RU210126U1 - CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES - Google Patents

CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES Download PDF

Info

Publication number
RU210126U1
RU210126U1 RU2021134022U RU2021134022U RU210126U1 RU 210126 U1 RU210126 U1 RU 210126U1 RU 2021134022 U RU2021134022 U RU 2021134022U RU 2021134022 U RU2021134022 U RU 2021134022U RU 210126 U1 RU210126 U1 RU 210126U1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
electrode
substrate
vacuum
dielectric
Prior art date
Application number
RU2021134022U
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Рустам Халимович Якубов
Владислав Олегович Ревазов
Сергей Геннадьевич Давыдов
Александр Николаевич Долгов
Александр Андреевич Козлов
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом"), Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом")
Priority to RU2021134022U priority Critical patent/RU210126U1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU210126U1 publication Critical patent/RU210126U1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
    • H01T1/00—Details of spark gaps
    • H01T1/20—Means for starting arc or facilitating ignition of spark gap
    • H01T1/22—Means for starting arc or facilitating ignition of spark gap by the shape or the composition of the electrodes

Landscapes

  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

Полезная модель относится к электротехнике и сильноточной электронике, может использоваться для коммутации сильноточных высоковольтных электрических систем и представляет собой управляемый вакуумный искровой разрядник, который состоит из коаксиальной электродной системы, заключенной внутри герметичной вакуумированной диэлектрической оболочки. Электродная система содержит три электрода: катод, поджигающий электрод и анод. Катод и кольцеобразный поджигающий электрод вакуумноплотно соединяются с керамической подложкой в процессе диффузионной сварки через пленочное металлическое покрытие подложки, выполненное в виде двух коаксиальных колец, одно из которых является продолжением катода, а другое - продолжением поджигающего электрода, причем ширина полосы обнаженной керамической поверхности, разделяющей указанные кольца, порядка 10-100 мкм, и, кроме того, при сборке разрядника подложка становится частью герметичной диэлектрической оболочки. Технический результат заключается в повышении ресурса компактного вакуумного электроразрядного коммутирующего устройства. 2 ил.The utility model relates to electrical engineering and high-current electronics, can be used for switching high-current high-voltage electrical systems and is a controlled vacuum spark gap, which consists of a coaxial electrode system enclosed inside a sealed evacuated dielectric shell. The electrode system contains three electrodes: a cathode, an ignition electrode, and an anode. The cathode and the annular igniting electrode are vacuum-tightly connected to the ceramic substrate in the process of diffusion welding through the metal film coating of the substrate, made in the form of two coaxial rings, one of which is a continuation of the cathode, and the other is a continuation of the igniting electrode, and the width of the strip of the exposed ceramic surface separating the indicated ring, about 10-100 microns, and, in addition, when assembling the arrester, the substrate becomes part of a sealed dielectric shell. The technical result consists in increasing the resource of a compact vacuum electric-discharge switching device. 2 ill.

Description

Полезная модель относится к электротехнике и сильноточной электронике, в частности к средствам коммутации, и может использоваться для коммутации сильноточных высоковольтных электрических систем.The utility model relates to electrical engineering and high-current electronics, in particular to switching facilities, and can be used for switching high-current high-voltage electrical systems.

Известен управляемый вакуумный разрядник, содержащий коаксиальную трехэлектродную систему в герметичной диэлектрической оболочке. Поджигающая система образована двумя электродами - катодом и поджигающим электродом и плотно сжатой между ними прокладкой из диэлектрика. Катод и анод образуют основной разрядный промежуток. Патент Российской Федерации №143137, МПК Н01Т 2/02, 20.07.2014.Known controlled vacuum spark gap containing a coaxial three-electrode system in a sealed dielectric shell. The ignition system is formed by two electrodes - a cathode and an ignition electrode and a dielectric gasket tightly compressed between them. The cathode and anode form the main discharge gap. Patent of the Russian Federation No. 143137, IPC N01T 2/02, 07/20/2014.

