RU207275U1 - Flexible humidity sensor - Google Patents
Flexible humidity sensor Download PDFInfo
- Publication number
- RU207275U1 RU207275U1 RU2021122520U RU2021122520U RU207275U1 RU 207275 U1 RU207275 U1 RU 207275U1 RU 2021122520 U RU2021122520 U RU 2021122520U RU 2021122520 U RU2021122520 U RU 2021122520U RU 207275 U1 RU207275 U1 RU 207275U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- multigraphene
- graphene
- flexible
- film
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/045—Circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/03—Use of materials for the substrate
- H05K1/038—Textiles
Abstract
Устройство относится к области использования графена (мультиграфена), а именно формированию электропроводящих структур, надежно закрепленных на гибкую подложку, и может найти применение в изготовлении широкого спектра гибких электронных приборов и изделий, в частности датчиков влажности резистивного типа. Гибкий датчик влажности, содержащий подложку, на которой установлена мультиграфеновая пленка, содержащая, по меньшей мере, два слоя графена, на окончаниях которой размещена пара электрических контактов, при этом подложка выполнена из предварительно обработанной адгезионным составом ткани, например, водным раствором бычьего сывороточного альбумина. Для осаждения слоя оксида графена на подложке в парах гидразина гидрата восстанавливают мультиграфеновую пленку. Кроме того, электрические контакты выполнены посредством нанесения серебряной пасты. Технический результат - создание надежного и стабильного датчика резистивного типа на основе графеновой пленки, обладающего гибкими свойствами. 2 ил.The device relates to the use of graphene (multigraphene), namely the formation of electrically conductive structures securely attached to a flexible substrate, and can be used in the manufacture of a wide range of flexible electronic devices and products, in particular, resistive-type humidity sensors. A flexible moisture sensor containing a substrate on which a multigraphene film is installed, containing at least two graphene layers, at the ends of which a pair of electrical contacts is placed, the substrate being made of a tissue pretreated with an adhesive composition, for example, an aqueous solution of bovine serum albumin. To deposit a graphene oxide layer on a substrate, a multigraphene film is reduced in hydrazine hydrate vapor. In addition, the electrical contacts are made by applying a silver paste. The technical result is the creation of a reliable and stable resistive type sensor based on a graphene film with flexible properties. 2 ill.
Description
Устройство относится к области использования графена (мультиграфена), а именно формированию электропроводящих структур, надежно закрепленных на гибкую подложку, и может найти применение в изготовлении широкого спектра гибких электронных приборов и изделий, в частности датчиков влажности резистивного типа.The device relates to the use of graphene (multigraphene), namely the formation of electrically conductive structures securely attached to a flexible substrate, and can be used in the manufacture of a wide range of flexible electronic devices and products, in particular, resistive-type humidity sensors.
Известен датчик влажности резистивного типа (см. RU №2109778, кл. C08L 79/08, C08L 71/02, опубл. 27.04.1998), состоящий из подложки, на которой нанесена чувствительная к влаге азотсодержащая полимерная композиция, имеющая следующий состав, в мас.%: полиамидоимид - 52,3-58,5; полиэтиленгликоль - 41,5-47,7. A resistive-type humidity sensor is known (see RU No. 2109778, class C08L 79/08, C08L 71/02, publ. 04/27/1998), consisting of a substrate on which a nitrogen-containing polymer composition sensitive to moisture is applied, having the following composition, in wt%: polyamidoimide - 52.3-58.5; polyethylene glycol - 41.5-47.7.
Недостатком известного технического решения является высокая инертность работы датчика. The disadvantage of the known technical solution is the high inertia of the sensor.
