RU2059739C1 - Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles - Google Patents

Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles Download PDF

Info

Publication number
RU2059739C1
RU2059739C1 RU94002002A RU94002002A RU2059739C1 RU 2059739 C1 RU2059739 C1 RU 2059739C1 RU 94002002 A RU94002002 A RU 94002002A RU 94002002 A RU94002002 A RU 94002002A RU 2059739 C1 RU2059739 C1 RU 2059739C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
evaporator
separator
casing
section
feeder
Prior art date
Application number
RU94002002A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU94002002A (en
Inventor
Олег Иванович Квасенков
Елена Васильевна Шубина
Original Assignee
Олег Иванович Квасенков
Елена Васильевна Шубина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Олег Иванович Квасенков, Елена Васильевна Шубина filed Critical Олег Иванович Квасенков
Priority to RU94002002A priority Critical patent/RU2059739C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2059739C1 publication Critical patent/RU2059739C1/en
Publication of RU94002002A publication Critical patent/RU94002002A/en

Links

Images

Landscapes

  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Extraction Or Liquid Replacement (AREA)

Abstract

FIELD: treatment of substrates of radioelectronic articles before sealing for enhancing their service reliability. SUBSTANCE: installation includes a housing divided by a perforated or porous partition to a reservoir for treating articles and an evaporation-separator whose bottom represents an inclined semicylindrical chute in which a driven auger is arranged by its opened charging portion, discharging portion of the above mentioned auger arranged in a casing connected with atmosphere, a condenser connected by a main pipeline, having an adjustable locking fitting with the evaporator-separator and by a line with locking fitting and the reservoir for treating articles, a unit for replenishment of a liquefied gas being a dissolver. EFFECT: enhanced structure of the installation. 5 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к технике повышения эксплуатационной надежности радиоэлектронного оборудования, в частности к очистке поверхностей подложек радиоэлектронных изделий перед герметизацией. The invention relates to techniques for improving the operational reliability of electronic equipment, in particular to cleaning the surfaces of the substrates of electronic products before sealing.

Известна установка для очистки поверхностей подложек радиоэлектронных изделий, содержащая последовательно соединенные магистралями с запорной арматурой в замкнутый контур емкость для обработки изделий, снабженную выхлопным патрубком с запорной арматурой, испаритель-сепаратор, снабженный питателем для удаления загрязнителя, и конденсатор, а также средство подпитки растворителя сжиженного газа, соединенное с емкостью для обработки изделий, и барботер, расположенный в нижней части емкости для обработки изделий и соединенный с выходом газовой фазы испарителя-сепаратора магистралью с запорной арматурой. A known installation for cleaning the surfaces of the substrates of electronic products, containing in series connected by highways with shut-off valves in a closed loop a container for processing products, equipped with an exhaust pipe with shut-off valves, an evaporator-separator equipped with a feeder for removing pollutant, and a condenser, as well as means for feeding solvent liquefied gas connected to the container for processing products, and a bubbler located in the lower part of the container for processing products and connected to the outlet the gas phase of the evaporator-separator line with shutoff valves.

Недостатками этой установки являются сложность конструкции и зарастание испарителя-сепаратора из-за ненадежной выгрузки загрязнителя используемым питателем, приводящее к сбоям в отводе газовой фазы из испарителя-сепаратора и невозможности регулировки соотношения расходов газовой фазы, отводимой к конденсатору и барботеру, что снижает в итоге качество очистки подложек. The disadvantages of this installation are the design complexity and overgrowth of the evaporator-separator due to unreliable discharge of the pollutant by the used feeder, leading to malfunctions in the discharge of the gas phase from the evaporator-separator and the inability to adjust the ratio of the gas phase flow to the condenser and the bubbler, which ultimately reduces the quality cleaning substrates.

