RU2092827C1 - Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture - Google Patents

Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture Download PDF

Info

Publication number
RU2092827C1
RU2092827C1 RU95121489A RU95121489A RU2092827C1 RU 2092827 C1 RU2092827 C1 RU 2092827C1 RU 95121489 A RU95121489 A RU 95121489A RU 95121489 A RU95121489 A RU 95121489A RU 2092827 C1 RU2092827 C1 RU 2092827C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
electrode
oxygen
solid electrolyte
oxide film
partial pressure
Prior art date
Application number
RU95121489A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU95121489A (en
Inventor
А.В. Матвеев
В.И. Перехожев
В.Н. Конев
С.М. Вовк
С.Т. Клышников
В.В. Евлахов
Original Assignee
Государственное предприятие Техноцентр "Лазерная диагностика и чистые технологии" Научно-исследовательского и конструкторского института энерготехники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Государственное предприятие Техноцентр "Лазерная диагностика и чистые технологии" Научно-исследовательского и конструкторского института энерготехники filed Critical Государственное предприятие Техноцентр "Лазерная диагностика и чистые технологии" Научно-исследовательского и конструкторского института энерготехники
Priority to RU95121489A priority Critical patent/RU2092827C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2092827C1 publication Critical patent/RU2092827C1/en
Publication of RU95121489A publication Critical patent/RU95121489A/en

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

FIELD: gas analysis; measuring technology. SUBSTANCE: device has solid electrolyte and electrodes connected to signal removing leads. Solid electrolyte is oxide film made of material of which first electrode is manufactured. First electrode is made as metal matrix and positioned inside oxide film. First signal removing lead is connected to metal matrix at point of metal separation from oxide. Second electrode is placed on oxide film surface and is made as electric conducting layer permeable for oxygen. Device is manufactured as follows. After solid electrolyte is obtained, electrodes are formed, and signal removing leads are connected to them. To obtain solid electrolyte, first electrode is made as metal matrix. Then it is heated in oxidizing medium and kept in it till oxide film is formed on its surface. Second electrode is secured on oxide film. EFFECT: higher efficiency of measurements. 3 cl, 3 dwg

Description

Изобретение относится к области газового анализа и может быть использовано в измерительных приборах на твердом электролите, в частности в датчиках контроля кислорода в газовых смесях и в датчиках кислорода в системах управления процессами горения. The invention relates to the field of gas analysis and can be used in measuring instruments on solid electrolyte, in particular in oxygen control sensors in gas mixtures and in oxygen sensors in combustion control systems.

Известно устройство для измерения парциального давления кислорода [1] содержащее пластину твердого электролита, контактирующую с эталонным электродом, в котором создается постоянное парциальное давление кислорода, и металлические электроды, нанесенные на пластину. Из-за сложности конструкции эталонного электрода и больших габаритов устройства, обусловленных наличием трубопровода для подвода газа в эталонный электрод и емкости с кислородом, а также из-за применения дорогостоящей платины в качестве металлических электродов известное устройство не нашло широкого применения. A device for measuring the partial pressure of oxygen [1] containing a plate of solid electrolyte in contact with a reference electrode, which creates a constant partial pressure of oxygen, and metal electrodes deposited on the plate. Due to the complexity of the design of the reference electrode and the large dimensions of the device, due to the presence of a pipeline for supplying gas to the reference electrode and containers with oxygen, as well as due to the use of expensive platinum as metal electrodes, the known device did not find wide application.

Наиболее близким техническим решением к описываемому является устройство для измерения парциального давления кислорода [2] содержащее твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала. The closest technical solution to the described is a device for measuring the partial pressure of oxygen [2] containing a solid electrolyte and electrodes connected to the terminals for signal collection.

Однако в известном устройстве эталонный электрод имеет сложный состав компонентов, включающий спеченный порошок металла или спеченную смесь порошка металла и оксида металла, которые содержат поры. Наличие пор, а следовательно, и свободного кислорода приводит к изменению значения равновесного парциального давления в эталонном электроде при изменении парциального давления кислорода в анализируемой среде за счет диффузии кислорода, что приводит к снижению точности работы устройства и уменьшению быстродействия проводимых измерений. Кроме того, конструкция известного устройства требует использования металлов платиновой группы. However, in the known device, the reference electrode has a complex composition of components, including sintered metal powder or a sintered mixture of metal powder and metal oxide, which contain pores. The presence of pores, and hence free oxygen, leads to a change in the value of the equilibrium partial pressure in the reference electrode when the partial pressure of oxygen in the analyzed medium changes due to oxygen diffusion, which leads to a decrease in the accuracy of the device and a decrease in the speed of measurements. In addition, the design of the known device requires the use of platinum group metals.

