема покрытия 14 к объему частицы 12. In the drawings, and more specifically in FIG. 1,
Покрытие 14 сцеплено с частицей 12 посредством, например, осаждения методом химического восстановления (метод, рассматриваемый ниже). Внутренние свойства покрытой частицы 10 проектируются путем управления отношением объема покрытия 14 к объему частицы 12, что может достигаться двумя путями: 1) управлением размером частицы 12, либо 2) управлением толщиной покрытия 14. The
Частица 12 включает в себя, к примеру, элементный вольфрам, покрытие 14 включает в себя элементную медь, и отношение объемов меди к вольфраму составляет 27: 73%. Медь имеет высокую удельную теплопроводность приблизительно 391 Вт/м•град К (ватт на метр и градус Кельвина) и относительно высокий коэффициент теплового расширения приблизительно 17,5 мил. частей/град C (миллионных частей на градус Цельсия) в температурном диапазоне от 25 до 400oC, тогда как вольфрам имеет относительно низкую удельную теплопроводность приблизительно 164 Вт/м•град К и относительно низкий коэффициент теплового расширения приблизительно 4,5 мил.частей/град C в диапазоне от 25 до 400oC. Покрытая медью вольфрамовая частица 10 имеет удельную теплопроводность приблизительно 226 Вт/м•град К при 25oC (промежуточную между высокой удельной теплопроводностью меди и более низкой удельной теплопроводностью вольфрама) и запроектированный коэффициент теплового расширения приблизительно 8,2 мил.частей/град К (промежуточный между низким коэффициентом теплового расширения вольфрама и более высоким коэффициентом теплового расширения меди) в диапазоне от 25 до 400oC.
На фиг. 2 показано штамповочно-прессовое устройство 16, включающее пуансон 18 и форму 20, которое используется для объединения покрытых частиц 10 в изделие 22 путем уплотнения (при этом покрытые частицы 10 имеют запроектированные свойства, как описано в связи с фиг. 1). Уплотненное изделие 22 спечено в твердом состоянии (спечено при температуре ниже точки плавления частиц и точки плавления покрытий этих частиц) или, альтернативно, спечено в жидкой фазе (спечено при температуре выше точки плавления покрытий, но ниже точки плавления частиц). Плавление вызывает образование границ между частицами для получения гетерогенного изделия. Покрытие частиц, таким образом, служит в качестве "матричного материала" (материала, который удерживает частицы вместе, образуя изделие). In FIG. 2 shows a
Изделие 22 имеет запроектированные внутренние физические свойства (например, удельную теплопроводность и/или коэффициент теплового расширения) и/или внутренние механические свойства (на пример, прочность на разрыв), соответствующие свойствам покрытых частиц 10, из которых изготовлено изделие. Запроектированные внутренние свойства покрытых частиц 10 проявляются с высокой степенью равномерности и изотропии по всему изделию 22 потому, что каждая частица 10 имеет равномерное покрытие, и потому, что нет неотъемлемой случайности в распределении различных материалов или разделения между различными материалами внутри изделия 22. Тем самым внутренние свойства изделия 22 запроектированы на "уровне частиц", а не на "уровне изделия". Изделие 22 представляет собой, например, тепловую и конструктивную пластину для корпуса электроники, причем тепловая и конструктивная пластина запроектирована иметь коэффициент теплового расширения, совпадающий с таким же коэффициентом объекта, к которому она прикрепляется, и запроектирована иметь высокую удельную теплопроводность, как описано ниже в связи с фиг. 4. The
Покрытые медью вольфрамовые частицы, к примеру, имеющие отношение объемов меди к вольфраму 27:73%, уплотняются в прессе 16 при усилии 200 тонн на квадратный дюйм площади поверхности для достижения полной плотности (выше плотности приблизительно 90%), и уплотненные покрытые частицы спекаются в твердом состоянии в водородной атмосфере при 1950 градусах Фаренгейта в течение примерно получаса. Copper-coated tungsten particles, for example, having a ratio of copper to tungsten volumes of 27: 73%, are compacted in
Покрытые частицы 10 могут объединяться не только так, как описано выше, но эти покрытые частицы могут также наноситься на объекты в качестве покрытий. На фиг. 3 показано покрытие 28 из покрытых частиц 10 с запроектированными свойствами. Покрытие 28 наносится на поверхность изделия 30 из металла, металлического сплава или неметалла через маску 29 для нанесения покрытия. Изделие 30 может альтернативно быть изделием, которое само образовано из покрытых частиц посредством любого из рассмотренных выше методов. В процессе нанесения покрытые частицы, например, покрытые медью вольфрамовые частицы с отношением объемов меди к вольфраму 27:73%, помещаются в жидкость, и покрытие образуется из частиц, например, окиси бериллия посредством одного из методов нанесения, подробно рассматриваемых ниже. Таким образом, возможно создавать покрытие непосредственно на изделии без необходимости применять соединение между покрытием и изделием.
Покрытие 28 имеет запроектированные внутренние физические свойства (например, удельную теплопроводность, коэффициент теплового расширения) и/или внутренние механические свойства (например, прочность на разрыв), которые совпадают со свойствами покрытых частиц, из которых изготовлены эти покрытия. Запроектированные внутренние свойства покрытых частиц проявляются с высокой степенью равномерности и изотропии во всем покрытии 28 потому, что каждая частица покрыта равномерно, и потому, что отсутствует неотъемлемая случайность в распределении различных материалов или разделение между различными материалами внутри покрытия 28. Таким образом, внутренние свойства покрытия 28 проектируются на "уровне частиц", а не на "уровне покрытия". Заметим, однако, что описанный выше метод нанесения может также воплощаться и в том случае, когда покрытие 28 не содержит покрытых частиц, но вместо этого состоит из смеси различных частиц, выбранных из двух различных материалов в подходящем соотношении объемов.
