RU2015152126A - VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER - Google Patents

VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER Download PDF

Info

Publication number
RU2015152126A
RU2015152126A RU2015152126A RU2015152126A RU2015152126A RU 2015152126 A RU2015152126 A RU 2015152126A RU 2015152126 A RU2015152126 A RU 2015152126A RU 2015152126 A RU2015152126 A RU 2015152126A RU 2015152126 A RU2015152126 A RU 2015152126A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
pair
resonators
micromechanical accelerometer
pairs
internal
Prior art date
Application number
RU2015152126A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Сергей Евгеньевич Вторушин
Тамара Георгиевна Нестеренко
Алексей Николаевич Коледа
Евгений Сергеевич Барбин
Original Assignee
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" filed Critical Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет"
Priority to RU2015152126A priority Critical patent/RU2015152126A/en
Publication of RU2015152126A publication Critical patent/RU2015152126A/en

Links

Landscapes

  • Micromachines (AREA)

Claims (1)

Вибрационный микромеханический акселерометр, содержащий инерционную массу, закрепленную с зазором относительно диэлектрической подложки с помощью пары внутренних резонаторов, отличающийся тем, что он содержит две пары П-образных упругих перемычек, поддерживающих инерционную массу, и расположенную с зазором относительно диэлектрической подложки раму, закрепленную на опорных элементах через две пары П-образных упругих перемычек и пары внешних резонаторов, ось чувствительности которых ортогональна оси чувствительности пары внутренних резонаторов.A vibrating micromechanical accelerometer containing an inertial mass fixed with a gap relative to the dielectric substrate using a pair of internal resonators, characterized in that it contains two pairs of U-shaped elastic jumpers supporting the inertial mass, and a frame mounted with a gap relative to the dielectric substrate mounted on the supporting elements through two pairs of U-shaped elastic jumpers and a pair of external resonators, the sensitivity axis of which is orthogonal to the sensitivity axis of the pair of internal x resonators.
RU2015152126A 2015-12-04 2015-12-04 VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER RU2015152126A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015152126A RU2015152126A (en) 2015-12-04 2015-12-04 VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2015152126A RU2015152126A (en) 2015-12-04 2015-12-04 VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2015152126A true RU2015152126A (en) 2017-06-08

Family

ID=59031546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015152126A RU2015152126A (en) 2015-12-04 2015-12-04 VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2015152126A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016095301A5 (en)
RU2016105770A (en) DEVICE FOR PROCESSING LINEN
FR3039873B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3042006B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3039613B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3036762B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3010467B1 (en) VIBRATION ABSORPTION DEVICE
FR3031369B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3039870B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
JP2013238437A5 (en)
JP2013192013A5 (en)
FR3043157B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3036149B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
WO2012149256A3 (en) Sensor mount vibration reduction
JP2015087263A5 (en)
FR3037371B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
RU2015152126A (en) VIBRATION MICROMECHANICAL ACCELEROMETER
JP2015087286A5 (en)
FR3010468B1 (en) VIBRATION ABSORPTION DEVICE
DK3647498T3 (en) VIBRATION FRAMING DEVICE
FR3038682B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3037114B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3038953B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
FR3032250B1 (en) TORSION OSCILLATION DAMPING DEVICE
RU160952U1 (en) RESONATOR MICROMECHANICAL ACCELEROMETER