Устройство датчика влажности на мультиграфеновой основе (см. Huihui Guo et al.. Humidity sensing behaviors of graphene oxide-silicon bi-layer flexible structure, Sensors and Actuators B: Chemical. – 2012. - Vol. 161, Р. 1053-1058) состоит из твердой подложки, на поверхности которой закреплена мультиграфеновая пленка, содержащая не менее двух слоев графена. Construction of a multigraphene-based moisture sensor (see Huihui Guo et al .. Humidity sensing behaviors of graphene oxide-silicon bi-layer flexible structure, Sensors and Actuators B: Chemical. - 2012. - Vol. 161, P. 1053-1058) consists of a solid substrate, on the surface of which a multigraphene film is fixed, containing at least two graphene layers.
Однако известное устройство датчика влажности характерно нестабильностью работы при больших перепадах влажности и температуры окружающей среды.However, the known device of the humidity sensor is characterized by the instability of operation at large fluctuations in humidity and ambient temperature.
Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, является датчик влажности, описанный в патенте RU №160838 (кл. G01K 5/46, G01N 27/04, опубл. 10.04.2016), который состоит из стеклянной подложки, на поверхность которой закреплена мультиграфеновая пленка, имеющая пару электрических (омических) контактов. The closest technical solution, chosen as a prototype, is a humidity sensor described in patent RU No. 160838 (class G01K 5/46, G01N 27/04, published on 10.04.2016), which consists of a glass substrate, on the surface of which is fixed multigraphene film having a pair of electrical (ohmic) contacts.
Недостатком прототипа является твердая подложка, которая не позволяет установить и надежно закрепить датчик влажности на гибкие и сильно деформируемые колеблющиеся поверхности, что ограничивает сферу его применения.The disadvantage of the prototype is the solid substrate, which does not allow to install and securely fix the humidity sensor on flexible and highly deformable oscillating surfaces, which limits its scope.
Задачей, на решение которой направлена полезная модель, является расширение области применения датчика влажности резистивного типа.The problem to be solved by the utility model is to expand the scope of the resistive-type humidity sensor.
Технический результат, получаемый при использовании устройства, выражается в создании надежного и стабильного датчика резистивного типа на основе графеновой пленки, обладающего гибкими свойствами.The technical result obtained when using the device is expressed in the creation of a reliable and stable resistive type sensor based on a graphene film, which has flexible properties.
Для решения поставленной задачи гибкий датчик влажности, содержащий подложку, выполненную на основе предварительно обработанной адгезионным составом ткани, на которой установлена мультиграфеновая пленка, включающая, по меньшей мере, два слоя графена, на окончаниях которой размещена пара электрических контактов, при этом подложка выполнена из ткани, предварительно обработанной водным раствором бычьего сывороточного альбумина, образующим адгезионную прослойку. Кроме того, электрические контакты выполнены посредством нанесения серебряной пасты.To solve this problem, a flexible moisture sensor containing a substrate made on the basis of a fabric pre-treated with an adhesive composition, on which a multigraphene film is installed, including at least two graphene layers, at the ends of which a pair of electrical contacts is placed, the substrate is made of fabric pretreated with an aqueous solution of bovine serum albumin, which forms an adhesive layer. In addition, the electrical contacts are made by applying a silver paste.
Сопоставительный анализ признаков заявленного решения с признаками ближайших аналогов свидетельствует о соответствии заявленного решения критерию «новизна».Comparative analysis of the features of the declared solution with the features of the closest analogs indicates the compliance of the declared solution with the "novelty" criterion.
Совокупность признаков полезной модели обеспечивает решение заявленной технической задачи, а именно, получение простого устройства датчика влажности, обладающего гибкими свойствами, что позволяет значительно расширить область его применения.The set of features of the utility model provides a solution to the stated technical problem, namely, obtaining a simple device for a moisture sensor with flexible properties, which significantly expands the scope of its application.
Известно, что оксид графена из-за наличия в нем кислородных групп является диэлектриком, что не позволяет использовать его при изготовлении электропроводящих структур в электронных системах. Процесс избавления от кислородсодержащих групп и молекул, так называемое «восстановление», позволяет увеличить электропроводимость до значений, необходимых для использования в электронных системах. It is known that graphene oxide, due to the presence of oxygen groups in it, is a dielectric, which does not allow its use in the manufacture of electrically conductive structures in electronic systems. The process of getting rid of oxygen-containing groups and molecules, the so-called "reduction", allows you to increase the electrical conductivity to values required for use in electronic systems.