Известен также способ изготовления устройства для измерения парциального давления кислорода [3] путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала. There is also a known method of manufacturing a device for measuring the partial pressure of oxygen [3] by obtaining a solid electrolyte, the formation of electrodes and connecting them to the findings for signal collection.

Однако известный способ содержит множество технологически сложных операций, а эталонный электрод, получаемый в результате реализации этого способа, содержит поры, что приводит к упомянутым выше недостаткам работы устройства. However, the known method contains many technologically complex operations, and the reference electrode obtained by the implementation of this method contains pores, which leads to the aforementioned disadvantages of the device.

Технический результат, получаемый при реализации изобретения, состоит в упрощении конструкции устройства для измерения парциального давления кислорода, повышении его точности и быстродействия за счет создания беспористого эталонного электрода, снижении стоимости устройства за счет исключения применения дорогостоящих материалов, а также в упрощении технологии его изготовления. The technical result obtained by the implementation of the invention consists in simplifying the design of the device for measuring the partial pressure of oxygen, increasing its accuracy and speed by creating a non-porous reference electrode, reducing the cost of the device by eliminating the use of expensive materials, and also simplifying the technology for its manufacture.

Указанный технический результат достигается тем, что в устройстве для измерения парциального давления кислорода, содержащем твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала, твердым электролитом является пленка оксида материала, из которого изготовлен первый электрод, выполненный в виде металлической матрицы и размещенной внутри пленки оксида, а первый вывод для снятия сигнала подсоединен к металлической матрице в области раздела "металл-оксид", при этом второй электрод нанесен на поверхность пленки оксида. The specified technical result is achieved in that in a device for measuring the partial pressure of oxygen containing a solid electrolyte and electrodes connected to the terminals for signal collection, the solid electrolyte is a film of material oxide, of which the first electrode is made, made in the form of a metal matrix and placed inside the film oxide, and the first output for signal pickup is connected to a metal matrix in the metal-oxide section, with the second electrode deposited on the surface of the oxide film.

Второй электрод может быть выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя. The second electrode may be made in the form of an oxygen permeable conductive layer.

При этом в способе изготовления предлагаемого устройства путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала для получения твердого электролита изготавливают первый электрод в виде металлической матрицы, нагревают его в окислительной среде и выдерживают до образования на нем пленки оксида, на поверхности которой закрепляют второй электрод. Moreover, in the manufacturing method of the device according to the invention by producing a solid electrolyte, forming electrodes and connecting the terminals to take a signal to obtain a solid electrolyte, the first electrode is made in the form of a metal matrix, it is heated in an oxidizing medium and kept until an oxide film is formed on it which fix the second electrode.

Эталонным электродом с постоянным парциальным давлением в описываемом устройстве является область раздела между первым электродом и его оксидной пленкой твердым электролитом. Согласно теории высокотемпературного окисления металлов Вагнера [4] в случае образования плотной пленки оксида парциальное давление кислорода в области раздела "металл оксид" равно равновесному давлению диссоциации оксида в контакте с металлом

Figure 00000002
.The reference electrode with a constant partial pressure in the described device is the interface between the first electrode and its oxide film by a solid electrolyte. According to the theory of high-temperature oxidation of Wagner metals [4] in the case of the formation of a dense oxide film, the partial pressure of oxygen in the metal-oxide interface is equal to the equilibrium dissociation pressure of the oxide in contact with the metal
Figure 00000002
.

При нагревании первого электрода в пленке оксида происходит диффузия ионов и электронов. Движущей силой служит изменение свободной энергии, связанное с образованием оксида из металла и газообразного кислорода. В пленке оксида возникает градиент электрического поля, а на ее фазовых границах "газ оксид" и "оксид металл" разность электрических потенциалов, величина которой в общем случае определяется по формуле:

Figure 00000003

где Z валентность аниона,
Figure 00000004
парциальное давление кислорода в газовой фазе,
Figure 00000005
парциальное давление кислорода в области раздела фаз "металл - оксид",
Figure 00000006
среднее число переноса электронов в оксидной пленке,
R универсальная газовая постоянная,
T температура твердого электролита пленки оксида (среды),
F число Фарадея.When the first electrode is heated, diffusion of ions and electrons occurs in the oxide film. The driving force is the change in free energy associated with the formation of oxide from a metal and gaseous oxygen. An electric field gradient arises in the oxide film, and at its phase boundaries “gas oxide” and “oxide metal” the difference in electric potentials occurs, the value of which in the general case is determined by the formula:
Figure 00000003

where Z is the valence of the anion,
Figure 00000004
partial pressure of oxygen in the gas phase,
Figure 00000005
partial oxygen pressure in the metal-oxide phase separation region,
Figure 00000006
the average number of electron transfer in the oxide film,
R universal gas constant,
T is the temperature of the solid electrolyte of the oxide film (medium),
F is the Faraday number.

Поскольку пленка оксида в предлагаемом устройстве по типу проводимости твердый электролит, то число переноса электронов должно удовлетворять требованию: te < 1.Since the oxide film in the device according to the type of conductivity is a solid electrolyte, the electron transfer number must satisfy the requirement: t e <1.

В соответствии с этим и вышесказанным э.д.с. возникающая на границах пленки оксида, вычисляется по формуле:

Figure 00000007

Давление диссоциации оксида в контакте с металлом определяется только температурой, следовательно, парциальное давление такого эталонного электрода является константой, не зависящей от парциального давления кислорода в газовой среде.In accordance with this and the foregoing EMF arising at the boundaries of the oxide film is calculated by the formula:
Figure 00000007

The dissociation pressure of the oxide in contact with the metal is determined only by temperature, therefore, the partial pressure of such a reference electrode is a constant that does not depend on the partial pressure of oxygen in the gas medium.

На фиг. 1 представлена конструкция описываемого устройства; на фиг. 2 - градуировочная зависимость, полученная с помощью предлагаемого устройства; на фиг. 3 его динамическая характеристика. In FIG. 1 shows the design of the described device; in FIG. 2 - calibration dependence obtained using the proposed device; in FIG. 3 its dynamic characteristic.

Устройство для измерения парциального давления кислорода состоит из электрода 1, выполненного в виде металлической матрицы, твердого электролита 2, представляющего собой пленку оксида материала, из которого изготовлена металлическая матрица, электрода 3, который размещен на поверхности твердого электролита 2 пленки оксида, и выводов 4 и 5 для снятия сигнала, подключенных соответственно к электроду 1 в области раздела "металл оксид" и к электроду 3. Последний выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя, например, путем нанесения на поверхность пленки оксида пасты оксида никеля, легированного литием с последующим ее вжиганием. A device for measuring the partial pressure of oxygen consists of an electrode 1 made in the form of a metal matrix, solid electrolyte 2, which is a film of the oxide of the material from which the metal matrix is made, electrode 3, which is placed on the surface of the solid electrolyte 2 of the oxide film, and conclusions 4 and 5 for signal pickup, respectively connected to the electrode 1 in the region of the metal oxide section and to the electrode 3. The latter is made in the form of an oxygen-permeable conductive layer, for example, by applying lithium doped nickel oxide doped with lithium to the surface of the film of the paste film, followed by its burning.

Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.

Устройство размещают в анализируемой газовой среде и нагревают до известной температуры. На фазовых границах пленки оксида 2 возникает разность потенциалов, которую снимают с помощью выводов 4 и 5 и измеряют вольтметром 6. По величине измеренной разности потенциалов и градуировочной зависимости, построенной предварительно в смесях с известным парциальным давлением кислорода, определяют искомое парциальное давление кислорода в анализируемой среде. The device is placed in the analyzed gas medium and heated to a known temperature. At the phase boundaries of the film of oxide 2, a potential difference arises, which is taken using pins 4 and 5 and measured with a voltmeter 6. Using the measured potential difference and the calibration curve, which was previously constructed in mixtures with a known partial pressure of oxygen, the desired partial pressure of oxygen in the analyzed medium is determined .

