RU2006134594A

RU2006134594A - METHOD FOR TRANSPORTING LONG-DIMENSIONAL OBJECTS THROUGH A VACUUM CAMERA

Info

Publication number: RU2006134594A
Application number: RU2006134594/02A
Authority: RU
Inventors: Елена Евгеньевна Никитина (RU); Елена Евгеньевна Никитина; Андрей Евгеньевич Сенокосов (RU); Андрей Евгеньевич Сенокосов; Евгений Степанович Сенокосов (RU); Евгений Степанович Сенокосов
Original assignee: Елена Евгеньевна Никитина (RU); Елена Евгеньевна Никитина; Андрей Евгеньевич Сенокосов (RU); Андрей Евгеньевич Сенокосов; Евгений Степанович Сенокосов (RU); Евгений Степанович Сенокосов
Priority date: 2006-09-21
Filing date: 2006-09-21
Publication date: 2008-04-10
Also published as: RU2343030C2

Abstract

1. Способ транспортировки длинномерных объектов через вакуумную камеру с размещенными в ней устройствами для обработки этих объектов, включающий их ввод и вывод из камеры через герметизирующие узлы с использованием в них эластичных герметизирующих материалов, которые подают в гермоузлы по мере их износа, а отходы этого материала удаляют из гермоузлов, с длинномерных объектов и вакуумных камер, отличающийся тем, что на движущийся длинномерный объект вдоль направления его движения накладывают механические колебания.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в процессе транспортировки длинномерных объектов через гермоузлы вакуумной камеры на гермоузлы накладывают механические колебания вдоль направления движения длинномерного объекта.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в процессе транспортировки длинномерных объектов через вакуумную камеру на длинномерный объект и на гермоузлы порознь накладывают механические колебания вдоль направления движения длинномерного объекта.1. A method of transporting lengthy objects through a vacuum chamber with devices for processing these objects located in it, including their input and output from the chamber through the sealing units using elastic sealing materials in them, which are fed into the containment units as they wear, and the waste of this material removed from the pressurized nodes, from long objects and vacuum chambers, characterized in that mechanical vibrations are imposed on the moving long object along the direction of its movement. 2. The method according to claim 1, characterized in that in the process of transporting long objects through the pressurized nodes of the vacuum chamber, mechanical oscillations are imposed on the pressurized nodes along the direction of movement of the long object. The method according to claim 1, characterized in that during the transportation of long objects through a vacuum chamber on a long object and on the hermetic nodes separately impose mechanical vibrations along the direction of movement of the long object.

Claims

1. A method of transporting lengthy objects through a vacuum chamber with devices for processing these objects located in it, including their input and output from the chamber through the sealing units using elastic sealing materials in them, which are fed into the containment units as they wear, and the waste of this material removed from the pressurized nodes, from long objects and vacuum chambers, characterized in that mechanical vibrations are imposed on the moving long object along the direction of its movement.

2. The method according to claim 1, characterized in that in the process of transporting long objects through the pressurized nodes of the vacuum chamber, mechanical oscillations are imposed on the pressurized nodes along the direction of movement of the long object.

3. The method according to claim 1, characterized in that during the transportation of long objects through a vacuum chamber on a long object and on the hermetic nodes separately impose mechanical vibrations along the direction of movement of the long object.