В предлагаемой установке для очистки поверхностей подложек радиоэлектронных изделий, содержащей последовательно соединенные магистралями с запорной арматурой в замкнутый контур емкость для обработки изделий, снабженную выхлопным патрубком с запорной арматурой, испаритель-сепаратор, снабженный питателем для удаления загрязнителя, и конденсатор, а также средство подпитки растворителя сжиженного газа, соединенное с емкостью для обработки изделий, и барботер, расположенный в нижней части емкости для обработки изделий и соединенный с выходом газовой фазы испарителя-сепаратора, согласно изобретению емкость для обработки изделий и испаритель-сепаратор объединены в общем корпусе, барботер выполнен в виде перекрывающей сечение корпуса и отделяющей емкость для обработки изделий от испарителя-сепаратора пористой или перфорированной перегородки, запорная арматура на магистрали испаритель-конденсатор выполнена регулируемой, днище испарителя-сепаратора выполнено в виде наклонного полуцилиндрического желоба, а питатель для удаления загрязнителя выполнен в виде приводного шнека с открытым загрузочным участком, размещенным в полуцилиндрическом желобе, и разгрузочным участком, размещенным в кожухе, сообщенном с атмосферой. In the proposed installation for cleaning the surfaces of the substrates of electronic products, containing in series connected with highways with shut-off valves in a closed circuit, a container for processing products equipped with an exhaust pipe with shut-off valves, an evaporator-separator equipped with a feeder for removing pollutant, and a condenser, as well as solvent replenishment means liquefied gas connected to the container for processing products, and a bubbler located in the lower part of the container for processing products and connected to during the gas phase of the evaporator-separator, according to the invention, the container for processing products and the evaporator-separator are combined in a common housing, the bubbler is made in the form of an overlapping section of the housing and separating the container for processing products from the evaporator-separator of a porous or perforated partition, shutoff valves on the evaporator the condenser is adjustable, the bottom of the evaporator-separator is made in the form of an inclined semi-cylindrical trough, and the feeder for removing the contaminant is made in the form of a drive a screw with an open loading portion placed in the semi-cylindrical trough, and the discharge portion placed in the housing communicating with the atmosphere.

Такое выполнение установки упрощает ее конструкцию за счет ликвидации двух магистралей и двух арматурных элементов и повышает надежность выгрузки загрязнителя из испарителя-сепаратора за счет его накопления именно в зоне расположения питателя, что в свою очередь исключает зарастание испарителя-сепаратора и стабилизирует отвод из него газовой фазы растворителя, повышая точность регулировки соотношения ее расходов при отводе в конденсатор и барботер и качество обработки изделий. This embodiment of the installation simplifies its design by eliminating two lines and two reinforcing elements and increases the reliability of unloading the pollutant from the evaporator-separator due to its accumulation in the feeder’s location, which in turn eliminates clogging of the evaporator-separator and stabilizes the discharge of the gas phase from it solvent, increasing the accuracy of adjusting the ratio of its costs when discharging to the condenser and bubbler and the quality of processing products.

В предпочтительном варианте шнек выполнен с геометрической компрессией на участке, расположенном в кожухе. In a preferred embodiment, the screw is made with geometrical compression in the area located in the casing.

Это позволяет вести выгрузку загрязнителя в процессе обработки изделий и снижает потери растворителя. This allows unloading of the pollutant during the processing of products and reduces solvent losses.

В другом предпочтительном варианте кожух выполнен с перфорированным цилиндрическим участком, расположенным в испарителе-сепараторе, и диффузорным участком, расположенным вне его. In another preferred embodiment, the casing is made with a perforated cylindrical section located in the evaporator-separator, and a diffuser section located outside of it.

Это повышает надежность выгрузки загрязнителя в процессе обработки изделий за счет облегчения его отделения от транспортирующего шнека. This increases the reliability of the unloading of the pollutant during the processing of products by facilitating its separation from the conveying screw.

На фиг.1 показана схема установки; на фиг.2 разрез А-А на фиг.1. Figure 1 shows the installation diagram; figure 2 section aa in figure 1.

