RU2139783C1 - Device for laser cutting - Google Patents

Device for laser cutting Download PDF

Info

Publication number
RU2139783C1
RU2139783C1 RU97121913A RU97121913A RU2139783C1 RU 2139783 C1 RU2139783 C1 RU 2139783C1 RU 97121913 A RU97121913 A RU 97121913A RU 97121913 A RU97121913 A RU 97121913A RU 2139783 C1 RU2139783 C1 RU 2139783C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
nozzle
distance
differential pressure
static
radial
Prior art date
Application number
RU97121913A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU97121913A (en
Inventor
А.М. Забелин
Original Assignee
Закрытое акционерное общество "ТехноЛазер"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Закрытое акционерное общество "ТехноЛазер" filed Critical Закрытое акционерное общество "ТехноЛазер"
Priority to RU97121913A priority Critical patent/RU2139783C1/en
Publication of RU97121913A publication Critical patent/RU97121913A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2139783C1 publication Critical patent/RU2139783C1/en

Links

Images

Abstract

FIELD: treatment of materials, in particular, laser cutting, applicable in laser machine tools for cut-out of plate materials in various branches of mechanical engineering. SUBSTANCE: the device provides for following the distance between the nozzle and part at laser cutting by measuring the speed parameters of the cutting gas radial jet in the gap between the nozzle and part. To this end, measures with the aid of a differential pressure gauge is the difference between the impact and static pressures in the radial jet at a certain distance from the nozzle axis, or the difference in static pressures at different distances from the nozzle axis. The device provides for stabilization of the gap not only for metal parts, but also for nonmetallic specimens. EFFECT: enhanced technological capabilities. 7 cl, 5 dwg

Description

Изобретение относится к области обработки материалов, а более конкретно к области лазерной резки. The invention relates to the field of material processing, and more particularly to the field of laser cutting.

Изобретение может быть использовано в лазерных станках для раскроя листовых материалов. The invention can be used in laser machines for cutting sheet materials.

В процессе лазерной резки лазерное излучение фокусируют на материал образца с помощью линзового или зеркального объектива. In the process of laser cutting, laser radiation is focused on the sample material using a lens or mirror lens.

Под действием сфокусированного в небольшое пятно излучения материал расплавляется, расплавленный материал выносится из образца с помощью соосной с лучом струи режущего газа, которая формируется соплом, срез которого находится на некотором расстоянии Δ от поверхности образца. Режущий газ может являться окислителем, в этом случае происходит реакция горения материала образца с выделением дополнительной энергии, а может являться инертным газом. Для увеличения производительности лазерной резки стремятся увеличить напорное давление в струе до давлений 10 и даже 20 атм. Напорное давление в струе режущего газа быстро падает с расстоянием от среза сопла. Практически для производительной и высококачественной резки необходимо поддерживать расстояние от среза сопла до поверхности материала с точностью ≈ 0,1 dсопла на расстоянии (0,2-0,5)dсопла.Under the action of radiation focused into a small spot, the material is melted, the molten material is removed from the sample by means of a cutting gas jet coaxial with the beam, which is formed by a nozzle, the cut of which is at a certain distance Δ from the surface of the sample. The cutting gas may be an oxidizing agent, in this case, the combustion of the sample material with the release of additional energy occurs, and may be an inert gas. To increase the productivity of laser cutting, they strive to increase the pressure head in the jet to pressures of 10 and even 20 atm. The pressure in the cutting gas stream drops rapidly with distance from the nozzle exit. In practice, for productive and high-quality cutting, it is necessary to maintain the distance from the nozzle exit to the surface of the material with an accuracy of ≈ 0.1 d nozzle at a distance of (0.2-0.5) d nozzle .

Известны контактные и бесконтактные способы и устройства стабилизации нужного расстояния между соплом и образцом. Known contact and non-contact methods and devices for stabilizing the desired distance between the nozzle and the sample.

