RU2020646C1 - Transit-time mass-spectrometry method - Google Patents

Transit-time mass-spectrometry method Download PDF

Info

Publication number
RU2020646C1
RU2020646C1 SU4849055A RU2020646C1 RU 2020646 C1 RU2020646 C1 RU 2020646C1 SU 4849055 A SU4849055 A SU 4849055A RU 2020646 C1 RU2020646 C1 RU 2020646C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
ion
ions
mass
time
drift space
Prior art date
Application number
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Д.Е. Миловзоров
В.А. Шишлаков
Original Assignee
Научно-исследовательский технологический институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Научно-исследовательский технологический институт filed Critical Научно-исследовательский технологический институт
Priority to SU4849055 priority Critical patent/RU2020646C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2020646C1 publication Critical patent/RU2020646C1/en

Links

Images

Landscapes

  • Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)

Abstract

FIELD: transit-time mass- spectrometry. SUBSTANCE: method involves separation of emitted ion sources in first no-field-effect drift space into trains according to transit time, reflection of ion trains in electrostatic field, followed by their transfer to second no-effect space of drift where ion trains of determined masses are sequentially deflected and recorded. EFFECT: facilitated procedure. 2 dwg

Description

Изобретение относится к масс-спетрометрии, а именно времяпролетной масс-спектрометрии, и может быть использовано в микроэлектронике для анализа состава вещества по массам ионов химических элементов и соединений. The invention relates to mass spectrometry, namely, time-of-flight mass spectrometry, and can be used in microelectronics to analyze the composition of a substance by the mass of ions of chemical elements and compounds.

Известен способ времяпролетной масс-спектрометрии [1], в котором направляют исследуемые ионы с одинаковой энергией из источника ионов в бесполевое пространство дрейфа и регистрируют после прохождения фиксированного пути разделенные в нем по времени пакеты ионов с одинаковой массой. A known method of time-of-flight mass spectrometry [1], in which the studied ions with the same energy are directed from the ion source to the fieldless drift space and the ion packets with the same mass separated in it are recorded after passing a fixed path.

Недостатком известного способа является низкая разрешающая способность из-за наличия начального разброса по энергиям в источнике ионов. The disadvantage of this method is the low resolution due to the presence of the initial energy spread in the ion source.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому является способ времяпролетной масс-спектрометрии [2], в котором испущенные источником ионы разделяются в первом бесполевом пространстве дрейфа по времени пролета, далее разделенные пакеты ионов отражаются в электростатическом поле и направляются во второе бесполевое пространство дрейфа, где происходит компенсация начального разброса ионов с одинаковой массой по энергиям с последующей регистрацией пакетов ионов. The closest in technical essence to the claimed one is the method of time-of-flight mass spectrometry [2], in which the ions emitted by the source are separated in the first fieldless drift space by time of flight, then the separated ion packets are reflected in the electrostatic field and sent to the second fieldless drift space, where Compensation of the initial dispersion of ions with the same energy mass with subsequent registration of ion packets.

Недостатками известного способа являются недостаточная разрешающая способность, обусловленная конечной временной протяженностью регистрируемых ионных пакетов, и низкая чувствительность, связанная с угловой расходимостью ионов после отражения в ионном зеркале. The disadvantages of this method are the lack of resolution, due to the finite time length of the recorded ionic packets, and low sensitivity associated with the angular divergence of ions after reflection in an ion mirror.

Целью изобретения является повышение разрешающей способности и чувствительности. The aim of the invention is to increase the resolution and sensitivity.

