RU2008128297A - METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE Download PDF

Info

Publication number
RU2008128297A
RU2008128297A RU2008128297/15A RU2008128297A RU2008128297A RU 2008128297 A RU2008128297 A RU 2008128297A RU 2008128297/15 A RU2008128297/15 A RU 2008128297/15A RU 2008128297 A RU2008128297 A RU 2008128297A RU 2008128297 A RU2008128297 A RU 2008128297A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
distillation
stage
separation
silicon
condensate
Prior art date
Application number
RU2008128297/15A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2394762C2 (en
Inventor
Федор Павлович Соколов (RU)
Федор Павлович Соколов
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "Институт по проектированию производств органического синтеза" (RU)
Общество с ограниченной ответственностью "Институт по проектированию производств органического синтеза"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "Институт по проектированию производств органического синтеза" (RU), Общество с ограниченной ответственностью "Институт по проектированию производств органического синтеза" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "Институт по проектированию производств органического синтеза" (RU)
Priority to RU2008128297/15A priority Critical patent/RU2394762C2/en
Publication of RU2008128297A publication Critical patent/RU2008128297A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2394762C2 publication Critical patent/RU2394762C2/en

Links

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

1. Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного технического кремния хлористым водородом при повышенном давлении в реакторе с кипящим слоем, последующую сепарацию твердых частиц кремния, конденсацию парогазовой смеси с отделением водорода и хлористого водорода и получение конденсата, содержащего хлорсиланы, выделение трихлорсилана из полученного конденсата методами ректификации и «реакционной» ректификации в присутствии увлажненного газа, инертного к хлорсиланам, и переработку отходов производства, отличающийся тем, что гидрохлорированию подвергают фракцию технического кремния, содержащую, по крайней мере, 90% частиц с размером от 90 до 450 мкм и разницей в размерах, не превышающих величины 250 мкм, при этом весь жидкий конденсат, образующийся на стадии гидрохлорирования, на первом этапе выделения подвергают двухступенчатой очистке от борсодержащих примесей с помощью «реакционной» ректификации и адсорбции путем пропускания паров хлорсиланов через слой борселективных ионообменных смол, а отходы, образующиеся на всех стадиях процесса и содержащие кремний и его соединения, подвергают термогидролизу в водородном пламени. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед проведением адсорбции конденсат, полученный на стадии «реакционной» ректификации, выдерживают в течение 48-72 ч.1. A method of producing trichlorosilane, including the hydrochlorination of powdered industrial silicon with hydrogen chloride at elevated pressure in a fluidized bed reactor, subsequent separation of silicon solid particles, condensation of a gas-vapor mixture with the separation of hydrogen and hydrogen chloride, and production of condensate containing chlorosilanes, separation of trichlorosilane from the obtained condensate by methods distillation and "reaction" distillation in the presence of humidified gas inert to chlorosilanes, and processing waste products, characterized in that the technical silicon fraction is subjected to hydrochlorination, containing at least 90% of particles with a size of from 90 to 450 microns and a difference in size not exceeding 250 microns, with all the liquid condensate formed in the hydrochlorination stage at the first the separation stage is subjected to two-stage purification from boron-containing impurities by means of “reactive” distillation and adsorption by passing chlorosilane vapors through a layer of boron-selective ion-exchange resins, and waste generated at all stages of the process and with silicon-containing and its compounds are thermo-hydrolyzed in a hydrogen flame. ! 2. The method according to claim 1, characterized in that before the adsorption, the condensate obtained at the stage of "reactive" distillation is kept for 48-72 hours.

Claims (2)

1. Способ получения трихлорсилана, включающий гидрохлорирование измельченного технического кремния хлористым водородом при повышенном давлении в реакторе с кипящим слоем, последующую сепарацию твердых частиц кремния, конденсацию парогазовой смеси с отделением водорода и хлористого водорода и получение конденсата, содержащего хлорсиланы, выделение трихлорсилана из полученного конденсата методами ректификации и «реакционной» ректификации в присутствии увлажненного газа, инертного к хлорсиланам, и переработку отходов производства, отличающийся тем, что гидрохлорированию подвергают фракцию технического кремния, содержащую, по крайней мере, 90% частиц с размером от 90 до 450 мкм и разницей в размерах, не превышающих величины 250 мкм, при этом весь жидкий конденсат, образующийся на стадии гидрохлорирования, на первом этапе выделения подвергают двухступенчатой очистке от борсодержащих примесей с помощью «реакционной» ректификации и адсорбции путем пропускания паров хлорсиланов через слой борселективных ионообменных смол, а отходы, образующиеся на всех стадиях процесса и содержащие кремний и его соединения, подвергают термогидролизу в водородном пламени.1. A method of producing trichlorosilane, including the hydrochlorination of powdered industrial silicon with hydrogen chloride at elevated pressure in a fluidized bed reactor, subsequent separation of silicon solid particles, condensation of a gas-vapor mixture with the separation of hydrogen and hydrogen chloride, and production of condensate containing chlorosilanes, separation of trichlorosilane from the obtained condensate by methods distillation and "reaction" distillation in the presence of humidified gas inert to chlorosilanes, and processing waste products, characterized in that the technical silicon fraction is subjected to hydrochlorination, containing at least 90% of particles with a size of from 90 to 450 microns and a difference in size not exceeding 250 microns, with all the liquid condensate formed in the hydrochlorination stage at the first the separation stage is subjected to two-stage purification from boron-containing impurities by means of “reactive” distillation and adsorption by passing chlorosilane vapors through a layer of boron-selective ion-exchange resins, and waste generated at all stages of the process and with silicon-containing and its compounds are thermo-hydrolyzed in a hydrogen flame. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что перед проведением адсорбции конденсат, полученный на стадии «реакционной» ректификации, выдерживают в течение 48-72 ч. 2. The method according to claim 1, characterized in that before the adsorption, the condensate obtained at the stage of "reactive" distillation is kept for 48-72 hours.
RU2008128297/15A 2008-07-14 2008-07-14 Method of producing trichlorosilane RU2394762C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008128297/15A RU2394762C2 (en) 2008-07-14 2008-07-14 Method of producing trichlorosilane

