RU2004101974A -
MOSAIC TARGET FOR ION-PLASMA APPLICATION OF MULTI-COMPONENT FILM COATINGS AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
- Google Patents
MOSAIC TARGET FOR ION-PLASMA APPLICATION OF MULTI-COMPONENT FILM COATINGS AND METHOD FOR ITS MANUFACTURE
Download PDF
Info
Publication number
RU2004101974A
RU2004101974ARU2004101974/02ARU2004101974ARU2004101974ARU 2004101974 ARU2004101974 ARU 2004101974ARU 2004101974/02 ARU2004101974/02 ARU 2004101974/02ARU 2004101974 ARU2004101974 ARU 2004101974ARU 2004101974 ARU2004101974 ARU 2004101974A
Марийский государственный технический университет (RU)
Марийский государственный технический университет
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Марийский государственный технический университет (RU), Марийский государственный технический университетfiledCriticalМарийский государственный технический университет (RU)
Priority to RU2004101974/02ApriorityCriticalpatent/RU2261496C1/en
Publication of RU2004101974ApublicationCriticalpatent/RU2004101974A/en
Application grantedgrantedCritical
Publication of RU2261496C1publicationCriticalpatent/RU2261496C1/en
1. Мозаичная мишень для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, состоящая из матрицы, установленной на охлаждаемом основании, в которой находятся элементы для распыления, отличающаяся тем, что матрица одновременно является верхней частью охлаждаемого основания, в углублении которой находятся элементы, представляющие собой порошки, гранулометрический состав порошков зависит от свойств элементов, в соответствии с формулой:1. Mosaic target for ion-plasma deposition of multicomponent film coatings, consisting of a matrix mounted on a cooled base, in which there are elements for spraying, characterized in that the matrix is simultaneously the upper part of the cooled base, in the recess of which there are elements representing powders , the particle size distribution of the powders depends on the properties of the elements, in accordance with the formula:
где k - коэффициент, учитывающий форму частиц;where k is a coefficient taking into account the shape of the particles;Sу - удельная поверхность порошка;S y is the specific surface of the powder;d - средний размер диаметра эквивалентной сферы частиц;d is the average diameter of the equivalent sphere of particles;Ма - атомная масса элемента;M a is the atomic mass of an element;Мu - атомная масса ионов газа;M u is the atomic mass of gas ions;Еc - энергия сублимации элемента;E c is the sublimation energy of the element;α - безразмерный параметр, зависящий от Мa/Мu,α is a dimensionless parameter depending on M a / M u ,причем эти элементы плавно переходят друг в друга на границах их соприкосновения, обеспечивая снижение линейной неравномерности их распределения по поверхности мишени в соответствии с формулой:moreover, these elements smoothly pass into each other at the boundaries of their contact, providing a decrease in the linear unevenness of their distribution over the target surface in accordance with the formula:
где h - ширина ячейки элемента мишени;where h is the cell width of the target element;с - ширина переходной зоны;c is the width of the transition zone;х - линейная неравномерность распределения компонентов.x - linear uneven distribution of components.2. Способ изготовления мозаичной мишени для ионно-плазменного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, включающий изготовление матрицы, элементов мишени и охлаждаемого основания, сборку элементов мишени и установку ее на основании, отличающийся тем, что матрицу изготавливают в виде верхней части охлаждаемого основания, элементы мишени изготавливают в виде порошков с гранулометрическим составом согласно п.1, а их сборку выполняют последовательным или одновременным насыпанием в углубление матрицы, используя при этом приспособление, выполненное в виде сквозной решетки с плотно входящим в это углубление контуром, которое после засыпки удаляют, причем приспособление обеспечивает снижение линейной неравномерности распределения составляющих компонентов по поверхности мишени согласно п.1, а сборку элементов мишени проводят на охлаждаемом основании.2. A method of manufacturing a mosaic target for ion-plasma deposition of multicomponent film coatings, comprising manufacturing a matrix, target elements and a cooled base, assembling the target elements and installing it on the base, characterized in that the matrix is made in the form of the upper part of the cooled base, the target elements are made in the form of powders with a particle size distribution according to claim 1, and their assembly is performed by sequential or simultaneous pouring into the recess of the matrix using this device a structure made in the form of a through lattice with a contour tightly entering this recess, which is removed after filling, and the device reduces linear uneven distribution of component components over the target surface according to claim 1, and the assembly of the target elements is carried out on a cooled base.
RU2004101974/02A2004-01-222004-01-22Mosaic target for ion-plasma application of multicomponent film coatings and its manufacturing process
RU2261496C1
(en)