Сущность изобретения заключается в том, что в способе времяпролетной масс-спектрометрии, заключающемся в разделении испущенных источником ионов в первом бесполевом пространстве дрейфа по времени пролета на пакеты, отражении пакетов ионов в электростатическом поле с их последующим направлением во втрое бесполевое пространство дрейфа и регистрацией, регистрацию пакетов ионов осуществляют посредством поочередного отклонения пакетов ионов определяемых масс во втором бесполевом пространстве дрейфа импульсным электрическим полем, напряженность которого ε(t) и время воздействия на отклоняемые пакеты ионов τ выбирают из соотношения:

Figure 00000001
(t)dt = tg
Figure 00000002
; (1) где α - угол регистрации, рад;
Uист - ускоряющее напряжение источника ионов, В;
Мi - масса определяемого иона, кг;
е - элементарный заряд, Кл.The essence of the invention lies in the fact that in the method of time-of-flight mass spectrometry, which consists in dividing the ions emitted by the source in the first fieldless drift space by time of flight into packets, reflecting the ion packets in the electrostatic field with their subsequent direction into the triple fieldless drift space and recording, registration ion packets are carried out by alternately deflecting the ion packets of the determined masses in the second fieldless drift space by a pulsed electric field, e.g. the intensity of which ε (t) and the exposure time to the rejected ion packets τ are selected from the relation:
Figure 00000001
(t) dt = tg
Figure 00000002
; (1) where α is the registration angle, rad;
U East - the accelerating voltage of the ion source, V;
M i - the mass of the determined ion, kg;
e - elementary charge, CL.

На фиг.1 схематически представлено устройство, реализующее предлагаемый способ времяпролетной масс-спектрометрии; на фиг.2 изображены траектории ионов с массой Mi после отражения в ионном зеркале.Figure 1 schematically shows a device that implements the proposed method of time-of-flight mass spectrometry; figure 2 shows the trajectory of ions with mass M i after reflection in the ion mirror.

Устройство состоит из источника 1 ионов, ионного зеркала 2, отклоняющих электродов 3, детектора 4 ионов, расположенного на оси, отклоненной от оси первого пространства дрейфа на угол α. The device consists of an ion source 1, an ion mirror 2, deflecting electrodes 3, an ion detector 4 located on an axis deviated from the axis of the first drift space by an angle α.

Устройство работает следующим образом. Вылетающие из источника 1 в виде короткого пакета ионы массами Mi, Mj, Mк и т.д. с одинаковыми энергиями разделяются в первом пространстве дрейфа на пакеты по массам Mi, Mj, Mк и т.д.The device operates as follows. Ions of masses M i , M j , M k , etc., emitted from source 1 in the form of a short packet with the same energies are separated in the first drift space into packets according to the masses M i , M j , M k , etc.

После отражения пакета ионов массой Mi в двухступенчатом (U1 и U2) поле на него воздействуют импульсом электрического поля, создаваемым при приложении к отклоняющим электродам 3 импульса напряжения с параметрами U3i, τ3i. При этом длительность импульса напряжения τ3i выбирают, исходя из того, что:
τ3i < < tпрол, (2) где tпрол - время пролета ионами с массой Mi отклоняющих электродов 3.After a packet of ions of mass M i is reflected in a two-stage (U 1 and U 2 ) field, it is affected by an electric field pulse generated when a voltage pulse with parameters U 3i , τ 3i is applied to the deflecting electrodes 3. The duration of the voltage pulse τ 3i is chosen based on the fact that:
τ 3i <<t prol , (2) where t prol is the time of flight by ions with mass M i of deflecting electrodes 3.

В случае выполнения этого требования импульс электрического поля длительностью τ3i, создаваемый между отклоняющими электродами 3, будет воздействовать на ионы с небольшим различием в массах Mi, дающие основной вклад в ухудшение разрешения, одинаковое время τ3i, поскольку эти ионы имеют слабые различия в скоростях vi=

Figure 00000003
пролета отклоняющих электродов 3.If this requirement is met, an electric field pulse of duration τ 3i created between the deflecting electrodes 3 will act on ions with a small mass difference M i , which make the main contribution to the deterioration of resolution, the same time τ 3i , since these ions have weak differences in velocities v i =
Figure 00000003
span deflecting electrodes 3.

Этот импульс сообщает ионам в промежутке между отклоняющими электродами 3 скорость vоткл.i, перпендикулярно оси первого пространства дрейфа и определяемую по формуле
vоткл.i=

Figure 00000004
Figure 00000005
Uзi(t)dt, (3) где е - элементарный разряд;
d3 - расстояние между отклоняющими электродами 3.This pulse tells the ions in the interval between the deflecting electrodes 3 the speed v off i , perpendicular to the axis of the first drift space and determined by the formula
v off i =
Figure 00000004
Figure 00000005
U zi (t) dt, (3) where e is the elementary discharge;
d 3 - the distance between the deflecting electrodes 3.