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2008128297/15A RU2394762C2 (en) 2008-07-14 2008-07-14 Method of producing trichlorosilane

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008128297A true RU2008128297A (en) 2010-01-20
RU2394762C2 RU2394762C2 (en) 2010-07-20

Family

ID=42120295

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008128297/15A RU2394762C2 (en) 2008-07-14 2008-07-14 Method of producing trichlorosilane

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2394762C2 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108069428A (en) * 2016-11-18 2018-05-25 江苏中能硅业科技发展有限公司 For handling the device and technique of polysilicon by-product slurry
WO2019201439A1 (en) 2018-04-18 2019-10-24 Wacker Chemie Ag Method for producing chlorosilanes
CN113716570A (en) * 2021-09-30 2021-11-30 四川永祥多晶硅有限公司 Method for improving quality of trichlorosilane

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5886234B2 (en) * 2013-04-11 2016-03-16 信越化学工業株式会社 Silane compound or chlorosilane compound purification method, polycrystalline silicon production method, and weakly basic ion exchange resin regeneration treatment method

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108069428A (en) * 2016-11-18 2018-05-25 江苏中能硅业科技发展有限公司 For handling the device and technique of polysilicon by-product slurry
CN108069428B (en) * 2016-11-18 2023-10-10 江苏中能硅业科技发展有限公司 Device and process for treating polysilicon byproduct slag slurry
WO2019201439A1 (en) 2018-04-18 2019-10-24 Wacker Chemie Ag Method for producing chlorosilanes
US11845667B2 (en) 2018-04-18 2023-12-19 Wacker Chemie Ag Method for producing chlorosilanes
CN113716570A (en) * 2021-09-30 2021-11-30 四川永祥多晶硅有限公司 Method for improving quality of trichlorosilane
CN113716570B (en) * 2021-09-30 2023-08-01 四川永祥多晶硅有限公司 Method for improving quality of trichlorosilane

Also Published As

Publication number Publication date
RU2394762C2 (en) 2010-07-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2503616C2 (en) Method and system for obtaining pure silicon
JP5879283B2 (en) Method for producing trichlorosilane
JP5122700B1 (en) Monosilane purification method
US20070098612A1 (en) Set of processes for removing impurities from a silcon production facility
JP5337749B2 (en) Method for producing trichlorosilane
CA2764171C (en) Process for purifying chlorosilanes by distillation
AU2011322027A1 (en) Method for purifying chlorosilanes
JP2011516376A5 (en)
WO2015059919A1 (en) Method for manufacturing polycrystalline silicon
RU2008128297A (en) METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE
RU2010133877A (en) DEVICE AND METHOD FOR REDUCING THE CONTENT OF ELEMENTS OF BORON TYPE IN HALOGENESILANES
JP5317707B2 (en) Recycling method of high-boiling compounds in chlorosilane integrated plant
CN110642229B (en) Mixed analytic purification process and mixed analytic purification device for siloxane-containing hydrochloric acid and organic sulfuric acid
JP2012096984A (en) Apparatus and method for producing purified hydrogen gas by pressure swing adsorption process
TWI568673B (en) Purification of trichlorosilane
JP2008143775A (en) Hydrogen separation/collection method and hydrogen separation/collection facility
JP6095613B2 (en) Purification method of chlorosilane
CN108862282A (en) The preparation method of disilane
JP2006176357A (en) Method for producing hexachlorodisilane
JP2009269815A5 (en)
JP6743326B1 (en) Method for producing purified chlorosilanes
JP7304443B2 (en) Process for reacting at least one partially hydrogenated chlorodisilane with a solid non-functional adsorbent to obtain hexachlorodisilane
RU2004136121A (en) METHOD FOR PRODUCING TRICHLOROSILANE
JP4437733B2 (en) Method for purifying trimethylsilane
RU2008107222A (en) METHOD FOR PRODUCING CHLOROSILANES, METHOD FOR CHLORINATION OF SILICON CONTAINING SILICON DIOXIDE, AND METHOD FOR CONVERSION OF TETRACHLOROSILANE TO TRICHLOROSILAN

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160715