Claims (9)
1. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления, содержащий корпус с рабочей камерой, помещенный в камеру сенсор и гермоввод, причем сенсор состоит из нескольких жестко скрепленных друг с другом кварцекристаллических деталей, а в полость сенсора помещен тензочувствительный пьезорезонатор, края которого жестко соединены со стенками полости, отличающийся тем, что сенсор сформирован в виде пакета пластин, жестко соединенных по периферии больших граней, полость образована углублениями в соединяемых гранях пластин, пьезорезонатор сформирован посредством сквозных отверстий во внутренней пластине пакета и имеет форму двух одинаковых стержней, параллельных друг другу и соединяемым граням, причем концы стержней объединены общей периферией и жестко соединены с внешними пластинами пакета.1. A piezoresonant pressure transducer comprising a housing with a working chamber, a sensor and a pressure seal placed in the chamber, the sensor consisting of several quartz-crystalline parts rigidly fastened to each other, and a strain-sensitive piezoresonator whose edges are rigidly connected to the walls of the cavity, which differs, is placed in the sensor cavity the sensor is formed in the form of a package of plates rigidly connected along the periphery of large faces, the cavity is formed by recesses in the connected faces of the plates, piezoreson the torus is formed by through holes in the inner plate of the bag and has the shape of two identical rods parallel to each other and connected faces, the ends of the rods being united by a common periphery and rigidly connected to the outer plates of the bag.
2. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по п.1, отличающийся тем, что длина L полости направлена вдоль оси стержней, ширина полости А и ширина сенсора В параллельны плоскости соединяемых граней и перпендикулярны оси стержней, высота полости Н перпендикулярна соединяемым граням, причем между этими параметрами соблюдаются следующие соотношения:2. The piezoresonant pressure transducer according to claim 1, characterized in that the cavity length L is directed along the axis of the rods, the cavity width A and the sensor width B are parallel to the planes of the connected faces and perpendicular to the axis of the rods, the cavity height H is perpendicular to the connected faces, between these parameters the following ratios are observed:
L≥2А, Н≤А, 2Н≤В-А.L≥2A, H≤A, 2H≤B-A.
3. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что соседние внешние грани пакета, параллельные осям стержней, составляют друг с другом углы 90° или более.3. A piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that the adjacent outer faces of the packet parallel to the axes of the rods make angles of 90 ° or more with each other.
4. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что поверхности сенсора придана, по крайней мере, частично форма цилиндра, с осью параллельной осям стержней.4. A piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that the surface of the sensor is at least partially given the shape of a cylinder with an axis parallel to the axes of the rods.
5. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что края внутренней пластины не выходят на внешнюю поверхность сенсора.5. A piezoresonant pressure transmitter according to claims 1 and 2, characterized in that the edges of the inner plate do not extend onto the outer surface of the sensor.
6. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что края внутренней пластины выходят на внешнюю поверхность сенсора.6. The piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that the edges of the inner plate extend onto the outer surface of the sensor.
7. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что на соединяемых гранях пластин пакета образованы углубления и выступы, углубления заполнены соединяющим материалом, например, клеем или стеклом, а выступы соединяемых пластин расположены против друг друга и входят в соприкосновение без зазора.7. The piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that recesses and protrusions are formed on the connected faces of the package plates, the recesses are filled with connecting material, for example, glue or glass, and the protrusions of the connected plates are opposed to each other and come into contact no clearance.
8. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что соотношение площадей поперечного сечения сенсора и полости выбрана из условия работы резонатора вблизи состояния потери статической устойчивости стержней.8. A piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that the ratio of the cross-sectional areas of the sensor and the cavity is selected from the operating condition of the resonator near the state of loss of static stability of the rods.
9. Пьезорезонансный измерительный преобразователь давления по пп.1 и 2, отличающийся тем, что преобразователь снабжен выполненным из упругого материала стаканом с крышкой, гермоввод имеет выступ, входящий в камеру датчика, сенсор помещен в стакан с зазором между поверхностью сенсора и поверхностью стакана, причем стакан плотно посажен на выступ гермоввода и без зазора с ее стенками введен в камеру датчика, а в стенках, и/или дне, и/или крышке стакана выполнены сквозные отверстия.9. The piezoresonant pressure transducer according to claims 1 and 2, characterized in that the transducer is equipped with a canister made of elastic material with a lid, a pressure seal has a protrusion entering the sensor chamber, the sensor is placed in the glass with a gap between the surface of the sensor and the surface of the glass, the glass is tightly seated on the ledge of the pressure seal and without a gap with its walls is inserted into the sensor chamber, and through holes are made in the walls, and / or the bottom, and / or the glass cover.