RU213873U1 - Измерительно-силовая головка для наноиндентирования - Google Patents

Измерительно-силовая головка для наноиндентирования Download PDF

Info

Publication number
RU213873U1
RU213873U1 RU2021134168U RU2021134168U RU213873U1 RU 213873 U1 RU213873 U1 RU 213873U1 RU 2021134168 U RU2021134168 U RU 2021134168U RU 2021134168 U RU2021134168 U RU 2021134168U RU 213873 U1 RU213873 U1 RU 213873U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
indenter
loading mechanism
measuring
nanoindentation
fixed
Prior art date
Application number
RU2021134168U
Other languages
English (en)
Inventor
Юрий Иванович Головин
Александр Алексеевич Самодуров
Александр Иванович Тюрин
Эрнест Александрович Бойцов
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный университет имени Г.Р. Державина"
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный университет имени Г.Р. Державина" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный университет имени Г.Р. Державина"
Application granted granted Critical
Publication of RU213873U1 publication Critical patent/RU213873U1/ru

Links

Images

Abstract

Полезная модель относится к области измерительной техники, в частности к неразрушающему контролю объектов, и может быть использована для технической диагностики конструкций, при контроле металлов и сплавов, а также для исследования физико-механических свойств различных материалов (от твердых сплавов до мягких биологических) с использованием методов наноиндентирования. Измерительно-силовая головка для наноиндентирования содержит индентор и расположенные внутри корпуса устройства механизм нагружения индентора и датчик перемещения индентора, кинематически связанный с механизмом нагружения. Механизм нагружения индентора выполнен в виде электромагнита с сердечником. При этом механизм нагружения выполнен в виде составного вертикального штока с закрепленной на нем катушкой с большим количеством витков, помещенной в магнитное поле постоянного кольцевого магнита, изготовленного из Nd-Fe-B и закрепленного неподвижно внутри ферромагнитного экрана, являющегося частью корпуса измерительно-силовой головки для наноиндентирования, на одном конце штока закреплен сменный индентор, на противоположном - шторка датчика перемещения индентора, механизм нагружения подвешен на фигурных пружинах внутри корпуса. Технический результат полезной модели заключается в повышении точности измерений и повышении надежности работы. 4 ил.

