RU2013101201A - ELECTROLYTE AND METHOD OF ELECTROCHEMICAL DEPOSITION OF IRIDIUM ON GALLIUM ARSENIDE - Google Patents

ELECTROLYTE AND METHOD OF ELECTROCHEMICAL DEPOSITION OF IRIDIUM ON GALLIUM ARSENIDE Download PDF

Info

Publication number
RU2013101201A
RU2013101201A RU2013101201/02A RU2013101201A RU2013101201A RU 2013101201 A RU2013101201 A RU 2013101201A RU 2013101201/02 A RU2013101201/02 A RU 2013101201/02A RU 2013101201 A RU2013101201 A RU 2013101201A RU 2013101201 A RU2013101201 A RU 2013101201A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
iridium
deposition
electrolyte
gallium arsenide
carried out
Prior art date
Application number
RU2013101201/02A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2530963C2 (en
Inventor
Татьяна Петровна Бекезина
Геннадий Михайлович Мокроусов
Владимир Григорьевич Божков
Виктория Андреевна Бурмистрова
Николай Анатольевич Торхов
Антон Владимирович Шмаргунов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ)
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт пролупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП")
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ), Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт пролупроводниковых приборов" (ОАО "НИИПП") filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет" (ТГУ)
Priority to RU2013101201/02A priority Critical patent/RU2530963C2/en
Publication of RU2013101201A publication Critical patent/RU2013101201A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2530963C2 publication Critical patent/RU2530963C2/en

Links

Landscapes

  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)

Abstract

1. Электролит для электрохимического осаждения иридия на арсенид галлия, включающий гексахлориридиевую кислоту H2IrC16, сульфаминовую кислоту NH2SO3H и воду, отличающийся тем, что он содержит сульфаматные комплексы иридия неустановленной структуры, образующиеся в водном растворе, содержащем гексахлориридиевую кислоту в пересчете на иридий 3-6,5 г/л, предпочтительно 4,8-5,0 г/л, сульфаминовую кислоту 30-60 г/л, при термообработке раствора на водяной бане с температурой 100°C в течение 3-4 часов, до перехода исходной окраски раствора в устойчивую оранжево-желтую (лососевую), после чего в раствор добавляют деионизованную воду до исходного содержания иридия.2. Способ электрохимического осаждения иридия на арсенид галлия, отличающийся тем, что осаждение иридия проводят из электролита по п.1.3. Способ по п.2, отличающийся тем, что осаждение иридия на арсенид галлия проводят при температуре 20-65°С, при катодной плотности тока в интервале от 0,1 до 2 А/дм, предпочтительно от 0,3 до 0,5 А/дм, при значении рН электролита в интервале от 0,5 до 0,8.4. Способ по п.2 или 3, отличающийся тем, что осаждение иридия проводят с наложением ультразвукового поля с частотой 18-35 кГц.1. The electrolyte for the electrochemical deposition of iridium on gallium arsenide, including hexachloridiric acid H2IrC16, sulfamic acid NH2SO3H and water, characterized in that it contains sulfamate complexes of iridium of an unspecified structure formed in an aqueous solution containing hexachloridiric acid in terms of 3-6, 5 g / l, preferably 4.8-5.0 g / l, sulfamic acid 30-60 g / l, when the solution is heat treated in a water bath with a temperature of 100 ° C for 3-4 hours, until the initial color of the solution changes to sustainable orange yellow (salmon), after which deionized water is added to the solution to the initial content of iridium. 2. The method of electrochemical deposition of iridium on gallium arsenide, characterized in that the deposition of iridium is carried out from the electrolyte according to claim 1.3. The method according to claim 2, characterized in that the deposition of iridium on gallium arsenide is carried out at a temperature of 20-65 ° C, at a cathodic current density in the range from 0.1 to 2 A / dm, preferably from 0.3 to 0.5 A / dm, with a pH of the electrolyte in the range from 0.5 to 0.8.4. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the deposition of iridium is carried out with the application of an ultrasonic field with a frequency of 18-35 kHz.

Claims (4)

1. Электролит для электрохимического осаждения иридия на арсенид галлия, включающий гексахлориридиевую кислоту H2IrC16, сульфаминовую кислоту NH2SO3H и воду, отличающийся тем, что он содержит сульфаматные комплексы иридия неустановленной структуры, образующиеся в водном растворе, содержащем гексахлориридиевую кислоту в пересчете на иридий 3-6,5 г/л, предпочтительно 4,8-5,0 г/л, сульфаминовую кислоту 30-60 г/л, при термообработке раствора на водяной бане с температурой 100°C в течение 3-4 часов, до перехода исходной окраски раствора в устойчивую оранжево-желтую (лососевую), после чего в раствор добавляют деионизованную воду до исходного содержания иридия.1. The electrolyte for the electrochemical deposition of iridium on gallium arsenide, including hexachloridiric acid H2IrC16, sulfamic acid NH2SO3H and water, characterized in that it contains sulfamate complexes of iridium of an unknown structure formed in an aqueous solution containing hexachloridiric acid in terms of 3-6, 5 g / l, preferably 4.8-5.0 g / l, sulfamic acid 30-60 g / l, by heat treatment of the solution in a water bath with a temperature of 100 ° C for 3-4 hours, until the initial color of the solution changes to sustainable orange yellow (salmon), after which deionized water is added to the solution to the initial iridium content. 2. Способ электрохимического осаждения иридия на арсенид галлия, отличающийся тем, что осаждение иридия проводят из электролита по п.1.2. The method of electrochemical deposition of iridium on gallium arsenide, characterized in that the deposition of iridium is carried out from the electrolyte according to claim 1. 3. Способ по п.2, отличающийся тем, что осаждение иридия на арсенид галлия проводят при температуре 20-65°С, при катодной плотности тока в интервале от 0,1 до 2 А/дм2, предпочтительно от 0,3 до 0,5 А/дм2, при значении рН электролита в интервале от 0,5 до 0,8.3. The method according to claim 2, characterized in that the deposition of iridium on gallium arsenide is carried out at a temperature of 20-65 ° C, at a cathodic current density in the range from 0.1 to 2 A / dm 2 , preferably from 0.3 to 0 , 5 A / dm 2 , with a pH of the electrolyte in the range from 0.5 to 0.8. 4. Способ по п.2 или 3, отличающийся тем, что осаждение иридия проводят с наложением ультразвукового поля с частотой 18-35 кГц. 4. The method according to claim 2 or 3, characterized in that the deposition of iridium is carried out with the application of an ultrasonic field with a frequency of 18-35 kHz.
RU2013101201/02A 2013-01-10 2013-01-10 Electrolyte for electrochemical sedimentation of iridium on gallium arsenide and method of preparing thereof RU2530963C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013101201/02A RU2530963C2 (en) 2013-01-10 2013-01-10 Electrolyte for electrochemical sedimentation of iridium on gallium arsenide and method of preparing thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2013101201/02A RU2530963C2 (en) 2013-01-10 2013-01-10 Electrolyte for electrochemical sedimentation of iridium on gallium arsenide and method of preparing thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2013101201A true RU2013101201A (en) 2014-07-20
RU2530963C2 RU2530963C2 (en) 2014-10-20