Достоинство контактных способов и устройств в том, что они позволяют работать как с металлическими, так и неметаллическими материалами. Недостатками контактных способов является опасность соударения фокусирующей головки с образцом, особенно при наличии уже вырезанных в образце отверстий или выступов. Это приводит к разъюстировке фокусирующей головки и попаданию сфокусированного излучения на стенки сопла и вследствие этого к разрушению сопла. The advantage of contact methods and devices is that they allow you to work with both metallic and non-metallic materials. The disadvantages of the contact methods is the danger of the focusing head colliding with the sample, especially if there are already holes or protrusions in the sample. This leads to misalignment of the focusing head and hit of focused radiation on the walls of the nozzle and, as a result, to destruction of the nozzle.

Известен также способ измерения расстояния от сопла до поверхности детали путем измерения емкости между металлической деталью и металлическим изолированным соплом. При изменении искомого расстояния изменяется емкость зазора между соплом и деталью, вырабатывается сигнал, пропорциональный емкости, и по нему вырабатывается сигнал управления приводом, регулирующим это расстояние. Устройство, реализующее этот способ, является прототипом предлагаемого изобретения [1]. There is also a method of measuring the distance from the nozzle to the surface of the part by measuring the capacitance between the metal part and the metal insulated nozzle. When the desired distance changes, the gap capacitance between the nozzle and the part changes, a signal proportional to the capacitance is generated, and a drive control signal is generated from it that regulates this distance. A device that implements this method is a prototype of the invention [1].

Устройство - прототип включает в себя сопло, формирующее струю режущего газа соосно с сфокусированным лазерным лучом, причем сопло электрически изолировано с помощью диэлектрической втулки от корпуса объектива, а значит и от разрезаемого металлического образца, и измеритель емкости между соплом и металлическим образцом. Сигнал с измерителя емкости, обратно пропорциональный расстоянию между соплом и деталью, подается на устройство, управляющее приводом вертикального перемещения объектива. В результате поддерживается определенное заданное расстояние между соплом и обрабатываемым металлическим образцом. The prototype device includes a nozzle forming a jet of cutting gas coaxially with a focused laser beam, and the nozzle is electrically isolated from the lens housing by means of a dielectric sleeve, and hence from the metal sample being cut, and a capacitance meter between the nozzle and the metal sample. The signal from the capacitance meter, inversely proportional to the distance between the nozzle and the part, is fed to a device that controls the drive for vertical movement of the lens. As a result, a certain predetermined distance between the nozzle and the metal sample being processed is maintained.

Недостатками известного устройства является низкая помехозащищенность от брызг металла и плазмы приводящая к снижению точности слежения, а также невозможность работы с неметаллической деталью (пластик, стекло, дерево, керамика и т. д.). The disadvantages of the known device is the low noise immunity from splashes of metal and plasma, which leads to a decrease in tracking accuracy, as well as the inability to work with non-metallic parts (plastic, glass, wood, ceramics, etc.).

Задачей изобретения является повышение надежности отслеживания расстояния до поверхности детали при лазерной резке, в том числе и неметаллической. The objective of the invention is to increase the reliability of tracking the distance to the surface of the part during laser cutting, including non-metal.

Поставленная цель достигается тем, что измерение расстояния производится измерением скорости радиальной струи в зазоре между соплом и деталью. Скорость струи, в свою очередь, измеряется через разность полного и статического давления в радиальной струе, например, с помощью трубки Пито. This goal is achieved in that the distance is measured by measuring the speed of the radial jet in the gap between the nozzle and the part. The jet velocity, in turn, is measured through the difference between the total and static pressure in the radial jet, for example, using a Pitot tube.

Скорость струи можно оценить из выражения

Figure 00000002

где Δp - динамическое давление в струе, ρ - плотность газа в струе, C - константа, измеряемая в эксперименте.Jet velocity can be estimated from the expression
Figure 00000002

where Δp is the dynamic pressure in the jet, ρ is the density of the gas in the jet, C is the constant measured in the experiment.