Description

Область техники, к которой относится полезная модель
Полезная модель относится к измерительной технике для исследования и определения механических свойств материалов путем приложения к ним механических усилий, а именно к микро- и нанотвердомерам, регистрирующим диаграммы глубины вдавливания индентора в материал.
Уровень техники
Наноиндентирование, как совокупность подходов, конкретных методов и аппаратных средств, является практически единственным универсальным инструментом выяснения закономерностей механического поведения материалов в субмикро- и нанообъемах, тонких приповерхностных слоях и пленках. Оно появилось в результате длительной эволюции методов локального механического тестирования, в процессе которой простейший прием измерения твердости Н как отношения силы вдавливания индентора в материал Р к площади отпечатка А (твердость по Бринеллю) или к проекции этой площади на поверхность образца Ас (твердость по Мейеру), превратился в тонкий многофункциональный исследовательский инструмент. Он пригоден для решения разнообразных физических задач и выяснения фундаментальных закономерностей поведения нанометровых приповерхностных слоев и субмикронных объемов самых различных материалов - от мягких биологических до сверхтвердых алмазоподобных, используемых или планируемых к освоению всеми основными отраслями индустрии. Соответственно, и технические средства реализации теста на твердость претерпели с начала века радикальные изменения, пройдя путь от прессов, развивавших усилие в десятки-сотни кГ до прецизионных машин с разрешающей способностью до 1012 м с дискретностью отсчета нагрузки ~ 1 нН.
Одна из привлекательных особенностей наноиндентирования - возможность извлечения разнообразных количественных характеристик материала из первичных данных путем смены протокола испытаний и программы обработки этих данных. Примерно для половины этих характеристик и свойств существуют ясные общепринятые определения, стандарты, алгоритмы и программы их выполнения. Таковыми можно считать:
• модуль Юнга Е;
• твердость H;
• вязкость разрушения Кс;
• локальные наноконтакные характеристики, в частности, контактную жесткость S, ее действительную Sr и мнимую Sim компоненты;
критические значения силы Рс и контактных напряжений <σс> упругопластического перехода;
макроскопический предел текучести σу;
показатель степени n в случае аппроксимации деформационного упрочнения степенным законом σ=σу+Bεp n, εр - пластическая деформация;
диаграмму нагружения σ=ƒ(ε), восстанавливаемую по диаграмме Р=ƒ(h);
энергию Wpl, поглощенную в цикле «нагружение-разгрузка», и энергию упругого восстановления отпечатка We после разгрузки; долю упругой и пластической деформации под индентором по отношению к полной;
показатель степени β в законе Мейера Р=Mhβ для роста силы вдавливания по мере увеличения глубины погружения конического или пирамидального индентора в материал;
коэффициент скоростной чувствительности предела текучести и твердости
Figure 00000001
и
Figure 00000002
скорость dh/dt, энергию активации Wa, активационный объем Y, а также показатель степени g в законе логарифмической ползучести dh/hdt=qtg;
характеристики скачков деформации (амплитуда, скорость, длительность скачков и интервал между ними), статистические характеристики ансамбля скачков в прерывистых модах пластического течения;
области и размерно-скоростные границы режимов монотонной и скачкообразной деформации под индентором для материалов, склонных к динамическому деформационному старению (эффект Портевена-Ле-Шателье);
внутренние напряжения в приповерхностных слоях;
моменты образования трещин на всех стадиях испытания;
предел контактной выносливости по отношению к знакопеременному локальному нагружению;
пористость;
температуру хладноломкости.
Другая группа свойств и явлений не имеет общепринятых способов описания и методов экспериментальной характеризации. Они могут оцениваться различными способами и характеристиками, которые зачастую носят относительный или полуколичественный характер. К ним можно отнести:
параметры различных масштабных эффектов, условия их проявления, границы инвариантности механических свойств по отношению к изменению размеров образца или морфологических единиц его структуры;
характеристики полиморфных превращений, индуцируемых высокими контактными давлениями под индентором;
зависимости свойств от глубины в высокоградиентных материалах;
положение границ и раздельное определение свойств материала пленки и субстрата в тонкопленочных структурах без приготовления поперечного шлифа и стравливания поверхности;
адгезию, характеристики отслаивания и разрушения пленочных покрытий;
анизотропию механических свойств;
характеристики дислокационной структуры, подвижности и взаимодействия атомарных дефектов;