Такой разрядник работает следующим образом. При подаче на поджигающий электрод импульса положительной относительно катода полярности у кромки катода на границе трех сред- металл, диэлектрик, вакуум- возникают токи автоэлектронной эмиссии, приводящие к испарению материала катода и ионизации испаренного вещества. Ионизация паров вещества катода превращает их в проводящую среду - плазму. На границе «плазма - катод» формируется область электронной эмиссии - катодное пятно. Образующаяся у поверхности катода плазма - катодный факел - в силу большой подвижности электронов под действием электрического поля смещается в направлении поджигающего электрода. Происходит искровой пробой по поверхности диэлектрика с ионизацией молекул сорбированного на его поверхности газа. В условиях продолжающегося поступления плазмы из катодного пятна и выравнивания потенциалов катода и поджигающего электрода происходит расширение катодного факела в направлении анода. С замыканием промежутка «катод - анод» плазмой факела напряжение между катодом и анодом начинает падать, и разряд в вакуумном промежутке за время порядка 10-7 с переходит в дуговую стадию. Происходит срабатывание коммутирующего устройства.Such an arrester works as follows. When a pulse of positive polarity relative to the cathode is applied to the igniting electrode at the edge of the cathode at the boundary of three media - metal, dielectric, vacuum - field emission currents arise, leading to evaporation of the cathode material and ionization of the evaporated substance. The ionization of vapors of the cathode substance turns them into a conducting medium - plasma. At the "plasma - cathode" boundary, an electron emission region is formed - a cathode spot. The plasma formed at the cathode surface - the cathode torch - due to the high mobility of electrons under the action of an electric field, is displaced in the direction of the igniting electrode. A spark breakdown occurs along the surface of the dielectric with ionization of the molecules of the gas sorbed on its surface. Under conditions of continued plasma inflow from the cathode spot and equalization of the potentials of the cathode and the igniting electrode, the cathode flame expands in the direction of the anode. With the closing of the "cathode - anode" gap by the flame plasma, the voltage between the cathode and the anode begins to drop, and the discharge in the vacuum gap passes into the arc stage over a time of about 10 -7 s. The switching device is activated.

Недостатком данного разрядника является то, что при механической сборке поджигающей системы возможны отклонения от осевой симметрии, т.е. оси катода, что может привести к смещению диэлектрика, и таким образом, протяженность и форма диэлектрической поверхности, по которой будет происходить электрический разряд, окажется различной на различных участках периметра поджигающей системы, т.е. условия разряда будут отличаться. В результате вышеуказанных обстоятельств происходит привязка инициирующего и основного разрядов к определенному участку периметра диэлектрической прокладки, на котором условия развития инициирующего разряда обеспечивают наименьшую величину напряжения пробоя. На данном участке происходит ускоренная эрозия системы поджига, ведущая к короткому замыканию и выходу системы поджига из строя. Кроме того, конструкция указанной модели затрудняет использование с целью снижения амплитуды поджигающего импульса и уменьшения габаритов разрядника тонкой - толщиной порядка 0,1 мм или менее - диэлектрической прокладки, выполненной из эрозионностойкого тугоплавкого материала, например керамики, в силу хрупкости указанного материала.The disadvantage of this spark gap is that during the mechanical assembly of the ignition system, deviations from axial symmetry are possible, i.e. cathode axis, which can lead to displacement of the dielectric, and thus, the length and shape of the dielectric surface, along which the electric discharge will occur, will be different in different parts of the perimeter of the ignition system, i.e. discharge conditions will be different. As a result of the above circumstances, the initiating and main discharges are tied to a certain section of the perimeter of the dielectric gasket, where the conditions for the development of the initiating discharge provide the lowest breakdown voltage. In this area, accelerated erosion of the ignition system occurs, leading to a short circuit and failure of the ignition system. In addition, the design of this model makes it difficult to use, in order to reduce the amplitude of the igniting pulse and reduce the dimensions of the spark gap, a thin - about 0.1 mm thick or less - dielectric gasket made of an erosion-resistant refractory material, such as ceramics, due to the fragility of this material.

Известен тригатронный разрядник, состоящий из корпуса, образующего разрядную камеру, внутри которой установлены поджигающая система и основной электрод. Поджигающая системам состоит из электрода (катода), выполненного с центральным отверстием, в котором размещены диэлектрическая втулка и поджигающий электрод. На торце катода установлена дисковая токопроводящая накладка, контактирующая с торцевой поверхностью диэлектрической втулки и закрывающая внутреннюю кромку этой втулки. Разрядная камера изготавливается из диэлектрического материала и может быть вакуумирована. Патент Российской Федерации №1364192, МПК Н01Т 2/02, 09.02.1995. Данное техническое решение принято в качестве прототипа.Known trigatron spark gap, consisting of a housing forming a discharge chamber, inside which is installed ignition system and the main electrode. The ignition system consists of an electrode (cathode) made with a central hole in which a dielectric bushing and an ignition electrode are placed. At the end of the cathode, there is a disk conductive pad that contacts the end surface of the dielectric bushing and covers the inner edge of this bushing. The discharge chamber is made of a dielectric material and can be evacuated. Patent of the Russian Federation No. 1364192, IPC N01T 2/02, 09.02.1995. This technical solution is accepted as a prototype.

