Claims (7)
1. Интегрально-оптический модуль, содержащий корпус, в котором на вязкоупругом компаунде посредством промежуточной подложки установлен интегрально-оптический элемент в виде пластинки со скосами по торцам, выполненной, например, из материала LiNbO3, с сформированными в ней по продольной оси оптическими волноводами, состыкованными по торцам с волоконными световодами в державках, а также снабженной поверхностными электродами вдоль волноводов, отличающийся тем, что корпус выполнен в форме коробки с гермовыводами и отверстиями в торцевых стенках, интегрально-оптический элемент размещен на донной части коробки корпуса, а его волоконные световоды выведены через отверстия в переходных втулках, зафиксированных в отверстиях на торцевых стенках корпуса, зазоры между отверстиями в корпусе и втулками, а также между втулками и световодами заполнены соответственно компаундами с отверждением при нагреве и без нагрева, при этом на участках световодов между торцами корпуса и интегрально-оптического элемента образованы изгибы, компенсирующие температурные подвижки, гермовыводы электрически связаны с электродами на пластинке интегрально-оптического элемента, внутренняя полость корпуса заполнена инертной средой и закрыта крышкой.1. An integrated optical module comprising a housing in which an integrated optical element in the form of a plate with bevels at the ends made of, for example, LiNbO 3 material with optical waveguides formed in it along the longitudinal axis is mounted on a viscoelastic compound through an intermediate substrate, joined at the ends with fiber optic fibers in the holders, as well as provided with surface electrodes along the waveguides, characterized in that the housing is made in the form of a box with hermetic leads and holes in the end walls nk, the integrated-optical element is placed on the bottom of the housing box, and its fiber optical fibers are led out through holes in the adapter sleeves fixed in the holes on the housing end walls, the gaps between the holes in the housing and the bushings, and also between the bushings and the optical fibers are filled with compounds with curing during heating and without heating, while bends are formed on the sections of the optical fibers between the ends of the housing and the integrated optical element, compensating for temperature shifts, They are connected with the electrodes on the plate of the integrated optical element, the internal cavity of the housing is filled with an inert medium and closed with a lid.
2. Интегрально-оптический модуль по п.1, отличающийся тем, что переходные втулки с волоконными световодами установлены V-образно к продольной оси корпуса.2. The integrated optical module according to claim 1, characterized in that the adapter sleeves with fiber optic fibers are mounted V-shaped to the longitudinal axis of the housing.
3. Интегрально-оптический модуль по п.2, отличающийся тем, что торцевые скосы под волоконные световоды на пластинке интегрально-оптического элемента выполнены V-образно относительно оси оптических волноводов.3. The integrated optical module according to claim 2, characterized in that the end bevels for the optical fibers on the plate of the integrated optical element are made V-shaped relative to the axis of the optical waveguides.
4. Интегрально-оптический модуль по п.1, отличающийся тем, что в качестве среды для заполнения использован инертный газ, например, гелий с точкой росы не выше нижнего предела рабочей температуры.4. The integrated optical module according to claim 1, characterized in that an inert gas, for example, helium with a dew point not higher than the lower working temperature limit, is used as the filling medium.
5. Интегрально-оптический модуль по п.1, отличающийся тем, что в качестве среды для заполнения использован вязкоупругий полимер, например компаунд СИЭЛ.5. The integrated optical module according to claim 1, characterized in that a viscoelastic polymer, for example, SIEL compound, is used as a filling medium.
6. Способ изготовления интегрально-оптического модуля по п.1, включающий установку в корпусе промежуточной подложки и интегрально-оптического элемента на ней на вязкоупругом компаунде, отличающийся тем, что интегрально-оптический элемент вводится во внутреннюю полость корпуса через отверстие в его торцевой стенке, световоды пропускаются в отверстия в корпусе и переходных втулках, зазоры между переходными втулками и световодами заполняются компаундом с отверждением без нагрева, зазоры между переходными втулками и отверстиями в корпусе заполняются компаундом с отверждением при нагреве, между торцами переходных втулок и корпуса выставляют зазоры равные величине температурных подвижек материалов интегрально-оптического элемента и корпуса, в этом положении полимеризуют компаунд с отверждением без нагрева, смещают втулки до упора в корпус и в этом положении полимеризуют компаунд с отверждением при нагреве, внутреннюю полость корпуса заполняют инертной средой и закрывают крышкой.6. The method of manufacturing the integrated optical module according to claim 1, comprising installing an intermediate substrate in the housing and an integrated optical element on it on a viscoelastic compound, characterized in that the integrated optical element is introduced into the internal cavity of the housing through an opening in its end wall, optical fibers are passed into the holes in the housing and adapter sleeves, the gaps between the adapter sleeves and optical fibers are filled with a cured compound without heating, the gaps between the adapter sleeves and holes in the housing they are filled with a compound with curing during heating, between the ends of the adapter sleeves and the case, gaps equal to the temperature movements of the materials of the integrated optical element and the case are set, in this position the compound with curing without heating is polymerized, the bushings are displaced to the stop in the case and in this position the compound is polymerized with curing by heating, the internal cavity of the body is filled with an inert medium and closed with a lid.
7. Способ изготовления интегрально-оптического модуля по п.6, отличающийся тем, что зазоры между торцами переходных втулок и корпуса устанавливается посредством съёмных дистанционных прокладок по толщине равных величине температурных подвижек.7. A method of manufacturing an integrated optical module according to claim 6, characterized in that the gaps between the ends of the adapter sleeves and the housing are set by means of removable distance gaskets in thickness equal to the magnitude of the temperature shifts.