Установка для очистки поверхностей подложек радиоэлектронных изделий содержит объединенные в общем корпусе 1 емкость 2 для обработки изделий, снабженную выхлопным патрубком 3 с запорной арматурой 4, и испаритель-сепаратор 5, разделенные пористой или перфорированной перегородкой 6, служащей барботером, и соединенный с ними магистралями 7 и 8 в рециркуляционный контур конденсатор 9, средство 10 подпитки растворителя-сжиженного газа, соединенное с емкостью 1 магистралью 11 с запорной арматурой 12. Днище испарителя-сепаратора 5 выполнено в виде наклонного полуцилиндрического желоба 13, в котором размещен связанный с приводом 14 шнек с открытым загрузочным участком 15 и разгрузочным участком 16, выполненным, желательно, с геометрической компрессией и расположенным в кожухе, выполненном, желательно, с цилиндрическим перфорированным участком 17, расположенным в испарителе-сепараторе 5, и диффузорным участком 18, расположенным вне его и сообщенным с атмосферой. Магистраль 7 снабжена регулируемой запорной арматурой 19. Магистраль 8 снабжена запорной арматурой 20. The installation for cleaning the surfaces of the substrates of electronic products contains a container 2 for processing products combined in a common housing 1, equipped with an exhaust pipe 3 with shutoff valves 4, and an evaporator-separator 5 separated by a porous or perforated partition 6 serving as a bubbler and connected to them by highways 7 and 8 into the recirculation loop, a condenser 9, a solvent-liquefied gas feed means 10 connected to the tank 1 by a line 11 with shutoff valves 12. The bottom of the evaporator-separator 5 is designed as semi-cylindrical groove 13, which houses a screw connected to the drive 14 with an open loading section 15 and an unloading section 16, made, preferably, with geometric compression and located in a casing, preferably made with a cylindrical perforated section 17, located in the evaporator-separator 5, and a diffuser portion 18 located outside of it and in communication with the atmosphere. The line 7 is equipped with an adjustable stop valve 19. The line 8 is equipped with a stop valve 20.

Установка работает следующим образом. Installation works as follows.

