RU2034362C1

RU2034362C1 - Device for treatment of electronic engineering parts

Info

Publication number: RU2034362C1
Authority: RU
Inventors: Сергей Николаевич Чикин; Виктор Иванович Мухин
Original assignee: Сергей Николаевич Чикин; Виктор Иванович Мухин
Priority date: 1992-06-24
Filing date: 1992-06-24
Publication date: 1995-04-30

Abstract

FIELD: vacuum engineering. SUBSTANCE: device has treatment mechanism, sluice chamber with conveying manipulator, and part handler provided with grips and their displacement drive; part handler has arms for simultaneous removal and rearrangement of parts; its grips and drive are hollow structures in the form of C-shaped flattened tube for energy carrier. Handler can be made in the form of Z-shaped bracket with arms spaced apart. EFFECT: enlarged functional capabilities. 2 cl, 7 dwg

Description

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в устройствах обработки изделий электронной техники методом ионной имплантации, электронной обработки, магнетронного напыления, плазмохимического травления, молекулярной эпитаксии и т. д. The invention relates to vacuum technology and can be used in devices for processing electronic products by ion implantation, electronic processing, magnetron sputtering, plasma-chemical etching, molecular epitaxy, etc.

Известно устройство обработки изделий электронной техники (патент Японии N 61-31590, кл. Н 01 J 37/20), содержащее камеру для ионной имплантации, внутри которой вращается плоский диск, расположенный перпендикулярно ионному лучу и перемещающийся возвратно-поступательно в радиальном направлении. Ионный луч бомбардирует поверхность нескольких пластин, расположенных вдоль одной полуокружности диска. Камера состоит из основания и крышки, которые могут приостанавливать вращение диска. Над поверхностью диска расположен другой диск, ось которого совпадает с осью этого диска и выступает наружу через крышку. Ось герметично установлена на крышке и имеет возможность вращения и возвратно-поступательного перемещения в радиальном направлении. В процессе ионной имплантации один диск прижимается к другому и осуществляется одновременное вращение и возвратно-поступательное перемещение обоих дисков. По окончании процесса ионной имплантации диск задерживается основанием, крышка удаляется от основания и между дисками образуется зазор, через который осуществляется замена пластин. A device for processing electronic products is known (Japanese Patent No. 61-31590, class H 01 J 37/20), comprising a camera for ion implantation, inside which a flat disk rotates perpendicular to the ion beam and moves reciprocally in the radial direction. An ion beam bombards the surface of several plates along one disk semicircle. The camera consists of a base and a cover, which can stop the rotation of the disk. Above the surface of the disk is another disk, the axis of which coincides with the axis of this disk and protrudes outward through the cover. The axis is sealed on the lid and has the ability to rotate and reciprocate in the radial direction. In the process of ion implantation, one disk is pressed against the other and simultaneous rotation and reciprocation of both disks are carried out. At the end of the ion implantation process, the disc is retained by the base, the lid is removed from the base and a gap is formed between the discs through which the plates are replaced.

Однако в данном устройстве не обеспечивается достаточный уровень качества обрабатываемых изделий из-за приносимой дефектности на пластине от кинематических пар трений узлов и механизмов. However, this device does not provide a sufficient level of quality of the processed products due to the brought defects on the plate from the kinematic pairs of friction of the nodes and mechanisms.

Известно также устройство обработки изделий электронной техники (патент Японии N 63-40352, кл. Н 01 j 37/317), содержащее вакуумную камеру для ионной имплантации, снабженную отверстием для ввода пучка ионов, с установленным механизмом вращения диска, на котором с возможностью снятия закреплены подложки. Камера соединена через шибер с шлюзом, давление в котором может изменяться от атмосферного до давления в камере и наоборот. Между камерой и шлюзом установлена каретка, на которую помещают диск, осуществляющая возвратно-поступательное движение. Каретка образована рамой, снабженной захватами для фиксации диска по крайней кромке. Рамка окружает диск так, что почти вся его поверхность остается открытой. Между камерой и шлюзом установлены также приспособления для освобождения диска из состояния фиксации. It is also known a device for processing electronic products (Japanese patent N 63-40352, class H 01 j 37/317), containing a vacuum chamber for ion implantation, equipped with an opening for introducing an ion beam, with a mounted disk rotation mechanism, on which it can be removed fixed substrate. The chamber is connected through a gate to a gateway, the pressure in which can vary from atmospheric to the pressure in the chamber and vice versa. A carriage is mounted between the camera and the gateway, onto which a disk is used that performs reciprocating motion. The carriage is formed by a frame equipped with grippers for fixing the disk at the extreme edge. The frame surrounds the disc so that almost its entire surface remains open. Between the camera and the gateway, devices are also installed to release the disk from the locked state.

