RU2099717C1 - Flexible hinge - Google Patents

Flexible hinge Download PDF

Info

Publication number
RU2099717C1
RU2099717C1 RU96107818A RU96107818A RU2099717C1 RU 2099717 C1 RU2099717 C1 RU 2099717C1 RU 96107818 A RU96107818 A RU 96107818A RU 96107818 A RU96107818 A RU 96107818A RU 2099717 C1 RU2099717 C1 RU 2099717C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
sensing element
axis
hinge
jumpers
jumper
Prior art date
Application number
RU96107818A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU96107818A (en
Inventor
В.И. Баженов
А.Н. Мухин
С.В. Прозоров
В.М. Соловьев
Ю.Г. Терсенов
Original Assignee
Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" filed Critical Акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро"
Priority to RU96107818A priority Critical patent/RU2099717C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2099717C1 publication Critical patent/RU2099717C1/en
Publication of RU96107818A publication Critical patent/RU96107818A/en

Links

Images

Landscapes

  • Gyroscopes (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Abstract

FIELD: measurement technology. SUBSTANCE: two flexible jumpers are formed in flexible hinge which has identical flexible jumpers positioned at angle to silicon crystal lattice. Hinge couple two parts of sensing element made of monocrystal silicon and capable of relative motion. Longitudinal axes of jumpers are positioned along hinge axis. In every jumper, surface of one part of sensing element and surface of the other part of sensing element arranged on one main surface of sensing element are coupled by one side wall. Second side wall couples surface of one part of sensing element and surface of the other part of sensing element positioned on second main surface of sensing element. EFFECT: higher strength of flexible hinge. 2 cl, 6 dwg

Description

Данное изобретение относится к области измерительной техники, а точнее к прецизионным подвесам чувствительных элементов преобразователей инерциальной информации. This invention relates to the field of measurement technology, and more specifically to precision suspensions of sensitive elements of inertial information converters.

Известен упругий шарнир планарного, имеющего две параллельные друг другу основные поверхности чувствительного элемента, содержащий идентичные перемычки с двумя параллельными друг другу основными поверхностями и двумя боковыми стенками в каждой перемычке, причем перемычками соединены подвижная и неподвижные части чувствительного элемента, в каждой перемычке ее продольная ось параллельна боковым стенкам, общей осью изгиба перемычек образована ось шарнира, продольная ось каждой перемычки направлена перпендикулярно оси шарнира, основные поверхности расположены в области плоскости симметрии чувствительного элемента, параллельной основным поверхностям чувствительного элемента и проходящей через ось шарнира [1]
Недостатком этого упругого шарнира является наличие момента небаланса подвижной части чувствительного элемента вследствие технологических допусков, вызывающих несовпадение оси шарнира с плоскостью симметрии чувствительного элемента.Known elastic hinge planar, having two parallel to each other the main surface of the sensing element, containing identical jumpers with two parallel to each other main surfaces and two side walls in each jumper, with jumpers connected to the movable and fixed parts of the sensing element, in each jumper its longitudinal axis is parallel to the side walls, the joint axis of the bridges is formed by the axis of the hinge, the longitudinal axis of each jumper is directed perpendicular to the axis of the hinge, surfaces are located in the region of the plane of symmetry of the sensor parallel to the main surfaces of the sensor and passing through the hinge axis [1]
The disadvantage of this elastic hinge is the presence of an imbalance moment of the movable part of the sensitive element due to technological tolerances that cause the hinge axis to not coincide with the plane of symmetry of the sensitive element.

От указанного недостатка свободен упругий шарнир, принятый за прототип и известный по источникам информации [2]
Упругий шарнир планарного, имеющего две параллельные друг другу основные поверхности, выполненный из монокристаллического кремния методом анизотропного травления чувствительного элемента преобразователя инерциальной информации, состоит из идентичных перемычек с двумя параллельными друг другу основными поверхностями и двумя боковыми стенками в каждой перемычке, причем перемычками соединены выполненные с возможностью относительного перемещения две части чувствительного элемента, основные поверхности перемычек расположены относительно основных поверхностей чувствительного элемента под углом, равным углу кристаллической решетки кремния, в каждой перемычке ее продольная ось параллельна боковым стенкам, общей осью изгиба перемычек образована ось шарнира, продольные оси перемычек расположены перпендикулярно оси шарнира.The elastic hinge adopted for the prototype and known from the sources of information is free from this drawback [2]
The elastic hinge of a planar one, having two main surfaces parallel to each other, made of monocrystalline silicon by anisotropic etching of the sensitive element of the inertial information transducer, consists of identical jumpers with two main surfaces parallel to each other and two side walls in each jumper, with the jumpers being made with the possibility of relative movement of the two parts of the sensing element, the main surfaces of the jumpers are located relative Tel'nykh major surfaces of the sensor element at an angle equal to the angle silicon lattice, each bridge its longitudinal axis is parallel to the side walls, the general axis of the bending webs formed by the hinge axis, the longitudinal axis of the webs are arranged perpendicularly to the hinge axis.