Например, известен способ изготовления тонкопленочного датчика влажности резистивного типа (см. RU №2682259, кл. G01N 27/00, В28В 1/00, опубл. 18.03.2019), основанный на создании электропроводящих структур на гибкой полимерной пленке, для чего на поверхность полимерной подложки формируют пленку оксида графена, на поверхности которой посредством полупроводникового лазера облучают электропроводящую дорожку электродов.For example, there is a known method of manufacturing a resistive-type thin-film moisture sensor (see RU No. 2682259, class G01N 27/00, В28В 1/00, publ. 03/18/2019), based on the creation of electrically conductive structures on a flexible polymer film, for which the surface A graphene oxide film is formed on the polymer substrate, on the surface of which the electrically conductive path of the electrodes is irradiated by a semiconductor laser.
Кроме того, технологически простым способом восстановления слоев оксида графена является их обработка в парах гидразина гидрата в водяной бане. Оксид графена обычно получают и используют в виде водной суспензии, поскольку, жидкая основа позволяет его легко наносить на поверхности различных материалов. Для обеспечения прочного сцепления частиц оксида графена с волокнами ткани, предварительно, до нанесения оксида графена, ткань обрабатывают бычьим сывороточным альбумином. In addition, a technologically simple method for the reduction of graphene oxide layers is their treatment in hydrazine hydrate vapor in a water bath. Graphene oxide is usually obtained and used in the form of an aqueous suspension, since the liquid base allows it to be easily applied to the surfaces of various materials. To ensure strong adhesion of graphene oxide particles to fabric fibers, before the application of graphene oxide, the fabric is treated with bovine serum albumin.
Бычий сывороточный альбумин является амфифильным белком, способным прочно соединять материалы органического или неорганического происхождения за счет поверхностного сцепления посредством гидрофобных (неполярных) и гидрофильных (полярных) взаимодействий.Bovine serum albumin is an amphiphilic protein capable of firmly binding materials of organic or inorganic origin through surface adhesion through hydrophobic (non-polar) and hydrophilic (polar) interactions.
Восстановленные из оксида графена мультиграфеновые слои обеспечивают прямо пропорциональное изменение сопротивления датчика в зависимости от изменения влажности окружающей среды и высокую температурную стабильность.Multigraphene layers recovered from graphene oxide provide a directly proportional change in the sensor resistance depending on changes in ambient humidity and high temperature stability.
Таким образом, в заявленном устройстве подложка выполнена из предварительно обработанной адгезионным составом ткани, на которой сначала осаждают слои оксида графена, из которых в парах гидразина гидрата восстанавливают мультиграфеновую пленку. В качестве подложки датчика влажности может быть использованы ткани, полученные как из натуральных, так и синтетических волокон (например, хлопчатобумажные или нейлоновые). Thus, in the claimed device, the substrate is made of a fabric pretreated with an adhesive composition, on which layers of graphene oxide are first deposited, from which a multigraphene film is reduced in hydrazine hydrate vapor. As a substrate for the moisture sensor, fabrics made from both natural and synthetic fibers (for example, cotton or nylon) can be used.
Устройство датчика влажности поясняется чертежами, где на фигуре 1 показаны фотоизображения экспериментального образца полоски хлопчатобумажной ткани с шириной 1 см и длиной 4,5 см: в исходном состоянии (а), после обработки адгезивом - бычьим сывороточным альбумином (б), после нанесения оксида графена (в), после восстановления оксида графена (г) и после нанесения на образце с восстановленным графеном двух электрических контактов из серебряной пасты (д); на фигуре 2 - график относительного изменения активного сопротивления датчика в зависимости от относительной влажности (RH) и времени (во вставке).The device of the moisture sensor is illustrated by drawings, where figure 1 shows photographs of an experimental sample of a strip of cotton fabric with a width of 1 cm and a length of 4.5 cm: in the initial state (a), after treatment with adhesive - bovine serum albumin (b), after applying graphene oxide (c) after reduction of graphene oxide (d) and after deposition on a sample with reduced graphene of two electrical contacts made of silver paste (e); Figure 2 is a graph of the relative change in sensor resistance versus relative humidity (RH) and time (inset).