На фиг. 4 показан корпус 32 электроники, который включает в себя полупроводниковые приборы 34, установленные на подложке 35, причем эта подложка 35 поддерживается комбинированной конструктивной, тепловой и заземляющей пластиной 36, образованной из покрытых частиц. Полупроводниковые приборы 34 представляют собой, к примеру, высокомощные твердотельные переключающие приборы (такие, как те, которые могут включаться в схему транспортного средства с электрическим двигателем) и вырабатывают в процессе работы значительные количества тепла. Подложка 35, к которой полупроводниковые приборы 34 прикреплены посредством клеевой связи, диффузионной связи, твердого или мягкого припоя либо пайки, образована из материала, выбранного так, чтобы его коэффициент теплового расширения примерно совпадал с таким же коэффициентом полупроводниковых приборов 34, как это известно из уровня техники, чтобы облегчить прикрепление полупроводниковых приборов 34 к подложке 35. Конструктивная пластина 36 изготовлена согласно настоящему изобретению из покрытых частиц. Материал частиц, материал покрытия и отношение объемов материала покрытия к материалу частиц выбраны так, чтобы конструктивная пластина 36 имела высокую удельную теплопроводность (чтобы дать ей возможность работать в качестве теплоотвода и тепловой пластины) и при этом имела коэффициент теплового расширения, практически совпадающий с коэффициентом теплового расширения подложки 35. И удельная теплопроводность, и коэффициент теплового расширения в высокой степени равномерны и изотропны во всей конструктивной пластине 36. In FIG. 4 shows an
Подложка 35 образована, к примеру, из нитрида алюминия с коэффициентом теплового расширения приблизительно 4,4 мил.частей/градoC в диапазоне от 25 до 400oC. Конструктивная пластина 36 выполнена из покрытых медью графитовых частиц с отношением объемов меди к графиту 24:76%. Это отношение объемов обеспечивает удельную теплопроводность приблизительно 325 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 4,3 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который точно совпадает с этим коэффициентом для подложки 35 из нитрида алюминия. Медный матричный материал обеспечивает высокую прочность на разрыв (внутреннее механическое свойство) в конструктивной пластине 36. Альтернативно, конструктивная пластина 36 выполнена из покрытых медью алмазных частиц с отношением объемов меди к алмазу 20:80%. Это отношение объемов обеспечивает удельную теплопроводность приблизительно 781 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 4,8 мил. частей/град C (от 25 до 400oC).The
Альтернативно, подложка 35 образована из окиси бериллия (BeO) с коэффициентом теплового расширения приблизительно 7,6 мил.частей/град C (от 25 до 400oC). Конструктивная пластина 36 выполнена из покрытых медью графитовых частиц с отношением объемов меди к графиту 42:58%. Это отношение объемов обеспечивает удельную теплопроводность приблизительно 380 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 7,6 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который точно совпадает с таким же коэффициентом подложки 35 из окиси бериллия. Альтернативно, конструктивная пластина 36 выполнена из покрытых медью алмазных частиц с отношением объемов меди к алмазу 37:63%. Это отношение объемов обеспечивает удельную теплопроводность приблизительно 698 В/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 7,6 мил. частей/град C (от 25 до 400oC). Альтернативно, конструктивная пластина 36 выполнена из покрытых медью вольфрамовых частиц с отношением объемов меди к вольфраму приблизительно 27: 73%. Это отношение объемов обеспечивает удельную теплопроводность приблизительно 226 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 8,2 мил.частей/град C (от 25 до 400oC).Alternatively, the
Конструктивная пластина 36 прикреплена к подложке 35 следующим образом. Тонкий слой покрытых частиц осаждается сначала на нижнюю поверхность подложки 35, как показано на фиг. 3, в соответствии с описанным ниже методом. Затем конструктивная пластина 36, которая уплотнена (так, как описано выше для фиг. 2), но еще не спечена, приводится в соприкосновение с поверхностью нанесения подложки 35. Затем эта конструкция спекается, чтобы заставить подложку 35 и конструктивную пластину 36 соединиться вместе в единую конструкцию. Альтернативно, конструктивная пластина 36 связана с подложкой 35 пайкой, твердым или мягким припоем, диффузией или клеевым соединением. The
Выводные рамки 38, к которым полупроводниковые приборы 34 прикреплены посредством проводных связей 40, передающих питание, заземление, входные и выходные сигналы на полупроводниковые приборы 34 и от них, также изготавливаются из покрытых частиц согласно настоящему изобретению, чтобы иметь коэффициент теплового расширения, практически совпадающий с коэффициентом теплового расширения подложки 35. Подложка 35 образована, например, из окиси бериллия (BeO) с коэффициентом теплового расширения приблизительно 7,6 мил. частей/град C (от 25 до 400oC), а выводная рамка 38 изготовлена из покрытых медью частиц никеля 42 (никель 42 представляет собой железо-никелевый сплав) с отношением объемов меди к никелю 42 в 20:80%, удельной теплопроводностью приблизительно 86,78 Вт/м•град К и коэффициентом теплового расширения приблизительно 8,1 мил.частей/град C (от 25 до 400oC). Заметим, что покрытый медью никель 42 не должен иметь такой высокой удельной теплопроводности, как покрытый медью графит, используемый в конструктивной пластине 36, потому что выводные рамки 38 не предназначены выполнять функции теплоотвода. Альтернативно, однако, выводные рамки 38 могут изготавливаться из тех же самых покрытых частиц, из которых изготавливается конструктивная пластина 36. Выводные рамки 38 наносятся через маску для нанесения покрытия прямо на верхнюю поверхность подложки 35 согласно методу, описанному выше в связи в фиг. 3. В одном выполнении выводные рамки 38 спекаются, чтобы обеспечить достижение выводными рамками желательной плотности.The lead frames 38 to which the
Даже при заданных больших уровнях мощности, тепловых плотностях и рабочих частотах, которые характерны для новой мощной электронной техники, и при больших и быстрых изменениях в температуре, которые в результате обычно происходят во время работы полупроводниковых приборов 34, маловероятно, что появятся трещины и отслоения в соединениях подложки 35 и выводных рамок 38 и между подложкой 35 и конструктивной пластиной 36, вследствие практического совпадения коэффициентов теплового расширения в соединении и из-за равномерности и изотропности, с которыми удельная теплопроводность и коэффициенты теплового расширения проявляются во всей конструктивной пластине 36 и во всех выводных рамках 38. Вследствие этого вся конструкция 32 корпуса имеет длительный срок службы. Even with given large power levels, thermal densities and operating frequencies that are characteristic of new powerful electronic equipment, and with large and rapid changes in temperature that usually occur during operation of
Запроектированные внутренние свойства изделия, изготовленного согласно описанному выше методу, не только являются функцией материалов, выбранных для частиц и покрытий частиц и функцией отношения объемов покрывающего материала к материалу, из которого образованы сами эти частицы, но, в дополнение к этому, на поведение этих внутренних свойств подобных изделий в зависимости от температуры (например, степень линейности коэффициента теплового расширения в зависимости от температуры) влияют плотности изделия. Таким образом, управляя плотностью такого изделия, можно приблизить поведение коэффициента теплового расширения изделия в зависимости от температуры к коэффициенту теплового расширения керамики (который ведет себя нелинейно в зависимости от температуры) в критических температурных диапазонах обработки. The designed internal properties of the product manufactured according to the method described above are not only a function of the materials selected for particles and particle coatings and a function of the ratio of the volumes of the coating material to the material from which these particles are formed, but, in addition, on the behavior of these internal the properties of such products depending on temperature (for example, the degree of linearity of the coefficient of thermal expansion depending on temperature) affect the density of the product. Thus, by controlling the density of such a product, it is possible to approximate the behavior of the coefficient of thermal expansion of the product depending on temperature to the coefficient of thermal expansion of ceramics (which behaves non-linearly depending on temperature) in the critical temperature ranges of processing.
