RU2042160C1 - Зеркальный корректор волнового фронта - Google Patents

Зеркальный корректор волнового фронта Download PDF

Info

Publication number
RU2042160C1
RU2042160C1 SU925051283A SU5051283A RU2042160C1 RU 2042160 C1 RU2042160 C1 RU 2042160C1 SU 925051283 A SU925051283 A SU 925051283A SU 5051283 A SU5051283 A SU 5051283A RU 2042160 C1 RU2042160 C1 RU 2042160C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
piezoelectric
control electrodes
common electrode
piezoelectric plates
Prior art date
Application number
SU925051283A
Other languages
English (en)
Inventor
Д.А. Безуглов
Е.Н. Мищенко
И.А. Сысоев
Original Assignee
Безуглов Дмитрий Анатольевич
Мищенко Евгений Николаевич
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Безуглов Дмитрий Анатольевич, Мищенко Евгений Николаевич filed Critical Безуглов Дмитрий Анатольевич
Priority to SU925051283A priority Critical patent/RU2042160C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2042160C1 publication Critical patent/RU2042160C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

Использование: в адаптивных оптических системах, предназначенных для компенсации искажений волнового фронта светового излучения. Сущность изобретения: зеркальный корректор содержит N пьезопластин, N управляющих электродов в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, установленными в соответствующих углублениях основания, имеющего также соосные углублениям сквозные отверстия. Общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение и связан с одной из сторон пьезопластин, другие стороны которых связаны с соответствующими управляющими электродами. Пространство между пьезопластинами заполнено диэлектрическим материалом. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к адаптивной оптике, в частности к конструкциям деформируемых зеркал, и может быть использовано в адаптивных оптических системах, предназначенных для компенсации искажений волнового фронта светового излучения.
Известны конструкции гибких адаптивных зеркал [1] Обычно они выполняются в виде мембраны с прикрепленными к ней актюаторами. Недостатками таких зеркал являются, во-первых, малые габариты изготавливаемых зеркал, во-вторых, наличие перекрестных связей между приводами и сложность изготовления.
Наиболее близким по технической сущности к предложенному является зеркало [2] содержащее отражающую пластину и пьезопластину с общим и управляющими электродами. Прототипу присущи следующие недостатки. Во-первых, габаритные размеры зеркала на могут превышать величины, определяемой особенностями изготовления того или иного типа пьезокерамики (обычно 100-200 мм). Во-вторых, конструкция такого зеркала не обеспечивает полную развязку между приводами изготовленного зеркала, так как каждый привод прототипа неизбежно влияет на соседние. Это приводит к снижению быстродействия адаптивной оптической системы. Изготовление прототипа достаточно сложно, так как изготовление пьезоплиты с заданными характеристиками больших размеров затруднено. Также в прототипе не представляется возможным обеспечение кривизны отражающей поверхности.
Целью изобретения является увеличение возможных размеров адаптивного зеркала, уменьшение перекрестных связей субапертур, расширение класса изготавливаемых поверхностей.
Цель достигается за счет того, что в устройство, содержащее пьезопластину, N управляющих электродов и общий электрод, введено основание из диэлектрического материала с выполненными в нем N сквозными отверстиями и соосными им кольцеобразными углублениями, управляющие электроды выполнены в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, пьезопластина выполнена из N отдельных пьезопластин, а общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение. Кольцеобразные утолщения управляющих электродов установлены в кольцеобразных углублениях основания и скреплены с ними. Пространство между пьезоэлементами заполнено диэлектрическим материалом с коэффициентом линейного расширения, равным коэффициенту линейного расширения пьезоэлементов. Одна поверхность каждой пьезопластины связана с соответствующим управляющим электродом, а другая оптически обработана и связана с общим электродом.
На фиг. 1, 2 представлен зеркальный коллектор волнового фронта, общий вид; на фиг. 3 вариант вогнутого основания.
Зеркальный корректор содержит пьезопластины 1, гибкие металлические подложки 2, основание 3; диэлектрический материал 4, общий отражающий электрод 5.
Устройство работает следующим образом.
При подаче управляющих напряжений на гибкие металлические подложки 2 соответствующие пьезоэлементы изгибаются, образуя криволинейную отражающую поверхность. При этом форма каждого пьезоэлемента становится близкой к форме параболоида вращения. Величина прогиба (деформации) будет прямо пропорциональна величине управляющего напряжения.
В устройстве не требуется изготавливать заготовки пьезоэлементов больших размеров. При этом могут быть изготовлены адаптивные зеркала с размерами апертуры, по меньшей мере в несколько раз превышающими по размеру известные. Такие зеркала целесообразно использовать в больших телескопах. Все субапертуры зеркала полностью механически развязаны друг относительно друга. Таким образом, в адаптивной системе с таким зеркалом принципиально невозможно возникновение 2πn-проблемы, что приведет к увеличению быстродействия адаптивной оптической системы с таким зеркалом. При обработке пьезоэлементы плотно прижаты в исходном состоянии к основанию, что обеспечивает высокую точность изготовления. Если необходимо изготовление зеркала с поверхностью заданной кривизны, то основание может быть предварительно грубо обработано в соответствии с требуемым законом, а после прикрепления пьезоэлементов полировкой будет обеспечена требуемая точная форма отражающей поверхности. При этом все пьезоэлементы будут иметь одинаковые геометрические размеры и одинаковые характеристики. Наличие кольцеобразных углублений в основании значительно повышает надежность крепления пьезоэлементов к нему. Это связано с тем, что в процессе работы пьезоэлементов изменяются их продольные геометрические размеры и возникают усилия, направленные радиально относительно центра каждой субапертуры.