закономерности трещинообразования в зоне локальной деформации;
показатели контактной, усталостной и абразивной износостойкости;
атомные механизмы сильно стесненной пластической деформации, разрушения, износа и деградации поверхности;
закономерности электрофизических, акустоэмиссионных и других вторичных контактных явлений.
Таким образом, наноиндентирование - это универсальный и мощный метод исследования физико-механических свойств разнообразных материалов в наношкале.
Измерительно-силовая головка является основным устройством для проведения микро- и наноиндентирования. Она может устанавливаться на инструментальный микроскоп типа ИМЦЛ 150x70, микротвердомер ПМТ-3М с помощью специального крепления или на другую базовую платформу, имеющую одно или двухкоординатный предметный столик для крепления образцов.
Основное назначение - измерение нано- и микротвердости и модуля Юнга-при упругопластическом контакте методом непрерывного вдавливания индентора в соответствии с требованиями ГОСТ Р 8.748-2011 (ИСО 14577-1:2002), обеспечивающим более высокую точность ее определения при малых (с характерными размерами менее 1 мкм) отпечатках, а также оценка коэффициента трения между зондом и исследуемой поверхностью. Кроме того, измерительно-силовая головка может быть использована для решения обширного круга задач материаловедческого характера, а также в качестве инструмента при проведении научно-исследовательских работ по изучению механических и физических свойств путем локального нагружения микрообъемов исследуемого материала методами динамического наноиндентирования, царапания и измерения латеральных сил (локального трения). В основе универсальности лежит использование метода контролируемого внедрения алмазного индентора в поверхность твердого тела под действием плавно изменяемой нормальной нагрузки на глубину от единиц нм до сотен мкм при отсутствии горизонтального смещения координатного стола с образцом или измерения латеральной компоненты нагрузки с точностью до 3 мкН при горизонтальном контролируемом перемещении координатного стола в двух координатах X и Y.
Измерительно-силовая головка позволяет реализовать на аппаратном уровне большинство из перечисленных выше функций (при наличии специализированных программ извлечения необходимых характеристик из первичных данных).
Известна измерительная головка к твердомеру Бринелля для регистрации нагрузки и глубины вдавливания (пат. РФ №2320974, МПК G01N 3/42, опубл. 27.03.2008). Измерительная головка включает корпус, динамометр, толкатель, заглушку, наконечник с шаровым индентором, обойму, измерительную балку, измерительный стержень и тензометрические датчики, регистрирующие нагружающую силу и глубину вдавливания шара. Измерение глубины внедрения шарового индентора для сокращения размерной цепи и снижения погрешности производится относительно поверхности образца через неподвижную обойму с закрепленной на ней измерительной балкой, измерительный стержень, проходящий в отверстие наконечника и прижатый к верхней точке шарового индентора.
Недостаток такого устройства - низкая точность измерения. Такая измерительная головка характеризуется недостаточными функциональными возможностями и не позволяет реализовать на аппаратном уровне большинство из перечисленных выше функций (при наличии специализированных программ извлечения необходимых характеристик из первичных данных).
Известно устройство для осуществления способа определения физико-механических характеристик модифицированного поверхностного слоя материала изделия и устройство для его осуществления (Пат. РФ №2 646 442, МПК G01N 3/42, опубл. 05.03.2018). Устройство содержит основание, на котором расположена подвижная стойка с вращающейся площадкой, на которой закреплена штанга с измерительным модулем и люнетом и с возможностью перемещения ее внутри отверстия исследуемого изделия по трем осям и вращения вокруг своей оси с помощью расположенных на стойке приводов, при этом на хвостовике штанги установлена цифровая камера.
Основным недостатком данного устройства является низкая точность измерений, обусловленная как факторами внешних воздействий (вибраций) на индентор, которые невозможно устранить в описанной конструкции, так и неконтролируемые люфты в вертикальной стойке.
В качестве прототипа принята измерительная головка из устройства для исследования микромеханических характеристик твердых тел индентированием (см. RU 108842 U1. опубл. 27.09.2011 на 21 стр., кл. G01N 3/00 (далее - Д1)). Устройство содержит индентор (см. Д1, п. 1 формулы) и расположенные внутри корпуса устройства механизм нагружения индентора (см. Д1, п. 1 формулы), а также датчик перемещения индентора (см. Д1, п. 1 формулы), причем индентор кинематически связан с механизмом нагружения (см. Д1, п. 1 формулы) и оптическим датчиком (см. Д1, строки 14-15 стр. 6 описания), а механизм нагружения индентора выполнен в виде электромагнита с сердечником (см. Д1, п. 1 формулы), при этом внедрение индентора в поверхность твердого тела под действием плавно изменяемой нормальной нагрузки осуществляется под контролем персонального компьютера (см. Д1, строки 15-31 стр. 6 описания).