Конструктивно датчик представляет собой ткань, на волокна которой закреплены мультиграфеновые слои, восстановленные из слоев оксида графена. С двух сторон на ткань с мультиграфеновым слоем установлены металлические контакты из серебряной пасты (см. фиг. 1д). Structurally, the sensor is a fabric, on the fibers of which multigraphene layers are fixed, reduced from graphene oxide layers. On both sides of the fabric with a multigraphene layer, metal contacts made of silver paste are installed (see Fig. 1e).
Ниже приводится пример реализации датчика, в котором в качестве подложки использована хлопкочатобумажная ткань.Below is an example of the sensor implementation, in which cotton cloth is used as a substrate.
Изготовление датчика происходит в несколько этапов. The sensor is manufactured in several stages.
Вначале, исходный участок (кусок) ткани (см. фиг. 1а), где предусматривается размещение датчика, обрабатывают путем окунания в адгезиве - подкисленном соляной кислотой водном растворе бычьего сывороточного альбумина (см. фиг. 1б). После просушки при комнатной температуре в течение 18±1 часов ткань с адсорбированным бычьим сывороточным альбумином погружают в водную суспензию частиц (микрочешуек) оксида графена, предварительно подвергнутую ультразвуковому воздействию, способствующему равномерному осаждению и закреплению дисперсных частиц оксида графена на поверхности волокон ткани. При этом исходный цвет ткани после осаждения на ней частиц оксида графена заметно чернеет (см. фиг. 1в). First, the original site (piece) of tissue (see Fig. 1a), where the sensor is to be placed, is processed by dipping in an adhesive acidified with hydrochloric acid aqueous solution of bovine serum albumin (see Fig. 1b). After drying at room temperature for 18 ± 1 hours, the fabric with adsorbed bovine serum albumin is immersed in an aqueous suspension of graphene oxide particles (micro flakes), previously subjected to ultrasonic treatment, which promotes uniform deposition and fixation of dispersed graphene oxide particles on the surface of the fabric fibers. In this case, the initial color of the fabric after the deposition of graphene oxide particles on it noticeably turns black (see Fig. 1c).
После чего, для восстановления закрепленных на волокна ткани слоев оксида графена предварительно просушенный в течение не менее 12 часов при комнатной температуре участок или кусок ткани обрабатывают в герметичной емкости в парах гидразина гидрата при температуре 60±5°С в течение 60±10 мин. По завершении восстановления слоев оксида графена ткань снова просушивают при комнатной температуре в течение не менее 12 часов. Then, to restore the graphene oxide layers fixed to the fibers of the fabric, a section or piece of fabric, previously dried for at least 12 hours at room temperature, is treated in a sealed container in hydrazine hydrate vapors at a temperature of 60 ± 5 ° C for 60 ± 10 minutes. Upon completion of the reduction of the graphene oxide layers, the fabric is again dried at room temperature for at least 12 hours.
Изготовление датчика завершается нанесением двух электрических контактов из серебряной пасты на поверхности ткани (куска) с мультиграфеновым слоем на расстоянии, например, 10-15 мм друг от друга. Затвердение и прочное сцепление серебряной пасты на поверхности ткани достигается путем сушки при комнатной температуре не менее 24 часов. The manufacture of the sensor is completed by applying two electrical contacts made of silver paste on the surface of a fabric (piece) with a multigraphene layer at a distance of, for example, 10-15 mm from each other. The hardening and strong adhesion of the silver paste on the surface of the fabric is achieved by drying at room temperature for at least 24 hours.