Разрядник работает следующим образом. При подаче управляющего импульса напряжения на поджигающий электрод по поверхности диэлектрической втулки возникает скользящий разряд. Разряд начинает формироваться с кромки токопроводящей накладки в сторону поджигающего электрода за счет образования первичных электронов. Возникновение скользящего разряда в дальнейшем приводит к пробою между катодом и основным электродом.The arrester works as follows. When a control voltage pulse is applied to the ignition electrode, a sliding discharge occurs on the surface of the dielectric sleeve. The discharge begins to form from the edge of the conductive pad towards the ignition electrode due to the formation of primary electrons. The occurrence of a sliding discharge further leads to a breakdown between the cathode and the main electrode.

Недостатками прототипа является следующее:The disadvantages of the prototype are the following:

- невозможность гарантированного обеспечения симметричности и отсутствия зазоров при сборке системы «дисковая проводящая накладка - диэлектрическая втулка- катод», что неминуемо приведет к привязке поджигающего и основного разрядов к определенному участку системы поджига, ускоренной эрозии этого участка, снижению стабильности срабатывания и сокращению ресурса системы поджига;- the impossibility of guaranteed symmetry and absence of gaps when assembling the "disk conductive pad - dielectric bushing - cathode" system, which will inevitably lead to the binding of the ignition and main discharges to a certain section of the ignition system, accelerated erosion of this section, a decrease in the stability of operation and a reduction in the life of the ignition system ;

- привязка катодного пятна, возникающего на границе трех сред «металл -диэлектрик - вакуум», вызывает ускоренную эрозию материала катода и диэлектрической втулки, т.е. ведет к образованию каверны, и выносу металла на поверхность диэлектрика, что станет в конечном итоге причиной снижения ресурса работы и, как следствие, короткого замыкания и выхода из строя системы поджига и разрядника в целом.- the attachment of the cathode spot, which occurs at the boundary of three media "metal-dielectric-vacuum", causes accelerated erosion of the cathode material and the dielectric sleeve, i.e. leads to the formation of a cavity and the removal of metal to the surface of the dielectric, which will ultimately cause a decrease in the service life and, as a result, a short circuit and failure of the ignition system and the arrester as a whole.

Техническим результатом полезной модели является повышение ресурса работы управляемого вакуумного разрядника за счет гарантированного обеспечения симметричности поджигающей системы путем изменения конструкции разрядника.The technical result of the utility model is to increase the service life of a controlled vacuum spark gap due to the guaranteed symmetry of the ignition system by changing the design of the spark gap.

Технический результат достигается тем, что в управляемом вакуумном искровом разряднике, содержащем коаксиальную электродную систему в герметичной диэлектрической оболочке, включающую катод, поджигающий электрод и анод, катод и поджигающий электрод вакуумноплотно соединены с керамической подложкой способом диффузионной сварки через пленочное металлическое покрытие подложки, выполненное в виде двух коаксиальных колец, разделенных полосой керамической поверхности шириной 10-100 мкм, при этом одно из колец является продолжением катода, а другое - продолжением поджигающего электрода, а подложка является частью герметичной диэлектрической оболочки.The technical result is achieved by the fact that in a controlled vacuum spark gap containing a coaxial electrode system in a sealed dielectric shell, including a cathode, an igniting electrode and an anode, the cathode and igniting electrode are vacuum-tightly connected to a ceramic substrate by diffusion welding through a metal film coating of the substrate, made in the form two coaxial rings separated by a ceramic surface strip 10-100 μm wide, wherein one of the rings is a continuation of the cathode, and the other is a continuation of the ignition electrode, and the substrate is part of a sealed dielectric shell.

Сущность полезной модели поясняется чертежами, где:The essence of the utility model is illustrated by drawings, where:

1 - катод;1 - cathode;

2 - поджигающий электрод;2 - ignition electrode;

3 - анод.3 - anode.

4 - подложка;4 - substrate;

5 - металлическое покрытие;5 - metal coating;

6 - крышка;6 - cover;

На фиг. 1 представлен вакуумный управляемый разрядник.In FIG. 1 shows a vacuum controlled spark gap.

На фиг. 2 представлена схема поджигающей системы разрядника.In FIG. 2 shows a diagram of the ignition system of the spark gap.