Недостатки данного технического решения совпадают с недостатками аналога, описанного выше. The disadvantages of this technical solution coincide with the disadvantages of the analogue described above.

Известно также устройство обработки изделий электронной техники (патент США N 4899 059, кл. Н 01 j 37/20), содержащее технологическую камеру с механизмом обработки изделий, камеру перекладки обрабатываемых изделий с одноплечевым манипулятором перекладки и газовую камеру с обрабатываемыми изделиями, расположенными в кассете горизонтально. В процессе перекладки изделий из шлюзовой камеры в технологическую механизм обработки изделий находится в горизонтальном положении. Also known is a device for processing electronic equipment products (US patent N 4899 059, class N 01 j 37/20), containing a technological chamber with a mechanism for processing products, a transfer chamber of processed products with a single-arm shift manipulator, and a gas chamber with processed products located in the cartridge horizontally. In the process of transferring products from the lock chamber to the technological mechanism for processing products is in a horizontal position.

Однако в этом устройстве также не обеспечивается достаточный уровень качества обрабатываемых изделий и производительность работы устройства не увеличивается за счет длительного времени перекладки обрабатываемых изделий из шлюзовой камеры в технологическую. However, this device also does not provide a sufficient level of quality of the processed products and the performance of the device does not increase due to the long time of transferring the processed products from the airlock to the technological one.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство обработки изделий электронной техники, включающее технологическую камеру с механизмом обработки изделий, шлюзовую камеру с манипулятором транспортировки и одноплечевой манипулятор перекладки изделий, имеющий схваты в виде пальцевого патрона и привод их перемещения. Closest to the proposed is a device for processing electronic products, including a process chamber with a product processing mechanism, a lock chamber with a transport manipulator and a single-arm product transfer manipulator having grips in the form of a finger cartridge and a drive for moving them.

Целью изобретения является повышение производительности и качества обрабатываемых изделий за счет уменьшения приносимой дефектности на пластины. The aim of the invention is to increase the productivity and quality of the processed products by reducing the brought defects on the plate.

Для этого в устройстве обработки изделий электронной техники, включающем механизм обработки, шлюзовую камеру с манипулятором транспортировки и манипулятор перекладки изделий, имеющий схваты и привод их перемещения, манипулятор перекладки имеет плечи для одновременного съема-перекладки изделий, схваты которого и привод их перемещения выполнены полыми в виде уплощенной трубки С-образной формы для энергоносителя. To do this, in the device for processing electronic products, including a processing mechanism, a lock chamber with a transport manipulator and a product transfer manipulator, with grips and a drive for moving them, the transfer manipulator has shoulders for simultaneous removal-transfer of products, the grippers and the drive for moving them are hollow in in the form of a flattened C-shaped tube for an energy carrier.

Манипулятор перекладки может быть выполнен в виде кронштейна Z-образной формы с разнесенными на расстоянии плечами. The shift manipulator can be made in the form of a Z-shaped bracket with shoulders spaced apart at a distance.

Известных в науке и технике решений с указанной совокупностью признаков не обнаружено. Результат, полученный у данного технического решения, не достигается в известных решениях. Неизвестно в устройствах обработки изделий электронной техники выполнение манипулятора перекладки в виде кронштейна Z-образной формы с разнесенными на расстоянии плечами для одновременного съема-перекладки изделий, схваты которого и привод их перемещения выполнены полыми в виде уплощенной трубки С-образной формы для энергоносителя. Known in science and technology, solutions with the indicated set of features were not found. The result obtained from this technical solution is not achieved in the known solutions. It is not known in the devices for processing electronic products that the manipulator of shifting in the form of a Z-shaped bracket with shoulders spaced apart for simultaneous removal-shifting of products, the grips of which and the drive for moving them, are hollow in the form of a flattened C-shaped tube for an energy carrier.