Для случая прямоугольного отклоняющего импульса, формула (3) принимает вид:
vоткл.i=

Figure 00000006
Uзiτзi, (4) где Uзi - амплитуда прямоугольного импульса.For the case of a rectangular deflecting pulse, formula (3) takes the form:
v off i =
Figure 00000006
U zi τ zi , (4) where U zi is the amplitude of the rectangular pulse.

В случае треугольного отклоняющего импульса формула (3) имеет вид:
vоткл.i= 2

Figure 00000007
Uзimax·τ3imax. (5)
В случае, когда импульсное электрическое поле реализуется в области плоского конденсатора, параметры отклоняющего импульса напряжения на электродах конденсатора (амплитуда U3i и длительность τ3i) могут быть определены из соотношения:
для прямоугольного импульса
Uзi·τз = dзitg
Figure 00000008
, (6) где d3 - расстояние между электродами конденсатора 3;
для импульса треугольной формы
Uзi·τзi= dзtg
Figure 00000009
(7)
Подачу отклоняющего импульса поля на электроды 3 длительностью τ3iнеобходимо осуществлять в момент пролета ионами массы Mi половины длины отклоняющих электродов 3. Время подачи отклоняющего импульса tп можно определить следующим образом:
tп = tпрол.1 + tотр + t
Figure 00000010
, (8) где tпрол.1 - время пролета ионами массой Mi первого пространства дрейфа;
tотр - время пролета ионами массой Mi ионного зеркала 2;
t'прол.2 - время пролета ионами массой Mi от ионного зеркала 2 до середины отклоняющих электродов 3.In the case of a triangular deflecting pulse, formula (3) has the form:
v off i = 2
Figure 00000007
U zimax · τ 3imax . (5)
In the case when a pulsed electric field is realized in the region of a flat capacitor, the parameters of the deflecting voltage pulse on the capacitor electrodes (amplitude U 3i and duration τ 3i ) can be determined from the relation:
for rectangular impulse
U zi · τ z = d zi tg
Figure 00000008
, (6) where d 3 is the distance between the electrodes of the capacitor 3;
for a pulse of a triangular shape
U zi · τ zi = d z tg
Figure 00000009
(7)
The supply of a deflecting field pulse to the electrodes 3 of duration τ 3i must be carried out at the time of passage by ions of mass M i half the length of the deflecting electrodes 3. The time of supply of the deflecting pulse t p can be determined as follows:
t n = t prol.1 + t + t neg
Figure 00000010
, (8) where t prol. 1 is the transit time by ions of mass M i of the first drift space;
t neg - flight time by ions of mass M i of ion mirror 2;
t ' prol.2 - time of flight by ions of mass M i from the ion mirror 2 to the middle of the deflecting electrodes 3.

tпрол.1=

Figure 00000011
, где l1 - длина первого пространства дрейфа;
Е - кинетическая энергия ионов на выходе из ионного источника 1
tотр= 2
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
, (9) где U1 - напряжение между электродами первого отражающего промежутка ионного зеркала 2 длиной d1;
U2 - напряжение между электродами второго отражающего промежутка ионного зеркала 2 длиной d2;
е - элементарный заряд.t prol. 1 =
Figure 00000011
where l 1 is the length of the first drift space;
E is the kinetic energy of the ions at the exit from the ion source 1
t neg = 2
Figure 00000012
Figure 00000013
Figure 00000014
Figure 00000015
Figure 00000016
, (9) where U 1 is the voltage between the electrodes of the first reflecting gap of the ion mirror 2 of length d 1 ;
U 2 is the voltage between the electrodes of the second reflective gap of the ion mirror 2 of length d 2 ;
e is the elementary charge.