Недостатком этого упругого шарнира является его уменьшенная прочность при расчетных размерах вследствие подтрав, возникающих со стороны боковых стенок в местах соединения перемычек с частями чувствительного элемента в процессе анизотропного травления кремния. Подтравы происходят в местах, где стравливаемые поверхности образуют друг с другом внешние углы, большие 180o, что и наблюдается в случае выполнения упругих перемычек с направлением их продольных осей перпендикулярно оси шарнира.The disadvantage of this elastic hinge is its reduced strength at the design dimensions due to ghosting arising from the side walls at the junction points of the jumpers with parts of the sensitive element during anisotropic etching of silicon. Subgrades occur in places where the etched surfaces form external angles with each other, greater than 180 o , which is observed in the case of elastic bridges with the direction of their longitudinal axes perpendicular to the axis of the hinge.

Целью изобретения является повышение прочности упругого шарнира при неизменной его жесткости. The aim of the invention is to increase the strength of the elastic joint with constant rigidity.

Данная цель достигается в известном упругом шарнире тем, что в нем образованы две перемычки, расположенные по разные стороны от оси чувствительного элемента, параллельной его основным поверхностям и перпендикулярной оси шарнира, продольные оси перемычек расположены вдоль оси шарнира, в каждой перемычке одной боковой стенкой соединены расположенные на одной основной поверхности чувствительного элемента поверхность одной части чувствительного элемента и поверхность другой части чувствительного элемента, второй боковой стенкой соединены расположенные на второй основной поверхности чувствительного элемента поверхность одной части чувствительного элемента и поверхность другой части чувствительного элемента, причем ось шарнира образована общей осью кручения перемычек относительно продольных осей перемычек. This goal is achieved in the known elastic hinge by the fact that two jumpers are formed in it, located on opposite sides of the axis of the sensing element parallel to its main surfaces and perpendicular to the hinge axis, the longitudinal axis of the jumpers are located along the hinge axis, located in each jumper with one side wall located on one main surface of the sensing element, the surface of one part of the sensing element and the surface of the other part of the sensing element, the second side wall of the enes disposed on the second major surface of the sensing element portion of one surface of the sensor and the surface of another part of the sensing element, wherein the hinge pin is formed by a torsion webs common axis relative to the longitudinal axes of jumpers.

В развитие упругого шарнира перемычки выполнены так, что их основными поверхностями образованы с проходящей через ось шарнира перпендикулярно основным поверхностям чувствительного элемента плоскостью углы, расположенные по разные стороны от вышеуказанной плоскости. In development of the elastic hinge, the jumpers are made so that their main surfaces are formed by angles located on different sides of the above plane from the plane passing through the axis of the hinge perpendicular to the main surfaces of the sensing element.

Путем расположения продольных осей перемычек вдоль оси шарнира, соединения в каждой перемычке одной боковой стенкой расположенных на одной основной поверхности чувствительного элемента поверхности одной части чувствительного элемента и поверхности другой части чувствительного элемента, соединения второй боковой стенкой расположенных на второй основной поверхности чувствительного элемента поверхности одной части чувствительного элемента и поверхности второй части чувствительного элемента достигается то, что стравливаемые поверхности образуют друг с другом внутренние, меньшие 180o углы, в которых не образуется подтрав при анизотропном травлении кремния. В результате того, что в местах соединения упругих перемычек с частями чувствительного элемента не образуется подтрав, повышается прочность упругого шарнира при обеспечении расчетной жесткости.By arranging the longitudinal axes of the jumpers along the axis of the hinge, connecting in each jumper one side wall of the surface of one part of the sensitive element and the surface of the other part of the sensitive element located on one main surface of the sensitive element, connecting the second side wall of the surface of one part of the sensitive located on the second main surface of the sensitive element element and the surface of the second part of the sensing element is achieved that The properties form with each other internal, smaller than 180 ° angles at which no etching is formed during anisotropic etching of silicon. As a result of the fact that at the junction of the elastic jumpers with parts of the sensitive element no undercutting is formed, the strength of the elastic hinge increases while ensuring the calculated stiffness.