В устройстве-прототипе используется одноплечевой манипулятор перекладки изделий, который выполняет функции съема и перекладки обрабатываемых изделий из камеры перекладки в технологическую камеру на сканирующий диск. Предлагаемое изобретение позволяет осуществлять одновременно съем и перекладку изделий за счет применения двухплечевого манипулятора, в результате чего уменьшаются габариты устройства. В прототипе устройство захвата обрабатываемых изделий выполнено в виде пальцевого патрона, содержащего кинематические пары трения. В предлагаемом устройстве отсутствуют кинематические пары трения из-за выполнения устройства захвата в виде упругодеформированных полых трубок. The prototype device uses a single-arm product transfer manipulator, which performs the functions of removing and transferring processed products from the transfer chamber to the processing chamber on a scanning disk. The present invention allows for the simultaneous removal and reassignment of products through the use of a two-arm manipulator, as a result of which the dimensions of the device are reduced. In the prototype, the capture device of the processed products is made in the form of a finger cartridge containing kinematic friction pairs. In the proposed device, there are no kinematic friction pairs due to the implementation of the capture device in the form of elastically deformed hollow tubes.

На фиг. 1 показано устройство в поперечном сечении; на фиг. 2 сечение А-А на фиг. 1; на фиг. 3 сечение Б-Б на фиг. 1; на фиг. 4 сечение В-В на фиг. 1; на фиг. 5 сечение Г-Г на фиг. 1; на фиг. 6 плечо манипулятора в поперечном сечении; на фиг. 7 вид Д на фиг. 6. In FIG. 1 shows a device in cross section; in FIG. 2, section AA in FIG. 1; in FIG. 3 section BB in FIG. 1; in FIG. 4, section BB in FIG. 1; in FIG. 5 section GG in FIG. 1; in FIG. 6 arm of the manipulator in cross section; in FIG. 7, view D in FIG. 6.

Устройство обработки изделий электронной техники содержит механизм обработки изделий, помещенный в технологическую камеру 1, связанную с энергоисточником, например ионным источником, шлюзовую камеру 2 с манипулятором 3 транспортировки изделий, камеру 4 перегрузки с манипулятором 5 перекладки изделий, а также средства вакуумной откачки (насосы) 6 и 7. Внутри корпуса 8 шлюзовой камеры размещен механизм 9 перемещения обрабатываемых изделий. На нижней наружной поверхности 10 корпуса 8 установлен манипулятор 3 транспортировки изделий и вакуумный насос 6. На боковой поверхности 11 корпуса 8 установлен привод 12 механизма 9 перемещения изделий и шлюзового затвора 13. Механизм 9 перемещения изделий содержит основание 14 с закругленными на нем направляющими 15 и упорами 16. В направляющих 15 установлена каретка 17, содержащая опоры 18 качения и зажим 19, служащий для фиксации кассеты 20 на платформе 21 каретки 17. На платформе 21 установлен шлюзовой затвор 13, содержащий корпус 22, герметизирующую заслонку 23 со штоками 24 и уплотнитель 25. Под платформой 21 каретки 17 в направляющих 26 установлен ползун 27, содержащий ходовую гайку 28, серьги 29. На поверхности 30 установлены упоры 31, служащие для регулировки хода ползуна 27. Между ползуном и поверхностью 30 в направляющих 26 установлены пружины 32, служащие для предотвращения перемещения каретки 17 при открытии герметизирующей заслонки 23. Ходовая гайка 28 ползуна соединена с винтом 33 привода 12, а серьги 29 посредством осей 34 соединены со штоками 24 герметизирующей заслонки 23. The device for processing electronic products contains a mechanism for processing products placed in a technological chamber 1 connected to an energy source, for example, an ion source, a lock chamber 2 with a manipulator 3 for transporting products, an overload chamber 4 with a manipulator 5 for transferring products, and also means for vacuum pumping (pumps) 6 and 7. Inside the housing 8 of the lock chamber is placed a mechanism 9 for moving the processed products. On the lower outer surface 10 of the housing 8 there is a manipulator 3 for transporting products and a vacuum pump 6. On the lateral surface 11 of the housing 8, a drive 12 for a mechanism 9 for moving products and a lock gate 13 is installed. The mechanism 9 for moving products contains a base 14 with guides 15 and stops rounded on it 16. In the guides 15, a carriage 17 is installed, containing rolling bearings 18 and a clamp 19, which serves to fix the cartridge 20 on the platform 21 of the carriage 17. On the platform 21 there is a lock gate 13 containing a housing 22, which seals onku 23 with rods 24 and a seal 25. Under the platform 21 of the carriage 17, a slider 27 is installed in the guides 26, containing a running nut 28, earrings 29. On the surface 30, stops 31 are used to adjust the stroke of the slider 27. Between the slider and the surface 30 in the guides 26 springs 32 are installed, which serve to prevent movement of the carriage 17 when opening the sealing flap 23. The sliding nut 28 of the slider is connected to the screw 33 of the actuator 12, and the earrings 29 are connected via axles 34 to the rods 24 of the sealing flap 23.

