RU2016137476A - Интерферометрический датчик - Google Patents
Интерферометрический датчик Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016137476A RU2016137476A RU2016137476A RU2016137476A RU2016137476A RU 2016137476 A RU2016137476 A RU 2016137476A RU 2016137476 A RU2016137476 A RU 2016137476A RU 2016137476 A RU2016137476 A RU 2016137476A RU 2016137476 A RU2016137476 A RU 2016137476A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- waves
- interference
- measure
- sensor according
- sensor
- Prior art date
Links
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims 13
- 238000005314 correlation function Methods 0.000 claims 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 6
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 3
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims 2
- 101100345589 Mus musculus Mical1 gene Proteins 0.000 claims 1
- 238000005311 autocorrelation function Methods 0.000 claims 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
- G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
- G01R15/24—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices
- G01R15/241—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using light-modulating devices using electro-optical modulators, e.g. electro-absorption
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/266—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light by interferometric means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35306—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/353—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre
- G01D5/35306—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement
- G01D5/35309—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells influencing the transmission properties of an optical fibre using an interferometer arrangement using multiple waves interferometer
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Transform (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Claims (31)
1. Интерферометрический датчик, содержащий: чувствительный элемент (22), при помощи которого измеряемая величина индуцирует относительный фазовый сдвиг между двумя волнами, проходящими через чувствительный элемент, причем чувствительный элемент является датчиком напряжения, и измеряемая величина является электрическим напряжением или напряженностью электрического поля, а относительный фазовый сдвиг внутри чувствительного элемента (22) является восприимчивым к напряжению, прикладываемому между двумя его поверхностями; по меньшей мере один детектор (41, 26), измеряющий сигнал интерференции между двумя волнами; и дополнительно содержащий: блок (31-1) обнаружения фазового сдвига, имеющий в качестве входного сигнала сигнал интерференции и определяющий первую меру, представляющую собой главное значение (ϕ, 13) относительного фазового сдвига; и блок (31-2) обнаружения контраста, имеющий в качестве входного сигнала сигнал интерференции, для определения второй меры (А, 12), представляющей собой взаимную корреляцию между двумя волнами; а также блок (31) обработки для преобразования первой и второй мер в значение измеряемой величины, при этом вторая мера представляет собой параметр, относящийся к интерференционному контрасту или видности интерференционных полос, волны при интерференции имеют достаточно широкий спектр для получения быстро изменяющейся и монотонной функции взаимной корреляции в диапазоне такой же ширины, как ширина целевого диапазона измерений, и при использовании обнаруженной второй меры, представляющей собой взаимную корреляцию, датчик удаляет периодическую неоднозначность из измеряемого относительного фазового сдвига.
2. Датчик по п. 1, в котором блок (31) обработки сигналов согласует вторую меру с заданной функцией или картой значений параметров, представляющей собой функцию (А) взаимной корреляции между двумя волнами, по диапазону измерений датчика.
3. Датчик по любому из предшествующих пунктов, в котором блок (31) обработки сигналов использует вторую меру для определения цикловой переменной n.
4. Датчик по любому из предшествующих пунктов, дополнительно включающий в себя один или более источников (20), генерирующих две волны, взаимная корреляция (А) которых изменяется сильно и монотонно в зависимости от относительной групповой задержки (τ) между двумя волнами в пределах диапазона измерений датчика.
5. Датчик по любому из предшествующих пунктов, в котором
|A(φ)-A(φ±2π)|/A(φ)≥0,001,
где А является упомянутой второй мерой, и φ является упомянутым фазовым сдвигом.
6. Датчик по любому из пп. 4-5, в котором две волны генерируются одним и тем же источником (20), в результате чего функция (А) взаимной корреляции является автокорреляционной функцией волны, генерируемой источником (20).
7. Датчик по любому из пп. 4-6, в котором источник (источники) 20 имеет спектр, охватывающий непрерывную полосу частот, или спектр, состоящий из многочисленных разъединенных полос частот или разъединенных спектральных линий.