На фиг.1 показан вид упругого шарнира с частями чувствительного элемента с одной основной поверхности чувствительного элемента акселерометра. Figure 1 shows a view of an elastic hinge with parts of the sensor element from one main surface of the sensor element of the accelerometer.

На фиг.2 представлен вид упругого шарнира с частями чувствительного элемента со второй поверхности чувствительного элемента акселерометра. Figure 2 presents a view of an elastic hinge with parts of the sensing element from the second surface of the sensing element of the accelerometer.

На фиг. 3 дан разрез одной перемычки упругого шарнира в соответствии с фиг.1. In FIG. 3 shows a section through one jumper of an elastic joint in accordance with FIG.

Фиг.4 представляет вид выполненного дальнейшего развития упругого шарнира с частями чувствительного элемента вибрационного гироскопа. Figure 4 is a view of a further development of the elastic hinge with parts of the sensing element of the vibrating gyroscope.

На фиг. 5 дан разрез одной перемычки упругого шарнира в соответствии с фиг.4. In FIG. 5 is a sectional view of one bridge of the elastic joint in accordance with FIG. 4.

На фиг.6 представлен разрез второй перемычки упругого шарнира в соответствии с фиг.4. Figure 6 presents a section of the second bridge of the elastic hinge in accordance with figure 4.

Чувствительный элемент 1 (фиг. 1) такого преобразователя инерциальной информации как акселерометр содержит первую часть 2 и вторую часть 3, соединенные между собой перемычками 4 и 5. The sensing element 1 (Fig. 1) of such an inertial information converter as an accelerometer comprises a first part 2 and a second part 3, interconnected by jumpers 4 and 5.

Со стороны первой основной поверхности 6 чувствительного элемента 1 расположены первая основная поверхность 7 и первая боковая стенка 8 перемычки 4, первая основная поверхность 9 и первая боковая стенка 10 перемычки 5. Первыми боковыми стенками 8 и 9 соединены поверхности первой части 2 и второй части 3 чувствительного элемента, расположенные на первой основной поверхности 6 чувствительного элемента 1. From the side of the first main surface 6 of the sensing element 1, the first main surface 7 and the first side wall 8 of the jumper 4, the first main surface 9 and the first side wall 10 of the jumper 5 are located. The surfaces of the first part 2 and the second part 3 of the sensitive are connected by the first side walls 8 and 9 elements located on the first main surface 6 of the sensing element 1.

Со стороны второй основной поверхности 11 чувствительного элемента 1 (фиг. 2) расположены вторая основная поверхность 12 и вторая боковая стенка 13 перемычки 4, вторая основная поверхность 14 и вторая боковая стенка 15 перемычки 5. Вторыми боковыми стенками 13 и 15 соединены поверхности первой части 2 и второй части 3 чувствительного элемента 1, расположенные на второй основной поверхности 11 чувствительного элемента 1. The second main surface 12 and the second side wall 13 of the jumper 4, the second main surface 14 and the second side wall 15 of the jumper 5 are located on the side of the second main surface 11 of the sensing element 1 (Fig. 2), the surfaces of the first part 2 are connected by the second side walls 13 and 15 and the second part 3 of the sensor 1, located on the second main surface 11 of the sensor 1.

Продольная ось 16-16 перемычки 4 расположена вдоль ее боковых стенок 8, 13 параллельно им, а продольная ось 17-17 перемычки 5 расположена вдоль ее боковых стенок 10, 15 параллельна им. Ось шарнира 18-18 образована общей осью кручения перемычки 4 относительно продольной оси 16-16 и перемычки 5 относительно продольной оси 17-17. Ось 19-19 чувствительного элемента 1 перпендикулярна оси шарнира 18-18. Перемычки 4, 5 расположены по разные стороны от оси 19-19 чувствительного элемента 1. The longitudinal axis 16-16 of the jumper 4 is located parallel to its side walls 8, 13, and the longitudinal axis 17-17 of the jumper 5 is parallel to its side walls 10, 15. The hinge axis 18-18 is formed by the common torsion axis of the bridge 4 relative to the longitudinal axis 16-16 and the bridge 5 relative to the longitudinal axis 17-17. The axis 19-19 of the sensing element 1 is perpendicular to the axis of the hinge 18-18. Jumpers 4, 5 are located on different sides from the axis 19-19 of the sensing element 1.