Разрядник включает коаксиальную электродную систему, состоящую из катода 1, кольцеобразного поджигающего электрода 2, анода 3. Катод 1 и поджигающий электрод 2 находятся на керамической подложке 4 толщиной примерно 1 мм, выполненной, например, из корунда (Аl2О3), с отверстием по оси симметрии. На подложку нанесено металлическое покрытие 5, например алюминиевое или титановое, в виде пленки толщиной 10-100 мкм в форме коаксиальных колец, разделенных полосой керамики без покрытия шириной 10-100 мкм. В качестве метода нанесения металлического покрытия может выступать метод осаждения через маску паров материала металлической мишени, подвергающейся магнетронному, электроннолучевому или лазернолучевому испарению.The arrester includes a coaxial electrode system consisting of a cathode 1, an annular ignition electrode 2, an anode 3. The cathode 1 and the ignition electrode 2 are located on a ceramic substrate 4 approximately 1 mm thick, made, for example, of corundum (Al 2 O 3 ), with a hole along the axis of symmetry. The substrate is coated with a metal coating 5, such as aluminum or titanium, in the form of a film 10-100 µm thick in the form of coaxial rings separated by an uncoated ceramic strip 10-100 µm wide. As a method of applying a metal coating, one can use the method of deposition through a mask of vapors of a metal target material subjected to magnetron, electron beam, or laser beam evaporation.

Катод 1 и поджигающий электрод 2 вакуумноплотно соединены с подложкой 4 с применением технологии диффузионной сварки через металлическое покрытие 5, являющееся, таким образом, продолжением соответствующих электродов.The cathode 1 and the ignition electrode 2 are vacuum-tightly connected to the substrate 4 using diffusion welding technology through the metal coating 5, which is thus a continuation of the respective electrodes.

Электродная система находится в герметичном диэлектрическом корпусе, состоящем из подложки 4 и диэлектрической крышки 6, выполненной, например, из керамики, при этом анод 3 находится на крышке 6 и вакуумноплотно соединен с ней с применением технологии диффузионной сварки. При сборке все металлические элементы соединяются с диэлектрическими (керамическими) вакуумноплотно с применением технологии диффузионной сварки.The electrode system is located in a sealed dielectric housing, consisting of a substrate 4 and a dielectric cover 6, made, for example, of ceramics, while the anode 3 is located on the cover 6 and is vacuum-tightly connected to it using diffusion welding technology. During assembly, all metal elements are connected to dielectric (ceramic) elements vacuum-tight using diffusion welding technology.

Разрядник работает следующим образом. При подаче на поджигающий электрод импульса положительной относительно катода полярности амплитудой в несколько киловольт по поверхности керамической подложки между катодом и поджигающим электродом развивается искровой электрический разряд. На поверхности катода возникает катодное пятно и проводящая среда- плазма, эмитируемая из катодного пятна, замыкает пространство по керамике между основными электродами катодом и анодом. Происходит коммутация, т.е. срабатывание разрядника.The arrester works as follows. When a pulse of positive polarity relative to the cathode with an amplitude of several kilovolts is applied to the igniting electrode, a spark electric discharge develops on the surface of the ceramic substrate between the cathode and the igniting electrode. A cathode spot appears on the cathode surface and a conducting medium - plasma emitted from the cathode spot closes the space along the ceramic between the main electrodes by the cathode and anode. Switching occurs, i.e. discharger operation.

Таким образом, в результате изменения конструкции разрядника достигаются следующие преимущества по сравнению с прототипом:Thus, as a result of changing the design of the arrester, the following advantages are achieved in comparison with the prototype:

- гарантированная высокая степень симметричности системы поджига при ширине поверхности диэлектрика, по которой осуществляется электрический разряд (пробой) в процессе срабатывания системы поджига, порядка 0,1 мм;- guaranteed high degree of symmetry of the ignition system with the width of the dielectric surface, through which the electric discharge (breakdown) is carried out in the process of triggering the ignition system, is about 0.1 mm;

- наличие переходного слоя на границе «металл - диэлектрик», возникающего в процессе диффузионной сварки, т.е. размытие границы трех сред «металл - диэлектрик - вакуум», что затрудняет привязку катодного пятна и образование каверны;- the presence of a transition layer at the "metal - dielectric" interface, which occurs in the process of diffusion welding, i.e. blurring of the boundary of three media "metal - dielectric - vacuum", which makes it difficult to bind the cathode spot and the formation of a cavity;

- отсутствие зазоров между элементами системы поджига;- absence of gaps between the elements of the ignition system;

- обеспечение высокой механической прочности диэлектрического промежутка между поджигающим электродом и катодом,- ensuring high mechanical strength of the dielectric gap between the ignition electrode and the cathode,

что позволяет повысить ресурс разрядника.which makes it possible to increase the service life of the arrester.