8. Датчик по любому из предшествующих пунктов, дополнительно включающий в себя элемент (40) смещения групповой задержки для сдвига диапазона измерений датчика в область (14) монотонной вариации функции (А) взаимной корреляции в зависимости от относительной групповой задержки (τ) между двумя волнами.
9. Датчик по п. 8, в котором элемент (40) смещения групповой задержки представляет собой двулучепреломляющий материал, двулучепреломляющий волновод, сохраняющее поляризацию оптическое волокно или их сочетание.
10. Датчик по любому из предшествующих пунктов, в котором диапазон измерений датчика включает в себя область, где градиент (|dA/dτ|) функции (А) взаимной корреляции в отношении групповой задержки (τ) имеет максимальное значение.
11. Датчик по любому из предшествующих пунктов, дополнительно содержащий по меньшей мере два интерференционных канала с по меньшей мере двумя детекторами (26-2, 26-3) и по меньшей мере один статический оптический элемент (24) смещения фазы в по меньшей мере одном из интерференционных каналов, и в котором блок (31) обработки сигналов объединяет сигналы интерференции по меньшей мере двух интерференционных каналов для образования первой меры (аргумента Y) и второй меры (абсолютной величины Y).
12. Датчик по п. 11, в котором разность фазовых смещений между интерференционными каналами находится в пределах (90°±40°)+180°×i, где i - целое число, включая нуль.
13. Датчик по п. 11 или 12, дополнительно содержащий дополнительный сигнальный канал с детектором (26-1), измеряющим величину, представляющую собой полную мощность волн до интерференции, или, в качестве альтернативы, по меньшей мере один дополнительный канал в противофазе с любым из интерференционных каналов, и в котором блок (31) обработки сигналов объединяет сигналы интерференционных каналов и сигнал (сигналы) дополнительного канала (каналов) для вычисления первой и второй мер независимо от полной мощности или вариации потерь.
14. Датчик по любому из предшествующих пунктов, дополнительно содержащий оптический элемент (30) фазовой модуляции, добавляющий фазовую модуляцию к относительному фазовому сдвигу между двумя волнами, и по меньшей мере один детекторный канал (26) для измерения сигнала интерференции, и в котором блок (31) обработки сигналов анализирует модулированный сигнал интерференции для образования первой меры (аргумента Y) и второй меры (абсолютной величины Y).
15. Датчик по п. 14, в котором блок (31) обработки сигналов работает в режиме управления по замкнутой петле с сигналом обратной связи, представляющим собой главное значение относительного фазового сдвига.
16. Датчик по любому из предшествующих пунктов, в котором две волны представляют собой световые волны, в частности ортогональные линейно поляризованные световые волны или световые волны с левой и правой круговой поляризацией.
17. Датчик по п. 16, в котором чувствительный элемент (22) содержит объемный электрооптический кристалл или электрооптическое волокно, в частности кристаллическое электрооптическое волокно или поляризованное электрооптическое волокно, или оптическое волокно и пьезоэлектрический материал.
18. Датчик по п. 17, содержащий по меньшей мере один источник (20) света, по меньшей мере один линейный поляризатор (21), оптический фазовый модулятор (30), фарадеевский вращатель (83, 83') с углом поворота в пределах (45°±25°)+90°×k, где k является целым числом, электрооптический чувствительный элемент (22) и отражательную оптику (70).
19. Датчик по п. 16, в котором чувствительный элемент (22) содержит магнитооптический материал или оптическое волокно.
