RU2059315C1 - Способ изготовления рентгенооптических систем - Google Patents

Способ изготовления рентгенооптических систем Download PDF

Info

Publication number
RU2059315C1
RU2059315C1 SU5056639A RU2059315C1 RU 2059315 C1 RU2059315 C1 RU 2059315C1 SU 5056639 A SU5056639 A SU 5056639A RU 2059315 C1 RU2059315 C1 RU 2059315C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
capillaries
ray
glass
ray optical
blanks
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
В.И. Белоглазов
М.А. Кумахов
М.В. Губарев
Н.Б. Скибина
Ю.И. Недранец
Н.Ф. Лебедев
Е.В. Плужникова
Original Assignee
Саратовское научное объединение "САНОР"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Саратовское научное объединение "САНОР" filed Critical Саратовское научное объединение "САНОР"
Priority to SU5056639 priority Critical patent/RU2059315C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2059315C1 publication Critical patent/RU2059315C1/ru

Links

Landscapes

  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

Использование: в технике получения высокой плотности рентгеновского излучения, в рентгенотомографии, в радиационном материаловедении. Сущность: цилиндрические рентгеноводы укладывают из многоканальных заготовок, концы которых травят, получая переменное по длине сечение, изменяющееся по тому же закону, что и наружный диаметр всей системы.