Манипулятор 3 транспортировки изделий содержит штангу 35 с закрепленным на ней захватом 36. Штанга с захватом установлена в герметичном корпусе 37. На корпусе установлен привод 38 перемещения штанги. На верхней поверхности 39 корпуса 8 шлюзовой камеры установлена камера 4 перегрузки, соединенная герметично с технологической камерой 1. Внутри камеры перегрузки установлен манипулятор 5 перекладки обрабатываемых изделий и закреплен на валу 40 привода 41 поворота манипулятора. The manipulator 3 for transporting products contains a rod 35 with a gripper 36 fixed to it. The rod with a gripper is installed in an airtight housing 37. A drive 38 for moving the rod is mounted on the housing. An overload chamber 4 is installed on the upper surface 39 of the housing 8 of the airlock chamber, hermetically connected to the technological chamber 1. Inside the overload chamber, a manipulator 5 for transferring the processed products is mounted and mounted on the shaft 40 of the manipulator rotation drive 41.

Манипулятор перекладки содержит траверсу 42, на которой установлены Z-образно плечи 43 и 44. Плечо манипулятора содержит опору 45, рычаг 46 с закрепленными на нем схватами 47. Опора 45 и рычаг 46 соединены между собой осью 48, которая является также и центром поворота рычага 46. На опоре 45 установлен привод 49, соединенный с рычагом 46 поводком 50 и служащий для углового перемещения рычага и схватов 47. Угол перемещения рычага регулируется упорами и пружиной 52. Конструктивно схваты 47 и привод 49 представляют собой герметичные упругодеформируемые полые трубки уплощенной С-образной формы. Для захвата и удержания обрабатываемых изделий в направляющих 53 схватов установлены зажимы 54 и 55. При использовании разного типа и размеров обрабатываемых изделий предусмотрена регулировка зажимов в направляющих 53. Зажим 54 содержит кронштейны 56, планку 57 с закрепленными на ней эластомерными роликами 58. Планка 57 подвижно соединена с кронштейном 56 посредством оси 59. На кронштейне установлена пружина 60, контактирующая с планкой 57. Зажим 55 содержит кронштейн 61, пяту 62 с эластомерным вкладышем 63. Пята подвижно соединена с кронштейном посредством оси 64. Схваты 47 и привод 49 снабжены герметичными каналами 65 и 66, предназначенными для подачи в них энергоносителя, например сжатого воздуха. Каналы схватов и приводов схватов плеч манипулятора соединены между собой соответственно воздуховодами 67 и 68, которые соединены с трубопроводами 69 и 70, размещенными в пустотелом валу 40. На боковой поверхности камеры 4 перегрузки установлен механизм 71 перемещения упоров, предназначенный для отвода-подвода упоров 72, расположенных на держателе 73 обрабатываемых изделий. Упоры 72 предназначены для удержания обрабатываемых изделий на держателе 73 в момент их загрузки-выгрузки. The shift manipulator comprises a crosshead 42 on which the shoulders 43 and 44 are mounted. The arm of the manipulator comprises a support 45, a lever 46 with grips 47 fixed thereon. The support 45 and the lever 46 are interconnected by an axis 48, which is also the center of rotation of the lever 46. A drive 49 is mounted on the support 45, connected to the lever 46 by a leash 50 and used for angular movement of the lever and grips 47. The angle of movement of the lever is regulated by the stops and spring 52. Structurally, the grippers 47 and actuator 49 are sealed elastically deformable hollow pipes and a flattened C-shape. For gripping and holding the processed products, clamps 54 and 55 are installed in the guides 53 of the grips. When using different types and sizes of processed products, the clamps in the guides 53 can be adjusted. The clamp 54 contains brackets 56, a strap 57 with elastomer rollers fixed to it 58. The strap 57 is movable connected to the bracket 56 by means of the axis 59. A spring 60 is mounted on the bracket in contact with the strap 57. The clamp 55 comprises a bracket 61, a heel 62 with an elastomeric insert 63. The heel is movably connected to the bracket via ohm axis 64. The tongs 47 and actuator 49 are provided with sealed channels 65, and 66, intended for feeding energy source therein, for example compressed air. The gripper channels and the gripper arms of the arm of the manipulator are interconnected, respectively, by ducts 67 and 68, which are connected to pipelines 69 and 70 located in the hollow shaft 40. On the side surface of the overload chamber 4 there is a mechanism 71 for moving the stops intended for the removal and supply of stops 72, located on the holder 73 of the processed products. The stops 72 are designed to hold the processed products on the holder 73 at the time of their loading and unloading.