Фиг. 5 представляет график теплового расширения в миллионных частях как функцию температуры для изделий, образованных из покрытых медью вольфрамовых частиц с отношением объемов меди к вольфраму 27:73% (15% меди к 85% вольфрама по весу) при плотностях приблизительно 100% (теоретическая плотность), 95% и 90%, и для двух керамических материалов (BeO и Al2O3), с которыми характер расширения изделия может приблизительно совпадать в критических температурных диапазонах обработки за счет выбора подходящей плотности. Отметим, что степень, до которой расширяется изделие (т.е. значение коэффициента теплового расширения), уменьшается при уменьшении плотности. Тем самым можно выбирать поведение коэффициента теплового расширения (или поведение других свойств, таких как удельная теплопроводность) в зависимости от температуры, и в целом можно тем самым дополнительно уточнять физические свойства путем выбора плотности, при которой изготавливается изделие. Отметим, что свойствами изделий, изготавливаемых из непокрытых частиц, также можно управлять путем выбора плотностей, при которых эти изделия изготавливаются.FIG. 5 is a graph of thermal expansion in parts per million as a function of temperature for articles formed from copper-coated tungsten particles with a ratio of copper to tungsten volumes of 27: 73% (15% copper to 85% tungsten by weight) at densities of about 100% (theoretical density) , 95% and 90%, and for two ceramic materials (BeO and Al 2 O 3 ), with which the nature of the expansion of the product can approximately coincide in the critical temperature ranges of processing by choosing the appropriate density. Note that the degree to which the product expands (i.e., the coefficient of thermal expansion) decreases with decreasing density. Thus, it is possible to choose the behavior of the coefficient of thermal expansion (or the behavior of other properties, such as thermal conductivity) depending on the temperature, and in general, it is thereby possible to further refine the physical properties by choosing the density at which the product is manufactured. Note that the properties of products made from uncoated particles can also be controlled by selecting the densities at which these products are made.
Способы покрытия
Обратимся сначала к способам покрытия самих частиц. Затем рассмотрим способы нанесения на изделия покрытий из покрытых частиц.Coating Methods
We turn first to the methods of coating the particles themselves. Then, we consider methods of applying coatings of coated particles to articles.
На фиг. 1 покрытие 14 нанесено на частицу 12 с помощью использования соответствующего процесса осаждения методом химического восстановления (автокаталитического осаждения). Подлежащие покрытию частицы помещаются в ванну химического восстановления, которая содержит водный раствор ионов металла, один или более химических восстановителей, катализатор, один или более комплексообразующих реагентов и один или более ванновых антикоагуляторов. Ионы металла автокаталитически или химически восстанавливаются до металла с помощью восстановителя или восстановителей, при этом восстановитель или восстановители действуют как доноры электронов, а ионы металла действуют как акцепторы электронов. Катализатор ускоряет реакцию химического восстановления. Комплексообразующий реагент или реагенты используются для управления показателем pH раствора и для управления величиной "свободных" ионов металла, доступных для растворения. Антикоагуляторы действуют как каталитические ингибиторы для торможения возможного спонтанного разложения ванны. В одном выполнении, к примеру, подвергаемые нанесению частицы являются частицами графита, алмаза или карбида кремния, ионы меди поставляются водным сульфатом меди, восстановителем является формальдегид, катализатор представляет собой палладий, комплексообразующий реагент - один или более из группы, куда входят: сегнетова соль, виннокислый этилендиамин (EDTA), гидроокись аммония, пиридин-3-сульфокислота и/или виннокислый калий, а антикоагулятор - один или более из группы, куда входят: тиодигликолевая кислота, МВТ, тиомочевина, цианистый натрий и/или окись ванадия. In FIG. 1, coating 14 is applied to
Осаждение методом химического восстановления создает либо механическую связь, либо химическую связь между покрытием 14 и частицей 12. Эта связь, как правило (но не всегда), будет механической, если либо покрытие 14, либо частица 12 является неметаллом, и, как правило, будет химической, если и покрытие 14, и частица 12 являются металлами. Precipitation by chemical reduction creates either a mechanical bond or a chemical bond between
Альтернативные способы покрытия частиц включают в себя электролитическое нанесение, напыление из газообразной среды и напыление из жидкой среды. Alternative methods for coating particles include electrolytic deposition, sputtering from a gaseous medium, and sputtering from a liquid medium.