Так как на выходе из ионного зеркала 2 ионы массой Mi имеют ту же скорость, что и в первом дрейфовом пространстве, то есть
vотр.i= vi=

Figure 00000017
, (10) то
t
Figure 00000018
=
Figure 00000019
, (11) где l2 1 - расстояние от ионного зеркала 2 до середины отклоняющих электродов 3.Since at the exit from the ion mirror 2, ions of mass M i have the same velocity as in the first drift space, i.e.
v neg .i = v i =
Figure 00000017
, (10) then
t
Figure 00000018
=
Figure 00000019
, (11) where l 2 1 is the distance from the ion mirror 2 to the middle of the deflecting electrodes 3.

Значение tпрол. в требовании (11) определяется как:
tпрол. =

Figure 00000020
, (12) где lэл.3 - длина отклоняющих электродов 3.The value of t prol . in requirement (11) is defined as:
t prol. =
Figure 00000020
, (12) where l el . 3 is the length of the deflecting electrodes 3.

Попавшие в это же время в пространство между отклоняющими электродами 3 ионы с массами Mj, MK и т.д. также приобретут в направлении, перпендикулярном оси первого пространства дрейфа, различные скорости vоткл.j, vоткл.к и т.д.:
vоткл.j =

Figure 00000021
Figure 00000022
Uзi(t)dt;
(13)
vоткл.к =
Figure 00000023
Figure 00000024
Uзi(t)dt.At the same time, ions with masses M j , M K , etc., trapped in the space between the deflecting electrodes 3. will also acquire in the direction perpendicular to the axis of the first drift space, various speeds v off j , v off k , etc .:
v off j =
Figure 00000021
Figure 00000022
U zi (t) dt;
(thirteen)
v off to =
Figure 00000023
Figure 00000024
U zi (t) dt.

Поскольку в это же время в отражательном поле ионного зеркала 2 ионы меняют направления своего движения на противоположные с той же скоростью vi, vj, vк, суммарная скорость движения ионов vEi, vEj, veкбудет являться результатом векторного сложения скоростей вдоль оси первого пространства дрейфа vотр.i, vотр.j, vотр.к и скорости vоткл.i, vоткл.j, vоткл.к, причем очевидно:

Figure 00000025
v
Figure 00000026
=
Figure 00000027
v
Figure 00000028
;
Figure 00000029
v
Figure 00000030
=
Figure 00000031
v
Figure 00000032
;
Figure 00000033
v
Figure 00000034
=
Figure 00000035
v
Figure 00000036
. (14)
Таким образом, ионы с массами Mi, Mj, Mк отклонятся на разные углы αi, αj, αк от первоначального направления движения
αi= arctg
Figure 00000037
Figure 00000038
Uзi(t)dt;
αj= arctg
Figure 00000039
Figure 00000040
Uзi(t)dt; (15)
αк= arctg
Figure 00000041
Figure 00000042
Uзi(t)dt..Since at the same time, in the reflection field of the ion mirror 2, the ions change their direction of motion in the opposite direction with the same speed v i , v j , v k , the total speed of the ions v Ei , v Ej , v eк will be the result of vector addition of velocities along the axis of the first drift space v neg. i , v neg. j , v neg. to and speeds v off i , v off j , v off to , and it is obvious:
Figure 00000025
v
Figure 00000026
=
Figure 00000027
v
Figure 00000028
;
Figure 00000029
v
Figure 00000030
=
Figure 00000031
v
Figure 00000032
;
Figure 00000033
v
Figure 00000034
=
Figure 00000035
v
Figure 00000036
. (14)
Thus, ions with masses M i , M j , M k deviate at different angles α i , α j , α k from the original direction of motion
α i = arctg
Figure 00000037
Figure 00000038
U zi (t) dt;
α j = arctg
Figure 00000039
Figure 00000040
U zi (t) dt; (fifteen)
α to = arctg
Figure 00000041
Figure 00000042
U zi (t) dt ..