Основным недостатком данного устройства является, низкая точность измерений, обусловленная как факторами внешних воздействий (вибраций) на индентор, которые невозможно устранить в описанной конструкции, так и неконтролируемые люфты в направляющих.
Технический результат полезной модели заключается в повышении точности измерений и повышении надежности работы.
Технический результат достигается тем, что измерительно-силовая головка для наноиндентирования, содержащая индентор и расположенные внутри корпуса устройства механизм нагружения индентора и датчик перемещения индентора, кинематически связанного с механизмом нагружения, а механизм нагружения индентора выполнен в виде электромагнита с сердечником, согласно полезной модели механизм нагружения выполнен в виде составного вертикального штока с закрепленной на нем катушкой с большим количеством витков, помещенной в магнитное поле постоянного кольцевого магнита, изготовленного из Nd-Fe-B и закреплен неподвижно внутри ферромагнитного экрана, являющегося частью корпуса измерительно-силовой головки для наноиндентирования, на одном конце штока закреплен сменный индентор, на противоположном - шторка датчика перемещения индентора, механизм нагружения подвешен на фигурных пружинах внутри корпуса.
Выполнение механизма нагружения в описанном виде обеспечивает повышение точности измерений и повышение надежности работы за счет отсутствию шарниров и зазоров в направляющих, а две фигурные пружины обеспечивают смещения штока строго вдоль вертикальной оси и компенсируют вес подвижных частей.
Применение постоянного кольцевого магнита, изготовленного из Nd-Fe-B и закрепленного неподвижно внутри ферромагнитного экрана, катушки с большим числом витков обеспечивает повышение точности измерений за счет более точного регулирования усилия (от единиц мкН), подаваемого на индентор от персонального компьютера через контроллерный блок.
Такая конструкция по точности превосходит примененные в прототипе тензодатчики для регистрации усилия.
Датчик перемещения индентора содержит лазерный осветитель, установленный на консольной плоской пружине, взаимодействующей с регулировочным винтом, ввернутым в верхнюю часть корпуса, шторку с отверстием, закрепленную на одном из концов составного штока механизма нагружения индентора, и оптический преобразователь, состоящий из четырехсекционного фотоприемника и платы преобразования оптического сигнала.
Все элементы электроники монтируются на печатной плате, размещенной в корпусе головки.
Оптический преобразователь измерителя перемещения индентора выполнен по дифференциальной схеме и выполняет операции преобразования светового потока в напряжение, определения их суммы и разности по всем каналам, предварительного усиления и нормировки.
Электрическая схема оптического преобразователя датчика перемещения индентора содержит три четырехканальных операционных усилителя, один двухканальный операционных усилитель и два аналоговых делителя.
Один из четырехканальных операционных усилителей преобразует выходные токи фото датчика измерения смещения по каналам А, В, С и D в напряжения Ua, Ub, Uc, Ud соответственно. Второй четырехканальный операционный усилитель выполняет функции сумматора и вычисляет инвертированные суммы сигналов всех каналов - (Ua+Ub), - (Uc+Ud), - (Ua+Ud), - (Ub+Uc). С помощью третьего операционного усилителя формируются суммарные сигналы А+В, A+D, A+B+C+D и - (A+B+C+D). На аналоговых делителях и двухканальном операционном усилителе выполнен узел нормировки каналов измерения вертикального и латерального смещения.
Принцип действия преобразователя заключается в следующем. В исходном состоянии (фиг. 2а) все четыре секции А, В, С и D четырехсекционного фотоприемника засвечены лазерным пучком через прямоугольное отверстие в шторке, закрепленной на подвижном штоке, одинаково и выходной сигнал фоторегистратора равен нулю. При чисто вертикальном смещении штока (фиг. 2b) нижние секции D и С засвечены больше, чем верхние секции А и В (при условии (A+D)=(B+C)), а при латеральном смещении (фиг. 2с) (A+D) ≠ (В+С). Возможен и вариант неодинаковой засветки всех четырех секций фотодиода. В этом случае одновременно измеряется как вертикальное, так и латеральное смещение индентора.
