RU2012130704A - DEVICE FOR APPLYING PHOTO RESIST BY CENTRIFUGING METHOD - Google Patents

DEVICE FOR APPLYING PHOTO RESIST BY CENTRIFUGING METHOD Download PDF

Info

Publication number
RU2012130704A
RU2012130704A RU2012130704/07A RU2012130704A RU2012130704A RU 2012130704 A RU2012130704 A RU 2012130704A RU 2012130704/07 A RU2012130704/07 A RU 2012130704/07A RU 2012130704 A RU2012130704 A RU 2012130704A RU 2012130704 A RU2012130704 A RU 2012130704A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
substrate holder
applying
centrifuge
photoresist
shaft
Prior art date
Application number
RU2012130704/07A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2509390C1 (en
Inventor
Николай Николаевич Нетесин
Галина Петровна Короткова
Геннадий Николаевич Корзенев
Сергей Николаевич Поволоцкий
Маргарита Валерьевна Карпова
Ольга Владимировна Аксенова
Александр Борисович Цыганов
Галина Владимировна Русских
Original Assignee
Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом", Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский Федеральный ядерный центр - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики" - ФГУП "РФЯЦ-ВНИИЭФ" filed Critical Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Priority to RU2012130704/07A priority Critical patent/RU2509390C1/en
Publication of RU2012130704A publication Critical patent/RU2012130704A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2509390C1 publication Critical patent/RU2509390C1/en

Links

Landscapes

  • Centrifugal Separators (AREA)

Abstract

1. Устройство для нанесения фоторезиста методом центрифугирования, содержащее закрепленный на валу центрифуги держатель подложек, отличающееся тем, что держатель подложек выполнен в виде основания и крышки, на внутренних поверхностях которых выполнены сквозные пазы со ступенчатой боковой поверхностью для установки подложек, при этом на периферийных частях держателя подложек установлены ограничительные штифты, а в крышке держателя подложек выполнены заливочные отверстия.2. Устройство для нанесения фоторезиста методом центрифугирования по п.1, отличающееся тем, что держатель подложек установлен в дополнительный защитный корпус с крышкой, который закреплен на валу центрифуги.1. A device for applying a photoresist by centrifugation, comprising a substrate holder fixed to the centrifuge shaft, characterized in that the substrate holder is made in the form of a base and a cover, on the inner surfaces of which are made through grooves with a stepped side surface for mounting the substrates, while on the peripheral parts restriction pins are installed on the substrate holder, and filling holes are made in the substrate holder lid. 2. The device for applying photoresist by centrifugation according to claim 1, characterized in that the substrate holder is installed in an additional protective housing with a lid that is mounted on the shaft of the centrifuge.

Claims (2)

1. Устройство для нанесения фоторезиста методом центрифугирования, содержащее закрепленный на валу центрифуги держатель подложек, отличающееся тем, что держатель подложек выполнен в виде основания и крышки, на внутренних поверхностях которых выполнены сквозные пазы со ступенчатой боковой поверхностью для установки подложек, при этом на периферийных частях держателя подложек установлены ограничительные штифты, а в крышке держателя подложек выполнены заливочные отверстия.1. A device for applying a photoresist by centrifugation, comprising a substrate holder fixed to the centrifuge shaft, characterized in that the substrate holder is made in the form of a base and a cover, on the inner surfaces of which are made through grooves with a stepped side surface for mounting the substrates, while on the peripheral parts restriction pins are installed on the substrate holder, and filling holes are made in the cover of the substrate holder. 2. Устройство для нанесения фоторезиста методом центрифугирования по п.1, отличающееся тем, что держатель подложек установлен в дополнительный защитный корпус с крышкой, который закреплен на валу центрифуги. 2. The device for applying photoresist by centrifugation according to claim 1, characterized in that the substrate holder is installed in an additional protective housing with a cover that is mounted on the shaft of the centrifuge.
RU2012130704/07A 2012-07-18 2012-07-18 Device for photoresist coating by centrifuging RU2509390C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012130704/07A RU2509390C1 (en) 2012-07-18 2012-07-18 Device for photoresist coating by centrifuging