Как показано на фиг. 10, в некоторых выполнениях, в которых покрытие 14 образовало бы только механическую связь с частицей 12, если бы покрытие 14 было нанесено прямо на частицу осаждением путем химического восстановления, частица 12 предварительно покрыта сверхтонким слоем 68 (на чертежах толщина увеличена) материала предварительного покрытия, а затем нанесено покрытие 14. Предварительное покрытие (пограничное покрытие) 68 прочно связано с частицей 12 и покрытием 14, создавая прочную, стойкую к разрушению химически связанную покрытую частицу 10. Например, если частица 12 является графитом или алмазом, а покрытие 14 представляет собой медь, то покрытие 14 образовало бы механическую связь с графитом или алмазом, если бы покрытие 14 было нанесено прямо на графит или алмаз. Вместо этого на частицу 12 сначала наносится предварительное покрытие 68 из такого металла, как хром или кобальт-вольфрамовый сплав с толщиной в диапазоне от 200 до нескольких тысяч ангстрем, причем предварительное покрытие 68 образует когезионный состав с частицей 12 на поверхности раздела между предварительным покрытием 68 и частицей 12. Затем покрытие 14 наносится на хромовое или кобальт-вольфрамовое предварительное покрытие 68, при этом предварительное покрытие 68 образует металлургическую связь с покрытием 14. Предварительное покрытие практически не влияет на удельную теплопроводность или коэффициент теплового расширения покрытой частицы 10, потому что это предварительное покрытие является сверхтонким. В одном выполнении малая управляемая величина палладиевого или борового катализатора осаждается совместно с кобальт-вольфрамовым материалом предварительного покрытия, причем этот катализатор служит для ускорения реакции химического восстановления, посредством которой медное покрытие 14 осаждается на кобальт-вольфрамовое предварительное покрытие 68. As shown in FIG. 10, in some embodiments, in which the
Предварительное покрытие используется также, когда покрытие 14 реагирует с частицей 12, разъедается ею или разрушается от нее каким-либо иным путем, либо наоборот. Например, если частица 12 представляет собой графит или алмаз, а покрытие 14 - алюминий, то высокореагентный алюминий растворял бы графит или алмаз, если бы покрытие 14 было нанесено прямо на частицу 12. Вместо этого на частицу 12 сначала осажден тонкий слой 68 металла, такого как хром или кобальт-вольфрам, а затем на предварительное покрытие 68 нанесено покрытие 14 для образования покрытой частицы 10. Это предварительное покрытие 68 образует когезионную связь с графитовой или алмазной частицей 12, тем самым предохраняя частицу 12 от алюминиевого матричного материала. Таким образом, предварительное покрытие 68 позволяет выпускать изделия из покрытых частиц, когда частицы и их покрытия в ином случае стремились бы реагировать друг с другом. The precoating is also used when the
Предварительное покрытие 68 делает также возможным подмешивать частицы, покрытые тонким слоем предварительного покрытия (но без покрытия 14) в расплавленный сплав, где частицы и сплав в ином случае стремились бы вступать в реакцию друг с другом. К примеру, графитовые частицы, покрытые тонким слоем кобальт-вольфрамового предварительного покрытия, добавляются в алюминиевый сплав в вакууме, и этот сплав, содержащий частицы, отливается под давлением или выдавливается в сетчатое (или примерно сетчатое) изделие, которое в одном выполнении используется в качестве продукта теплового управления для электроники (например, теплоотвод и тепловая пластина). Кобальт-вольфрамовое предварительное покрытие образует когезионную связь с графитовыми частицами и образует металлургическую связь с алюминиевым сплавом. Отношение объемов частиц в материале сплава (частицы составляют примерно до 50% по объему) выбирается так, чтобы вызвать в результирующем изделии за проектированные физические свойства, такие как удельная теплопроводность или коэффициент теплового расширения. Альтернативно, предварительно покрытые частицы добавляются к сплаву, чтобы механически упрочнить результирующее изделие или повлиять на его вес. Pre-coating 68 also makes it possible to mix particles coated with a thin layer of pre-coating (but without coating 14) into the molten alloy, where the particles and alloy would otherwise tend to react with each other. For example, graphite particles coated with a thin layer of cobalt-tungsten pre-coating are added to an aluminum alloy in vacuum, and this alloy containing particles is cast under pressure or extruded into a mesh (or approximately mesh) product, which is used as one thermal management product for electronics (e.g. heat sink and heat plate). The cobalt-tungsten precoat forms a cohesive bond with graphite particles and forms a metallurgical bond with an aluminum alloy. The ratio of the volumes of particles in the alloy material (particles are up to about 50% by volume) is selected so as to induce physical properties in the resulting product for the designed properties, such as thermal conductivity or coefficient of thermal expansion. Alternatively, pre-coated particles are added to the alloy to mechanically harden the resulting article or affect its weight.