Устройство работает следующим образом. The device operates as follows.

Кассета 20 с обрабатываемыми изделиями 74 устанавливается в шлюзовую камеру 2 на платформе 21 каретки 17 и фиксируется зажимом 19. Шлюзовая камера закрывается крышкой 75 и производится откачка вакуумным насосом 6 объема камеры 76, после чего включается двигатель 77 вращения ходового винта 33. В начальный момент вращения ходового винта приходит в движение ползун 27, при этом каретка 17 остается неподвижной. При движении ползуна серьги 29 начинают перемещаться из своего начального положения, при котором герметизирующая заслонка 23 посредством штоков 24 прижата к уплотняющей поверхности 78 шлюзового отверстия 79 в положение, при котором заслонка 23 отведена от поверхности 78, образуя при этом зазор между поверхностью 78 и уплотнителем 25. При дальнейшем вращении ходового винта 33 начинает перемещаться каретка 17 с кассетой 20. Движение каретки продолжается до тех пор, пока изделие 74, установленное в кассете, не займет позицию, соосную с шлюзовым отверстием 79 и проходным отверстием. После этого двигатель 77 выключается. Такое положение каретки позволяет шлюзовому затвору 13 полностью освободить шлюзовое отверстие 79, а также является исходным для перегрузки изделий 74 из шлюзовой камеры в камеру 4 перегрузки. После этого включается двигатель 81 привода 38 перемещения штанги 35. При перемещении штанги из крайнего нижнего положения ее захват 36 проходит через проходное отверстие и вводится в изделие 74, переносит его из кассеты через шлюзовое отверстие 79 в зону 82 схвата манипулятора 5 перекладки изделий, после чего двигатель 81 выключается. После обработки изделий в технологической камере 1 через трубопроводы 69 и 70 подается сжатый воздух в схваты 47 и с временной задержкой в привод 49 перемещения схватов. Схваты 47 разжимаются. После этого схваты плеча 43 манипулятора подводятся в зону 82 схвата, а схваты плеча 44 к держателю 73 изделий. The cassette 20 with the processed products 74 is installed in the lock chamber 2 on the platform 21 of the carriage 17 and is fixed by the clamp 19. The lock chamber is closed by the lid 75 and the chamber volume 76 is evacuated by the vacuum pump 6, after which the motor 77 of the rotation of the rotor 33 is turned on. At the initial moment of rotation the lead screw moves the slider 27, while the carriage 17 remains stationary. When the slider moves, the earrings 29 begin to move from their initial position, in which the sealing flap 23 is pressed by the rods 24 against the sealing surface 78 of the lock hole 79 to the position where the shutter 23 is withdrawn from the surface 78, thereby forming a gap between the surface 78 and the seal 25 . With further rotation of the lead screw 33, the carriage 17 begins to move with the cassette 20. The carriage continues to move until the product 74 installed in the cassette takes up a position coaxial with the airlock m 79 and bore. After that, the engine 77 turns off. This position of the carriage allows the lock gate 13 to completely release the lock hole 79, and is also the starting point for overloading products 74 from the lock chamber to the overload chamber 4. After that, the motor 81 of the actuator 38 for moving the rod 35 is turned on. When the rod is moved from its lowest position, its capture 36 passes through the through hole and is introduced into the product 74, transfers it from the cartridge through the lock hole 79 to the grip area 82 of the product transfer manipulator 5, and then engine 81 is turned off. After processing the products in the technological chamber 1 through pipelines 69 and 70, compressed air is supplied to the grippers 47 and with a time delay to the drive 49 of the movement of the grips. The tongs 47 are unclenched. After this, the grips of the shoulder 43 of the manipulator are brought into the zone 82 of the gripper, and the grips of the shoulder 44 to the holder 73 of the product.