Описываемое устройство изготавливают способом, согласно которому первоначально изготавливают, например, методом механической обработки первый электрод в виде металлической матрицы заданной геометрической формы и размеров. Пленку твердого электролита и эталонный электрод получают одновременно как единую деталь в процессе нагревания металлической матрицы в окислительной среде до температуры образования оксида и выдержки до формирования на ней сплошной, однородной оксидной пленки твердого электролита, не содержащей сплошных пор и электропроводящих включений, шунтирующих ее фазовые границы. Однородность и сплошность пленки оксида оценивают по электрофизическим параметрам, например, измеряя импеданс пленки оксида или проводя электрохимическое декодирование. Отсутствие сквозных пор в пленке оксида твердом электролите, а следовательно, и в области раздела "металлическая матрица твердый электролит" обеспечивает постоянство парциального давления кислорода в этой области, являющейся эталонным электродом, парциальное давление в котором равно равновесному давлению диссоциации. The described device is made by the method according to which the first electrode is initially manufactured, for example, by machining, in the form of a metal matrix of a given geometric shape and size. A solid electrolyte film and a reference electrode are obtained simultaneously as a single part in the process of heating a metal matrix in an oxidizing medium to the temperature of oxide formation and holding until a solid, uniform oxide film of solid electrolyte is formed on it, which does not contain continuous pores and conductive inclusions shunting its phase boundaries. The uniformity and continuity of the oxide film is evaluated by electrophysical parameters, for example, by measuring the impedance of the oxide film or by performing electrochemical decoding. The absence of through pores in the oxide film of the solid electrolyte, and therefore in the region of the “metal matrix solid electrolyte” section, ensures the partial pressure of oxygen in this region, which is the reference electrode, in which the partial pressure is equal to the equilibrium dissociation pressure.

Первый вывод для снятия сигнала присоединяют к поверхности металлической матрицы, например, посредством сварки. При этом первый вывод может быть присоединен как до нагревания металлической матрицы, так и после формирования на ней пленки оксида. The first output for signal pickup is attached to the surface of the metal matrix, for example, by welding. In this case, the first terminal can be connected both before heating the metal matrix and after the formation of an oxide film on it.

На поверхность пленки оксида твердого электролита закрепляют второй электрод и подсоединяют к нему второй вывод для снятия сигнала. A second electrode is fixed to the surface of the solid electrolyte oxide film and a second terminal is connected to it to pick up the signal.

Пример осуществления способа. An example implementation of the method.

Первый электрод был изготовлен в виде прямоугольной матрицы из циркония. Матрицу поместили в печь, в которой в качестве окислительной среды прокачивали кислород. Нагрев осуществляли до температуры 600oC, после чего производили выдержку при этой температуре в течение 10 ч. К матрице был приварен в области раздела "цирконий оксид циркония" первый вывод для снятия сигнала. На поверхности полученной пленки оксида циркония был укреплен второй электрод путем нанесения пасты оксида никеля, легированного литием с последующим ее вжиганием, после чего ко второму электроду был приварен второй вывод для снятия сигнала.The first electrode was made in the form of a rectangular matrix of zirconium. The matrix was placed in a furnace in which oxygen was pumped as an oxidizing medium. Heating was carried out to a temperature of 600 o C, after which it was held at this temperature for 10 hours. The first output for signal collection was welded to the matrix in the zirconium zirconium section. A second electrode was mounted on the surface of the obtained zirconium oxide film by applying a nickel oxide paste doped with lithium and then annealing it, after which a second terminal was welded to the second electrode to record the signal.

Устройство, изготовленное описанным способом, характеризуется зависимостями, представленными на фиг. 2 и фиг. 3. A device manufactured by the described method is characterized by the dependencies shown in FIG. 2 and FIG. 3.

Градуировочная зависимость (фиг. 2) построена с помощью описанного устройства при температуре 700oC в бинарной смеси газов гелий кислород в области парциальных давлений 5•10-5 1•10-5атм. Зависимость хорошо апрокисимируется прямой линией в полулогарифмических координатах, что позволяет найти методом наименьших квадратов коэффициенты уравнения линейной регрессии вида
E a+b ln P02
где размерность э.д.с. мВ, давления атм.
The calibration dependence (Fig. 2) is constructed using the described device at a temperature of 700 o C in a binary mixture of helium oxygen gases in the partial pressure range of 5 • 10 -5 1 • 10 -5 atm. The dependence is well approximated by a straight line in semilogarithmic coordinates, which allows us to find the coefficients of a linear regression equation of the form of the least squares method
E a + b ln P 02
where the dimension of the emf mV, pressure atm.

Получены следующие значения: a 842,91 мВ; b 24,56 мВ, коэффициент корреляции к 0,997, отношение дисперсионного анализа составляет 1607, что свидетельствует в совокупности о высокой точности устройства. The following values were obtained: a 842.91 mV; b 24.56 mV, the correlation coefficient to 0.997, the ratio of the analysis of variance is 1607, which testifies to the high accuracy of the device.