Подложки радиоэлектронных изделий перед герметизацией загружают в емкость 2 на соответствующих носителях и подают в нее сжиженный газ из средства 10 подпитки. Сжиженный газ растворяет органические и минеральные масла и через поры или перфорацию перегородки 6 поступает в испаритель-сепаратор 5, в котором при повышении температуры переходит в газовую фазу, и в зависимости от соотношения гидравлических сопротивлений перегородки 6 и магистрали 7, задаваемого регулируемой запорной арматурой 19, распределяется на два потока. Один из потоков газовой фазы по магистрали 7 поступает в конденсатор 9, ожижается и возвращается в емкость 2 по магистрали 8, а второй поток при повышении давления в процессе перехода в газовую фазу при нагревании барботируется через поры или перфорацию перегородки 6 в емкость 2 в виде отдельных пузырьков. Каждый пузырек газовой фазы растворителя на выходе из пор или перфорации перегородки 6 подвергается адиабатному расширению с одновременным охлаждением при совершении работы и охлаждается при всплытии за счет теплообмена с находящейся в емкости 2 жидкой фазой растворителя. В результате пузырек газовой фазы конденсируется в жидкой фазе со схлопыванием кавитационной полости и созданием ударной волны, которая, распространяясь равномерно в жидкой фазе, достигает перегородки 6, увеличивая давление у пор или перфорации. Это приводит к истечению в испаритель-сепаратор 5 части жидкого растворителя с последующим открытием пор или перфорации для прохода очередной части газовой фазы в емкость 2. Таким образом, в емкости 2 возникают колебания давления акустической частоты, приводящие к отслаиванию и растрескиванию нерастворимого в используемом растворителе сжиженном газе загрязнителя, например, в виде солей и окислов металлов, которые дробятся на поверхности подложек или на перегородке 6, колеблемой с ультразвуковой частотой, до размера частиц, проходящих совместно с растворителем в поры или перфорацию перегородки 6. При выпаривании растворителя в испарителе-сепараторе 5 нерастворимые и растворимые загрязнения накапливаются на его дне и поступают в желоб 13 и по направлению его наклона в сторону кожуха. При обработке сильно загрязненных нерастворимыми в используемом сжиженном газе веществами подложек целесообразно для поддержания нормального теплового режима работы испарителя-сепаратора 5 осуществлять непрерывную выгрузку загрязнителя. Для этого приводом 14 вращают шнек, который загрузочным участком 15 захватывает нерастворимые загрязнения в желобе 13 и перемещает их в сторону расположения кожуха, в котором на перфорированном цилиндрическом участке 17 разгрузочным участком 16 шнека за счет его геометрической компрессии происходит отжатие растворителя и уплотнение загрязнителя до исключения стравливания давления по каналу шнека, а затем в диффузорном участке 18 кожуха за счет вскипания остаточных количеств растворителя происходит удаление загрязнителя из канала разгрузочного участка 16 шнека и кожуха. При незначительном загрязнении подложек выполнение компрессии разгрузочного участка 16 шнека и диффузорного участка 18 кожуха нецелесообразно, поскольку удаление загрязнений в процессе обработки изделий не осуществляют, а кожух перекрывают с выходного конца до завершения обработки подложек, после чего перекрывают арматурой 20 магистраль 8 и арматурой 12 магистраль 11, открывают полностью арматуру 19, добиваясь полного стекания растворителя из емкости 2 в испаритель-сепаратор 5 и его отвода и накопления в конденсаторе 6. После этого перекрывают арматуру 19, изолируя растворитель от корпуса 1, и открывают арматуру 4 для сушки подложек при снижении давления до атмосферного и удалении переходящего в газовую фазу растворителя через выхлопной патрубок 4. После завершения сушки подложек их извлекают из корпуса 1, а загрязнитель, накопленный в желобе 13 испарителя-сепаратора 5, удаляют, как описано выше. Далее цикл повторяется. The substrates of electronic products before sealing are loaded into a container 2 on appropriate media and liquefied gas is supplied to it from the feed means 10. Liquefied gas dissolves organic and mineral oils and, through pores or perforations of the partition 6, enters the evaporator-separator 5, in which, when the temperature rises, it passes into the gas phase, and depending on the ratio of the hydraulic resistances of the partition 6 and line 7, which is set by adjustable stop valves 19, distributed on two threads. One of the flows of the gas phase through line 7 enters the condenser 9, liquefies and returns to capacity 2 along line 8, and the second stream, when the pressure rises during the transition to the gas phase, is bubbled through the pores or perforation of the partition 6 into the container 2 as separate bubbles. Each bubble of the gaseous phase of the solvent at the outlet of the pores or perforations of the partition 6 undergoes adiabatic expansion with simultaneous cooling during work and is cooled during ascent due to heat exchange with the liquid phase of the solvent in the container 2. As a result, the gas phase bubble condenses in the liquid phase with the collapse of the cavitation cavity and the formation of a shock wave, which, propagating uniformly in the liquid phase, reaches the septum 6, increasing the pressure at the pores or perforations. This leads to the outflow into the evaporator-separator 5 of a part of the liquid solvent, followed by the opening of pores or perforations for the passage of the next part of the gas phase into the container 2. Thus, acoustic pressure fluctuations occur in the container 2, leading to peeling and cracking of the liquefied solvent used in the used solvent gas pollutant, for example, in the form of salts and metal oxides, which are crushed on the surface of the substrates or on the partition 6, oscillating with an ultrasonic frequency, to the size of the particles passing with topically with the solvent in the pores or perforations partition 6. Evaporation of the solvent in the evaporator-separator 5 insoluble and soluble contaminants accumulate at the bottom and fed into the chute 13 and its inclination in the direction towards the housing. When processing heavily contaminated substrates that are insoluble in the liquefied gas used, it is advisable to continuously discharge the pollutant to maintain the normal thermal regime of the evaporator-separator 5. To do this, the screw 14 is rotated by the screw, which captures insoluble impurities in the groove 13 by the loading section 15 and moves them towards the casing location, in which the solvent is pressed out and the contaminant is compressed on the perforated cylindrical section 17 by the screw discharge section 16 of the screw, to prevent bleeding pressure through the channel of the screw, and then in the diffuser section 18 of the casing due to boiling residual amounts of solvent, the contaminant is removed from the discharge channel -screw portion 16 of the screw and the housing. With a slight contamination of the substrates, it is not advisable to compress the discharge section 16 of the screw and the diffuser section 18 of the casing, since the contaminants are not removed during the processing of the products, and the casing is closed from the output end until the processing of the substrates is completed, and then they are closed by valves 20 line 8 and valves 12 line 11 , fully open the reinforcement 19, achieving complete runoff of the solvent from the tank 2 into the evaporator-separator 5 and its removal and accumulation in the condenser 6. After this, the shutoff the reinforcement 19 is removed, isolating the solvent from the housing 1, and the reinforcement 4 is opened for drying the substrates when the pressure is reduced to atmospheric and the solvent passing into the gas phase is removed through the exhaust pipe 4. After the drying of the substrates is completed, they are removed from the housing 1, and the contaminant accumulated in the gutter 13 of the evaporator-separator 5 are removed as described above. Next, the cycle repeats.