20. Способ выполнения интерференционных измерений, содержащий этапы, на которых:
- генерируют по меньшей мере две волны;
- определяют функцию или карту значений параметров, представляющую собой функцию взаимной корреляции между упомянутыми двумя волнами;
- подвергают чувствительный элемент (22) воздействию измеряемой величины, которая является электрическим напряжением или напряженностью электрического поля, при этом относительный фазовый сдвиг внутри чувствительного элемента (22) является восприимчивым к напряжению, прикладываемому между двумя его поверхностями, и которая индуцирует относительный фазовый сдвиг между двумя волнами, проходящими через чувствительный элемент, причем чувствительный элемент является датчиком напряжения;
- предоставляют двум волнам возможность интерферировать, при этом волны при интерференции имеют достаточно широкий спектр для получения быстро изменяющейся и монотонной функции взаимной корреляции в диапазоне такой же ширины, как ширина целевого диапазона измерений;
- для значения измеряемой величины (x) одновременно определяют первую меру, представляющую собой главное значение
(ϕ, 13) относительного фазового сдвига, и вторую меру (А, 12), представляющую собой взаимную корреляцию между двумя волнами; и
- объединяют первую и вторую меры с заданной функцией или картой значений параметров, представляющей собой функцию взаимной корреляции, и определяют соответствующее значение измеряемой величины, при этом вторая мера, представляющая собой функцию (А) взаимной корреляции между двумя волнами, является параметром, относящимся к интерференционному контрасту или видности интерференционных полос,
при этом при использовании обнаруженной второй меры, представляющей собой взаимную корреляцию, датчик удаляет периодическую неоднозначность из измеряемого относительного фазового сдвига.
21. Способ по п. 20, в котором функцию или карту значений параметров, представляющую собой функцию взаимной корреляции, используют для преобразования второй меры в цикловую переменную n.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP14156090 | 2014-02-21 | ||
| EP14156090.4 | 2014-02-21 | ||
| PCT/EP2015/053513 WO2015124676A1 (en) | 2014-02-21 | 2015-02-19 | Interferometric sensor |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016137476A true RU2016137476A (ru) | 2018-03-27 |
| RU2016137476A3 RU2016137476A3 (ru) | 2018-11-12 |
| RU2677126C2 RU2677126C2 (ru) | 2019-01-15 |
Family
ID=50137557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016137476A RU2677126C2 (ru) | 2014-02-21 | 2015-02-19 | Интерферометрический датчик |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10725073B2 (ru) |
| EP (1) | EP3108212B1 (ru) |
| CN (1) | CN105992934B (ru) |
| AU (1) | AU2015220811C1 (ru) |
| ES (1) | ES2662124T3 (ru) |
| RU (1) | RU2677126C2 (ru) |
| WO (1) | WO2015124676A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105953817B (zh) * | 2016-04-26 | 2018-10-26 | 哈尔滨工程大学 | 一种光纤陀螺核心敏感光路的组装方法 |
| US10712180B2 (en) * | 2016-08-11 | 2020-07-14 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Segmented poled optical fiber for fiber optic sensor and phased array |
| ES2741848T3 (es) | 2016-09-02 | 2020-02-12 | Abb Schweiz Ag | Sensor interferométrico de tensión con compensación de errores |
| ES2728575T3 (es) * | 2016-09-02 | 2019-10-25 | Abb Schweiz Ag | Sensor interferométrico de bucle cerrado que utiliza una ganancia de bucle para determinar el contraste de interferencia |
| CN111157100B (zh) * | 2020-01-02 | 2022-05-20 | 河海大学常州校区 | 基于反馈的全光纤传感定位系统及定位方法 |