После этого подача сжатого воздуха в трубопровод 69 прекращается, схваты 47 сжимаются и зажимы 54 и 55 удерживают изделие 74 соответственно одно в захвате 36, другое в держателе 73. Затем включается привод 83 механизма 71 перемещения упоров и его рычаг 84 перемещения отводит упоры 72 держателя 73 от изделия. После чего включается двигатель 81 и захват 36 штанги 35 без изделия 74 перемещается из зоны 82 схвата в крайнее нижнее положение, двигатель 81 выключается и прекращается подача сжатого воздуха в трубопровод 70, после чего плечо 43 манипулятора с необработанным изделием отводится из зоны схвата, а плечо 44 с обработанным изделием от держателя 73. Далее включается привод 41 поворота манипулятора и плечи 43 и 44 совершают поворот на 180^о. Затем через трубопровод 70 подается сжатый воздух в привод 49 схватов, после чего плечо 44 подводится в зону 82 схвата, а плечо 43 к держателю 73. Включается двигатель 81, захват 36 без изделия перемещается из крайнего нижнего положения в зону схвата и вводится в обработанное изделие 74. После чего двигатель 81 и привод 83 механизма перемещения упоров выключаются. При выключенном приводе 83 происходит подвод упоров 72 к изделию и его фиксация на держателе 73. Через трубопровод 69 подается сжатый воздух в схваты 47. Схваты разжимаются. Подача воздуха в привод 49 прекращается, и плечи 44 и 43 отводятся соответственно одно из зоны схвата, другое от держателя 73. Включается двигатель 81 и обработанное изделие переносится захватом 36 из зоны схвата в кассету 20 на место взятого необработанного изделия. Двигатель 81 выключается.After that, the supply of compressed air to the pipeline 69 is stopped, the grippers 47 are compressed and the clamps 54 and 55 hold the product 74, respectively, one in the gripper 36, the other in the holder 73. Then, the drive 83 of the stop movement mechanism 71 is turned on and its movement lever 84 retracts the stops 72 of the holder 73 from the product. After that, the engine 81 is turned on and the gripper 36 of the rod 35 without the product 74 is moved from the gripping zone 82 to the lowest position, the engine 81 is turned off and the supply of compressed air to the pipeline 70 is stopped, after which the arm 43 of the unprocessed product manipulator is withdrawn from the gripping zone, and the shoulder 44 with the processed product from the holder 73. Next, the manipulator rotation drive 41 is turned on and the shoulders 43 and 44 rotate 180 ^° . Then, compressed air is supplied through conduit 70 to the gripper actuator 49, after which the arm 44 is brought into the gripper zone 82 and the arm 43 to the holder 73. The engine 81 is turned on, the gripper 36 without the product moves from the lowermost position to the gripping zone and is introduced into the processed product 74. After that, the engine 81 and the drive 83 of the mechanism for moving the stops are turned off. When the drive 83 is switched off, the stops 72 are connected to the product and fixed on the holder 73. Compressed air is supplied to the grippers 47 through the pipeline 69. The grips are unclenched. The air supply to the actuator 49 is stopped, and the arms 44 and 43 are respectively discharged from one of the gripping zones, the other from the holder 73. The engine 81 is turned on and the processed product is transferred by the gripper 36 from the gripping zone to the cassette 20 to the place of the untreated product taken. Engine 81 is turned off.