Динамическую характеристику устройства (фиг. 3) иллюстрирует быстродействие при замене атмосферы воздуха (участки 1 и 3) на бинарную смесь гелий 0,01 об. кислорода (участок 2) при температуре 550oC. В качестве параметра, характеризующего быстродействие кислородных датчиков на основе твердых электролитов, применяется интервал времени, в течение которого изменение амплитуды сигнала составит 95% Динамическая характеристика устройства для данных условиях составляет Δτ ≈ 25 с, что значительно ниже аналогичной характеристики известного устройства для измерения парциального давления кислорода [5] которая при сравнимой температуре составляет Dt ≈ 250 с.The dynamic characteristic of the device (Fig. 3) is illustrated by the speed when replacing the air atmosphere (sections 1 and 3) with a binary mixture of helium 0.01 vol. oxygen (section 2) at a temperature of 550 o C. As a parameter characterizing the performance of oxygen sensors based on solid electrolytes, a time interval is used during which the change in signal amplitude is 95%. The dynamic response of the device for these conditions is Δτ ≈ 25 s, which significantly lower than the similar characteristics of the known device for measuring the partial pressure of oxygen [5] which at a comparable temperature is Dt ≈ 250 s.

Таким образом, устройство для измерения парциального давления кислорода при простоте технологии его изготовления, имея несложную конструкцию, обладает высокой точностью и значительным быстродействием за счет создания беспористого эталонного электрода с постоянным парциальным давлением кислорода. Кроме того, поскольку вывод, контактирующий с эталонным электродом, присоединяют к металлической матрице непосредственно на границе раздела "металл его оксидная пленка", его замена при необходимости может быть произведена беспрепятственно, не разрушая устройства, что продлевает срок его службы. Упомянутые преимущества описанного устройства позволяют расширить область применения его, например, в l-зондах, поддерживающих оптимальное соотношение топливо воздух в карбюраторных двигателях внутреннего сгорания, а также в качестве датчика косвенного определения оксида углерода в выхлопных газах карбюраторных двигателей. Thus, the device for measuring the partial pressure of oxygen with the simplicity of its manufacturing technology, having a simple design, has high accuracy and significant speed due to the creation of a non-porous reference electrode with a constant partial pressure of oxygen. In addition, since the terminal in contact with the reference electrode is attached to the metal matrix directly at the metal-to-oxide film interface, it can be replaced unhindered, if necessary, without destroying the device, which extends its service life. The mentioned advantages of the described device allow to expand the scope of its application, for example, in l-probes that maintain the optimal fuel-air ratio in carburetor internal combustion engines, and also as a sensor for indirect determination of carbon monoxide in the exhaust gases of carburetor engines.

Источники информации
1. Патент ФРГ N 3820881, МКИ5 G 01 N 27/58, 1989.
Sources of information
1. The patent of Germany N 3820881, MKI 5 G 01 N 27/58, 1989.

2. Заявка Японии N 61-38413 B, МКИ5 G 01 N 27/58, 1986.2. Japanese application N 61-38413 B, MKI 5 G 01 N 27/58, 1986.

3. Заявка Японии N 62-44614 B, МКИ5 G 01 N 27/58, 1987.3. Japanese application N 62-44614 B, MKI 5 G 01 N 27/58, 1987.

4. Кофстад П. Высокотемпературные окисления металлов. М. Мир, 1969, с. 140. 4. Kofstad P. High-temperature oxidation of metals. M. Mir, 1969, p. 140.

5. Мебиус Х. Х. Жук П.П. Якобс Ш. и др. Исследования электрохимических твердоэлектролитных сенсоров кислорода с порошковыми оксидными электродами. "Электрохимия", 1990, вып. 11, т.26, с. 1388. 5. Moebius H. Kh. Zhuk P.P. Jacobs S. et al. Investigations of electrochemical solid electrolyte oxygen sensors with powder oxide electrodes. "Electrochemistry", 1990, no. 11, v. 26, p. 1388.

