RU206162U1 - Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization - Google Patents
Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization Download PDFInfo
- Publication number
- RU206162U1 RU206162U1 RU2021108760U RU2021108760U RU206162U1 RU 206162 U1 RU206162 U1 RU 206162U1 RU 2021108760 U RU2021108760 U RU 2021108760U RU 2021108760 U RU2021108760 U RU 2021108760U RU 206162 U1 RU206162 U1 RU 206162U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure
- sensor
- damper
- membrane
- liquid
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к измерительной технике, а именно к измерению постоянного или медленно меняющегося давления жидких веществ с помощью элементов, чувствительных к механическому воздействию или давлению упругой среды с помощью упругодеформируемых элементов, в частности, с гибкой диафрагмой и может использоваться в тензометрических датчиках давления.Задачей является обеспечение стойкости датчика давления, тензометрического сенсора и изолирующей (разделительной) мембраны при работе датчика в условиях замерзания измеряемой жидкости.Заявляемый датчик давления с компенсацией изменения объема жидкости при кристаллизации включает в себя корпус датчика 1 давления, имеющий чувствительный элемент 2, выполненный с возможностью изменения параметров в ответ на его деформацию и соединенный с измерительной схемой 3, изолирующую мембрану 4, выполненную с возможностью контакта с рабочей текучей средой 5 и деформации в ответ на ее давление и соединенную с корпусом датчика 1 давления посредством несжимаемой заполняющей, например, силиконовой текучей среды 6. Текучая среда 6 соединена с расположенным между корпусом датчика 1 давления и рабочей текучей средой 5 демпфером 7. Демпфер 7 служит для компенсации деформаций при фазовом переходе рабочей среды 5 «жидкость - твердое тело», расположен с внешней стороны изолирующей мембраны 4 между ней и штуцером 9 в полости 8 и представляет собой конструктивный элемент, выполненный с возможностью изменения объема в зависимости от давления. Так, демпфер 7 может быть выполнен в виде, например, прокладки из пенополиуретановой резины или газонаполненного каучука, коробчатой мембраны, сильфонного узла и др. При этом корпус датчика 1 закреплен в штуцере 9.Использование демпфера для компенсации деформаций при фазовом переходе рабочей среды «жидкость - твердое тело» в совокупности с его расположением с внешней стороны изолирующей мембраны между мембраной и штуцером и выполнением его в виде конструктивного элемента, имеющего возможность изменения объема от давления, позволяет предотвратить разрушение тензометрического сенсора и корпуса датчика при замерзании рабочей среды и сохранить высокую точность измерения. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.The utility model relates to measuring technology, namely the measurement of constant or slowly varying pressure of liquid substances using elements sensitive to mechanical stress or pressure of an elastic medium using elastically deformable elements, in particular, with a flexible diaphragm and can be used in strain gauge pressure sensors. is to ensure the resistance of the pressure sensor, the strain gauge sensor and the isolating (separating) membrane when the sensor is operating under freezing conditions of the measured liquid. parameters in response to its deformation and connected to the measuring circuit 3, an insulating membrane 4 made with the possibility of contact with the working fluid 5 and deformation in response to its pressure and connected to the body of the pressure sensor 1 by means of Compressible filling, for example, silicone fluid 6. The fluid 6 is connected to a damper 7 located between the pressure sensor 1 housing and the working fluid 5. The damper 7 serves to compensate for deformations during the phase transition of the working medium 5 "liquid - solid", located the outer side of the insulating membrane 4 between it and the fitting 9 in the cavity 8 and is a structural element made with the ability to change the volume depending on the pressure. So, the damper 7 can be made in the form, for example, a gasket made of polyurethane rubber or gas-filled rubber, a box membrane, a bellows assembly, etc. In this case, the sensor body 1 is fixed in the fitting 9. The use of a damper to compensate for deformations during the phase transition of the working medium "liquid - solid body ", together with its location on the outside of the insulating membrane between the membrane and the fitting and making it in the form of a structural element that has the ability to change the volume of pressure, prevents the destruction of the strain gauge sensor and the sensor body when the working medium freezes and maintains high measurement accuracy ... 4 c.p. f-ly, 1 dwg.
Description
Полезная модель относится к измерительной технике, а именно к датчикам давления с тензометрическим чувствительным элементом (сенсором), предназначенным для измерения постоянного или медленно меняющегося давления жидких веществ с помощью элементов, чувствительных к механическому воздействию или давлению измеряемой среды с помощью упруго деформируемых элементов.The utility model relates to measuring technology, namely, pressure sensors with a strain gauge sensitive element (sensor) designed to measure constant or slowly changing pressure of liquid substances using elements that are sensitive to mechanical stress or pressure of the medium being measured using elastically deformable elements.