| CN111474553B (zh) * | 2020-06-22 | 2020-11-27 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 飞时测距方法与装置 |
| WO2021258236A1 (zh) * | 2020-06-22 | 2021-12-30 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 飞时测距方法与装置 |
| DE102020120533A1 (de) | 2020-08-04 | 2022-02-10 | Technische Universität Dresden | Vorrichtung und Verfahren zum Ermitteln eines Messwertes |
| US20240061226A1 (en) * | 2021-01-12 | 2024-02-22 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Multiphase optical coherence microscopy imaging |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3044183A1 (de) | 1980-11-24 | 1982-06-24 | Reinhard Dipl.-Phys. Dr. 7250 Leonberg Ulrich | Verfahren zur optischen messung von laengen und laengenaenderungen und anordnung zur durchfuehrung des verfahrens |
| US5001419A (en) | 1988-09-28 | 1991-03-19 | Abb Power T & D Company Inc. | Method of deriving an AC waveform from two phase shifted electrical signals |
| US4904931A (en) | 1988-09-28 | 1990-02-27 | Westinghouse Electric Corp. | Electro-optical voltage measuring system incorporating a method and apparatus to derive the measured voltage waveform from two phase shifted electrical signals |
| GB8903725D0 (en) | 1989-02-18 | 1989-04-05 | Cambridge Consultants | Coherent tracking sensor |
| RU2032181C1 (ru) * | 1991-02-05 | 1995-03-27 | Киселев Владимир Васильевич | Волоконно-оптический измеритель напряженности электрического поля и напряжения |
| US5271034A (en) * | 1991-08-26 | 1993-12-14 | Avion Systems, Inc. | System and method for receiving and decoding global positioning satellite signals |
| US5402234A (en) * | 1992-08-31 | 1995-03-28 | Zygo Corporation | Method and apparatus for the rapid acquisition of data in coherence scanning interferometry |
| DE4416298A1 (de) | 1994-05-09 | 1995-11-16 | Abb Research Ltd | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Ermittlung einer physikalischen Größe |
| WO1998005975A1 (de) | 1996-08-01 | 1998-02-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und anordnung zur optischen erfassung einer elektrischen grösse |
| DE19701221C1 (de) * | 1997-01-16 | 1998-04-23 | Abb Research Ltd | Verfahren zur Temperaturkompensation von Meßsignalen eines faseroptischen Sensors |
| US6301400B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-10-09 | Nxtphase Technologies Srl | Fiber optic current sensor having rotation immunity |
| US6429939B1 (en) | 2000-07-13 | 2002-08-06 | Kvh Industries, Inc. | DSP signal processing for open loop fiber optic sensors |
| DE10039455A1 (de) | 2000-08-12 | 2002-02-21 | Abb Patent Gmbh | Spannungswandler |
| US6946827B2 (en) * | 2001-11-13 | 2005-09-20 | Nxtphase T & D Corporation | Optical electric field or voltage sensing system |
| US7355716B2 (en) * | 2002-01-24 | 2008-04-08 | The General Hospital Corporation | Apparatus and method for ranging and noise reduction of low coherence interferometry LCI and optical coherence tomography OCT signals by parallel detection of spectral bands |
| WO2003093759A2 (en) * | 2002-05-02 | 2003-11-13 | Zygo Corporation | Phase gap analysis for scanning interferometry |
| TWI428582B (zh) * | 2005-01-20 | 2014-03-01 | Zygo Corp | 用於檢測物體表面之特性的干涉裝置以及干涉方法 |
| CN101600968B (zh) | 2006-12-22 | 2013-01-02 | Abb研究有限公司 | 光学电压传感器 |
| AU2009356476C1 (en) * | 2009-12-11 | 2014-11-06 | Abb Power Grids Switzerland Ag | Fiber-optic current sensing using a sensor with exchangeable sub-modules |
| JP5437085B2 (ja) * | 2010-01-06 | 2014-03-12 | 株式会社ミツトヨ | 光ファイバ型磁界センサ |
| CN102520374B (zh) * | 2011-11-29 | 2014-04-09 | 北京航空航天大学 | 一种具有双调制特征的光纤磁场传感器数字闭环检测装置 |
