RU2042160C1 - Зеркальный корректор волнового фронта - Google Patents
Зеркальный корректор волнового фронта Download PDFInfo
- Publication number
- RU2042160C1 RU2042160C1 SU925051283A SU5051283A RU2042160C1 RU 2042160 C1 RU2042160 C1 RU 2042160C1 SU 925051283 A SU925051283 A SU 925051283A SU 5051283 A SU5051283 A SU 5051283A RU 2042160 C1 RU2042160 C1 RU 2042160C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- base
- piezoelectric
- control electrodes
- common electrode
- piezoelectric plates
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
Использование: в адаптивных оптических системах, предназначенных для компенсации искажений волнового фронта светового излучения. Сущность изобретения: зеркальный корректор содержит N пьезопластин, N управляющих электродов в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, установленными в соответствующих углублениях основания, имеющего также соосные углублениям сквозные отверстия. Общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение и связан с одной из сторон пьезопластин, другие стороны которых связаны с соответствующими управляющими электродами. Пространство между пьезопластинами заполнено диэлектрическим материалом. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Изобретение относится к адаптивной оптике, в частности к конструкциям деформируемых зеркал, и может быть использовано в адаптивных оптических системах, предназначенных для компенсации искажений волнового фронта светового излучения.
Известны конструкции гибких адаптивных зеркал [1] Обычно они выполняются в виде мембраны с прикрепленными к ней актюаторами. Недостатками таких зеркал являются, во-первых, малые габариты изготавливаемых зеркал, во-вторых, наличие перекрестных связей между приводами и сложность изготовления.
Наиболее близким по технической сущности к предложенному является зеркало [2] содержащее отражающую пластину и пьезопластину с общим и управляющими электродами. Прототипу присущи следующие недостатки. Во-первых, габаритные размеры зеркала на могут превышать величины, определяемой особенностями изготовления того или иного типа пьезокерамики (обычно 100-200 мм). Во-вторых, конструкция такого зеркала не обеспечивает полную развязку между приводами изготовленного зеркала, так как каждый привод прототипа неизбежно влияет на соседние. Это приводит к снижению быстродействия адаптивной оптической системы. Изготовление прототипа достаточно сложно, так как изготовление пьезоплиты с заданными характеристиками больших размеров затруднено. Также в прототипе не представляется возможным обеспечение кривизны отражающей поверхности.
Целью изобретения является увеличение возможных размеров адаптивного зеркала, уменьшение перекрестных связей субапертур, расширение класса изготавливаемых поверхностей.
Цель достигается за счет того, что в устройство, содержащее пьезопластину, N управляющих электродов и общий электрод, введено основание из диэлектрического материала с выполненными в нем N сквозными отверстиями и соосными им кольцеобразными углублениями, управляющие электроды выполнены в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, пьезопластина выполнена из N отдельных пьезопластин, а общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение. Кольцеобразные утолщения управляющих электродов установлены в кольцеобразных углублениях основания и скреплены с ними. Пространство между пьезоэлементами заполнено диэлектрическим материалом с коэффициентом линейного расширения, равным коэффициенту линейного расширения пьезоэлементов. Одна поверхность каждой пьезопластины связана с соответствующим управляющим электродом, а другая оптически обработана и связана с общим электродом.
На фиг. 1, 2 представлен зеркальный коллектор волнового фронта, общий вид; на фиг. 3 вариант вогнутого основания.
Зеркальный корректор содержит пьезопластины 1, гибкие металлические подложки 2, основание 3; диэлектрический материал 4, общий отражающий электрод 5.
Устройство работает следующим образом.
При подаче управляющих напряжений на гибкие металлические подложки 2 соответствующие пьезоэлементы изгибаются, образуя криволинейную отражающую поверхность. При этом форма каждого пьезоэлемента становится близкой к форме параболоида вращения. Величина прогиба (деформации) будет прямо пропорциональна величине управляющего напряжения.
В устройстве не требуется изготавливать заготовки пьезоэлементов больших размеров. При этом могут быть изготовлены адаптивные зеркала с размерами апертуры, по меньшей мере в несколько раз превышающими по размеру известные. Такие зеркала целесообразно использовать в больших телескопах. Все субапертуры зеркала полностью механически развязаны друг относительно друга. Таким образом, в адаптивной системе с таким зеркалом принципиально невозможно возникновение 2πn-проблемы, что приведет к увеличению быстродействия адаптивной оптической системы с таким зеркалом. При обработке пьезоэлементы плотно прижаты в исходном состоянии к основанию, что обеспечивает высокую точность изготовления. Если необходимо изготовление зеркала с поверхностью заданной кривизны, то основание может быть предварительно грубо обработано в соответствии с требуемым законом, а после прикрепления пьезоэлементов полировкой будет обеспечена требуемая точная форма отражающей поверхности. При этом все пьезоэлементы будут иметь одинаковые геометрические размеры и одинаковые характеристики. Наличие кольцеобразных углублений в основании значительно повышает надежность крепления пьезоэлементов к нему. Это связано с тем, что в процессе работы пьезоэлементов изменяются их продольные геометрические размеры и возникают усилия, направленные радиально относительно центра каждой субапертуры.