При этом необходимо пояснить суть проблемы.At the same time, it is necessary to clarify the essence of the problem.
Датчики давления обычно воспринимают давление посредством разделительной мембраны, которая связана сообщением по текучей среде с сенсором. Разделительная мембрана (изолирующая диафрагма) изолирует сенсор от измеряемых рабочих текучих сред. Эти рабочие текучие среды могут быть в высокой степени коррозийными или могут иметь высокие температуры, таким образом изолированы от сенсора с целью исключения коррозии или повреждения сенсора. Давление от изолирующей диафрагмы передается на сенсор с использованием, по существу, несжимаемой заполняющей текучей среды, такой как силиконовое масло. Сам тензометрический сенсор имеет физическую структуру, такую как чувствительная диафрагма, которая реагирует на давление посредством деформирования. Сенсор включает также электрическую резистивную тензометрическую структуру, размещенную на хрупкой деформируемой кремниевой подложке. Когда кремниевая подложка в ответ на давление деформируется, сопротивление тензодатчика изменяется.Pressure transmitters typically sense pressure through a seal diaphragm that is in fluid communication with the sensor. An isolating diaphragm (diaphragm seal) isolates the sensor from the process fluids being measured. These process fluids can be highly corrosive or can have high temperatures and are thus isolated from the sensor to prevent corrosion or damage to the sensor. The pressure from the diaphragm seal is transmitted to the sensor using a substantially incompressible fill fluid such as silicone oil. The strain gauge sensor itself has a physical structure, such as a sensing diaphragm, which responds to pressure through deformation. The sensor also includes an electrical resistive strain gauge structure placed on a fragile deformable silicon substrate. When the silicon substrate deforms in response to pressure, the resistance of the strain gauge changes.
Одним из конструктивных ограничений тензометрических датчиков является разрушение сенсора при высоком избыточным давлении, превышающем критические значения. Датчики давления на основе тензометрического сенсора используют, по существу, несжимаемую текучую среду для соединения чувствительного к давлению элемента с рабочей текучей средой или с газом через разделительную мембрану. При возникновении перепада давления эта заполняющая текучая среда передает давление на чувствительный элемент. Чувствительный элемент изгибается и при превышении критических значений давления разрушается. Это приводит к выходу датчика из строя.One of the design limitations of strain gauge sensors is the destruction of the sensor at high overpressure exceeding critical values. Strain gauge pressure transducers use a substantially incompressible fluid to couple the pressure sensing element to a process fluid or gas through a separating membrane. When a differential pressure occurs, this filling fluid transfers pressure to the sensing element. The sensing element bends and is destroyed when the critical pressure values are exceeded. This leads to failure of the sensor.
В некоторых случаях рабочая среда (например, вода) может замерзать и при расширении, в процессе перехода из жидкого состояния в твердое, создавать через разделительную мембрану избыточное давление в измерительной системе, превышающее критическое давление, при котором вся нагрузка ложится на тензометрический сенсор, после чего возможно его разрушение. Возможное увеличение толщины разделительной (изолирующей) мембраны с целью ее возможного сохранения после разрушения сенсора только ухудшает метрологические характеристики измерительного устройства.In some cases, the working medium (for example, water) can freeze and upon expansion, during the transition from a liquid to a solid state, create an overpressure in the measuring system through the separating diaphragm in excess of the critical pressure at which the entire load falls on the strain gauge sensor, after which its destruction is possible. A possible increase in the thickness of the separating (insulating) membrane with the aim of its possible preservation after the destruction of the sensor only worsens the metrological characteristics of the measuring device.
Наиболее близким по технической сущности (по конструкции) к заявляемому является передатчик давления, представленный в п. РФ №2693732 по кл. G01L7/08, з. 30.09.2015 г., оп.04.07.2019 г. и выбранный в качестве прототипа.The closest in technical essence (design) to the claimed is the pressure transmitter, presented in p. RF No. 2693732 according to cl. G01L7 / 08, z. 09/30/2015, 07/04/2019 and selected as a prototype.