С целью компенсации деградации лазера, запыления окна фотодатчика, дрейфов характеристик электронных устройств и иных причин изменения абсолютной величины выходного сигнала фотодатчика осуществляется нормировка дифференциального сигнала с датчика на его абсолютную величину.
Преобразователь с этой целью осуществляет преобразование двух выходных токов фото датчика в единую величину (Ua-Uc) / (Ua+Uc) для вертикального смещения штока (где Ua и Uc - суммарные выходные сигналы вертикальных секций фотодиода) или (Ub-Ud) / (Ub+Ud) для латерального смещения штока (где Ub и Ud - суммарные выходные сигналы горизонтальных секций фотодиода).
Заявляемая конструкция полезной модели по точности превосходит примененные в прототипе тензодатчик для регистрации нагрузки на индентор и датчик перемещения индентора. Прототип позиционируется как измеритель микротвердости, а заявляемая полезная модель как измеритель нано- и микро-ствердости, что соответствует диапазону нагрузок от единиц мкН и смещения от единиц нм.
Заявка на полезную модель поясняется чертежами, на которых показны:
На фиг. 1 конструкция измерительно-силовой головки.
Измерительно-силовая головка 5 содержит датчик измерения перемещения 4 с лазерным осветителем IE75-05PF 3 и оптическим преобразователем 7, включающим четырехсекционный фотоприемник (фотодиод) 6 и аналоговый усилитель-преобразователь датчика смещения 9, смонтированный на печатной плате. Лазер установлен на консольной плоской пружине 1. Положение лазера относительно фотодиода может регулироваться регулировочным винтом (не показан), ввернутым в верхнюю часть корпуса, и винтами 2. Вращение регулировочного винта приводит к небольшому смещению свободного конца пружины 1 с лазером и, как следствие, оптической оси измерителя относительно шторки 8, закрепленной на подвижном штоке. Эта регулировка необходима только при первичной сборке и отладке головки или смене лазера. Фотоприемник жестко вмонтирован в печатную плату и закреплен на датчике измерения перемещения.
Механизм нагружения содержит следующие основные компоненты: постоянный Nd-Fe-B кольцевой магнит (не показан), закрепленный неподвижно внутри ферромагнитного экрана 10; катушку 11, закрепленную на подвижном штоке из инвара; две плоские фигурные пружины 12а и 12б, обеспечивающие возможность смещения штока строго вдоль вертикальной оси и компенсирующие вес подвижных частей; нижнюю часть корпуса 13, в котором установлен сухарь 15, позволяющий при вращении регулировочного винта 14 слегка изменять высоту подвеса штока на плоской пружине, что дает возможность юстировки начального положения штока в отсутствие тока в катушках (необходимо только при первичной установке головки на шасси или при смене рабочего инструмента); индентор (или другой зонд) 16 и фиксирующая его положение на штоке гайка 17.
Головка закрыта защитным кожухом, экранирующим ее от действия внешних электромагнитных полей.
На фиг. 2 Блок-схема оптического преобразователя сигнала датчика смещения штока с индентором.
На фиг. 3 в качестве примера использования измерительно-силовой головки показана микрозондовая система PMT-3NI-02 для характеризации механических свойств материалов в наношкале. Измерительно-силовая головка, моторизованный стол сопряжены с контроллерным блоком и соединены с персональным компьютером, управляющим всеми циклами работы измерительно-силовой головки и прибора в целом.
Перечень позиций, указанных на фиг. 3:
18 - измерительно-силовая головка,
19 - моторизованный стол позиционирования,
20 - базовая платформа микротвердомера ПМТ-3М,
21 - микроскоп,
22 - контроллер,
23 - персональный компьютер.
Устройство работает следующим образом.
Схематично весь цикл работы с нормально прилагаемой нагрузкой представлен на фиг. 4. Из него следует, что работа начинается с автоматического поиска поверхности образца. После установления контакта с поверхностью, прибор начинает цикл нагружения, параметры которого заранее задаются оператором. По достижению установленного значения Pmax, прибор удерживает индентор в этом положении некоторое контролируемое время, а затем начинается цикл разгружения. После полной разгрузки отпечатка, индентор автоматически возвращается в исходное положение.
В приборе предусмотрена возможность многократного повторения циклов нагружения-разгрузки индентора как постоянным, так и нарастающим от цикла к циклу усилием.
В процессе непрерывного вдавливания индентора в поверхность исследуемого материала величина нагрузки на индентор P(t) и вызываемого ее приложением смещения штока h(t) с дискретностью At регистрируются и записываются в память компьютера через электронный контроллер. Кинетические зависимости P(t) и h(t) в дальнейшем перестраиваются в диаграмму нагружения (Р-h диаграмму), анализ которой по соответствующим методикам позволяет определять весь комплекс механических характеристик материала.