Рассмотрим теперь способы нанесения на изделия покрытий из покрытых частиц. Обратимся снова к фиг. 3, где на изделие 30 нанесено покрытие 28 из покрытых частиц 10 (изделие 30 при этом является, к примеру, подложкой, на которой покрытие 28 образует, например, выводную рамку). Если изделие 30 - металлическое или из металлического сплава, то покрытие 28 электролитически осаждено прямо на изделие 30 посредством описанного ниже метода. Если изделие 30 непроводящее (например, керамика), то изделие 30 сначала покрыто тонким покрытием из проводящего материала, такого как матричный материал, которым покрыты покрытые частицы 10, с помощью осаждения методом химического восстановления (автокаталитического восстановления). Ванна химического восстановления содержит водный раствор, содержащий ионы металла, один или более химических восстановителей, катализатор, один или более комплексообразующих реагентов и один или более ванных коагуляторов, как описано выше. Ионы металла автокаталитически и химически восстанавливаются с по мощью восстановителя или восстановителей, которые заставляют металл осаждаться на изделие 30. Альтернативно, частицы (не покрытые, с предварительным покрытием или покрытые) помещаются в водный раствор, и частицы покрываются металлом и одновременно покрытые металлом частицы наносятся на изделие 30. Вследствие того, что осаждение методом химического восстановления медленнее, чем электролитическое нанесение, покрытые частицы 10 электролитически наносятся на тонкий проводящий слой (посредством описанного ниже метода), как только образован этот тонкий проводящий слой, формируя за счет этого покрытие 28. Let us now consider the methods of applying coatings of coated particles to articles. Turning again to FIG. 3, where the
Согласно фиг. 11, покрытие 28 наносится на проводящее изделие 30 (или непроводящее изделие, металлизированное тонким проводящим слоем, как описано выше) с помощью использования электролитического совместного осаждения покрытых частиц 10 и матричного материала (материала, из которого образованы покрытия 14 покрытых частиц 10) на изделие 10. По мере того, как покрытые частицы 10 (например, графитовые частицы 12, покрытые тонким промежуточным предварительным покрытием 68 из хрома или кобальта-вольфрама, на которое наносится медное покрытие 14) осаждаются на изделие 30, матричный материал одновременно осаждается вокруг покрытых частиц для заполнения промежутков между покрытыми частицами, образуя покрытие 28. According to FIG. 11, coating 28 is applied to a conductive article 30 (or a non-conductive article metallized with a thin conductive layer, as described above) by using electrolytic co-deposition of
Как показано на фиг. 12, в альтернативном способе электролитического осаждения матричный материал и частицы 12 (которые покрыты предварительным покрытием 68, как описано выше, но которые еще не покрыты матричным материалом) осаждаются совместно на изделие 30. По мере того, как частицы 12 осаждаются на изделие 30, эти частицы одновременно покрываются матричным материалом Для образования покрытия 28. К примеру, частицы 12 являются графитом, матричный материал - медью, а материал предварительного покрытия представляет собой такой металл, как хром или кобальт-вольфрам. As shown in FIG. 12, in an alternative electroplating method, the matrix material and particles 12 (which are coated with a
Альтернативно, покрытие 28 образуется на изделии 30 напылением из газообразной фазы или напылением из жидкой фазы покрытых частиц 10 на изделие. Покрытие 28 затем спекается, после чего покрытие 28 проявляет свое выбранное внутреннее свойство или выбранные внутренние свойства. Alternatively, a
Другие выполнения
Графит или алмаз являются хорошими материалами, из которых формируют частицы 12, когда изготавливаемые изделие или покрытие должны иметь низкий коэффициент теплового расширения и высокую удельную теплопроводность, потому что эти материалы не только имеют низкий коэффициент теплового расширения (как имеют и вольфрам или молибден), но также имеют относительно высокую удельную теплопроводность (в отличие от вольфрама и молибдена). Следовательно, эти материалы имеют преимущество в том, что они не имеют вредного побочного эффекта снижения удельной теплопроводности покрытых частиц, а также изделий и покрытий, образованных из этих покрытых частиц.Other accomplishments
Graphite or diamond are good materials from which
Когда изготавливаемое изделие или покрытие должно иметь коэффициент теплового расширения, совпадающий с таким же коэффициентом кремниевого полупроводникового или интегрального прибора, к которому это изделие или покрытие непосредственно прикрепляется (кремний имеет коэффициент теплового расширения приблизительно 4,2 мил.частей/град C), это изделие или покрытие содержит, например, покрытые медью алмазные частицы с отношением объемов меди к алмазу приблизительно 20: 80% или покрытые медью графитовые частицы с отношением объемов меди к графиту приблизительно 24:76%. When a manufactured product or coating must have a coefficient of thermal expansion that matches the coefficient of a silicon semiconductor or integrated device to which this product or coating is directly attached (silicon has a coefficient of thermal expansion of approximately 4.2 ppm / degree C), this product or the coating contains, for example, copper-coated diamond particles with a ratio of copper to diamond volumes of approximately 20: 80% or copper-coated graphite particles with a ratio of copper to diamond volumes um, about 24: 76%.
Можно запроектировать много внутренних свойств иных, нежели удельная теплопроводность или коэффициент теплового расширения. К примеру, можно запроектировать электропроводность изделия в комбинации с проектированием других внутренних свойств. Таким образом, в одном выполнении выбор между использованием графитовых частиц (которые являются электропроводными) и алмазных частиц (которые являются электрическими изоляторами) основано на желательной электропроводности изделия. It is possible to design many internal properties other than specific thermal conductivity or coefficient of thermal expansion. For example, you can design the electrical conductivity of the product in combination with the design of other internal properties. Thus, in one embodiment, the choice between using graphite particles (which are electrically conductive) and diamond particles (which are electrical insulators) is based on the desired electrical conductivity of the article.
Как показано на фиг. 2, частицам 10 не нужно состоять полностью из покрытых частиц. Альтернативно, смесь покрытых частиц, объединенных с другими частицами (например, покрытые медью вольфрамовые частицы можно объединять с медными частицами) может тщательно перемешиваться, а затем уплотняться, чтобы сформировать изделие 22 с внутренними свойствами, которые являются функцией отношений объемов всех материалов в смеси, причем изделие 22 проявляет внутренние свойства изотропно. Альтернативно, покрытые частицы объединяются с материалами, которые проявляют одно или более внутренних свойств анизотропно, что, в свою очередь, заставляет и изделие проявлять одно или более внутренних свойств анизотропно. К примеру, покрытые частицы смешиваются с кристаллическими материалами, имеющими свойства, которые различны в различных направлениях, причем эти кристаллические материалы смешиваются с покрытыми частицами таким образом, чтобы кристаллические материалы стремились ориентироваться в общем направлении. В другом примере покрытые частицы смешиваются с углеродными волокнами, причем эти углеродные волокна стремятся ориентировать в общем направлении. Углеродные волокна обеспечивают прочность на разрыв, которая изменяется в зависимости от направления. As shown in FIG. 2,
Альтернативные методы изготовления изделий из покрытых частиц включают в себя прессование с инжекцией металла, горячее изостатическое прессование ("hipping"), холодное изостатическое прессование ("cipping"), горячую или холодную изостатическую ковку, горячее или холодное валковое уплотнение (которое уплотняет объединяемые покрытые частицы) и прессование давлением. Alternative methods for manufacturing coated particle products include metal injection molding, hipping, cipping, isostatic forging, hot or cold forging, and hot or cold rolling compaction (which compacts the coated coated particles ) and pressure pressing.