В известном техническом решении датчик давления рабочей текучей среды включает в себя тензометрический сенсор, имеющий электрическую характеристику, которая изменяется в ответ на деформацию сенсора в ответ на давление. К сенсору подсоединена измерительная схема, которая выполнена с возможностью обеспечения указания этой электрической характеристики. Изолирующая диафрагма (мембрана) выполнена с возможностью контакта с рабочей текучей средой и деформации в ответ на давление рабочей текучей среды. Изолирующая диафрагма (мембрана) посредством по существу несжимаемой заполняющей текучей среды соединена с тензометрическим сенсором. С заполняющей текучей средой соединена структура, податливая к воздействию избыточного давления, и она выполнена с возможностью быть, по существу, жесткой при давлениях ниже выбранного порога, но деформироваться в ответ на давление выше выбранного порога. Эта структура, выполняющая роль демпфера, размещена внутри полости, расположенной непосредственно под тензометрическим чувствительным элементом с коэффициентом теплового расширения, отличным от коэффициента теплового расширения заполняющей текучей среды и корпуса датчика давления.In the prior art, a working fluid pressure sensor includes a strain gauge sensor having an electrical characteristic that changes in response to deformation of the sensor in response to pressure. A measuring circuit is connected to the sensor and is configured to provide an indication of this electrical characteristic. The insulating diaphragm (membrane) is configured to contact with the working fluid and deform in response to the pressure of the working fluid. The isolating diaphragm (membrane) is connected to the strain gauge sensor by means of a substantially incompressible filling fluid. An overpressure responsive structure is coupled to the fill fluid and is configured to be substantially rigid at pressures below a selected threshold, but deform in response to pressures above a selected threshold. This structure, which acts as a damper, is located inside a cavity located directly below the strain gauge sensor with a coefficient of thermal expansion different from the coefficient of thermal expansion of the filling fluid and the pressure sensor housing.
Технический результат - устранение потенциальной восприимчивости датчика к высоким избыточным давлениям.The technical result is the elimination of the potential susceptibility of the sensor to high overpressures.
Однако такая конструкция вносит искажения в метрологические характеристики датчика, поскольку является дополнительным упругим элементом, который обладает нелинейностью и демпфированием. При кристаллизации (замерзании) жидкости резко увеличивается объем и значительно возрастает давление измеряемой среды.However, such a design introduces distortions in the metrological characteristics of the sensor, since it is an additional elastic element that has nonlinearity and damping. During crystallization (freezing) of a liquid, the volume increases sharply and the pressure of the measured medium increases significantly.
Предложенный демпфер компенсирует избыточное давление уменьшаясь в объеме. При этом разделительная мембрана перемещается и ложится на опорную поверхность. Далее мембрана начинает растягиваться и может получить необратимые пластические деформации или порваться.The proposed damper compensates for excess pressure by decreasing in volume. This moves the separating diaphragm and rests on the supporting surface. Further, the membrane begins to stretch and can receive irreversible plastic deformation or break.
Задачей является обеспечение стойкости датчика давления, тензометрического сенсора и изолирующей (разделительной) мембраны при работе датчика в условиях замерзания измеряемой жидкости.The task is to ensure the resistance of the pressure sensor, strain gauge sensor and isolating (separating) membrane when the sensor is operating under freezing conditions of the measured liquid.
Поставленная задача решается тем, что в датчике давления с компенсацией изменения объема жидкости при ее кристаллизации, включающий в себя сенсор, имеющий чувствительный элемент, выполненный с возможностью изменения параметров в ответ на его деформацию и соединенный с измерительной схемой, изолирующую мембрану, соединенную с внутренней стороны с сенсором посредством несжимаемой заполняющей текучей среды, выполненную с возможностью контакта с рабочей текучей средой и деформирования в ответ на давление этой среды в которой установлен демпфер, выполненный с возможностью объемно деформирования в зависимости от давления рабочей среды, ОТЛИЧАЮЩИЙСЯ тем, что демпфер служит для компенсации объемных деформаций при фазовом переходе рабочей среды «жидкость - твердое тело», расположен с внешней стороны изолирующей мембраны в полости с измеряемой средой и представляет собой конструктивный элемент, выполненный с возможностью изменения объема от давления, в том числе при кристаллизации (замерзании) жидкости. При этом демпфер может быть реализован по-разному, например, в виде: прокладки из пенополиуретановой резины или газонаполненного каучука, коробчатой мембраны, сильфонного узла и др.The problem is solved by the fact that in a pressure sensor with compensation for changes in the volume of a liquid during its crystallization, including a sensor having a sensitive element configured to change parameters in response to its deformation and connected to the measuring circuit, an insulating membrane connected to the inside with a sensor by means of an incompressible filling fluid, made with the possibility of contact with the working fluid and deformation in response to the pressure of this medium in which a damper is installed, made with the possibility of volumetric deformation depending on the pressure of the working medium, DIFFERENT in that the damper serves to compensate for volumetric deformations during the phase transition of the working medium "liquid - solid", is located on the outside of the insulating membrane in the cavity with the measured medium and is a structural element made with the ability to change the volume from pressure, including during crystallization (freezing). liquids. In this case, the damper can be implemented in different ways, for example, in the form of: a gasket made of polyurethane rubber or gas-filled rubber, a box membrane, a bellows assembly, etc.