В случае прямоугольного и треугольного выталкивающих импульсов формулы (14) примут, соответственно, вид (16) и (17):
αi= arctg

Figure 00000043
= arctg
Figure 00000044
;
αj= arctg
Figure 00000045
; (16)
αк= arctg
Figure 00000046
;
αi= arctg
Figure 00000047
Figure 00000048
;
αj= arctg
Figure 00000049
; (17)
αк= arctg
Figure 00000050
;
Поскольку детектор 4 ионов расположен на оси, отстоящей от оси первого пространства дрейфа на угол α=αi, после прохождения второго пространства дрейфа будут регистрироваться только ионы массой Mi, сфокусированные по энергии в ионном зеркале 2.In the case of rectangular and triangular pushing pulses, formulas (14) will take, respectively, the form (16) and (17):
α i = arctg
Figure 00000043
= arctg
Figure 00000044
;
α j = arctg
Figure 00000045
; (sixteen)
α to = arctg
Figure 00000046
;
α i = arctg
Figure 00000047
Figure 00000048
;
α j = arctg
Figure 00000049
; (17)
α to = arctg
Figure 00000050
;
Since the ion detector 4 is located on an axis that is α = α i from the axis of the first drift space, after passing through the second drift space, only ions of mass M i that are focused in energy in ion mirror 2 will be detected.

Таким образом, за счет дополнительного разделения ионов по углу разлета, зависящему от массы, осуществляется повышение разрешения ионов по массам в предлагаемом способе времяпролетной масс-спектрометрии. Thus, due to the additional separation of ions according to the scattering angle, depending on the mass, the ion resolution is increased by mass in the proposed method of time-of-flight mass spectrometry.

Дополнительное слагаемое, вносимое предлагаемым способом в разрешение по массам, имеет вид:

Figure 00000051
=
Figure 00000052
, (18) где 0 ≅ α ≅
Figure 00000053
.The additional term, introduced by the proposed method in the resolution by mass, has the form:
Figure 00000051
=
Figure 00000052
, (18) where 0 ≅ α ≅
Figure 00000053
.

Подавая в момент нахождения в область между отклоняющими электродами 3 пакет ионов с другой массой (например, Mj, Mк)
tj≥ l

Figure 00000054
; tк≥ l
Figure 00000055
(см. формулу импульса напряжения на отклоняющие электроды 3 с параметрами U3j, τ3i, U3к, τ3к для ионов с массой Mj, Mк соответственно) и, подбирая параметры U3j, τ3j или U3к, τ3к из соображения отклонения ионов с массой Mj или Мк на угол регистрации α (фиг.1), можно осуществлять исследование масс-спектра ионов из источника 1.Feeding at the time of being in the region between the deflecting electrodes 3 a packet of ions with a different mass (for example, M j , M k )
t j ≥ l
Figure 00000054
; t to ≥ l
Figure 00000055
(see the formula for the voltage pulse to the deflecting electrodes 3 with parameters U 3j , τ 3i , U 3к , τ 3к for ions with mass M j , M к, respectively) and, selecting the parameters U 3j, т 3j or U 3к , τ 3к from considerations of the deviation of ions with a mass of M j or M to the registration angle α (figure 1), it is possible to study the mass spectrum of ions from source 1.

В способе [2], взятом за прототип, происходит снижение чувствительности за счет угловой расходимости ионов после отражения в ионном зеркале. В предлагаемом способе происходит подфокусировка ионов на детектор 4 за счет воздействия импульса электрического поля, отклоняющего ионы в направлении, перпендикулярном оси первого пространства дрейфа. In the method [2], taken as a prototype, there is a decrease in sensitivity due to the angular divergence of ions after reflection in an ion mirror. In the proposed method, ion focusing on the detector 4 occurs due to the action of an electric field pulse deflecting ions in a direction perpendicular to the axis of the first drift space.