Таким образом, предлагаемая установка обладает упрощенной конструкцией и повышенной надежностью работы. Thus, the proposed installation has a simplified design and increased reliability.

Claims (5)

1. УСТАНОВКА ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПОДЛОЖЕК РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ ИЗДЕЛИЙ, содержащая последовательно соединенные между собой посредством магистралей с запорной арматурой в замкнутый контур емкость для обработки радиоэлектронных изделий с выхлопным патрубком с запорной арматурой, испаритель-сепаратор с питателем для удаления загрязнителя и конденсатор, средство подпитки растворителя сжиженного газа, которое соединено с емкостью для обработки радиоэлектронных изделий в нижней ее части, и барботер, расположенный в нижней части емкости для обработки радиоэлектронных изделий и соединенный с выходом газовой фазы испарителя-сепаратора, отличающаяся тем, что емкость для обработки радиоэлектронных изделий и испаритель-сепаратор выполнены в виде единого корпуса, разделенного барботером в виде перегородки по его сечению с образованием смежных отсеков, один из которых емкость для обработки радиоэлектронных изделий, а другой, выполненный с днищем в форме наклонного полуцилиндрического желоба, испаритель-сепаратор, запорная арматура на магистрали, соединяющей испаритель-сепаратор и конденсатор, выполнена регулируемой, а питатель для удаления загрязнителя испарителя-сепаратора выполнен в виде приводного шнека с отверстием, загрузочным и разгрузочным участками и кожуха, сообщенного с атмосферой, причем загрузочный участок приводного шнека питателя для удаления загрязнителя размещен в наклонном полуцилиндрическом желобе днища отсека корпуса, а его разгрузочный участок в указанном кожухе. 1. INSTALLATION FOR CLEANING SURFACES OF SUBSTRATES OF RADIOELECTRONIC PRODUCTS, containing a tank for processing radio electronic products with exhaust pipe with shutoff valves connected in series between highways with shutoff valves, an evaporator-separator with a feeder for removing pollutant and condenser, a condenser, a means gas, which is connected to the container for processing electronic products in its lower part, and a bubbler located in the lower part of the tank for processing electronic products and connected to the gas phase outlet of the evaporator-separator, characterized in that the container for processing electronic products and the evaporator-separator are made in the form of a single housing, separated by a bubbler in the form of a partition along its cross section with the formation of adjacent compartments, one of which is a container for processing electronic products, and the other, made with a bottom in the form of an inclined semi-cylindrical trough, is an evaporator-separator, shut-off valves on the line connecting the evaporator-se the parator and condenser are adjustable, and the feeder for removing the contaminant of the evaporator-separator is made in the form of a drive screw with a hole, loading and unloading sections and a casing in communication with the atmosphere, and the loading section of the drive screw of the feeder for removing pollutant is placed in an inclined semicylindrical groove of the bottom of the compartment housing, and its discharge section in the specified casing. 2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что перегородка барботера выполнена перфорированной. 2. Installation according to claim 1, characterized in that the bubbler partition is perforated. 3. Установка по п.1, отличающаяся тем, что перегородка барботера выполнена перфорированной. 3. Installation according to claim 1, characterized in that the bubbler partition is perforated. 4. Установка по п. 1, или 2, или 3, отличающаяся тем, что приводной шнек питателя для удаления загрязнителя выполнен с геометрической компрессией на его разгрузочном участке, размещенном в кожухе. 4. Installation according to claim 1, or 2, or 3, characterized in that the drive auger of the feeder for removing the contaminant is made with geometric compression at its discharge section located in the casing. 5. Установка по п. 1, или 2, или 3, или 4, отличающаяся тем, что кожух питателя для удаления загрязнителя испарителя-сепаратора выполнен с перфорированным цилиндрическим участком и диффузорным участком, причем перфорированный цилиндрический участок кожуха размещен в отсеке корпуса с днищем в виде наклонного полуцилиндрического желоба, а диффузорный участок кожуха расположен за пределами указанного отсека корпуса испарителя-сепаратора. 5. Installation according to claim 1, or 2, or 3, or 4, characterized in that the casing of the feeder for removing contaminants of the evaporator-separator is made with a perforated cylindrical section and a diffuser section, wherein the perforated cylindrical section of the casing is located in the housing compartment with a bottom in in the form of an inclined semi-cylindrical trough, and the diffuser section of the casing is located outside the specified compartment of the housing of the evaporator-separator.
RU94002002A 1994-01-18 1994-01-18 Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles RU2059739C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94002002A RU2059739C1 (en) 1994-01-18 1994-01-18 Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU94002002A RU2059739C1 (en) 1994-01-18 1994-01-18 Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2059739C1 true RU2059739C1 (en) 1996-05-10
RU94002002A RU94002002A (en) 1996-12-27