Величина зазора h определяется из формулы

Figure 00000003

где V-полный расход газа в струе, r-координата точки измерения скорости (расстояние от оси сопла до места измерения). Для повышения достоверности измерения скорости и величины зазора необходимо измерения проводить на расстоянии от оси сопла, существенно превышающем величину измеряемого зазора, т.е. r >> h.The gap h is determined from the formula
Figure 00000003

where V is the total gas flow in the jet, the r-coordinate of the velocity measurement point (distance from the axis of the nozzle to the measurement location). To increase the reliability of measuring the speed and the size of the gap, it is necessary to carry out measurements at a distance from the axis of the nozzle significantly exceeding the size of the measured gap r >> h.

Согласно изобретению устройство для лазерной резки состоит (фиг. 1) из фокусирующего объектива, имеющего корпус 1, с одной стороны герметично закрытый линзой 2, а с другой стороны имеющий сопло 4, через которое истекает сжатый газ 6 на образец 5. При истекании осевой струи 6 она тормозится и, радиально разворачиваясь, превращается в радиально распространяющуюся струю 8. According to the invention, the laser cutting device consists (Fig. 1) of a focusing lens having a housing 1, on the one hand hermetically sealed by a lens 2, and on the other hand having a nozzle 4, through which compressed gas 6 flows onto the sample 5. When the axial jet expires 6 it slows down and, turning radially, turns into a radially propagating stream 8.

При распространении в радиальном канале, образованном передней стенкой сопла 4 и поверхностью образца 5, скорость струи уменьшается при удалении от оси сопла. На пути радиальной струи 8 установлены датчики напорного 9 или статического давления 10. Разность полного и статического давления измеряется дифференциальным манометром 11. Датчики полного и статического давления могут быть объединены, например, в трубке Пито. When propagating in the radial channel formed by the front wall of the nozzle 4 and the surface of the sample 5, the jet velocity decreases with distance from the axis of the nozzle. On the way of the radial stream 8 pressure sensors 9 or static pressure 10 are installed. The difference between the total and static pressure is measured by a differential pressure gauge 11. The full and static pressure sensors can be combined, for example, in a pitot tube.

При изменении сигнала дифференциального манометра 11 вырабатывается сигнал, управляющий приводом 13, в результате чего расстояние Δ между передней стенкой сопла 4 и поверхностью образца 5 поддерживается стабильным. Установка двух и более дифференциальных датчиков давления позволяет судить о наклоне поверхности детали (фиг. 2). Здесь 11 - диф. манометр, измеряющий расстояние, а 12 - диф. манометр, измеряющий наклон образца. When the signal of the differential pressure gauge 11 is changed, a signal is generated that controls the actuator 13, as a result of which the distance Δ between the front wall of the nozzle 4 and the surface of the sample 5 is maintained stable. Installation of two or more differential pressure sensors allows you to judge the slope of the surface of the part (Fig. 2). Here 11 is the differential. pressure gauge measuring distance, and 12 - differential. pressure gauge measuring the slope of the sample.

Пример: зазор h= 0,5 мм, режущий газ: воздух или азот, его давление 2 атм., расстояние до места измерения r=3 мм в этом случае

Figure 00000004

здесь r0=0,5 мм - радиус сопла; vзв - скорость звука;
Figure 00000005

измеряемый перепад Δp ≈ 10,5 мм рт.ст.Example: clearance h = 0.5 mm, cutting gas: air or nitrogen, its pressure is 2 atm., The distance to the measurement site is r = 3 mm in this case
Figure 00000004

here r 0 = 0.5 mm is the radius of the nozzle; v sv is the speed of sound;
Figure 00000005