Claims (2)

1. ЗЕРКАЛЬНЫЙ КОРРЕКТОР ВОЛНОВОГО ФРОНТА, содержащий пьезопластину, N управляющих электродов и общий электрод, отличающийся тем, что в него введено основание из диэлектрического материала с выполненными в нем N сквозными отверстиями и соосными им кольцеобразными углублениями, пьезопластина выполнена из N отдельных пьезопластин, управляющие электроды выполнены в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, а общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение, причем кольцеобразные утолщения управляющих электродов установлены в кольцеобразных углублениях основания и скреплены с ними, одна поверхность каждой из пьезопластин связана с соответствующим управляющим электродом, а другая оптически обработана и связана с общим электродом, при этом пространство между пьезопластинами заполнено диэлектрическим материалом с коэффициентом линейного расширения, равными коэффициенту линейного расширения пьезоэлементов.
2. Корректор по п. 1, отличающийся тем, что поверхность основания со стороны крепления к нему управляющих электродов выполнена выпуклой или вогнутой.
SU925051283A 1992-07-06 1992-07-06 Зеркальный корректор волнового фронта RU2042160C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU925051283A RU2042160C1 (ru) 1992-07-06 1992-07-06 Зеркальный корректор волнового фронта

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU925051283A RU2042160C1 (ru) 1992-07-06 1992-07-06 Зеркальный корректор волнового фронта

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2042160C1 true RU2042160C1 (ru) 1995-08-20

Family

ID=21608786

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU925051283A RU2042160C1 (ru) 1992-07-06 1992-07-06 Зеркальный корректор волнового фронта

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2042160C1 (ru)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113311580A (zh) * 2021-05-21 2021-08-27 中国人民解放军国防科技大学 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Тараненко В.Г., Шанин О.И. Адаптивная оптика. М. : Радио и связь, 1990. *
2. Адаптивная оптика. Сборник статей. М. : Мир, 1980, с.317-320. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113311580A (zh) * 2021-05-21 2021-08-27 中国人民解放军国防科技大学 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法
CN113311580B (zh) * 2021-05-21 2022-12-30 中国人民解放军国防科技大学 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1364244B1 (en) Deformable curvature mirror
US5221987A (en) FTIR modulator
US5481396A (en) Thin film actuated mirror array
EP1576408B1 (en) Deformable mirror
RU2068191C1 (ru) Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало
US20040169941A1 (en) Light induced strains in porous crystalline materials and uses thereof
US4059346A (en) Controlled focus mirror with rim controlled flexure
JP2004157527A (ja) 可変形状反射鏡及びその製造方法
AU2937495A (en) Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system
PL176490B1 (pl) Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych
US6568647B2 (en) Mounting apparatus for a deformable mirror
RU96113083A (ru) Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления
HU220516B1 (hu) Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására
KR100230723B1 (ko) 모자이크식 적응형 이형 미러
JPH07306367A (ja) 可変光学面、可変光学面ユニット、光スキャニングシステム及び集光点位置可動光学システム
RU2042160C1 (ru) Зеркальный корректор волнового фронта
CA1289395C (en) High energy laser beam replica producing method and system
US5710657A (en) Monomorph thin film actuated mirror array
WO1996033434A1 (en) Thin film actuated mirror array for providing double tilt angle
US6874897B2 (en) Deformable curvature mirror with unipolar-wiring
US5861979A (en) Array of thin film actuated mirrors having an improved optical efficiency and an increased performance
RU2099754C1 (ru) Деформируемое зеркало на основе многослойной активной биморфной структуры
Takami et al. Membrane deformable mirror for SUBARU adaptive optics
RU2186412C1 (ru) Адаптивное зеркало
GB1603704A (en) Mirror having a variable focal length