RU2013144890A - Датчик резонаторный - Google Patents

Датчик резонаторный Download PDF

Info

Publication number
RU2013144890A
RU2013144890A RU2013144890/28A RU2013144890A RU2013144890A RU 2013144890 A RU2013144890 A RU 2013144890A RU 2013144890/28 A RU2013144890/28 A RU 2013144890/28A RU 2013144890 A RU2013144890 A RU 2013144890A RU 2013144890 A RU2013144890 A RU 2013144890A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
metallized
base
rods
pendulum suspension
Prior art date
Application number
RU2013144890/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2545324C1 (ru
Inventor
Виталий Никонович Лукьянчук
Дмитрий Валерьевич Акимов
Евгения Юрьевна Профе
Алексей Викторович Андронов
Андрей Викторович Грузинцев
Евгений Алексеевич Осоченко
Александр Иванович Верещагин
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом", Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Priority to RU2013144890/28A priority Critical patent/RU2545324C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2545324C1 publication Critical patent/RU2545324C1/ru
Publication of RU2013144890A publication Critical patent/RU2013144890A/ru

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Abstract

Датчик резонаторный, содержащий основание в виде пластины из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием стержневого резонатора, поверхности которого металлизированы для образования электродной системы, и маятникового подвеса в виде двух стержней, одни концы которых присоединены к чувствительному элементу, а другие концы соединены с основанием, отличающийся тем, что части поверхностей стержней маятникового подвеса металлизированы материалом, плотность которого близка к плотности материала электродной системы стержневого резонатора.

Claims (1)

  1. Датчик резонаторный, содержащий основание в виде пластины из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием стержневого резонатора, поверхности которого металлизированы для образования электродной системы, и маятникового подвеса в виде двух стержней, одни концы которых присоединены к чувствительному элементу, а другие концы соединены с основанием, отличающийся тем, что части поверхностей стержней маятникового подвеса металлизированы материалом, плотность которого близка к плотности материала электродной системы стержневого резонатора.
RU2013144890/28A 2013-10-07 2013-10-07 Датчик резонаторный RU2545324C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013144890/28A RU2545324C1 (ru) 2013-10-07 2013-10-07 Датчик резонаторный

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013144890/28A RU2545324C1 (ru) 2013-10-07 2013-10-07 Датчик резонаторный

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2545324C1 RU2545324C1 (ru) 2015-03-27
RU2013144890A true RU2013144890A (ru) 2015-04-20

Family

ID=53282576

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013144890/28A RU2545324C1 (ru) 2013-10-07 2013-10-07 Датчик резонаторный

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2545324C1 (ru)

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1067445A1 (ru) * 1982-01-27 1984-01-15 Московское Ордена Ленина, Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Высшее Техническое Училище Им. Н.Э.Баумана Компенсационный акселерометр
US5241861A (en) * 1991-02-08 1993-09-07 Sundstrand Corporation Micromachined rate and acceleration sensor
US5948981A (en) * 1996-05-21 1999-09-07 Alliedsignal Inc. Vibrating beam accelerometer
RU2209394C2 (ru) * 2001-08-14 2003-07-27 Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" Микромеханический гироскоп
RU2217767C1 (ru) * 2002-04-01 2003-11-27 Российский Федеральный Ядерный Центр - Всероссийский Научно-Исследовательский Институт Экспериментальной Физики Датчик резонаторный
RU2377575C2 (ru) * 2007-09-04 2009-12-27 Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом" (Госкорпорация "Росатом") Частотный микромеханический акселерометр

Also Published As

Publication number Publication date
RU2545324C1 (ru) 2015-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201591285A1 (ru) Иммунотерапия тау
EA201691214A1 (ru) Антитела к cd33 и иммуноконъюгаты
BR112016000106A2 (pt) anticorpos c1q do fator anti-complemento e usos dos mesmos
CL2013000095S1 (es) Estuche de cuerpo paralelepipedico rectangular de bordes y vertices redondeados configurados por dos porciones unidas atraves de un manto perimetral rebajado curvo concavo que contine un cierre central con dos elementos cilindricos centrados frontales y un elelmento rectangular central en la cara opuesta, las caras superior e inferior tiene demarcaciones lineales paralelas.
EA201991516A1 (ru) Устройства и датчики для аккумулирования энергии и способы их получения и применения
CL2015002470A1 (es) Composición para formar una estructura porosa absorbente
EA201691286A1 (ru) Кондуктометрический датчик и насос, содержащий такой датчик
MX2015015596A (es) Dispositivos informaticos opticos con elementos opticos birrefringentes.
RU2013144890A (ru) Датчик резонаторный
RU2013112810A (ru) Применение суспензии планктонного штамма хлореллы в качестве бад к пище
RU2013112526A (ru) Векторное приемное устройство
RU2013137298A (ru) Стержневой виброгенераторный преобразователь
BR112016007635A2 (pt) inibidores de nsp4 e métodos de uso
RU2013138586A (ru) Устройство магазина огнестрельного оружия
RU2010106912A (ru) Частотный датчик линейных ускорений
EA201600176A1 (ru) Индикатор магнитного поля
RU2013131899A (ru) Весоизмерительное устройство
RU2013154908A (ru) Датчик для широкодиапазонного измерения влажности газов
RU2013123547A (ru) Способ повышения точности твердотельного волнового гироскопа
RU2013146103A (ru) Способ фиксации электрода системы хронической стимуляции спинного мозга
RU2013139718A (ru) Резонатор силочувствительный
RU2012140800A (ru) Ракета
TR201915994A2 (tr) Gece uykudayken deprem uyari alarim kapani
CL2018002006A1 (es) Anticuerpos anti-cd3 y métodos de uso (divisional solicitud 201601556)
IT201700115531U1 (it) Lenti solari con clip e gancio