Claims (1)

Управляемый вакуумный искровой разрядник с пленочными электродами, содержащий коаксиальную электродную систему в герметичной диэлектрической оболочке, включающую катод, поджигающий электрод и анод, отличающийся тем, что катод и поджигающий электрод вакуумноплотно соединены с керамической подложкой способом диффузионной сварки через пленочное металлическое покрытие подложки, выполненное в виде двух коаксиальных колец, разделенных полосой керамической поверхности шириной 10-100 мкм; одно из колец является продолжением катода, а другое - продолжением поджигающего электрода; подложка является частью герметичной диэлектрической оболочки.A controlled vacuum spark gap with film electrodes, containing a coaxial electrode system in a sealed dielectric shell, including a cathode, an igniting electrode and an anode, characterized in that the cathode and igniting electrode are vacuum-tightly connected to a ceramic substrate by diffusion welding through a metal film coating of the substrate, made in the form two coaxial rings separated by a ceramic surface strip 10-100 µm wide; one of the rings is a continuation of the cathode, and the other is a continuation of the ignition electrode; the substrate is part of a sealed dielectric shell.
RU2021134022U 2021-11-22 2021-11-22 CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES RU210126U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021134022U RU210126U1 (en) 2021-11-22 2021-11-22 CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2021134022U RU210126U1 (en) 2021-11-22 2021-11-22 CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU210126U1 true RU210126U1 (en) 2022-03-29

Family

ID=81076455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2021134022U RU210126U1 (en) 2021-11-22 2021-11-22 CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU210126U1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1364192A1 (en) * 1985-10-28 1995-02-09 Объединенный Институт Ядерных Исследований Trigatron discharger
EP1542323A2 (en) * 2003-11-28 2005-06-15 Dehn + Söhne Gmbh + Co Kg Overvoltage protection device, based on spark gaps, comprising at least two main electrodes arranged in an enclosed housing
US20070058319A1 (en) * 2003-06-02 2007-03-15 Ithpp Spark-gap device, particularly high-voltage spark-gap device
RU143137U1 (en) * 2014-03-04 2014-07-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") CONTROLLED VACUUM DISCHARGE
RU161492U1 (en) * 2015-12-07 2016-04-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" CONTROLLED VACUUM DISCHARGE

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1364192A1 (en) * 1985-10-28 1995-02-09 Объединенный Институт Ядерных Исследований Trigatron discharger
US20070058319A1 (en) * 2003-06-02 2007-03-15 Ithpp Spark-gap device, particularly high-voltage spark-gap device
EP1542323A2 (en) * 2003-11-28 2005-06-15 Dehn + Söhne Gmbh + Co Kg Overvoltage protection device, based on spark gaps, comprising at least two main electrodes arranged in an enclosed housing
RU143137U1 (en) * 2014-03-04 2014-07-20 Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") CONTROLLED VACUUM DISCHARGE
RU161492U1 (en) * 2015-12-07 2016-04-20 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" CONTROLLED VACUUM DISCHARGE

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3087092A (en) Gas generating switching tube
US4288719A (en) CRT With means for suppressing arcing therein
US3465205A (en) Vacuum gap devices with metal ionizable species evolving trigger assemblies
US3792214A (en) Vacuum interrupter for high voltage application
RU210126U1 (en) CONTROLLED VACUUM SPARGER WITH FILM ELECTRODES
GB1476293A (en) Continuous ionization injector for low pressure gas dis charge device
US3323002A (en) Triggered vacuum gap device having field emitting trigger assembly
US6361663B1 (en) Vacuum arc evaporator
US3450922A (en) Triggerable vacuum gap having offset trigger
US3862449A (en) Ion sleeve for arc lamp electrode
US3366825A (en) Vacuum gap discharge device having grooved electrodes for thermal insulation
RU2654494C1 (en) Vacuum spark discharger
CN109690892B (en) Spark gap with triple point electron emission excitation
US4891525A (en) SKM ion source
US4004172A (en) Gas discharge electron gun for generating an electron beam by means of a glow discharge
RU198751U1 (en) CONTROLLED VACUUM PROTECTION ARRESTER
RU116273U1 (en) SOURCE OF IONS
JP4074704B2 (en) Vapor deposition source and vapor deposition apparatus
RU219857U1 (en) IGNITION SYSTEM OF A PULSE DISCHARGE
GB2079044A (en) Fluorescent lighting system
RU210127U1 (en) COMPACT VACUUM Spark Gap
RU177485U1 (en) CONTROLLED VACUUM DISCHARGE
RU2792844C1 (en) Pulse x-ray tube
RU2306683C1 (en) Plasma electron source
US11629398B2 (en) Cathodic arc ignition device