RU2016146892A - MICROMECHANICAL GYROSCOPE - Google Patents

MICROMECHANICAL GYROSCOPE Download PDF

Info

Publication number
RU2016146892A
RU2016146892A RU2016146892A RU2016146892A RU2016146892A RU 2016146892 A RU2016146892 A RU 2016146892A RU 2016146892 A RU2016146892 A RU 2016146892A RU 2016146892 A RU2016146892 A RU 2016146892A RU 2016146892 A RU2016146892 A RU 2016146892A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
output
digital
comb
fixed
excitation
Prior art date
Application number
RU2016146892A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2656119C2 (en
RU2016146892A3 (en
Inventor
Тамара Георгиевна Нестеренко
Павел Фёдорович Баранов
Эдвард Ильич Цимбалист
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority to RU2016146892A priority Critical patent/RU2656119C2/en
Publication of RU2016146892A publication Critical patent/RU2016146892A/en
Publication of RU2016146892A3 publication Critical patent/RU2016146892A3/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2656119C2 publication Critical patent/RU2656119C2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5607Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
    • G01C19/5621Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks the devices involving a micromechanical structure

Claims (1)

Микромеханический гироскоп, содержащий подвижную массу на двухосном резонансном подвесе, неподвижное основание, подвижные и неподвижные электроды, образующие гребенчатый двигатель по оси возбуждения колебаний, подвижные и неподвижные электроды, расположенные по оси измерения выходного сигнала и образующие емкостной датчик, к выходу которого подключена система съема выходной информации, систему возбуждения и стабилизации первичных колебаний, отличающийся тем, что система возбуждения и стабилизации первичных колебаний содержит подвижные электроды двух конденсаторов гребенчатого двигателя, соединенные в общей точке, к которой последовательно подключены преобразователь ток-напряжение, синхронный детектор, фильтр нижних частот, аналого-цифровой преобразователь и микроконтроллер, который соединен с первым, вторым и третьим цифроаналоговыми преобразователями, при этом выход первого цифроаналогового преобразователя соединен со вторым входом синхронного детектора, выход второго цифроаналогового преобразователя через первый усилитель подключен к неподвижным электродам первого конденсатора гребенчатого двигателя, выход третьего цифроаналогового преобразователя подсоединен через второй усилитель к неподвижным электродам второго конденсатора гребенчатого двигателя.A micromechanical gyroscope containing a moving mass on a biaxial resonant suspension, a fixed base, moving and fixed electrodes forming a comb motor along the axis of excitation of oscillations, moving and fixed electrodes located along the measuring axis of the output signal and forming a capacitive sensor, to the output of which an output pickup system is connected information, a system of excitation and stabilization of primary oscillations, characterized in that the system of excitation and stabilization of primary oscillations contains The other electrodes of the two capacitors of the comb motor connected at a common point to which a current-voltage converter, a synchronous detector, a low-pass filter, an analog-to-digital converter, and a microcontroller that is connected to the first, second, and third digital-to-analog converters are connected in series, with the output of the first the digital-to-analog converter is connected to the second input of the synchronous detector, the output of the second digital-to-analog converter through the first amplifier is connected to a fixed electric leave the first comb capacitor motor, a third digital to analog converter output is connected via a second amplifier to the fixed comb electrodes of the second capacitor engine.
RU2016146892A 2016-11-30 2016-11-30 Micromechanical gyroscope RU2656119C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016146892A RU2656119C2 (en) 2016-11-30 2016-11-30 Micromechanical gyroscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2016146892A RU2656119C2 (en) 2016-11-30 2016-11-30 Micromechanical gyroscope

Publications (3)

Publication Number Publication Date
RU2016146892A true RU2016146892A (en) 2018-05-30
RU2016146892A3 RU2016146892A3 (en) 2018-05-30
RU2656119C2 RU2656119C2 (en) 2018-05-31

Family

ID=62557604

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2016146892A RU2656119C2 (en) 2016-11-30 2016-11-30 Micromechanical gyroscope

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2656119C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2686441C1 (en) * 2018-10-25 2019-04-25 Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" Micromechanical gyroscope

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5992233A (en) * 1996-05-31 1999-11-30 The Regents Of The University Of California Micromachined Z-axis vibratory rate gyroscope
RU2279634C2 (en) * 2004-10-01 2006-07-10 Федеральное государственное унитарное предприятие Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micromechanical gyroscope
RU2272994C1 (en) * 2004-10-01 2006-03-27 Федеральное государственное унитарное предприятие Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" Micromechanical gyroscope
RU2447403C1 (en) * 2010-12-07 2012-04-10 Яков Анатольевич Некрасов Micromechanical gyroscope

Also Published As

Publication number Publication date
RU2656119C2 (en) 2018-05-31
RU2016146892A3 (en) 2018-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101709367B1 (en) Angular velocity sensor, and synchronous detection circuit used therein
US10459003B2 (en) Signal detection method for capacitance detection type sensor, MEMS sensor, and system
US10274510B2 (en) Cancellation of noise due to capacitance mismatch in MEMS sensors
JP2012516444A5 (en)
RU2016146892A (en) MICROMECHANICAL GYROSCOPE
RU2415442C1 (en) Compensation accelerometre
TW201612543A (en) Dual-functional resonant based magnetic field sensor
RU2397498C1 (en) Compensation accelerometre
KR101298289B1 (en) Driving circuit, system and driving method for gyro sensor
RU2631019C1 (en) Compensation accelerometer
RU2478211C1 (en) Compensation accelerometer
KR101354782B1 (en) Detecting appartus for gyro sensor signal and method thereof
RU2411522C1 (en) Compensation accelerometre
RU2539826C2 (en) Compensation-type accelerometer
RU2526589C1 (en) Accelerometer
RU2289789C1 (en) Device for measuring displacement of movable mass of micromechanical gyroscope
RU2018117748A (en) GENERATOR
RU2686441C1 (en) Micromechanical gyroscope
RU2589771C1 (en) Capacitance-voltage measuring transducer
US9664749B2 (en) Resonant magnetic field sensor
RU2614205C1 (en) Compensating accelerometer
RU2325659C1 (en) Rate gyroscope
RU2325662C1 (en) Accelerometer
RU2527660C1 (en) Accelerometer
JP2008058212A (en) Angular velocity sensor

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20201201