RU2028927C1 - Манипулятор - Google Patents

Манипулятор Download PDF

Info

Publication number
RU2028927C1
RU2028927C1 SU5039985A RU2028927C1 RU 2028927 C1 RU2028927 C1 RU 2028927C1 SU 5039985 A SU5039985 A SU 5039985A RU 2028927 C1 RU2028927 C1 RU 2028927C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
base
output link
supports
movement
rods
Prior art date
Application number
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Васильевич Василенко
Евгений Николаевич Ивашов
Сергей Михайлович Оринчев
Сергей Валентинович Степанчиков
Original Assignee
Николай Васильевич Василенко
Евгений Николаевич Ивашов
Сергей Михайлович Оринчев
Сергей Валентинович Степанчиков
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Николай Васильевич Василенко, Евгений Николаевич Ивашов, Сергей Михайлович Оринчев, Сергей Валентинович Степанчиков filed Critical Николай Васильевич Василенко
Priority to SU5039985 priority Critical patent/RU2028927C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2028927C1 publication Critical patent/RU2028927C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Abstract

Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно к исполнительным устройствам манипуляторов, предназначенным для работы в экологически чистых средах. Цель изобретения - повышение кинематических возможностей при упрощении конструкции. Тяги выполнены жесткими, постоянной длины. Один конец тяги шарнирно связан с выходным звеном, другой - с подвижной опорой, выполненной из магнитомягкого материала и установленной на основании с возможностью перемещения по поверхности основания, которое выполнено в виде двухкоординатного электромагнитного стола. Число подвижных опор не менее трех, а с одним шарниром связано не более двух тяг. 5 ил.