Claims (3)

1. Устройство для измерения парциального давления кислорода, содержащее твердый электролит и электроды, соединенные с выводами для снятия сигнала, отличающееся тем, что твердым электролитом является пленка оксида материала, из которого изготовлен первый электрод, выполненный в виде металлической матрицы и размещенный внутри пленки оксида, а первый вывод для снятия сигнала подсоединен к металлической матрице в области раздела металл оксид, при этом второй электрод расположен на поверхности пленки оксида. 1. A device for measuring the partial pressure of oxygen, containing a solid electrolyte and electrodes connected to the terminals for signal collection, characterized in that the solid electrolyte is a film of oxide material from which the first electrode is made, made in the form of a metal matrix and placed inside the oxide film, and the first terminal for signal pickup is connected to a metal matrix in the metal oxide interface, the second electrode being located on the surface of the oxide film. 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что второй электрод выполнен в виде проницаемого для кислорода электропроводящего слоя. 2. The device according to claim 1, characterized in that the second electrode is made in the form of an oxygen permeable conductive layer. 3. Способ изготовления устройства для измерения парциального давления кислорода путем получения твердого электролита, образования электродов и подсоединения к ним выводов для снятия сигнала, отличающийся тем, что для получения твердого электролита изготавливают первый электрод в виде металлической матрицы, нагревают его в окислительной среде и выдерживают до образования на его поверхности пленки оксида, на которой закрепляют второй электрод. 3. A method of manufacturing a device for measuring the partial pressure of oxygen by obtaining a solid electrolyte, forming electrodes and connecting leads to them to take a signal, characterized in that to obtain a solid electrolyte, the first electrode is made in the form of a metal matrix, it is heated in an oxidizing medium and held for the formation on its surface of an oxide film on which the second electrode is fixed.
RU95121489A 1995-12-29 1995-12-29 Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture RU2092827C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95121489A RU2092827C1 (en) 1995-12-29 1995-12-29 Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95121489A RU2092827C1 (en) 1995-12-29 1995-12-29 Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2092827C1 true RU2092827C1 (en) 1997-10-10
RU95121489A RU95121489A (en) 1998-01-20

Family

ID=20174889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95121489A RU2092827C1 (en) 1995-12-29 1995-12-29 Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2092827C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2548949C1 (en) * 2013-11-26 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии Уральского отделения Российской академии наук (ИМЕТ УрО РАН) Preparation of gas mix for analysis and processing of materials at variable pressure
RU2603997C1 (en) * 2013-02-18 2016-12-10 Тойота Дзидося Кабусики Кайся Control device for internal combustion engine

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Заявка Японии N 61-38413, кл. G 01N 27/58, 1986. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2603997C1 (en) * 2013-02-18 2016-12-10 Тойота Дзидося Кабусики Кайся Control device for internal combustion engine
RU2548949C1 (en) * 2013-11-26 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии Уральского отделения Российской академии наук (ИМЕТ УрО РАН) Preparation of gas mix for analysis and processing of materials at variable pressure

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4300991A (en) Air-fuel ratio detecting apparatus
US5554269A (en) Nox sensor using electrochemical reactions and differential pulse voltammetry (DPV)
JP2636883B2 (en) NOx concentration measuring device
US4264425A (en) Device for detection of air/fuel ratio from oxygen partial pressure in exhaust gas
US4510036A (en) Limiting electric current type oxygen sensor with heater and limiting electric current type oxygen concentration detecting device using the same
US6660145B2 (en) Oxygen sensor element
EP0845670B1 (en) Method and apparatus for measuring NOx gas concentration
US3915830A (en) Solid electrolyte electrochemical cell with self contained reference
JP2000321238A (en) Gas sensor
JPS639179B2 (en)
WO1998004907A1 (en) Solid state oxygen sensor
US4210509A (en) Oxygen sensor
US4792752A (en) Sensor for measuring partial pressures of gases
RU2092827C1 (en) Device for measuring of partial pressure of oxygen and process of its manufacture
Schwandt et al. Hydrogen sensing in molten aluminium using a commercial electrochemical sensor
US3974054A (en) Measuring cell for determining oxygen concentrations in a gas mixture
GB2190200A (en) Solid electrolyte oxygen sensor
KR100253859B1 (en) High-activity electrodes for exhaust gas sensors
Fabry et al. Ion exchange between two solid-oxide electrolytes
KR102138987B1 (en) Gas sensor for measuring different gases, and corresponding production method
JP3571861B2 (en) SOX gas sensor and method of manufacturing the same
JPH0128905B2 (en)
JP2004239688A (en) Air/fuel ratio detection device
Takeuchi et al. Oxygen Sensors A/F Control
JPH065220B2 (en) Oxygen concentration detector