Если покрытые частицы 22 уплотняются до плотности, приближающейся к "полной плотности" (плотность, при которой уплотненные покрытые частицы имеют пористость "уровня 2" или "уровня 3" или "невзаимосвязанно", т.е. пористость, которая не обеспечивает межсоединительных проходов, проходящих с одной стороны изделия на другую), то процесс спекания не увеличивает плотности и не меняет размера изделия. Плотность изделия, а тем самым и конечные размеры изделия могут точно управляться при уплотнении. Особенно целесообразно уплотнять до полной плотности, когда частицы содержат определенные неметаллы, такие как графит, потому что, например, покрытые медью графитовые частицы могут уплотняться до полной плотности при относительно низком давлении от 60 до 80 тонн на квадратный дюйм. Когда частицы сформированы из металла или металлического сплава (покрыты ли частицы металлом или не покрыты), для уплотнения частиц до полной плотности обычно требуются давления от 80 до 200 тонн на квадратный дюйм. If the
На фиг. 6 показан прибор 16 отливки под давлением, включающий в себя пуансон 18 и форму 20, который используется для объединения двух различных слоев 24 и 26 из частиц путем уплотнения для получения изделия 25 с внутренними свойствами, которые изменяются от слоя к слою. Слои 24 и 26 состоят из частиц, составленных из различных материалов или имеющих различные отношения объемов материалов, из которых образованы эти частицы. Частицы необязательно являются покрытыми частицами. Частицы вводятся в форму 20 в слоях 24 и 26, уплотняются до выбранной плотности, чтобы дать зависящие от температуры внутренние свойства (например, удельную теплопроводность или коэффициент теплового расширения), как рассмотрено выше в связи в фиг. 5, и спекаются в водородной атмосфере примерно полчаса. Это спекание заставляет частицы слоев 24 и 26 связываться на границе раздела между двумя слоями, чтобы получить единое слоистое изделие. In FIG. 6, an
К примеру, слой 24 содержит покрытые медью вольфрамовые частицы с отношением объемов меди к вольфраму 27:73%, а слой 26 содержит частицы из элементной меди. Слой 24 после уплотнения имеет удельную теплопроводность приблизительно 225,78 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 8,28 мил.частей/град C. Слой 26 после уплотнения имеет удельную теплопроводность приблизительно 390 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 18,04 мил.частей/град C. Слоистое изделие 25 включается непосредственно между двумя объектами с различными коэффициентами теплового расширения, которые совпадают с коэффициентами теплового расширения слоев 24 и 26. К примеру, слой 24 прикрепляется к бериллиевой керамике, а слой 26 диффузионно связывается с медным теплоотводом. For example,
Альтернативно, слой 24 включает в себя покрытый медью алмаз с отношением объемов меди к алмазу 20:80%, а слой 26 состоит из покрытого медью графита с отношением объемов меди к графиту 24:76%. После уплотнения кремниевый кристалл прикрепляется к той стороне изделия 25, которая соответствует слою 26, а подложка из нитрида алюминия прикрепляется к другой стороне изделия 25, которая соответствует слою 24. Слой 24 имеет удельную теплопроводность приблизительно 781 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 4,8 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который практически совпадает с коэффициентом теплового расширения подложки из нитрида алюминия. Слой 26 имеет удельную теплопроводность приблизительно 379 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 4,3 мил. частей/град C (от 25 до 400oC), который практически совпадает с коэффициентом теплового расширения кремниевого кристалла. Слой 24 альтернативно спроектирован так, чтобы прикрепляться к подложке из окиси бериллия, при этом слой 24 имеет отношение объемов меди к алмазу 37: 63%, удельную теплопроводность приблизительно 698 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 7,6 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который практически совпадает с коэффициентом теплового расширения подложки из окиси бериллия.Alternatively,
Таким образом, слоистое изделие 25 включается непосредственно между двумя объектами с различными коэффициентами теплового расширения. Граница между разными коэффициентами теплового расширения получается внутри слоистого изделия 25, а не на одной или более границах раздела между поверхностями изделия и других приборов. Кроме того, имеется лишь одна граница (расположенная между двумя слоями внутри слоистого, раздельного изделия 25), на которой имеет место несовпадение коэффициентов теплового расширения, а не серия таких границ, расположенных между следующими друг за другом слоями разнородных изделий. Поскольку медные связи между частицами способны деформироваться в холодном состоянии, эти медные связи стремятся поглощать напряжение теплового расширения и, вследствие этого, в соединении между двумя слоями нет растрескивания или расслоения. Кроме того, поскольку связи податливы и поскольку все связи образованы из того же самого материала (все связи медь с медью), эти связи стремятся поглощать напряжения одинаково, вследствие этого изделие не стремится изгибаться дугообразно или волнообразно при больших изменениях температуры. В альтернативном выполнении в изделии 25 имеется более, чем два слоя, и, следовательно имеется более, чем одна внутренняя граница, на которой имеет место несовпадение коэффициентов теплового расширения. Это несовпадение на каждой границе меньше, чем то несовпадение, которое происходит на единственной границе внутри слоистого изделия 25. Thus, the laminated product 25 is included directly between two objects with different coefficients of thermal expansion. The boundary between the different coefficients of thermal expansion is obtained inside the laminated product 25, and not at one or more interfaces between the surfaces of the product and other devices. In addition, there is only one boundary (located between two layers inside the layered, separate product 25), on which there is a mismatch of the thermal expansion coefficients, and not a series of such boundaries located between successive layers of dissimilar products. Since copper bonds between particles are capable of being deformed in a cold state, these copper bonds tend to absorb thermal expansion stress and, as a result, there is no cracking or delamination in the connection between the two layers. In addition, since the bonds are malleable and since all bonds are formed from the same material (all bonds are copper to copper), these bonds tend to absorb stresses in the same way, as a result of which the product does not tend to bend in an arcuate or wave-like fashion with large changes in temperature. In an alternative embodiment, the article 25 has more than two layers, and therefore there is more than one inner boundary at which the thermal expansion coefficients do not match. This mismatch on each boundary is less than the mismatch that occurs on a single border within the laminate 25.