measured difference Δp ≈ 10.5 mm Hg

В качестве варианта устройства возможно также такое, в котором происходит измерение разницы между статическими давлениями в радиальной струе (фиг. 3) на разных расстояниях от осевой линии, находящихся на одном диаметре. В этом случае отсутствуют выступающие в зазор детали и повышается надежность устройства, поскольку статическое давление можно измерить, измеряя давление в отверстии в стенке сопла, если одно из отверстий находится достаточно далеко от оси сопла, то скорость потока вблизи него мала и можно измерять просто разницу между статистическим давлением в радиальной струе и атмосферой, в этом случае устройство будет предельно простым, оно будет состоять из отверстия в передней поверхности сопла и дифференциального манометра (фиг.4). As a variant of the device, it is also possible that in which the difference between the static pressures in the radial stream (Fig. 3) is measured at different distances from the axial line located on the same diameter. In this case, there are no protruding parts in the gap and the reliability of the device increases, since the static pressure can be measured by measuring the pressure in the hole in the nozzle wall, if one of the holes is far enough from the nozzle axis, then the flow velocity near it is small and you can simply measure the difference between statistical pressure in the radial stream and the atmosphere, in this case the device will be extremely simple, it will consist of a hole in the front surface of the nozzle and a differential pressure gauge (figure 4).

Возможна также замена круглого отверстия кольцевым отверстием (каналом) (фиг. 5). Кольцевое отверстие, соосное с соплом, является датчиком статического давления. По сравнению с упомянутыми выше датчиками статического давления надежность кольцевого датчика значительно выше по отношению к загрязнению его каплями расплавленного металла или пыли. It is also possible to replace the round hole with an annular hole (channel) (Fig. 5). The annular hole coaxial with the nozzle is a static pressure sensor. Compared to the above-mentioned static pressure sensors, the reliability of the ring sensor is significantly higher with respect to contamination by drops of molten metal or dust.

Замена Г-образной трубки на кольцевую насадку на сопло также повышает надежность измерения полного давления от загрязнения каплями металла или пыли. Одновременное использование кольцевого отверстия (канала) и кольцевой насадки на сопло в качестве датчиков статического и полного давления позволяет при подключении их к дифференциальному манометру непосредственно измерять скоростной напор и определять скорость радиально-расширяющейся струи, а значит и судить о расстоянии между передней стенкой сопла и поверхностью обрабатываемой детали. Replacing the L-shaped tube with an annular nozzle on the nozzle also increases the reliability of measuring the total pressure from contamination with metal drops or dust. The simultaneous use of an annular hole (channel) and an annular nozzle on the nozzle as static and total pressure sensors allows you to directly measure the velocity head and determine the speed of a radially expanding jet when connecting them to a differential pressure gauge, and therefore judge the distance between the nozzle front wall and the surface the workpiece.

Для расширения функциональных возможностей устройства целесообразно его выполнить в виде 4-х секторов, в этом случае возможно отслеживание не только расстояния между соплом и деталью, но и направления наклона поверхности детали относительно оси луча. Для этого 2 дифференциальных манометра подключаются между противоположными секциями датчика. Знак и амплитуда сигнала указывают на величину угла между передней стенкой сопла и поверхностью детали. Величина зазора определяется сигналом от дополнительного дифференциального манометра, подсоединенного между соответствующими датчиками статического и полного давления. To expand the functionality of the device, it is advisable to perform it in the form of 4 sectors, in this case, it is possible to track not only the distance between the nozzle and the part, but also the direction of inclination of the surface of the part relative to the axis of the beam. To do this, 2 differential pressure gauges are connected between opposite sections of the sensor. The sign and amplitude of the signal indicate the angle between the front wall of the nozzle and the surface of the part. The gap is determined by the signal from an additional differential pressure gauge connected between the respective static and total pressure sensors.

Знание того, как наклонена поверхность детали в зоне реза, ориентировка оси объектива (оси луча) перпендикулярно поверхности обрабатываемой детали необходимы для качественной лазерной резки объемных конструкций, таких как трубы, короба, сферические и другие оболочки. Knowledge of how the surface of the part is tilted in the cutting zone, orientation of the lens axis (beam axis) perpendicular to the surface of the workpiece is necessary for high-quality laser cutting of bulk structures such as pipes, ducts, spherical and other shells.