Каждая из основных поверхностей 7, 12 перемычки 4 с каждой из основных поверхностей 6, 11 чувствительного элемента 1 образует угол α, равный углу кристаллической решетки кремния и составляющий 54, 74o (фиг.3). Аналогично относительно основных поверхностей 6, 11 чувствительного элемента 1 расположены основные поверхности 9, 15 перемычки 5.Each of the main surfaces 7, 12 of the jumper 4 with each of the main surfaces 6, 11 of the sensing element 1 forms an angle α equal to the angle of the silicon lattice and constituting 54, 74 ° (FIG. 3). Similarly, with respect to the main surfaces 6, 11 of the sensing element 1, the main surfaces 9, 15 of the jumper 5 are located.

Центры масс первой части 2 и второй части 3 чувствительного элемента 1 расположены на оси 19-19 ниже оси шарнира 18-18. The centers of mass of the first part 2 and the second part 3 of the sensing element 1 are located on the axis 19-19 below the axis of the hinge 18-18.

Чувствительный элемент 20 (фиг.4) такого преобразователя инерциальной информации как вибрационный гироскоп с осью шарнира 21-21, перпендикулярной ему осью симметрии 22-22 и первой основной поверхностью 23 содержит первую часть 24 и вторую часть 25. The sensing element 20 (Fig. 4) of such an inertial information converter as a vibration gyroscope with a hinge axis 21-21 perpendicular to it with an axis of symmetry 22-22 and a first main surface 23 contains a first part 24 and a second part 25.

Перемычка 26 имеет первую основную поверхность 27 и боковые стенки 28, 29, у перемычки 30 имеются первая основная поверхность 31 и боковые стенки 32, 33. Продольные оси перемычек 26, 30 расположены вдоль боковых стенок 28, 29, 32, 33 параллельно им и образуют общую ось кручения, совпадающую с осью шарнира 21-21. Перемычками 29, 30 соединены первая часть 24 и вторая часть 25 чувствительного элемента 20. Первая часть 24 и вторая часть 25 чувствительного элемента 20 выполнены симметричными относительно оси шарнира 21-21. The jumper 26 has a first main surface 27 and side walls 28, 29, the jumper 30 has a first main surface 31 and side walls 32, 33. The longitudinal axis of the jumpers 26, 30 are parallel to the side walls 28, 29, 32, 33 and form the common axis of torsion, coinciding with the axis of the hinge 21-21. The jumpers 29, 30 are connected to the first part 24 and the second part 25 of the sensing element 20. The first part 24 and the second part 25 of the sensing element 20 are made symmetrical about the axis of the hinge 21-21.

Первая основная поверхность 27 и вторая основная поверхность 34 перемычки 26 образуют угол b1 с плоскостью, перпендикулярной первой основной поверхности 23 и второй основной поверхности 35 чувствительного элемента 20, проекция которой представлена линией 36-36 на фиг.5.The first main surface 27 and the second main surface 34 of the jumper 26 form an angle b 1 with a plane perpendicular to the first main surface 23 and the second main surface 35 of the sensing element 20, the projection of which is represented by line 36-36 in FIG. 5.

Первая основная поверхность 31 и вторая основная поверхность 37 перемычки 30 образует угол β2 с проекцией 36-36 плоскости, перпендикулярной первой основной поверхности 23 и второй основной поверхности 35 чувствительного элемента 20 (фиг.6).The first main surface 31 and the second main surface 37 of the jumper 30 forms an angle β 2 with a projection 36-36 of a plane perpendicular to the first main surface 23 and the second main surface 35 of the sensing element 20 (Fig.6).

Углы β1 и β2 расположены по разные стороны от проекции 36-36, перпендикулярной основными поверхностям чувствительного элемента 20 плоскости. Угол β1 равен углу β2.The angles β 1 and β 2 are located on different sides from the projection 36-36, perpendicular to the main surfaces of the sensing element 20 of the plane. The angle β 1 is equal to the angle β 2 .