Для измерения влажности к электрическим контактам датчика прикладывают напряжение (см. фиг. 1д), при этом в зависимости от текущей влажности окружающей среды устанавливают определенное значение сопротивления мультиграфеновой пленки, которое изменяет силу тока, проходящего через мультиграфеновую пленку, по значению которой, применяя известные методики, определяют абсолютное или относительное значение влажности. По величине изменения сопротивления мультиграфеновой пленки с помощью градуировочных кривых с использованием эталона можно определить содержание влаги в исследуемой среде. To measure humidity, a voltage is applied to the electrical contacts of the sensor (see Fig.1e), while depending on the current ambient humidity, a certain resistance value of the multigraphene film is set, which changes the current passing through the multigraphene film, according to the value of which, using known techniques , determine the absolute or relative humidity. By the magnitude of the change in the resistance of the multigraphene film using calibration curves using a standard, it is possible to determine the moisture content in the test medium.
Для экспериментальных работ в качестве эталона использовали промышленный датчик влажности HIH-4000 производства компании «Honeywell». На фиг. 2 приведен график относительного изменения активного сопротивления датчика в зависимости от относительной влажности (RH) и времени (во вставке). При этом за R0 взято значение сопротивления датчика при RH, равной 20 %. Из графика видно, что с увеличением влажности сопротивление мультиграфеновой пленки возрастает.For experimental work, an industrial humidity sensor HIH-4000 manufactured by Honeywell was used as a reference. FIG. 2 shows a graph of the relative change in the active resistance of the sensor versus relative humidity (RH) and time (inset). In this case, for R 0 taken the value of the resistance of the sensor at RH equal to 20%. The graph shows that with increasing humidity, the resistance of the multigraphene film increases.
Таким образом, устройство мультиграфенового датчика влажности, обладающего гибкими свойствами за счет использования подложки из ткани, позволяет значительно расширить область его применения, например, для встраивания датчика в одежду. При этом способ изготовления устройства обладает технологической простотой, высокой повторяемостью и стабильностью получаемых датчиков влажности резистивного типа.Thus, the device of a multi-graphene moisture sensor, which has flexible properties due to the use of a fabric substrate, makes it possible to significantly expand its field of application, for example, for embedding the sensor into clothing. At the same time, the method of manufacturing the device has technological simplicity, high repeatability and stability of the obtained resistive-type humidity sensors.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021122520U RU207275U1 (en) | 2021-07-28 | 2021-07-28 | Flexible humidity sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021122520U RU207275U1 (en) | 2021-07-28 | 2021-07-28 | Flexible humidity sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU207275U1 true RU207275U1 (en) | 2021-10-21 |
Family
ID=78289823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2021122520U RU207275U1 (en) | 2021-07-28 | 2021-07-28 | Flexible humidity sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU207275U1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU223725U1 (en) * | 2023-09-29 | 2024-02-29 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" (ВГТУ) | MOISTURE SENSOR |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN204514847U (en) * | 2015-01-29 | 2015-07-29 | 重庆墨希科技有限公司 | A kind of Flexible graphene nm wall electric resistance moisture sensor |
| CN105067016A (en) * | 2015-08-19 | 2015-11-18 | 东南大学 | Flexible integrated temperature and humidity sensor based on oxidized graphene and preparation method of sensor |
| RU160838U1 (en) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | HUMIDITY SENSOR DEVICE |
| WO2016198969A1 (en) * | 2015-06-09 | 2016-12-15 | Continental - Indústria Têxtil Do Ave, S.A. | Multifuncional textile sensor |