Использование демпфера для компенсации деформаций при фазовом переходе рабочей среды «жидкость - твердое тело» в совокупности с расположением его с внешней стороны изолирующей мембраны и выполнением его в виде конструктивного элемента, имеющего возможность изменения объема от давления, позволяет предотвратить разрушение тензометрического сенсора при замерзании рабочей среды и сохранить высокую точность измерения.The use of a damper to compensate for deformations during the phase transition of the working medium "liquid - solid" in conjunction with its location on the outside of the insulating membrane and its implementation in the form of a structural element that has the ability to change the volume of pressure, allows you to prevent the destruction of the strain gauge sensor when the working medium freezes and maintain high measurement accuracy.
Технический результат - обеспечение стойкости датчика давления, тензометрического сенсора и изолирующей (разделительной) мембраны при работе датчика при замерзании измеряемой жидкости и после.The technical result is to ensure the resistance of the pressure sensor, strain gauge sensor and insulating (separating) membrane during operation of the sensor when the measured liquid freezes and after.
Заявляемый датчик давления обладает новизной в сравнении с прототипом, отличаясь от него такими существенными признаками как использование демпфера для компенсации деформаций при фазовом переходе рабочей среды «жидкость -твердое тело» без потери точности измерения, расположение его с внешней стороны изолирующей мембраны между мембраной и штуцером и выполнение его в виде конструктивного элемента, имеющего возможность изменения объема от давления, обеспечивающими в совокупности достижение заданного результата.The inventive pressure sensor has a novelty in comparison with the prototype, differing from it in such essential features as the use of a damper to compensate for deformations during the phase transition of the working medium "liquid-solid" without loss of measurement accuracy, its location on the outside of the insulating membrane between the membrane and the fitting and its implementation in the form of a structural element that has the ability to change the volume from pressure, providing in the aggregate the achievement of a given result.
Заявляемый датчик давления с компенсацией изменения объема жидкости при кристаллизации может использоваться в измерительной технике, в частности, в тензометрических датчиках давления, работающих в условиях минусовых температур и потому соответствует критерию «промышленная применимость».The inventive pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during crystallization can be used in measuring technology, in particular, in strain gauge pressure sensors operating in subzero temperatures and therefore meets the criterion of "industrial applicability".
Полезная модель иллюстрируется чертежом, где представлен общий вид в разрезе датчика давления.The utility model is illustrated in the drawing, which shows a general sectional view of the pressure sensor.
Заявляемый датчик давления с компенсацией изменения объема жидкости при кристаллизации включает в себя корпус датчика 1 давления, имеющий чувствительный элемент 2, выполненный с возможностью изменения параметров в ответ на его деформацию и соединенный с измерительной схемой 3, изолирующую мембрану 4, выполненную с возможностью контакта с рабочей текучей средой 5 и деформации в ответ на ее давление и соединенную с корпусом датчика 1 давления посредством несжимаемой заполняющей, например, силиконовой текучей среды 6. Текучая среда 6 соединена с расположенным между корпусом датчика 1 давления и рабочей текучей средой 5 демпфером 7. Демпфер 7 служит для компенсации объемных деформаций при фазовом переходе рабочей среды 5 «жидкость - твердое тело», расположен с внешней стороны изолирующей мембраны 4 между ней и штуцером 9 в полости 8 и представляет собой конструктивный элемент, выполненный с возможностью изменения объема в зависимости от давления. Так, демпфер 7 может быть выполнен в виде, например, прокладки из пенополиуретановой резины или газонаполненного каучука, коробчатой мембраны, сильфонного узла и др. При этом корпус датчика 1 закреплен в штуцере 9. Датчик давления работает следующим образом.The inventive pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during crystallization includes a pressure sensor housing 1 having a
Рабочая среда, двигаясь по штуцеру 9 под давлением, воздействует на изолирующую мембрану 4, которая, перемещаясь, передает давление через несжимаемую жидкость 6 на чувствительный элемент 2. Чувствительный элемент 2, воспринимающий давление на свою поверхность, деформируется и преобразовывает деформации в электрический сигнал, передавая его в измерительную схему 3. При этом демпфер 7 сжимается, не влияя на результаты измерения.The working medium, moving along the