Description

Изобретение относится к машиностроению, а более конкретно к исполнительным устройствам на основе l-координат, предназначенных для работы в экологически чистых средах.
Известно исполнительное устройство, содержащее координатный стол, выполненный из верхней и нижней плит, перемещающихся на пружинах, направляемых биморфными пьезокерамическими пластинами.
Недостатком аналога являются малые кинематические возможности и сложность конструкции. При этом перемещение стола осуществляется только по трем направлениям.
Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является l-координатное исполнительное устройство, содержащее основание, выходное звено и тяги с приводами для регулирования расстояний между парами заданных точек, одна из которых принадлежит основанию, а другая - выходному звену.
Недостатком прототипа являются малые кинематические возможности и сложность конструкции, так как не представляется возможность перемещать выходное звено на значительное расстояние относительно исходного положения, а наличие тяг с приводами усложняет конструкцию.
В основу изобретения положена задача повышения кинематических возможностей при упрощении конструкции.
Это решается тем, что тяги выполнены жесткими, постоянной длины, один конец тяги шарнирно связан с выходным звеном, другой - с подвижной опорой, выполненной из магнитомягкого материала и установленной на основании с возможностью перемещения по поверхности основания, которое выполнено в виде двухкоординатного электромагнитного стола, число подвижных опор не менее трех, а с одним шарниром связано не более двух тяг.
Введение в l-координатное исполнительное устройство жестких тяг и подвижных опор, установленных на основании с возможностью перемещения, а также выполнение основания в виде двухкоординатного электромагнитного стола придают устройству новые свойства - возможность перемещения вдоль поверхности двухкоординатного электромагнитного стола любой формы и расположения, возможность поворота вдоль оси, нормальной к поверхности стола на любой угол, а также возможность ориентации выходного звена только за счет соответствующего расположения подвижных опор на основании, что и позволяет повысить кинематические возможности при упрощении конструкции механизма.
На фиг.1 показана схема l-координатного исполнительного устройства; на фиг. 2 - система управления перемещением подвижной опоры с обратной связью; на фиг. 3 - функциональная схема двигателя с обратной связью; на фиг.4 - схема оптимального устройства перемещения (УП) с блоком управления (БУ) в системе с обратной связью; на фиг.5 - развернутая функциональная схема оптимального устройства перемещения (УП) одной подвижной опоры; So - требуемое конечное значение перемещения подвижной опоры;
Figure 00000001
- блок дифференцирования регулируемой величины φ(t); Х - блок перемещения электрических сигналов α (t) и х(t); МУ - блок моделирующего устройства.
L - координатное исполнительное устройство (фиг.1) содержит основание 1, выполненное в виде двухкоординатного электромагнитного стола, выходного звена 2, жесткие тяги 3, одни концы которых связаны с выходным звеном шарнирами 4, а другие шарнирами 5 - с подвижными опорами из магнитомягкого материала. Подвижные опоры 6 установлены на основании с возможностью перемещения по поверхности основания, число опор не менее трех. Основание соединено с блоками питания и управления (фиг.2-5). В качестве опоры, связанной с тягой 3 посредством шарнира 5, используется плоская стопа, выполненная из магнитомягкого материала, например армко-железа. С одним шарниром 5 связано не более двух тяг 3.
L-координатное исполнительное устройство работает следующим образом.
При включении блока питания на основание подается напряжение, величина и место приложения которого регулируется посредством блока управления, как это имеет место в стандартных планарных электродвигателях. Опоры получают возможность перемещения по поверхности основания, что приводит к изменению положения подвижных опор друг относительно друга и относительно основания. Это в свою очередь приводит к изменению положения в пространстве жестких тяг 3, а следовательно, и выходного звена 2. При этом выходное звено 2 имеет шесть степеней подвижности, как и в обычных l-координатах, однако перемещение механизма вдоль поверхности основания может быть ограничено только размерами самого основания, а вращение вокруг оси, нормальной к поверхности основания, на любой угол и не ограничено геометрическими размерами длин тяг 3. Перемещение каждой из трех опор, расположенных на основании, осуществляется блоком управления, как в планарных двигателях.
Парное сочетание двух линейных электромагнитных приводов (ЭПМ) образует модуль (Х, Y-ЩД). Двухкоординатный привод (Х, Y-привод), созданный на базе (Х, Y-ЩД, обеспечивает две степени подвижности в декартовой плоскости. Наиболее перспективен ЭМП индукторного типа с возбуждением от постоянных магнитов, как более универсальный по применению и имеющий наилучшие показатели по динамической добротности и габаритами.
Плоские модули Х,Y-ЩД магнитоэлектрического индукторного типа приспособлены для работы с максимально мелкой нарезкой зубцовых делений для обеспечения высокой точности перемещения.
При этом решена основная технологическая проблема получения микропазов и рабочих поверхностей с требуемой конфигурацией и точностью:
отношение глубины паза к половине периода зубцовой структуры 0,8-1,1 (период 0,48, 0,64 мм);
трапецеидальный профиль паза с углом не более 7o;
накопленная погрешность изготовления пазов по шагу на рабочем поле индуктора и якоря (600х600 мм) не более 10 мкм;
неплоскостность рабочих поверхностей индуктора и якоря не хуже 5 мкм для обеспечения воздушного зазора между ними не более 15 мкм при минимальных массах и максимальной жесткости элементов.
Система управления обеспечивает однозначное положение опор на основание, а следовательно, и однозначное положение в пространстве выходного звена.
Перемещение выходного звена 2 вдоль оси Z обеспечивается одновременным равномерным линейным перемещением
Figure 00000002
I, II и III опор, причем векторы
Figure 00000003
расположены под углом 120о относительно друг друга. Перемещение же выходного звена 2 вдоль осей Х и Y обеспечивается одновременным движением I, II, III опор в направлении указанных осей. Вращение φz выходного звена 2 обеспечивается одновременным перемещением φz I, II и III опор, вращение φх выходного звена 2 вокруг оси Х может быть обеспечено одновременным перемещением Yy I опоры вдоль оси Y и II и III опор вдоль оси Y в противоположном направлении.
Аналогичным образом обеспечивается вращение φy выходного звена 2 вокруг оси Y.
Предлагаемое исполнительное устройство обладает 6-ю степенями свободы.
Перемещение одной опоры 6 (или устройства перемещения УП), которая является элементом планарного двигателя, описывается уравнением
T
Figure 00000004
+S=K1·Uя где
Figure 00000005
=
Figure 00000006
- скорость опоры 6;
Uя - напряжение питания якорной цепи;
Т1 - постоянная времени УП, определяемая суммарным моментом инерции УП, а также электрическими параметрами двигателя;
К1 - коэффициент передачи VII.
Для того, чтобы VII позволило обеспечить перемещение на произвольное значение S, необходимо двигатель снабдить цепью отрицательной обратной связи, содержащей датчик поступательного перемещения (ДПП) и усилитель постоянного тока (УПТ) (фиг.2).
Назначение моделирующего устройства состоит в формировании требуемого закона изменения α (t), полученного путем численного решения уравнения Беллмана. Программа для перевода конечного положения выходного звена 2 в зависимости от положения каждой из опор 6 и длин l1, l2,...,l6определяется на ЭВМ СМ-4 посредством программы на языке ФОРТРАН-4.
Применение предлагаемого l-координатного исполнительного устройства позволяет, во-первых, повысить кинематические возможности - перемещение вдоль основания на неограниченное расстояние, вращение вокруг оси, нормальной к поверхности основания на неограниченный угол, а, во-вторых, упростить его конструкцию за счет использования жестких тяг без приводов.
Устройство целесообразно использовать при создании экологически чистого технологического оборудования электронной техники.