Family

ID=51215181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013101201/02A RU2530963C2 (en) 2013-01-10 2013-01-10 Electrolyte for electrochemical sedimentation of iridium on gallium arsenide and method of preparing thereof

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2530963C2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2666180C2 (en) * 2016-01-26 2018-09-06 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" (АО "НИИПП") Method of manufacturing rectifying contacts to gallium arsenide by electrochemical deposition of ruthenium

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2161825B1 (en) * 1971-12-02 1974-05-31 Pechiney Saint Gobain
SU531896A1 (en) * 1974-05-24 1976-10-15 Предприятие П/Я Г-4355 Aqueous iridization electrolyte
RU2383078C1 (en) * 2009-02-27 2010-02-27 Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Центр перспективных технологий" Probe for local anode oxidation of materials

Also Published As

Publication number Publication date
RU2530963C2 (en) 2014-10-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EA201500017A1 (en) ELECTROLYTE SOLUTION AND METHOD OF ELECTROLYTIC POLISHING
RU2013128040A (en) METHOD FOR MODIFICATION OF CARBON NANOMATERIALS
EA201790573A1 (en) ELECTRODIALYSIS UNIT FOR WATER TREATMENT AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
RU2013101201A (en) ELECTROLYTE AND METHOD OF ELECTROCHEMICAL DEPOSITION OF IRIDIUM ON GALLIUM ARSENIDE
RU2013129199A (en) METHOD FOR ELECTROACTIVING AQUEOUS SOLUTIONS OF SODIUM SALTS
RU2015146698A (en) METHOD FOR PREPARING CLEAN ELECTROLYTE CuSO4 FROM MULTICOMPONENT SOLUTIONS AND ITS REGENERATION IN PRODUCTION OF CATHODE COPPER ELECTROLYZES WITH AN INSOLUBLE ANODE
EA201501129A3 (en) ELECTROLYTE SOLUTION AND ELECTROCHEMICAL METHODS OF SURFACE MODIFICATION
RU2015146338A (en) METHOD OF ELECTROLYTE-PLASMA TREATMENT OF PRODUCTS PRODUCED WITH THE APPLICATION OF ADDITIVE TECHNOLOGIES AND DEVICE FOR ITS IMPLEMENTATION
Kolesnikov et al. Studies of kinetic parameters of the zinc sulfate solution in the presence of an electrochemical system lignosulfonate
AR061420A1 (en) METHODS TO PREPARE DERIVATIVES OF GLUTAMIC ACID AND INTERMEDIARIES OF THE SAME
RU2014112684A (en) METHOD FOR PRODUCING COPPER OXIDE (I)
RU2009113876A (en) METHOD FOR ELECTROACTIVING AQUEOUS SOLUTIONS
RU2011140796A (en) METHOD OF MICROARC OXIDATION OF ADDITIVE BARS FROM TITANIUM ALLOY FOR ANTIFRICTION SURFACE
RU2012135014A (en) METHOD OF MODIFICATION OF TITANIUM SURFACE
EA201992519A1 (en) HYDROGEN PRODUCTION METHOD
UA124963U (en) METHOD OF PREPARATION OF NANOPOROUS SILVER FOAM
RU2016102533A (en) METHOD FOR PRODUCING DIRECT CONTACTS FOR GALLIUM ARSENIDE BY ELECTROCHEMICAL DEPOSITION OF RUTHENIUM
UA109909U (en) METHOD OF OBTAINING IRON-COBALT-Tungsten Electrolytic Coatings
RU2009104640A (en) METHOD FOR PRODUCING FERRATE (VI) SOLUTIONS
UA110884U (en) METHOD OF OBTAINING ELECTROLYTIC COATINGS OF IRON-COBALT-MOLYBDEN
RU2013107112A (en) METHOD FOR PRODUCING ELECTROLYTIC METAL POWDERS
RU2011143191A (en) METHOD FOR PRODUCING MOLECULAR HYDROGEN
RU2007110620A (en) METHOD FOR ELECTROLYTIC DEPOSITION OF COBALT
PL419881A1 (en) Method for modification of a top layer of alloy coatings that contain zinc by method of anodic oxidation
RU2014153073A (en) The method of dissolving scale-corrosion deposits

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190111