Claims (2)
1. ЗЕРКАЛЬНЫЙ КОРРЕКТОР ВОЛНОВОГО ФРОНТА, содержащий пьезопластину, N управляющих электродов и общий электрод, отличающийся тем, что в него введено основание из диэлектрического материала с выполненными в нем N сквозными отверстиями и соосными им кольцеобразными углублениями, пьезопластина выполнена из N отдельных пьезопластин, управляющие электроды выполнены в виде гибких металлических подложек с кольцеобразными утолщениями по периферии, а общий электрод выполнен отражающим оптическое излучение, причем кольцеобразные утолщения управляющих электродов установлены в кольцеобразных углублениях основания и скреплены с ними, одна поверхность каждой из пьезопластин связана с соответствующим управляющим электродом, а другая оптически обработана и связана с общим электродом, при этом пространство между пьезопластинами заполнено диэлектрическим материалом с коэффициентом линейного расширения, равными коэффициенту линейного расширения пьезоэлементов.
2. Корректор по п. 1, отличающийся тем, что поверхность основания со стороны крепления к нему управляющих электродов выполнена выпуклой или вогнутой.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU925051283A RU2042160C1 (ru) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | Зеркальный корректор волнового фронта |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU925051283A RU2042160C1 (ru) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | Зеркальный корректор волнового фронта |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2042160C1 true RU2042160C1 (ru) | 1995-08-20 |
Family
ID=21608786
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU925051283A RU2042160C1 (ru) | 1992-07-06 | 1992-07-06 | Зеркальный корректор волнового фронта |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2042160C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113311580A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-27 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法 |
-
1992
- 1992-07-06 RU SU925051283A patent/RU2042160C1/ru active
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
1. Тараненко В.Г., Шанин О.И. Адаптивная оптика. М. : Радио и связь, 1990. * |
2. Адаптивная оптика. Сборник статей. М. : Мир, 1980, с.317-320. * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113311580A (zh) * | 2021-05-21 | 2021-08-27 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法 |
CN113311580B (zh) * | 2021-05-21 | 2022-12-30 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于像差测量的差异化阵列光束波前校正器制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1364244B1 (en) | Deformable curvature mirror | |
US5221987A (en) | FTIR modulator | |
US5481396A (en) | Thin film actuated mirror array | |
EP1576408B1 (en) | Deformable mirror | |
RU2068191C1 (ru) | Многослойное пьезоэлектрическое деформируемое биморфное зеркало | |
US20040169941A1 (en) | Light induced strains in porous crystalline materials and uses thereof | |
US4059346A (en) | Controlled focus mirror with rim controlled flexure | |
JP2004157527A (ja) | 可変形状反射鏡及びその製造方法 | |
AU2937495A (en) | Thin film actuated mirror array for use in an optical projection system | |
PL176490B1 (pl) | Układ zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych i sposób wytwarzania układu zwierciadeł cienkowarstwowych ruchomych | |
US6568647B2 (en) | Mounting apparatus for a deformable mirror | |
RU96113083A (ru) | Матрица управляемых тонкопленочных отражателей, предназначенная для использования в оптической проекционной системе, и способ ее изготовления | |
HU220516B1 (hu) | Vékonyréteggel működtetett tükörelem-elrendezés és eljárás annak előállítására | |
KR100230723B1 (ko) | 모자이크식 적응형 이형 미러 | |
JPH07306367A (ja) | 可変光学面、可変光学面ユニット、光スキャニングシステム及び集光点位置可動光学システム | |
RU2042160C1 (ru) | Зеркальный корректор волнового фронта | |
CA1289395C (en) | High energy laser beam replica producing method and system | |
US5710657A (en) | Monomorph thin film actuated mirror array | |
WO1996033434A1 (en) | Thin film actuated mirror array for providing double tilt angle | |
US6874897B2 (en) | Deformable curvature mirror with unipolar-wiring | |
US5861979A (en) | Array of thin film actuated mirrors having an improved optical efficiency and an increased performance | |
RU2099754C1 (ru) | Деформируемое зеркало на основе многослойной активной биморфной структуры | |
Takami et al. | Membrane deformable mirror for SUBARU adaptive optics | |
RU2186412C1 (ru) | Адаптивное зеркало | |
GB1603704A (en) | Mirror having a variable focal length |