Claims (1)

  1. МАНИПУЛЯТОР, содержащий основание и выходное звено, связанные между собой жесткими тягами постоянной длины, причем один конец каждой тяги шарнирно связан с выходным звеном, а другой - с подвижной опорой, установленной на основании с возможностью перемещения по нему, причем число подвижных опор не менее трех, а с одним шарниром связано не более двух тяг, отличающийся тем, что подвижная опора выполнена из магнитомягкого материала, а основание выполнено в виде двухкоординатного электромагнитного стола.
SU5039985 1992-04-27 1992-04-27 Манипулятор RU2028927C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5039985 RU2028927C1 (ru) 1992-04-27 1992-04-27 Манипулятор

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU5039985 RU2028927C1 (ru) 1992-04-27 1992-04-27 Манипулятор

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2028927C1 true RU2028927C1 (ru) 1995-02-20

Family

ID=21603127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU5039985 RU2028927C1 (ru) 1992-04-27 1992-04-27 Манипулятор

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2028927C1 (ru)

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Авторское свидетельство СССР N 1049244, кл. B 25J 1/02, 1982. *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Xu et al. Development of a nonresonant piezoelectric motor with nanometer resolution driving ability
Kim et al. High-precision magnetic levitation stage for photolithography
Choi et al. A high-precision dual-servo stage using halbach linear active magnetic bearings
Rovers et al. Analysis method of the dynamic force and torque distribution in the magnet array of a commutated magnetically levitated planar actuator
Lu 6D direct-drive technology for planar motion stages
JP2839543B2 (ja) 変位発生装置
CN101807010B (zh) 纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
US4514674A (en) Electromagnetic X-Y-Theta precision positioner
Lu et al. Novel inertial piezoelectric actuator with high precision and stability based on a two fixed-end beam structure
Yan et al. A 3-DOFs mobile robot driven by a piezoelectric actuator
US4509002A (en) Precision X-Y positioner
Lahdo et al. Design and implementation of an new 6-DoF magnetic levitation positioning system
Tomita et al. High-response XY stage system driven by in-parallel linear motors
CN107907992A (zh) 正应力电磁驱动的快速偏转反射镜作动机构及作动方法
US5124879A (en) Electrostatic drive device and circuit for controlling same
US5962937A (en) X-Y table for moving loads in a highly exact and dynamic manner
Kim et al. Linear motor-leviated stage for photolithography
Richard et al. Concept of modular flexure-based mechanisms for ultra-high precision robot design
RU2028927C1 (ru) Манипулятор
Kim et al. Integrated multidimensional positioner for precision manufacturing
Gao et al. The design and characterization of a piezo-driven ultra-precision stepping positioner
Yamamoto et al. A high‐power electrostatic motor using skewed electrodes
JPS61159349A (ja) 微小変位移動装置
Lahdo et al. A novel high-precision magnetic levitation system
KR100362930B1 (ko) 서피스 모터 및 그의 6자유도 정밀 운동 시스템