Description

Изобретение относится к рентгенооптическим устройствам и может быть использовано в технике получения высокой плотности мощности рентгеновского излучения, в рентгенотомографии, а также в радиационном материаловедении.
Известны способы изготовления рентгенооптических систем, в которых нагревают пучок плотно уложенных цилиндрических рентгеноводов и симметрично оттягивают концы заготовок, при этом внутренний диаметр капилляров доводят на концах системы до субмикронных размеров.
Недостатками этих способов являются невоспроизводимость формы и низкая производительность.
Известна технология изготовления, согласно которой пропускают цилиндрические рентгеноводы через ряд последовательных опорных сеток с различным шагом отверстий, соответствующим взаимному расположению рентгеноводов в конкретном сечении системы. Таким образом формируют систему бочкообразной формы.
Однако данная технология не обеспечивает точность сборки рентгеноводов и достаточно трудоемка.
Наиболее близким к предлагаемому является способ фокусирования и направления рентгеновских лучей при помощи сужающихся к концу капилляров и устройство для его осуществления. В устройстве для направления и концентрирования рентгеновских лучей имеется линза, состоящая из капилляра с открытыми входным и выходным концами. Капилляр постепенно сужается от входного к выходному концу и состоит из нескольких отрезков, на каждом из которых угол сужения постоянный. На каждом шаге угол сужения в три раза больше, чем на предыдущем.
Длина первого (ближайшего к входному концу) отрезка меньше, чем путь, проходимый рентгеновским лучом в капилляре между точкой его первого падения на внутреннюю поверхность капилляра под углом, меньше критического, и точкой второго падения. Получают такой капилляр тепловым способом поэтапной оттяжкой до обеспечения требуемого размера узкой части.
Недостатками способа-прототипа являются сложность в воспроизводимости результатов, так как способ требует высокой прецизионности нагревательных и вытягивающих устройств, и низкая производительность.
Задачей изобретения является повышение производительности и воспроизводимости результатов, расширение энергетического диапазона работы системы, увеличение степени концентрации излучения и снижение трудоемкости изготовления.
Для этого в предлагаемом способе цилиндрические трубки из стекла вытягивают при нагревании в капилляры, из которых формируют рентгенооптическую систему, имеющую форму бочкообразной поверхности вращения, при этом вытягивают в капилляры комплект вставленных одна в другую трубок: внешней из легкоплавкого и внутренней из тугоплавкого стекла, полученные капилляры укладывают в пакеты и повторно вытягивают при нагревании каждый пакет в многоканальную заготовку, например, шестигранной формы, концы которой травят в кислоте, получая переменное по длине сечение заготовок, повторяющее требуемый закон изменения диаметра всей рентгенооптической системы, и формируют систему, укладывая полученные заготовки в пакет, один торец которого фиксируют зажимами.
Укладка макрозаготовок с субмикронными размерами каналов со стравленными на определенную глубину и длину концами позволяет получать любые геометрические параметры бочкообразной формы, как самой широкой ее части, так и минимальные размеры входа и выхода линзы. Изменяя длину и глубину травления, можно получать любую требуемую форму линзы.
Использование многоканальных заготовок рентгеноводов, каждая из которых содержит 1500-5000 каналов субмикронных размеров, позволит уменьшить трудоемкость процесса укладки, так как размеры таких заготовок составляют 0,5-2 мм.
Предлагаемый способ позволяет получать рентгенооптическую систему, состоящую из капилляров, бочкообразная форма которой получается за счет стравливания каждой многоканальной заготовки на определенную длину с двух сторон.
По предлагаемому способу первоначально изготавливают из расплава трубки двух марок стекла легкоплавкого и тугоплавкого. Затем составляют комплект: трубка из легкоплавкого стекла снаружи, рубка из тугоплавкого стекла внутри. Этот комплект нагревают и перетягивают в капилляры, которые затем укладывают в пакет шестигранной формы. Собранный пакет вновь нагревают и перетягивают в многоканальную заготовку, причем благодаря использованию легкоплавкого стекла в качестве оболочки каждого капилляра в вытянутых заготовках отсутствуют межканальные отверстия. Многоканальные заготовки режут на отрезки определенной длины и травят, например, в плавиковой кислоте, сначала с одного конца на определенную длину и глубину, затем аналогично поступают с другим концом заготовки. Из полученных таким образом заготовок далее собирают линзу, фиксируя зажимами торцы.
П р и м е р. Из расплавленной массы стекла марки 6 Ва 4 (Тпл ≈720оС) вытягивают трубки с наружным диаметром 8,5 мм и внутренним 6 мм. Из стекла марки С 95 2 (Тпл ≈ 800оС) вытягивают трубки с наружным размером 5,75 мм и внутренним 5,26 мм.
Затем составляют комплект: в трубку из стекла 6 Ва 4 вставляют трубку из стекла С 95 2, который закрепляют в механизме подачи, нагревают до температуры размягчения (640оС) и со скоростью подачи 5,7 мм/мин и вытяжки 0,72 м/мин получают капилляры с наружным диаметром 0,74 мм.
Вытянутые капилляры в количестве 3169 шт. укладывают в пакет шестигранной формы с размером по двойной апофеме 41,5 мм.
Сформированный таким образом пакет перетягивают в шестигранные многоканальные заготовки с размером по двойной апофеме 1 мм, диаметром канала 7 мкм. Многоканальные заготовки затем режут на отрезки по 140 мм длиной, запаивают и погружают в раствор плавиковой кислоты 0,4%-ной концентрации при комнатной температуре на 15-20 мин одним концом на глубину 70 мм. Глубина травления в этом случае составляет 7-8 мкм. Далее такие заготовки укладывают в пакет, причем один торец фиксируют зажимом. Так как заготовка имеет переменное по длине сечения (широкое у нетравленного конца и узкое у химически обработанного конца), следовательно, и уложенный пакет будет иметь переменное сечение, повторяющее сечение единичной заготовки. Таким образом и получают бочкообразные коаксиальные поверхности вращения требуемой геометрии и размеров.
Данный способ технологически прост и производителен. Кроме того, он позволяет получать любые геометрические параметры сложных поверхностей при наименьшей трудоемкости.