Чувствительный элемент 1 вместе с первой частью 2, второй частью 3 и перемычками 4, 5, а также чувствительный элемент 20 вместе с первой частью 24, второй частью 25 и перемычками 26, 30 выполнен из монокристаллического кремния методом анизотропного травления. The sensing element 1 together with the first part 2, the second part 3 and the jumpers 4, 5, as well as the sensitive element 20 together with the first part 24, the second part 25 and the jumpers 26, 30 are made of monocrystalline silicon by anisotropic etching.

Упругий шарнир работает следующим образом. В чувствительном элементе 1 (фиг. 1) акселерометра при закрепленной неподвижной первой части 2 и свободной второй части 3 при наличии ускорения, вектор которого перпендикулярен основным поверхностям 6, 11 чувствительного элемента 1, на вторую часть 3 действует инерционная сила, пропорциональная ускорению. Под действием инерционной силы относительно оси шарнира 18-18 возникает момент, так как центр масс второй части 3 чувствительного элемента 1 расположен ниже оси шарнира 18-18. При этом возникает деформация кручения перемычек 4, 5 упругого шарнира относительно их продольных осей 16-16 и 17-17 и происходит угловое перемещение относительно оси шарнира 18-18 второй части 3 чувствительного элемента 1, которое измеряется с помощью датчиков положения, например, емкостного типа, акселерометра. The elastic hinge works as follows. In the sensor 1 (Fig. 1) of the accelerometer, when the stationary first part 2 is fixed and the second part 3 is free, in the presence of acceleration, the vector of which is perpendicular to the main surfaces 6, 11 of the sensor 1, the inertial force proportional to acceleration acts on the second part 3. Under the action of inertial force relative to the axis of the hinge 18-18, a moment arises, since the center of mass of the second part 3 of the sensing element 1 is located below the axis of the hinge 18-18. In this case, the torsion deformation of the jumpers 4, 5 of the elastic hinge relative to their longitudinal axes 16-16 and 17-17 occurs and an angular movement occurs relative to the axis of the hinge 18-18 of the second part 3 of the sensing element 1, which is measured using position sensors, for example, capacitive type accelerometer.

Если в чувствительном элементе 20 вибрационного гироскопа (фиг.4) первой части 24 придать угловые колебания относительно оси 22-22, то при наличии угловой скорости, вектор которой направлен перпендикулярно основным поверхностям 23, 35 чувствительного элемента 20, на вторую часть 25 действует переменный гироскопический момент, вектор которого направлен по оси шарнира 21-21. Под действием гироскопического момента происходит деформация кручения перемычек 26, 30 и угловое перемещение второй части 25 чувствительного элемента 20 относительно оси шарнира 21-21. Угловое перемещение второй части 25, пропорциональное угловой скорости, измеряется с помощью датчиков положения, например, емкостного типа, вибрационного гироскопа. If angular vibrations are given in the sensitive element 20 of the vibration gyroscope (Fig. 4) of the first part 24 relative to the axis 22-22, then in the presence of an angular velocity whose vector is perpendicular to the main surfaces 23, 35 of the sensitive element 20, an alternating gyroscopic acts on the second part 25 moment, the vector of which is directed along the axis of the hinge 21-21. Under the action of the gyroscopic moment, the torsion deformation of the jumpers 26, 30 and the angular displacement of the second part 25 of the sensing element 20 relative to the axis of the hinge 21-21 occur. The angular movement of the second part 25, proportional to the angular velocity, is measured using position sensors, for example, capacitive type, vibration gyroscope.

Claims (2)