Family

ID=20151660

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU94002002A RU2059739C1 (en) 1994-01-18 1994-01-18 Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2059739C1 (en)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент РФ N 2000006, кл. C 23G 5/00, 1993. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3850009A (en) Cleaning of pressurized condensable gas
US7514011B2 (en) System for separating solids from a fluid stream
US5535596A (en) Refrigerant reclamation and purification apparatus and method
US3098735A (en) Art of separating water from aqueous liquids
US5512088A (en) Separator
SE2050106A1 (en) A separation device and method to separate contaminants from contaminated water
JPS599604B2 (en) Method and apparatus for processing mill scale
CA2466096C (en) Proppant recovery system
US5321956A (en) Oil management and removal system for a refrigeration installation
RU2059739C1 (en) Installation for cleaning surface of substrates of radioelectronic articles
US3679051A (en) Improved metal and plastic chip wringing apparatus and process
JP3397290B2 (en) Apparatus for freezing and concentrating aqueous solution, apparatus for generating icicle and method for freezing and concentrating aqueous solution
US5435443A (en) Method and apparatus for separating mixtures of substances
US4018588A (en) Method and apparatus for handling slag handling
US2661095A (en) Fluent material concentrator
US5774816A (en) Apparatus and method for cleaning a vessel
US3442801A (en) Process and apparatus for separating water from an aqueous solution
US4704877A (en) Apparatus and method of freezing a feed liquid
US6234760B1 (en) Pumping-ejection apparatus and variants
US3768272A (en) Direct contact food freezer
JP2001525671A (en) Apparatus and method for passage refrigeration of non-solid materials
US5732618A (en) Apparatus for separating liquid from a material
RU2294430C1 (en) Method for gaseous hydrocarbon preparation for transportation
JPH0979561A (en) Method and apparatus for treating clinker ash for coal combustion furnace
US1796568A (en) Ice-making system