Claims (1)

  1. Измерительно-силовая головка для наноиндентирования, содержащая индентор и расположенные внутри корпуса устройства механизм нагружения индентора и датчик перемещения индентора, кинематически связанного с механизмом нагружения, а механизм нагружения индентора выполнен в виде электромагнита с сердечником, отличающаяся тем, что механизм нагружения выполнен в виде составного вертикального штока с закрепленной на нем катушкой с большим количеством витков, помещенной в магнитное поле постоянного кольцевого магнита, изготовленного из Nd-Fe-B и закрепленного неподвижно внутри ферромагнитного экрана, являющегося частью корпуса измерительно-силовой головки для наноиндентирования, на одном конце штока закреплен сменный индентор, на противоположном - шторка датчика перемещения индентора, механизм нагружения подвешен на фигурных пружинах внутри корпуса.
RU2021134168U 2021-11-23 Измерительно-силовая головка для наноиндентирования RU213873U1 (ru)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU213873U1 true RU213873U1 (ru) 2022-10-04

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU223678U1 (ru) * 2023-12-04 2024-02-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный университет имени Г.Р. Державина" Скретч-тестер для древесины

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU100261U1 (ru) * 2010-06-23 2010-12-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) Измерительная головка к твердомеру бринелля для регистрации нагрузки и глубины вдавливания
RU108842U1 (ru) * 2011-02-21 2011-09-27 Общество с ограниченной ответственностью "НаноТэкс" Устройство для исследования микромеханических характеристик твердых тел индентированием
US9228928B2 (en) * 2009-11-30 2016-01-05 Universite De Rennes 1 Continuous or instrumented indentation device
RU2621935C2 (ru) * 2015-06-23 2017-06-08 Ческе высоке учени техницке в Празе, Факулта стройни Индентационное устройство, автоматизированная измерительная система и способ определения механических свойств материалов индентационным методом
RU2646442C1 (ru) * 2016-10-04 2018-03-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт машиноведения им. А.А. Благонравова Российской академии наук (ИМАШ РАН) Способ определения физико-механических характеристик модифицированного поверхностного слоя материала изделия и устройство для его осуществления

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9228928B2 (en) * 2009-11-30 2016-01-05 Universite De Rennes 1 Continuous or instrumented indentation device
RU100261U1 (ru) * 2010-06-23 2010-12-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева" (СибГАУ) Измерительная головка к твердомеру бринелля для регистрации нагрузки и глубины вдавливания
RU108842U1 (ru) * 2011-02-21 2011-09-27 Общество с ограниченной ответственностью "НаноТэкс" Устройство для исследования микромеханических характеристик твердых тел индентированием
RU2621935C2 (ru) * 2015-06-23 2017-06-08 Ческе высоке учени техницке в Празе, Факулта стройни Индентационное устройство, автоматизированная измерительная система и способ определения механических свойств материалов индентационным методом
RU2646442C1 (ru) * 2016-10-04 2018-03-05 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт машиноведения им. А.А. Благонравова Российской академии наук (ИМАШ РАН) Способ определения физико-механических характеристик модифицированного поверхностного слоя материала изделия и устройство для его осуществления

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU223678U1 (ru) * 2023-12-04 2024-02-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тамбовский государственный университет имени Г.Р. Державина" Скретч-тестер для древесины

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU2021101826A4 (en) Micro-nano indentation testing device and method
Asif et al. Nanoindentation and contact stiffness measurement using force modulation with a capacitive load-displacement transducer
Pratt et al. Progress toward Systeme International d'Unites traceable force metrology for nanomechanics
CN102288501B (zh) 精密纳米压痕测试装置
JP2002202244A (ja) 微細摩擦摩滅実験装置
CN101413859A (zh) 一种材料硬度测试方法及系统
US11781956B2 (en) Observable micro-nano mechanical testing apparatus and method
CN102252925A (zh) 纳米压痕/刻划测试装置
Wang et al. Principle and methods of nanoindentation test
CN214041002U (zh) 一种可观测型微纳米力学测试装置
CN101825542A (zh) 一种小载荷表面划痕测试装置
CN106370517A (zh) 具备原位观测和连续测试功能的便携式压入测试系统
CN203857924U (zh) 一种应力环变形检测用电子变形计及变形检测装置
Li et al. In situ nanoscale in-plane deformation studies of ultrathin polymeric films during tensile deformation using atomic force microscopy and digital image correlation techniques
CN106644715B (zh) 一种便携式划入测试系统
CN1975335A (zh) 一种通用型精密位移测量辅助装置以及测量方法
Chetwynd et al. A controlled-force stylus displacement probe
Cheng et al. Development of a high-precision optical force sensor with μN-level resolution
RU213873U1 (ru) Измерительно-силовая головка для наноиндентирования
Bhushan et al. In-situ nanoindentation hardness apparatus for mechanical characterization of extremely thin films
Dutta et al. Table top experimental setup for electrical contact resistance measurement during indentation
Darlington et al. An apparatus for the measurement of tensile creep and contraction ratios in small non-rigid specimens
JPS62245131A (ja) ひつかき試験機
Liu et al. Improvement of the fidelity of surface measurement by active damping control
CN217304852U (zh) 一种划痕仪