Литература
1. M.Jagiella, G.Sporl, A.Topkaya. Lasermatic II - A new Developed Noncontact Capacitive Clearance Control System for Laser Cutting Machines. 10 Int. Congres "Lasers in engineering", Munich, 1991, p 238-244.
Literature
1. M. Jagiella, G. Sporl, A. Topkaya. Lasermatic II - A new Developed Noncontact Capacitive Clearance Control System for Laser Cutting Machines. 10 Int. Congres "Lasers in engineering", Munich, 1991, p 238-244.

Claims (7)

1. Устройство для лазерной резки, включающее фокусирующий объектив, привод вертикального перемещения и сопло, в передней стенке которого выполнено осевое или кольцевое отверстие для формирования режущей струи, отличающееся тем, что оно снабжено по крайней мере одним дифференциальным манометром для выработки сигнала управления приводом и стабилизации расстояния между соплом и деталью, а передняя стенка сопла на расстоянии от своей оси, большем, чем расстояние между соплом и деталью, имеет датчики полного и/или статического давления радиального потока газа, подключенные к по крайней мере одному дифференциальному манометру. 1. Device for laser cutting, comprising a focusing lens, a vertical displacement drive and a nozzle, in the front wall of which an axial or annular hole is made to form a cutting jet, characterized in that it is equipped with at least one differential pressure gauge for generating a drive control signal and stabilization the distance between the nozzle and the part, and the front wall of the nozzle at a distance from its axis greater than the distance between the nozzle and the part has sensors for full and / or static pressure for the sake of gas flow ceiling elements connected to at least one differential pressure gauge. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что два датчика статического давления выполнены в виде двух отверстий в передней стенке сопла, расположенных на одном диаметре и на разных расстояниях от оси сопла, а дифференциальный манометр подключен к ним для измерения разности статических давлений радиальной струи. 2. The device according to claim 1, characterized in that the two static pressure sensors are made in the form of two holes in the front wall of the nozzle located at the same diameter and at different distances from the axis of the nozzle, and a differential pressure gauge is connected to them to measure the difference of static radial pressures jets. 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что дифференциальный манометр подключен к датчику статического давления для измерения разности давлений радиальной струи и атмосферы. 3. The device according to claim 1, characterized in that the differential pressure gauge is connected to a static pressure sensor for measuring the pressure difference between the radial stream and the atmosphere. 4. Устройство по п.1 или 3, отличающееся тем, что датчик статического давления выполнен в виде кольцевого отверстия в передней стенке сопла, соосного с осевым отверстием. 4. The device according to claim 1 or 3, characterized in that the static pressure sensor is made in the form of an annular hole in the front wall of the nozzle, coaxial with the axial hole. 5. Устройство по п.1 или 3, отличающееся тем, что датчик полного давления радиальной струи выполнен в виде Г-образной трубки. 5. The device according to claim 1 or 3, characterized in that the full pressure sensor of the radial stream is made in the form of a L-shaped tube. 6. Устройство по любому из пп.1, 3 и 4, отличающееся тем, что датчик полного давления радиальной струи выполнен в виде кольцевой насадки на сопло. 6. The device according to any one of claims 1, 3 and 4, characterized in that the full pressure sensor of the radial jet is made in the form of an annular nozzle on the nozzle. 7. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что датчики давления радиальной струи разделены на четыре сектора, причем противоположные секторы подключены к двум дифференциальным манометрам. 7. The device according to claim 1 or 2, characterized in that the pressure sensors of the radial stream are divided into four sectors, and the opposite sectors are connected to two differential pressure gauges.
RU97121913A 1997-12-30 1997-12-30 Device for laser cutting RU2139783C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97121913A RU2139783C1 (en) 1997-12-30 1997-12-30 Device for laser cutting

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU97121913A RU2139783C1 (en) 1997-12-30 1997-12-30 Device for laser cutting

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97121913A RU97121913A (en) 1999-10-10
RU2139783C1 true RU2139783C1 (en) 1999-10-20