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2012130704/07A RU2509390C1 (en) 2012-07-18 2012-07-18 Device for photoresist coating by centrifuging

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012130704A true RU2012130704A (en) 2014-01-27
RU2509390C1 RU2509390C1 (en) 2014-03-10

Family

ID=49956859

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012130704/07A RU2509390C1 (en) 2012-07-18 2012-07-18 Device for photoresist coating by centrifuging

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2509390C1 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2761134C2 (en) * 2020-05-26 2021-12-06 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения" (ОАО "НИИПМ") Device for applying photoresist to semiconductor wafers

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57130570A (en) * 1981-02-04 1982-08-13 Hitachi Ltd Spinner coating method and apparatus
SU1035844A1 (en) * 1981-11-27 1983-08-15 Предприятие П/Я А-1067 Apparatus for applying photoresist on substrates
JPS63301520A (en) * 1987-05-30 1988-12-08 Nec Corp Photoresist coating device
SU1674644A1 (en) * 1988-09-30 1995-10-27 А.И. Чиркунов Device for application of film coat on substrate
RU2012093C1 (en) * 1992-03-26 1994-04-30 Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" Device for application of photoresist by rotation
JPH1025536A (en) * 1996-07-11 1998-01-27 Sumitomo Metal Ind Ltd Steel material excellent in toughness in heat affected zone, and its production
RU21481U1 (en) * 2001-10-03 2002-01-20 Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа" DEVICE FOR APPLYING A PHOTO RESIST ON A PLATE
RU2278443C2 (en) * 2004-07-14 2006-06-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Воронежская государственная технологическая академия" Device for wafer coating by centrifuging

Also Published As

Publication number Publication date
RU2509390C1 (en) 2014-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWD170183S (en) Dashboard vent mount for an electronic device
PE20150663A1 (en) RESELLABLE BOXES
PH12015501548A1 (en) Bet sensors, gaming tables with one or more bet sensors, and related methods
AR091336A1 (en) METHODS AND DEVICES FOR OPTICALLY DETERMINING A FEATURE OF A SUBSTANCE
RU2014126379A (en) DEVICE - LIGHT SOURCE OF ELECTRIC LIGHT BULB TYPE
TWD164826S (en) Wafer edge sealing ring part
BR112012023061A8 (en) COVER FOR ATTACHMENT TO AN ELECTRONIC DEVICE, AND, ELECTRONIC DEVICE
WO2014018718A3 (en) Housing and method to control solder creep on housing
TR201909131T4 (en) Portable cleanroom printing cabinet.
RU2015121230A (en) SYSTEMS AND METHODS OF BIOLOGICAL ANALYSIS
TWM433640U (en) Package structure of semiconductor light emitting device
BR112015002306A2 (en) device, system, and method for mounting a device
GB2474144A (en) Leakage current dissipation devices
RU2012130704A (en) DEVICE FOR APPLYING PHOTO RESIST BY CENTRIFUGING METHOD
JP2013190624A5 (en)
RU2012137221A (en) DIFFERENTIAL CARTER AND METHOD OF ITS PROCESSING
BR112016004138A2 (en) A manufacturing method of a surface detecting device, and a surface detecting device
JP2017091959A5 (en)
JP2015191896A5 (en)
FR3010615B1 (en) APPARATUS FOR REALIZING THE POSITIONING OF SHIMS ON CYCLING SHOES
WO2013056916A3 (en) Pad for a lighting device
ATE402511T1 (en) HOUSING OF AN ELECTRICAL DEVICE WITH ADJUSTABLE DEPTH
JP2016505895A5 (en)
JP2013222772A5 (en)
JP2016534545A5 (en)