На фиг. 7 показан гибридный корпус 72 электроники со сторонами 48, основанием 46 и крышкой 50, который используется в качестве корпуса для полупроводниковых интегральных схем и других электронных приборов. Гибридные корпуса электроники в общем случае изготавливаются из железо-никелевого сплава, известного как КОВАР, имеющий коэффициент теплового расширения, который приблизительно равен тому же коэффициенту стеклянных изоляторов, используемых для изоляции выводных отверстий 44 от проводящего корпуса из КОВАРа. Применение изобретения к изготовлению гибридного корпуса 72 зависит от того, используется ли обычная стеклянная изоляция для изолирования выводных отверстий 44, или же используется иная изоляция. In FIG. 7 shows a
Если используется обычная стеклянная изоляция, то целью является изготовление гибридного корпуса с коэффициентом теплового расширения, практически совпадающим с тем же коэффициентом у КОВАРа, но с более высокой удельной теплопроводностью, чем у КОВАРа. К примеру, гибридный корпус может изготавливаться из покрытых железом графитовых частиц с отношением объемов железа к графиту 26:74%, коэффициентом теплового расширения приблизительно 3,2 мил. частей/град C (от 25 до 400oC), практически совпадающим с тем же коэффициентом у КОВАРа, и удельной теплопроводностью приблизительно 295 Вт/м•град К, которая много выше, чем удельная теплопроводность КОВАРа (приблизительно 11 Вт/м•град К).If conventional glass insulation is used, then the goal is to produce a hybrid casing with a coefficient of thermal expansion that practically coincides with the same coefficient for KOVAR, but with a higher thermal conductivity than KOVAR. For example, a hybrid housing can be made of iron-coated graphite particles with a ratio of iron to graphite volumes of 26: 74% and a thermal expansion coefficient of approximately 3.2 mils. parts / deg C (from 25 to 400 o C), almost coinciding with the same coefficient in KOVAR, and the specific thermal conductivity of approximately 295 W / m • deg K, which is much higher than the thermal conductivity of KOVAR (approximately 11 W / m • deg TO).
Если стекло для изоляции выводных отверстий 44 заменяется низкотемпературной стеклянной керамикой, то гибридный корпус 72 изготавливается, например, из покрытых медью графитовых частиц с отношением объемов меди к графиту 39:61%. Это отношение объемов обеспечивает высокую удельную теплопроводность приблизительно 379 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения приблизительно 6,9 мил.частей/град C (25 - 400oC), который запроектирован, что бы практически совпадать с коэффициентом теплового расширения стеклянного керамического материала, используемого для изоляции выводных отверстий 44.If the glass for insulating the
Коэффициент теплового расширения во всем гибридном корпусе 72 электроники в высокой степени равномерен. Поскольку основание 46 и стороны 48 гибридного корпуса 72 электроники могут изготавливаться вместе сетчатыми как единое целое (тогда как в корпусе из КОВАРа основание 46 и стороны 48 обычно обрабатываются по отдельности из цельных кусков материала КОВАР), корпус 72 может изготавливаться без удорожания за счет стоимости станочной обработки или спайки базы 46 и сторон 48, хотя крышка 50 должна прикрепляться к сторонам 48 путем пайки после того, как интегральная схема будет помещена внутрь корпуса. The coefficient of thermal expansion in the entire
На фиг. 8 показан корпус 52 электроники с набором интегральных схем 54, установленных на подложку 56 из низкотемпературной стеклянной керамики, поддерживаемую комбинированной конструктивной, тепловой и заземляющей пластиной 58. Конструктивная пластина 58 изготавливается из покрытых медью графитовых частиц с отношением объемов меди к графиту 39:61%. Это отношение объемов обеспечивает высокую удельную теплопроводность приблизительно 379 Вт/м•град К, высокое прочность на разрыв и коэффициент теплового расширения приблизительно 6,9 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который практически совпадает с коэффициентом теплового расширения керамической подложки 56. Этот коэффициент теплового расширения в высокой степени равномерен и изотропен во всей конструктивной пластине 58. Покрытые медью графитовые частицы, из которых изготовлена конструктивная пластина 58, уплотняются до плотности, выбранной так, чтобы характер расширения конструктивной пластины 58 практически совпадал с нелинейным характером расширения керамической подложки 56. Затем покрытые частицы спекаются. "Незрелая" керамическая подложка 56 (керамическая подложка, которая еще не прокаливалась) наслаивается затем на конструктивную пластину 58, после чего "незрелая" керамическая подложка 56 прокаливается. Керамическая подложка 56 имеет температуру прокаливания ниже температуры, при которой конструктивная пластина 58 спекается в твердом состоянии. Вследствие этого, когда керамическая подложка 56 прокаливается, будучи установленной на конструктивной пластине 58, покрытия частиц в конструктивной пластине не расплавляются. Предварительно спеченная конструктивная пластина 58 обеспечивает высокие выходы производства за счет получения конструктивной платформы, на которой можно работать во всем производственном цикле с тонкими хрупкими слоями керамики и/или стекла без поломок.In FIG. 8 shows an
На фиг. 9 показан высокомощный полупроводниковый компрессионный модуль 60, который включает в себя кремниевый полупроводниковый прибор 62, например, кремниевый выключатель размером приблизительно в полдоллара или серебряный доллар и имеющий коэффициент теплового расширения приблизительно 4,3. Полупроводниковый прибор 62 прижимается с силой приблизительно 5000 фунтов к теплоотводу 64, образованному из покрытых медью графитовых частиц согласно изобретению. Полупроводниковый прибор 62 имеет молибденовую заднюю поверхность с низким коэффициентом теплового расширения, которая примыкает сзади к алюминиевому теплоотводу 66 (который не изготавливается из частиц). Теплоотвод 64, имеющий отношение объемов меди к графиту 24:76%, спроектирован так, чтобы иметь высокую теплопроводность 379 Вт/м•град К и коэффициент теплового расширения 4,3 мил.частей/град C (от 25 до 400oC), который практически совпадает с коэффициентом теплового расширения полупроводникового прибора 62, причем этот коэффициент теплового расширения в высокой степени равномерен во всем теплоотводе 64. Проектирование коэффициента теплового расширения теплоотвода 64 продлевает срок службы полупроводникового прибора 62 путем предотвращения царапин на полупроводниковом приборе 62 из-за нажатия взаимодействующего с ним теплоотвода 64, что может вызвать короткое замыкание.In FIG. 9 shows a high-power
Рассмотрены новые и усовершенствованные устройство и методы проектирования внутренних свойств изделий, изготавливаемых путем объединения частиц. Очевидно, что специалисты могут теперь выполнить многочисленные использования и модификации описанных здесь конкретных применений и отступления от них без отхода от изобретательской концепции. К примеру, принципы изобретения могут быть приложены в других областях, таких как огнестрельное оружие и боевая техника, чтобы обеспечить у гильз и снарядов те же самые коэффициенты теплового расширения, что и у пушек, из которых они выстреливаются, которые могут быть покрыты изнутри керамическим материалом. Следовательно, изобретение надлежит толковать как охватывающее все и каждый новые признаки и новые комбинации признаков, представленные или содержащиеся в рассмотренных здесь устройстве и методах, и ограниченное единственно духом и объемом прилагаемой формулы изобретения. New and improved device and methods for designing the internal properties of products manufactured by combining particles are considered. Obviously, those skilled in the art can now make numerous uses and modifications of the specific applications described herein and departing from them without departing from the inventive concept. For example, the principles of the invention can be applied in other fields, such as firearms and military equipment, to ensure that shells and shells have the same coefficients of thermal expansion as the guns from which they are fired, which can be coated from the inside with ceramic material . Therefore, the invention should be construed as encompassing each and every new feature and new combination of features presented or contained in the device and methods discussed herein, and limited solely by the spirit and scope of the attached claims.