Это связано с тем, что при отражении ионов в зеркале они приобретают скорости, противоположные направлению первоначального движения, но равные по величине скоростям до отражения (см. формулу (14)). Таким образом, ионы массой Mi, имеющие большую скорость vi ' из-за начального разброса в источнике 1 ионов (фиг.1) и прилетающие к отражательному промежутку раньше, после отражения в ионном зеркале, имея по величине ту же скорость

Figure 00000056
viотр'
Figure 00000057
=
Figure 00000058
vi'
Figure 00000059
, оказываются сзади по отношению к ионам массой Mi, вылетевшим из источника с начальной скоростью vi '' < vi ' (vотр.i ''< vотр.i'). Но в пространстве между электродами 3 за время действия отклоняющего импульса электрического поля τ3i они приобретут одну и ту же скорость в направлении, перпендикулярном оси первого пространства дрейфа v откл.i' = v откл.i'' = vоткл.i. Поэтому суммарные скорости ионов пакета массой Mi vε ' и v
Figure 00000060
являющиеся результатом векторного сложения скоростей
Figure 00000061
=
Figure 00000062
+
Figure 00000063
,
Figure 00000064
= v
Figure 00000065
+
Figure 00000066
имеют тенденцию к сходимости в направлении движения к детектору (фиг.2).This is due to the fact that upon reflection of ions in the mirror they acquire velocities opposite to the direction of the initial motion, but equal in magnitude to the velocities before reflection (see formula (14)). Thus, ions of mass M i having a high velocity v i 'due to the initial spread in the ion source 1 (Fig. 1) and arriving at the reflective gap earlier, after reflection in the ion mirror, have the same velocity in magnitude
Figure 00000056
v iotr '
Figure 00000057
=
Figure 00000058
v i '
Figure 00000059
, are behind in relation to ions of mass M i , emitted from the source with an initial velocity v i ''<v i '(v neg . i ''<v neg . i '). But in the space between the electrodes 3, during the action of the deflecting pulse of the electric field τ 3i, they will acquire the same speed in the direction perpendicular to the axis of the first drift space v off i '= v off i ''= v off i . Therefore, the total velocities of ions of a packet of mass M i v ε ' and v
Figure 00000060
resulting from vector addition of velocities
Figure 00000061
=
Figure 00000062
+
Figure 00000063
,
Figure 00000064
= v
Figure 00000065
+
Figure 00000066
tend to converge in the direction of movement toward the detector (figure 2).

Минимальный размер фокусировки ионов пакета по массам driподбирается путем оптимизации параметров отклоняющего импульса соответственно для случаев прямоугольного и треугольного импульсов напряжения:
dri=

Figure 00000067
dvi;
(19)
dri=
Figure 00000068
dvi, где l2 - длина второго пространства дрейфа.The minimum focusing size of the packet ions by masses d ri is selected by optimizing the parameters of the deflecting pulse, respectively, for cases of rectangular and triangular voltage pulses:
dr i =
Figure 00000067
dv i ;
(nineteen)
dr i =
Figure 00000068
dv i , where l 2 is the length of the second drift space.

Таким образом, в предлагаемом способе времяпролетной масс-спектрометрии происходит повышение разрешающей способности по массам ионов за счет дополнительного разделения ионов разных масс на различные углы отклонения и чувствительности за счет подфокусировки пакета ионов отклоняющим импульсом электрического поля. Thus, in the proposed method of time-of-flight mass spectrometry, there is an increase in the resolution by mass of ions due to the additional separation of ions of different masses at different angles of deviation and sensitivity due to the focusing of the ion packet by a deflecting pulse of the electric field.

Предлагаемый способ может быть использован для проведения масс-анализа различных ионных пучков, применяемых в технологии и аналитике микроэлектроники, физических исследованиях с высокой чувствительностью и разрешающей способностью по массам. The proposed method can be used for mass analysis of various ion beams used in technology and analytics of microelectronics, physical research with high sensitivity and resolution by mass.