| CN109192391A (en) * | 2018-08-13 | 2019-01-11 | 哈尔滨工业大学（深圳） | A kind of preparation method of the conductive film based on modified flexible substrate |
| CN109725028A (en) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 珠海安润普科技有限公司 | Humidity sensor and wearable device with it |
-
2021
- 2021-07-28 RU RU2021122520U patent/RU207275U1/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU160838U1 (en) * | 2014-11-13 | 2016-04-10 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Восточный федеральный университет имени М.К. Аммосова" | HUMIDITY SENSOR DEVICE |
| CN204514847U (en) * | 2015-01-29 | 2015-07-29 | 重庆墨希科技有限公司 | A kind of Flexible graphene nm wall electric resistance moisture sensor |
| WO2016198969A1 (en) * | 2015-06-09 | 2016-12-15 | Continental - Indústria Têxtil Do Ave, S.A. | Multifuncional textile sensor |
| CN105067016A (en) * | 2015-08-19 | 2015-11-18 | 东南大学 | Flexible integrated temperature and humidity sensor based on oxidized graphene and preparation method of sensor |
| CN109725028A (en) * | 2017-10-30 | 2019-05-07 | 珠海安润普科技有限公司 | Humidity sensor and wearable device with it |
| CN109192391A (en) * | 2018-08-13 | 2019-01-11 | 哈尔滨工业大学（深圳） | A kind of preparation method of the conductive film based on modified flexible substrate |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU223725U1 (en) * | 2023-09-29 | 2024-02-29 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный технический университет" (ВГТУ) | MOISTURE SENSOR |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sohn et al. | pH sensing characteristics and biosensing application of solution-gated reduced graphene oxide field-effect transistors | |
| Bousse et al. | Zeta potential measurements of Ta2O5 and SiO2 thin films | |
| Ahmad et al. | Humidity-dependent characteristics of methyl-red thin film-based Ag/methyl-red/Ag surface-type cell | |
| US3255324A (en) | Moisture responsive resistance device | |
| Su et al. | Fully transparent and flexible humidity sensors fabricated by layer-by-layer self-assembly of thin film of poly (2-acrylamido-2-methylpropane sulfonate) and its salt complex | |
| US7270002B2 (en) | Humidity sensor element, device and method for manufacturing thereof | |
| Khanna et al. | Surface conduction mechanisms and the electrical properties of Al2O3 humidity sensor | |
| Arshak et al. | Investigation of tin oxides as sensing layers in conductimetric interdigitated pH sensors | |
| Salikhov et al. | Nanocomposite thin-film structures based on a polyelectrolyte complex of chitosan and chitosan succinamide with SWCNT | |
| JPS59202052A (en) | Humidity sensitive element | |
| US6806722B2 (en) | Polymer-type humidity sensor | |
| Shim et al. | Humidity Sensor Using Chemically Synthesized Poly (1, 5‐diaminonaphthalene) Doped with Carbon | |
| Su et al. | A resistive-type humidity sensor using composite films prepared from poly (2-acrylamido-2-methylpropane sulfonate) and dispersed organic silicon sol | |
| RU207275U1 (en) | Flexible humidity sensor | |
| TWI601954B (en) | Capacitor-based fluid sensing unit and the method of use | |
| Bendahan et al. | Morphology, electrical conductivity, and reactivity of mixed conductor CuBr films: development of a new ammonia gas detector | |
| RU2764380C1 (en) | Method for manufacturing a flexible humidity sensor | |
| Komoda et al. | Fabrication and characterization of a fully screen-printed Ag/AgCl reference electrode using silica gel inks exhibiting instantaneous usability and long-term stability | |
| Liu et al. | Improving pH sensitivity by field-induced charge regulation in flexible biopolymer electrolyte gated oxide transistors | |
| Mosca et al. | Effect of humidity on the ac impedance of CH3NH3SnCl3 hybrid films | |
| EA042722B1 (en) | METHOD FOR MANUFACTURING FLEXIBLE HUMIDITY SENSOR BASED ON REDUCED GRAPHENE OXIDE | |
| Li et al. | Boron nitride-mediated semiconductor nanonetwork for an ultralow-power fibrous synaptic transistor and C-reactive protein sensing | |
| WO2002077632A1 (en) | Field-effect transistor | |
| Xin et al. | An investigation of sulfonated polysulfone humidity-sensitive materials | |
| KR101499650B1 (en) | Piezoresistive humidity sensor and its manufacturing method |