1. Упругий шарнир планарного, имеющего две параллельные одна другой основные поверхности, выполненного из монокристаллического кремния методом анизотропного травления чувствительного элемента преобразователя инерциальной информации, содержащий две идентичные перемычки с двумя параллельными одна другой основными поверхностями и двумя боковыми стенками в каждой перемычке, причем перемычками соединены выполненные с возможностью относительного перемещения две части чувствительного элемента, основные поверхности перемычек расположены относительно основных поверхностей чувствительного элемента под углом, равным углу кристаллической решетки кремния, в каждой перемычке ее продольная ось параллельна боковым стенкам, отличающийся тем, что перемычки расположены по разные стороны от оси чувствительного элемента, параллельной его основным поверхностям и перпендикулярной оси шарнира, продольные оси перемычек расположены вдоль оси шарнира, в каждой перемычке одной боковой стенкой соединены расположенные на одной основной поверхности чувствительного элемента поверхность одной части чувствительного элемента и поверхность другой части чувствительного элемента, второй боковой стенкой соединены расположенные на второй основной поверхности чувствительного элемента поверхность одной части чувствительного элемента и поверхность другой части чувствительного элемента, ось шарнира образована осью кручения перемычек относительно их продольных осей. 1. An elastic hinge of a planar one having two main surfaces parallel to one another, made of monocrystalline silicon by anisotropic etching of the sensitive element of the inertial information transducer, containing two identical jumpers with two main surfaces parallel to each other and two side walls in each jumper, and made by jumpers with the possibility of relative movement of the two parts of the sensing element, the main surface of the jumpers is located are relative to the main surfaces of the sensitive element at an angle equal to the angle of the silicon crystal lattice, in each bridge its longitudinal axis is parallel to the side walls, characterized in that the jumpers are located on different sides from the axis of the sensor, parallel to its main surfaces and perpendicular to the hinge axis, longitudinal axes jumpers are located along the axis of the hinge, in each jumper one side wall is connected located on one main surface of the sensing element surface st one part of the sensor and the surface of another part of the sensing element, a second side wall disposed connected to the second major surface of the sensing element portion of one surface of the sensor and the surface of another part of the sensing element, the axis of the hinge axis formed by torsion webs relative to their longitudinal axes. 2. Шарнир по п.1, отличающийся тем, что между основными поверхностями каждой перемычки и плоскостью, перпендикулярной основным поверхностям чувствительного элемента и проходящей через ось шарнира, образованы равные углы, причем основные поверхности одной перемычки и основные поверхности другой перемычки развернуты в разные стороны от указанной плоскости. 2. The hinge according to claim 1, characterized in that equal angles are formed between the main surfaces of each jumper and the plane perpendicular to the main surfaces of the sensing element and passing through the axis of the hinge, the main surfaces of one jumper and the main surfaces of the other jumper deployed in opposite directions specified plane.
RU96107818A 1996-04-16 1996-04-16 Flexible hinge RU2099717C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96107818A RU2099717C1 (en) 1996-04-16 1996-04-16 Flexible hinge

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU96107818A RU2099717C1 (en) 1996-04-16 1996-04-16 Flexible hinge

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2099717C1 true RU2099717C1 (en) 1997-12-20
RU96107818A RU96107818A (en) 1997-12-27

Family

ID=20179616

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU96107818A RU2099717C1 (en) 1996-04-16 1996-04-16 Flexible hinge

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2099717C1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. GB, патент, 2162317, кл. G 01 P 15/13, 1985. 2. US, патент, 4744248, кл. G 01 P 9/04, 1988. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6513380B2 (en) MEMS sensor with single central anchor and motion-limiting connection geometry
KR100936638B1 (en) Oscillating micro-mechanical sensor of angular velocity
EP3044542B1 (en) Improved gyroscope structure and gyroscope
CN110617809B (en) MEMS angular velocity sensor with in-phase drive and sense motion suppression
US10894713B2 (en) Temperature-compensated micro-electromechanical device, and method of temperature compensation in a micro-electromechanical device
US9315376B2 (en) Planar structure for a triaxial gyrometer
US11015933B2 (en) Micromechanical detection structure for a MEMS sensor device, in particular a MEMS gyroscope, with improved driving features
US6474160B1 (en) Counterbalanced silicon tuned multiple accelerometer-gyro
US20180180419A1 (en) Inertial sensor with motion limit structure
JP2000074673A (en) Compound movement sensor
RU2099717C1 (en) Flexible hinge
JP3178137B2 (en) Vibrator support structure
RU2018133C1 (en) Inertial primary information sensor
CN217404317U (en) Micro-electro-mechanical system accelerometer and apparatus
RU2748290C1 (en) Micromechanical accelerometer sensor element
JP7258133B2 (en) Angular velocity sensor and sensor element
RU2684427C1 (en) Sensitive element of a microelectromechanical angular speed sensor
RU2073209C1 (en) Vibratory gyro
RU2047863C1 (en) Sensitive element of accelerometer
RU2119645C1 (en) Inertial primary information sensor
RU18768U1 (en) MICROMECHANICAL VIBRATION GYROSCOPE
JP3129022B2 (en) Acceleration sensor
SU1161881A1 (en) Accelerometer with surface acoustic wave transducer
JPS63172914A (en) Gyro device
RU96107818A (en) ELASTIC HINGE