Claims (1)

СПОСОБ ВРЕМЯПРОЛЕТНОЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТРИИ, заключающийся в разделении испущенных источников ионов в первом бесполевом пространстве дрейфа по времени пролета на пакеты, отражении пакетов ионов в электростатическом поле с их последующим направлением в второе бесполевое пространство дрейфа и регистрацией, отличающийся тем, что, с целью повышения разрешающей способности и чувствительности, регистрацию пакетов ионов осуществляют посредством поочередного отклонения пакетов ионов определяемых масс в втором бесполевом пространстве дрейфа импульсным электрическим полем, напряженность которого ε (t) и время воздействия на отклоняемые пакеты ионов τ выбирают из соотношения
Figure 00000069
(t)dt = tg
Figure 00000070
,
где α - угол регистрации пакетов ионов, рад;
Uист. - ускоряющее напряжение источника ионов, В;
Mi - масса определяемого иона, кг;
l - элементарный заряд, Кл.METHOD FOR TIME-SPAN MASS SPECTROMETRY, which consists in dividing the emitted ion sources in the first fieldless drift space by time of flight into packets, reflecting the ion packets in the electrostatic field with their subsequent direction into the second fieldless drift space and recording, characterized in that, in order to increase the resolution ability and sensitivity, the registration of ion packets is carried out by alternately rejecting the ion packets of the determined masses in the second fieldless drift space pulsed electric field, the intensity of which ε (t) and the exposure time to the deflected ion packets τ are selected from the relation
Figure 00000069
(t) dt = tg
Figure 00000070
,
where α is the angle of registration of ion packets, rad;
U source - accelerating voltage of the ion source, V;
M i is the mass of the determined ion, kg;
l - elementary charge, CL.
SU4849055 1990-07-09 1990-07-09 Transit-time mass-spectrometry method RU2020646C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4849055 RU2020646C1 (en) 1990-07-09 1990-07-09 Transit-time mass-spectrometry method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4849055 RU2020646C1 (en) 1990-07-09 1990-07-09 Transit-time mass-spectrometry method

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2020646C1 true RU2020646C1 (en) 1994-09-30

Family

ID=21526374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4849055 RU2020646C1 (en) 1990-07-09 1990-07-09 Transit-time mass-spectrometry method

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2020646C1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2744235C2 (en) * 2018-10-04 2021-03-03 Общество с ограниченной ответственностью "Девайс Консалтинг" Method of transformation of uninterrupted ion flux in ionization sources under atmospheric pressure into pulse flux

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
1. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. М., Атомиздат, 1977, с.101-108. *
2. Сысоев А.А., Чупахин М.С. Введение в масс-спектрометрию. М., Атомиздат, 1977 с.112,113. *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2744235C2 (en) * 2018-10-04 2021-03-03 Общество с ограниченной ответственностью "Девайс Консалтинг" Method of transformation of uninterrupted ion flux in ionization sources under atmospheric pressure into pulse flux

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0917728B1 (en) Ion storage time-of-flight mass spectrometer
DE60128419D1 (en) Time-of-flight mass spectrometer with selectable drift length
US5032722A (en) MS-MS time-of-flight mass spectrometer
US8847155B2 (en) Tandem time-of-flight mass spectrometry with simultaneous space and velocity focusing
JP2006134893A (en) Tandem mass spectrometry
US5180914A (en) Mass spectrometry systems
EP1099237A1 (en) Time-of-flight mass spectrometer
US4912327A (en) Pulsed microfocused ion beams
JPS6229049A (en) Mass spectrometer
US6469296B1 (en) Ion acceleration apparatus and method
RU2020646C1 (en) Transit-time mass-spectrometry method
US7388193B2 (en) Time-of-flight spectrometer with orthogonal pulsed ion detection
JP4480515B2 (en) Mass spectrometry method
GB2147140A (en) Mass spectrometers
SU1758705A1 (en) Method of mass analysis of ions
JP3354427B2 (en) Time-of-flight mass spectrometer
JPH10144253A (en) Particle selecting method and flight time type selective dispersoid analyzer
GB2327804A (en) Method and apparatus for chemical analysis
JP2010170848A (en) Vertical acceleration flight-time type mass spectrometer
GB2371143A (en) Reflectron comprising plurality of electrodes each with a curved surface
SU516306A1 (en) Time-of-flight mass spectrometer
SU115144A1 (en) Non-Magnetic Pulsed Mass Spectrometer
SU1095272A1 (en) Time-of-flight mass spectrometer
JPH0541192A (en) Energy distribution measuring device for charged particle
Bodzon‐Kulakowska et al. 4.2 Analyzers