Операция загрузки-выгрузки одной пары изделий, таким образом, заканчивается. Затем включается двигатель 77 вращения винта 33. При вращении винта начинает перемещаться каретка с кассетой 20. Движение каретки продолжается до тех пор, пока следующее необработанное изделие, установленное в кассете, не займет позицию, соосную с шлюзовым отверстием 79 и проходным отверстием. Двигатель 77 выключается. Далее следует повторение переходов, описанных выше. The operation of loading and unloading one pair of products, thus, ends. Then, the motor 33 of rotation of the screw 33 is turned on. When the screw rotates, the carriage with the cassette 20 moves. The carriage continues until the next untreated product installed in the cassette takes up a position coaxial with the lock hole 79 and the passage hole. Engine 77 shuts down. The following is a repeat of the transitions described above.

После завершения обработки и перегрузки изделий двигатель 77 реверсивным движением перемещает каретку 17 с кассетой 20 до упоров 16. При дальнейшем вращении винта приходит в движение ползун 27 и с обратной последовательностью открытию, происходит закрытие шлюзового отверстия 79 заслонкой 23. Двигатель 77 выключается. Затем в шлюзовую камеру производится напуск атмосферы или сухого азота. Открывается крышка 75 шлюзовой камеры, отводится зажим 19 и кассета с обработанными изделиями снимается с платформы 21 и вынимается из шлюзовой камеры. After processing and overloading the products, the motor 77 reversibly moves the carriage 17 with the cassette 20 to the stops 16. With further rotation of the screw, the slider 27 moves and with the reverse sequence of opening, the lock hole 79 is closed by the shutter 23. The motor 77 is turned off. Then the atmosphere or dry nitrogen is blown into the lock chamber. The lid 75 of the airlock is opened, the clamp 19 is retracted and the cassette with processed products is removed from the platform 21 and removed from the airlock.

П р и м е р. Устройство содержит все узлы и детали, названные выше. Механизм обработки в данном варианте устройства содержит сканирующий диск, держатель изделий с нанесенным эластомером. Захват манипулятора транспортировки изделий изготовлен из полиамида. Схваты и привод схватов плеча манипулятора перекладки изделий изготовлены из стали марки 36ИХТ10. Зажимы схватов изготовлены из резины типа ИРП-1345. Зажим обрабатываемого изделия в манипуляторе перекладки осуществляется в трех точках. PRI me R. The device contains all the nodes and parts mentioned above. The processing mechanism in this embodiment of the device comprises a scanning disk, an article holder with an applied elastomer. The grip of the product handling arm is made of polyamide. The tongs and the gripper drive of the arms of the product handling manipulator are made of 36IHT10 steel. Clamp clamps are made of rubber type IRP-1345. The workpiece is clamped in the shift manipulator at three points.

Claims

1. DEVICE FOR PROCESSING ELECTRONIC PRODUCTS, comprising a processing mechanism, a lock chamber with a transport manipulator, a product transfer manipulator with grips and a drive for moving them, characterized in that the product transfer manipulator is made with shoulders for simultaneous removal and transfer of products, and its grips and the drive of their movement is made hollow in the form of a flattened tube with a C-shape for an energy carrier.

2. The device according to claim 1, characterized in that the shift manipulator is made in the form of a Z-shaped bracket with shoulders spaced apart at a distance.