Family

ID=20200683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97121913A RU2139783C1 (en) 1997-12-30 1997-12-30 Device for laser cutting

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2139783C1 (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2459690C1 (en) * 2011-01-17 2012-08-27 Открытое акционерное общество "Машиностроительный завод" Method of metal sheet laser cutting
RU2578885C2 (en) * 2014-08-21 2016-03-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Optical laser head
RU2603737C2 (en) * 2011-05-20 2016-11-27 Снекма Installation for fabricating part by selectively melting powder
RU2607889C2 (en) * 2011-05-16 2017-01-11 Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод Laser nozzle having moving element
RU2624568C2 (en) * 2015-10-02 2017-07-04 Открытое акционерное общество "558 Авиационный ремонтный завод" Method of laser material processing (versions)
RU2732256C1 (en) * 2019-03-27 2020-09-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of laser welding of metals and device for implementation of method
RU2751501C1 (en) * 2020-08-11 2021-07-14 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования" Method for underwater laser cutting of metal structures

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. M.Jagiella, G.Sporl, A.Topkaya. Lasermatic II-A new Developed Noncontact Capacitive Clearanco Control System for Laser Cutting Machines. 10 Int. Congres "Lasers in ingenering", Munich, 1991, p.238-244. *

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2459690C1 (en) * 2011-01-17 2012-08-27 Открытое акционерное общество "Машиностроительный завод" Method of metal sheet laser cutting
RU2607889C2 (en) * 2011-05-16 2017-01-11 Л'Эр Ликид, Сосьете Аноним Пур Л'Этюд Э Л'Эксплуатасьон Де Проседе Жорж Клод Laser nozzle having moving element
RU2603737C2 (en) * 2011-05-20 2016-11-27 Снекма Installation for fabricating part by selectively melting powder
RU2578885C2 (en) * 2014-08-21 2016-03-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Optical laser head
RU2624568C2 (en) * 2015-10-02 2017-07-04 Открытое акционерное общество "558 Авиационный ремонтный завод" Method of laser material processing (versions)
RU2732256C1 (en) * 2019-03-27 2020-09-14 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева-КАИ" (КНИТУ-КАИ) Method of laser welding of metals and device for implementation of method
RU2751501C1 (en) * 2020-08-11 2021-07-14 Общество с ограниченной ответственностью "Научно-производственное предприятие Волоконно-Оптического и Лазерного Оборудования" Method for underwater laser cutting of metal structures

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3633010A (en) Computer-aided laser-based measurement system
US5916460A (en) Method and apparatus for dicing a substrate
KR101321453B1 (en) Real time target topography tracking during laser processing
RU2139783C1 (en) Device for laser cutting
US8263901B2 (en) Method for laser micromachining
US7117741B2 (en) Method and device for ultrasonic vibration detection during high-performance machining
US5955660A (en) Method of controlling probe microscope
KR20030036773A (en) Method and device for applying a solder to a substrate
US6419752B1 (en) Structuring device for processing a substrate
JP2002310605A (en) Sensor device for burr inspection
TW200805369A (en) Electron beam recording apparatus
EP0252082A1 (en) Laser apparatus
Elfurjani et al. Micro-scale hole profile measurement using rotating wire probe and acoustic emission contact detection
RU97121913A (en) DEVICE FOR LASER CUTTING
RU2205096C1 (en) Method for keeping predetermined distance between nozzle and worked surface at laser working and apparatus for performing the same
GB2281393A (en) Gas acoustic distance measuring probe
CN110167710B (en) Laser tool with focus adjustment unit
Hedley et al. Development of a workstation for optical testing and modification of IMEMS on a wafer
JPH0288152A (en) Positioning device
JPH03198993A (en) Laser beam machining nozzle
KR100376491B1 (en) Nozzle head for laser material processing
JPH10202386A (en) Laser beam machining nozzle
RU2112636C1 (en) Method and apparatus for laser cutting
JPS6056494A (en) Laser working device
JP2005249710A (en) Shape-measuring machine

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20091231