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНООПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ, заключающийся в том, что цилиндрические трубки из стекла вытягивают при нагревании в капилляры, из которых формируют рентгенооптическую систему, имеющую форму бочкообразной поверхности вращения, отличающийся тем, что вытягивают в капилляры комплект вставленных одна в другую трубок: внешней из легкоплавкого и внутренней из тугоплавкого стекла, полученные капилляры укладывают в пакеты и повторно вытягивают при нагревании каждый пакет в многоканальную заготовку, например, шестигранной формы, концы которой травят в кислоте, получая переменное по длине сечение заготовок, повторяющее требуемый закон изменения диаметра всей рентгенооптической системы, и формируют систему, укладывая полученные заготовки в пакет, один конец которого фиксируют зажимами.
SU5056639 1992-03-23 1992-03-23 Способ изготовления рентгенооптических систем RU2059315C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5056639 RU2059315C1 (ru) 1992-03-23 1992-03-23 Способ изготовления рентгенооптических систем

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5056639 RU2059315C1 (ru) 1992-03-23 1992-03-23 Способ изготовления рентгенооптических систем

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2059315C1 true RU2059315C1 (ru) 1996-04-27

Family

ID=21610536

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5056639 RU2059315C1 (ru) 1992-03-23 1992-03-23 Способ изготовления рентгенооптических систем

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2059315C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1170755A4 (en) * 1999-10-18 2004-03-17 Muradin Abubekirovich Kumakhov INTEGRAL LENS FOR A HIGH ENERGY PARTICLE FLOW, METHOD FOR MANUFACTURING THE LENSES OF THE INVENTION AND USE OF SAID LENSES IN ANALYSIS DEVICES, RADIATION PROCESSING DEVICES AND LITHOGRAPHY

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Патент США N 5001737, кл. G 21K 1/02, 1991. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1170755A4 (en) * 1999-10-18 2004-03-17 Muradin Abubekirovich Kumakhov INTEGRAL LENS FOR A HIGH ENERGY PARTICLE FLOW, METHOD FOR MANUFACTURING THE LENSES OF THE INVENTION AND USE OF SAID LENSES IN ANALYSIS DEVICES, RADIATION PROCESSING DEVICES AND LITHOGRAPHY

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5812631A (en) Method for manufacturing monolithic capillary X-ray lens, a monolithic capillary X-ray lens and apparatus using same
US6300709B1 (en) Microchannel plates (MCPs) having micron and submicron apertures
US4915467A (en) Method of making fiber coupler having integral precision connection wells
US4058699A (en) Radiant zone heating apparatus and method
EP0261856B1 (en) Optical fiber manufacturing technique
KR100432511B1 (ko) 고에너지입자선류용 집적렌즈와 이의 제조방법 및방사선치료 및 리소그라피용 분석장치에서의 그 용도
US4010019A (en) Method of making microchannel plates
EP0171103B1 (de) Verfahren zum Herstellen massiver gläserner Vorformen aus hohlen Vorformen
RU2059315C1 (ru) Способ изготовления рентгенооптических систем
EP0173659A2 (en) Method and apparatus for heating thick-walled glass tubes
US5747821A (en) Radiation focusing monocapillary with constant inner dimension region and varying inner dimension region
CN111977966B (zh) 一种二维滤线栅及其制造方法
RU2096353C1 (ru) Способ изготовления поликапиллярной жесткой волоконно-оптической структуры или элемента и устройство для управления рентгеновским и другими видами излучения
RU2003112601A (ru) Поликапиллярная хроматографическая колонка и способ ее изготовления
EP0402010A2 (en) Polarization retaining fiber optic coupler and method
US6718009B1 (en) Method of making of compound x-ray lenses and variable focus x-ray lens assembly
US20100296629A1 (en) Graded lenses
RU2323978C1 (ru) Устройство доставки и анализа биологических проб и способ его изготовления
CN113853360B (zh) 用于制造空芯光纤的方法和设备
Beloglazov et al. Technologies of manufacturing polycapillary optics for x-ray engineering
CN115490420B (zh) 一种多喇叭口同时加工的毛细管制造工艺
RU31859U1 (ru) Поликапиллярная хроматографическая колонка
CN115572058A (zh) C型空芯光纤、制备方法及其应用
SU1551666A1 (ru) Способ изготовлени поликапилл рных стержневых структур
FI78670B (fi) Foerfarande foer framstaellning av formfaelttransformerande kvartsfiber.