| CN102914256A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-02-06 | 哈尔滨工程大学 | 基于正交双光栅的同步移相干涉检测装置及检测方法 |
-
2015
- 2015-02-19 CN CN201580009630.8A patent/CN105992934B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-02-19 WO PCT/EP2015/053513 patent/WO2015124676A1/en active Application Filing
- 2015-02-19 RU RU2016137476A patent/RU2677126C2/ru active
- 2015-02-19 AU AU2015220811A patent/AU2015220811C1/en not_active Ceased
- 2015-02-19 ES ES15705315.8T patent/ES2662124T3/es active Active
- 2015-02-19 EP EP15705315.8A patent/EP3108212B1/en not_active Not-in-force
-
2016
- 2016-08-22 US US15/243,713 patent/US10725073B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU2015220811C1 (en) | 2019-11-28 |
| US20160356823A1 (en) | 2016-12-08 |
| WO2015124676A1 (en) | 2015-08-27 |
| AU2015220811A1 (en) | 2016-10-13 |
| EP3108212B1 (en) | 2017-12-13 |
| EP3108212A1 (en) | 2016-12-28 |
| ES2662124T3 (es) | 2018-04-05 |
| RU2677126C2 (ru) | 2019-01-15 |
| CN105992934A (zh) | 2016-10-05 |
| AU2015220811B2 (en) | 2019-07-04 |
| RU2016137476A3 (ru) | 2018-11-12 |
| CN105992934B (zh) | 2020-09-22 |
| US10725073B2 (en) | 2020-07-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2016137476A (ru) | Интерферометрический датчик | |
| Yu et al. | Fast white light interferometry demodulation algorithm for low-finesse Fabry–Pérot sensors | |
| CA2763391C (en) | Method and apparatus for optical sensing | |
| JP3667132B2 (ja) | ブリルアンゲインスペクトル測定方法および装置 | |
| US9506739B2 (en) | Distance measurement by beating a varying test signal with reference signal having absolute frequency value predetermined with a specified accuracy | |
| CN102147552A (zh) | 一种基于非平衡干涉仪的光纤光栅解调系统及其解调方法 | |
| JP2007127648A (ja) | 過酷な環境下における波長基準のリアルタイム校正のためのｉｆｏｇ変調技法 | |
| US8922779B2 (en) | Digital signal processing method and device of fiber-optic gyroscope, and fiber-optic gyroscope | |
| CN106062506B (zh) | 干涉测定传感器 | |
| Zhen et al. | A novel interferometric vibration measurement sensor with quadrature detection based on 1/8 wave plate | |
| WO2013077280A1 (ja) | 光ファイバセンサ | |
| ES2596260B1 (es) | Sistema y método de caracterización distribuida de perfil de dispersión de una fibra óptica | |
| Zhang et al. | A novel digital phase detection method for frequency-modulated continuous-wave interferometric fiber-optic displacement sensor | |
| CN102901515A (zh) | 一种光纤陀螺渡越时间的在线快速测量方法 | |
| US20120239329A1 (en) | Sagnac phase shift tracking method for fiber-optic gyroscopes | |
| AU2015200314B2 (en) | Method and apparatus for optical sensing | |
| JP2014149190A (ja) | 計測装置、計測方法、光源装置および物品の製造方法 | |
| Meng et al. | Distributed optical fiber sensing system based on bidirectional sensing structure and filtering effect of unbalanced Mach–Zehnder interferometer | |
| RU2682981C1 (ru) | Способ демодуляции сигнала волоконно-оптического датчика тока | |
| Dudzik et al. | Demodulator electronics for laser vibrometry | |
| Zhang et al. | Investigation on the maximum signal handling capability of fiber optic interferometric sensor based on the digital heterodyne demodulation scheme | |
| Yang et al. | Signal processing method of phase correction for laser heterodyne interferometry | |
| JP2021089196A (ja) | 光ファイバ特性測定装置及び光ファイバ特性測定方法 | |
| RU2523759C1 (ru) | Способ расширения диапазона измерения угловых скоростей волоконно-оптического гироскопа с открытым контуром | |
| RU2433414C1 (ru) | Волоконно-оптический датчик тока |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD4A | Correction of name of patent owner |