Claims (14)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/US1995/009572 WO1997004884A1 (en) | 1994-11-14 | 1995-07-27 | Manufacturing particles and articles having engineered properties |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2140335C1 true RU2140335C1 (en) | 1999-10-27 |
Family
ID=22249548
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU98103729A RU2140335C1 (en) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | Manufacture of particles and products with specified properties |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100289248B1 (en) |
AU (1) | AU715872B2 (en) |
BR (1) | BR9510637A (en) |
MX (1) | MX9710484A (en) |
RU (1) | RU2140335C1 (en) |
UA (1) | UA34504C2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2526683C2 (en) * | 2009-06-26 | 2014-08-27 | ТАЙКО ЭЛЕКТРОНИКС Ю-КЕЙ ЛТД, Великобритания | Highly-effective, high-temperature light film, tape or casing for wire insulation |
RU2527458C1 (en) * | 2012-12-13 | 2014-08-27 | Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Application of electrically conducting coating of sun shade |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AT7522U1 (en) * | 2004-04-29 | 2005-04-25 | Plansee Ag | HEAT SINKS FROM BORN DIAMOND-COPPER COMPOSITE |
-
1995
- 1995-07-27 BR BR9510637A patent/BR9510637A/en not_active Application Discontinuation
- 1995-07-27 MX MX9710484A patent/MX9710484A/en unknown
- 1995-07-27 AU AU54141/96A patent/AU715872B2/en not_active Ceased
- 1995-07-27 KR KR1019980700766A patent/KR100289248B1/en not_active IP Right Cessation
- 1995-07-27 UA UA97126486A patent/UA34504C2/en unknown
- 1995-07-27 RU RU98103729A patent/RU2140335C1/en active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Новые материалы в технике / Под ред.Е.В.Тростянской и др. - М.: Химия, 1964, с.532 - 644. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2526683C2 (en) * | 2009-06-26 | 2014-08-27 | ТАЙКО ЭЛЕКТРОНИКС Ю-КЕЙ ЛТД, Великобритания | Highly-effective, high-temperature light film, tape or casing for wire insulation |
RU2527458C1 (en) * | 2012-12-13 | 2014-08-27 | Открытое акционерное общество "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова" | Application of electrically conducting coating of sun shade |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
UA34504C2 (en) | 2001-03-15 |
AU715872B2 (en) | 2000-02-10 |
KR19990036099A (en) | 1999-05-25 |
BR9510637A (en) | 1999-05-11 |
KR100289248B1 (en) | 2001-05-02 |
AU5414196A (en) | 1997-02-26 |
MX9710484A (en) | 1998-03-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6162497A (en) | Manufacturing particles and articles having engineered properties | |
US5453293A (en) | Methods of manufacturing coated particles having desired values of intrinsic properties and methods of applying the coated particles to objects | |
US5698081A (en) | Coating particles in a centrifugal bed | |
US6264882B1 (en) | Process for fabricating composite material having high thermal conductivity | |
US5043535A (en) | Hermetic cerglass and cermet electronic packages | |
US20120003465A1 (en) | Sintering material, sintered bond and method for producing a sintered bond | |
US5188985A (en) | Surface mount device with high thermal conductivity | |
KR20010079642A (en) | Composite Material and Semiconductor Device Using the Same | |
WO1992017902A2 (en) | Surface mount device with high thermal conductivity | |
Liu et al. | Modified Ni/Pd/Au-finished DBA substrate for deformation-resistant Ag–Au joint during long-term thermal shock test | |
EP0977260B1 (en) | Semiconductor-supporting devices, processes for the production of the same, joined bodies and processes for the production of the same | |
RU2140335C1 (en) | Manufacture of particles and products with specified properties | |
JPH06268117A (en) | Heat radiating substrate for semiconductor device and its manufacture | |
AU732924B2 (en) | Manufacturing particles and articles having engineered properties | |
AU731877B2 (en) | Manufacturing particles and articles having engineered properties | |
AU741059B2 (en) | Manufacturing particles and articles having engineered properties | |
CA2228009A1 (en) | Manufacturing particles and articles having engineered properties | |
JPH11510561A (en) | Method for producing particles and articles having engineered properties | |
JP2000154081A (en) | Ceramic parts and their production | |
CZ1898A3 (en) | Process of making particles of desired total property, particles prepared in such a process and product made of those particles | |
Jo et al. | The bonding properties of various surface finishes with Cu paste for pressure sintering | |
RU198076U1 (en) | SILICON ALUMINUM-CARBIDE COMPOSITE HEAT SLEEVE | |
KR20110007815A (en) | Diamond composite substrate for heat-radiation and manufacturing method thereof | |
RO117240B1 (en) | Process for producing particles and articles having engineered physical properties and for coating an object, as well as resulting particles and articles | |
JP2820566B2 (en) | Method of manufacturing heat dissipation member for semiconductor package |