При минусовых температурах в процессе кристаллизации рабочей среды 5 (например, воды) объем вещества увеличивается, наращивая давление в полости 8 за счет объемных деформаций, которые компенсируются демпфером 7.At subzero temperatures, during the crystallization of the working medium 5 (for example, water), the volume of the substance increases, increasing the pressure in the
В сравнении с прототипом заявляемый датчик обеспечивает стойкость прибора, тензометрического сенсора и изолирующей (разделительной) мембраны при работе устройства в условиях замерзания измеряемой жидкости.In comparison with the prototype, the proposed sensor provides the resistance of the device, strain gauge sensor and insulating (separating) membrane when the device is operating under freezing conditions of the measured liquid.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021108760U RU206162U1 (en) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2021108760U RU206162U1 (en) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU206162U1 true RU206162U1 (en) | 2021-08-26 |
Family
ID=77460550
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2021108760U RU206162U1 (en) | 2021-03-30 | 2021-03-30 | Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU206162U1 (en) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202007015980U1 (en) * | 2007-11-14 | 2009-03-19 | Mann+Hummel Gmbh | Pressure sensor with a membrane |
| DE102011013912A1 (en) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Volkswagen Aktiengesellschaft | pressure sensor |
| RU2606255C1 (en) * | 2015-06-24 | 2017-01-10 | Лариса Александровна Мирошникова | Excessive and absolute pressure sensor with protection against high overload pressure |
| RU2693732C1 (en) * | 2015-09-30 | 2019-07-04 | Роузмаунт Инк. | Pressure transmitter with overpressure protection |
| CN209400121U (en) * | 2019-03-21 | 2019-09-17 | 特灵空调系统(中国)有限公司 | Pressure-detecting device and water cooler |
| CN111751042A (en) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 艾默生(北京)仪表有限公司 | Remote transmission device of pressure transmitter and pressure transmitter comprising remote transmission device |
-
2021
- 2021-03-30 RU RU2021108760U patent/RU206162U1/en active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202007015980U1 (en) * | 2007-11-14 | 2009-03-19 | Mann+Hummel Gmbh | Pressure sensor with a membrane |
| DE102011013912A1 (en) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Volkswagen Aktiengesellschaft | pressure sensor |
| RU2606255C1 (en) * | 2015-06-24 | 2017-01-10 | Лариса Александровна Мирошникова | Excessive and absolute pressure sensor with protection against high overload pressure |
| RU2693732C1 (en) * | 2015-09-30 | 2019-07-04 | Роузмаунт Инк. | Pressure transmitter with overpressure protection |
| CN209400121U (en) * | 2019-03-21 | 2019-09-17 | 特灵空调系统(中国)有限公司 | Pressure-detecting device and water cooler |
| CN111751042A (en) * | 2019-03-29 | 2020-10-09 | 艾默生(北京)仪表有限公司 | Remote transmission device of pressure transmitter and pressure transmitter comprising remote transmission device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1883798B1 (en) | Pressure sensor using compressible sensor body | |
| CN107209076B (en) | Pressure transmitter with overpressure protection | |
| RU2554322C2 (en) | Frequency resonant pressure sensor | |
| US3618390A (en) | Differential pressure transducer | |
| US4668889A (en) | Static overpressure protection system for differential pressure transducer | |
| JP5409965B2 (en) | Differential pressure sensor with line pressure measurement | |
| US20090078054A1 (en) | Differential pressure sensor isolation in a process fluid pressure transmitter | |
| JP2020524270A (en) | Pressure sensor module for high working pressure applications | |
| US20130340532A1 (en) | Pressure sensor having a compressible element | |
| US10288510B2 (en) | Footed pressure measuring device | |
| CA2313313C (en) | Relative pressure sensor | |
| RU206162U1 (en) | Pressure sensor with compensation for changes in the volume of liquid during its crystallization | |
| US3841158A (en) | Differential pressure transmitter overrange protection | |
| US3756085A (en) | Differential pressure transmitter overrange protection | |
| KR101151343B1 (en) | Pressure sensor | |
| EP3825672B1 (en) | Methods and apparatuses for providing freeze resistant sensing assembly | |
| RU2386115C1 (en) | Excess pressure sensor | |
| RU82325U1 (en) | OVER PRESSURE SENSOR | |
| CN111712697A (en) | Pressure gauge | |
| KR101200751B1 (en) | Pressure sensor | |
| EP2531828B1 (en) | Media-isolated measurements of pressurized media | |
| RU2670244C1 (en) | Pressure sensor | |
| CN209783780U (en) | Device for measuring forces for an elastic bearing | |
| EP0077329A1 (en) | Pressure transducer | |
| LIPTÁK et al. | 5.5 Diaphragm or Capsule-Type Sensors |