Claims (38)
1. Устройство (100; 400; 500) для пропуска текучей среды, содержащее перекрытую покровной пластиной (20) стопу (30), содержащую несущую пластину (36), слой (34) изолирующего материала, покрывающий, по меньшей мере, часть указанной несущей пластины (36), и слой (32) монокристаллического или поликристаллического кремния, покрывающий слой (34) изолирующего материала и перекрытый указанной покровной пластиной (20), причем в указанной покровной пластине (20) и/или в указанном слое (32) кремния сформирована полость (38), предназначенная для заполнения ее жидкостью, указанная несущая пластина (36) снабжена, по меньшей мере, одним каналом (102; 412; 412’), проходящим через нее насквозь, указанный слой (34) изолирующего материала выполнен из оксида кремния и имеет, по меньшей мере, одну освобожденную от материала зону, расположенную соосно с указанным каналом (102; 412; 412’) и определяющую, в сочетании с указанной полостью (38), подвижный элемент (40) в указанном слое (32) кремния, способный реагировать на давление жидкости в указанной полости (38) путем обратимого смещения к указанной несущей пластине (36).1. A device (100; 400; 500) for passing a fluid containing a foot (30) blocked by a cover plate (20), comprising a carrier plate (36), an insulating material layer (34) covering at least a portion of said carrier wafers (36), and a single crystal or polycrystalline silicon layer (32) covering the insulating material layer (34) and covered by said cover plate (20), wherein in said cover plate (20) and / or in said silicon layer (32) formed cavity (38), designed to fill it with liquid, decree the carrier plate (36) is provided with at least one channel (102; 412; 412 ') passing through it, the specified layer (34) of insulating material is made of silicon oxide and has at least one freed from the material the zone located coaxially with the specified channel (102; 412; 412 ') and defining, in combination with the specified cavity (38), the movable element (40) in the specified layer (32) of silicon, capable of responding to fluid pressure in the specified cavity (38 ) by reversible displacement to the specified carrier plate (36).
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что указанный подвижный элемент (40) выполнен с возможностью обратимого смещения к указанной несущей пластине (36) до образования контакта между указанным подвижным элементом (40) и указанной несущей пластиной (36).2. The device according to claim 1, characterized in that said movable element (40) is configured to be reversibly biased to said carrier plate (36) until a contact is formed between said movable element (40) and said carrier plate (36).
3. Устройство по п.1 или 2, отличающееся тем, что указанная покровная пластина (20) выполнена из стекла.3. The device according to claim 1 or 2, characterized in that the said cover plate (20) is made of glass.
4. Устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что указанная несущая пластина (36) выполнена из кремния, кварца или сапфира.4. The device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that said carrier plate (36) is made of silicon, quartz or sapphire.
5. Устройство по любому из пп.1-4, отличающееся тем, что толщина указанной несущей пластины (36) выбрана в интервале 50 мкм - 1 мм.5. The device according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the thickness of the specified carrier plate (36) is selected in the range of 50 μm - 1 mm
6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что толщина указанной несущей пластины (36) выбрана в интервале 300-500 мкм.6. The device according to claim 5, characterized in that the thickness of the specified carrier plate (36) is selected in the range of 300-500 microns.
7. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что толщина указанного слоя (34) изолирующего материала выбрана в интервале 100 нм - 2 мкм.7. The device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the thickness of the specified layer (34) of insulating material is selected in the range of 100 nm - 2 μm.
8. Устройство по п.7, отличающееся тем, что толщина указанного слоя (34) изолирующего материала выбрана в интервале 0,5-1 мкм.8. The device according to claim 7, characterized in that the thickness of the specified layer (34) of insulating material is selected in the range of 0.5-1 microns.
9. Устройство по любому из предыдущих пунктов, отличающееся тем, что толщина указанного слоя (32) кремния выбрана в интервале 1-100 мкм.9. A device according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the thickness of said silicon layer (32) is selected in the range of 1-100 μm.
10. Устройство по п.9, отличающееся тем, что толщина указанного слоя (32) кремния выбрана в интервале 10-50 мкм.10. The device according to claim 9, characterized in that the thickness of the specified layer (32) of silicon is selected in the range of 10-50 microns.
11. Способ изготовления устройства для пропуска текучей среды, заявленного в любом из предыдущих пунктов, характеризующийся тем, что предусматривает следующие этапы: обеспечивают получение стопы (30), содержащей несущую пластину (36), предпочтительно кремниевую, слой (34) изолирующего материала, покрывающий, по меньшей мере, часть указанной несущей пластины (36), и слой (32) монокристаллического или поликристаллического кремния, покрывающий слой (34) изолирующего материала и имеющий открытую поверхность; обработкой методом фотолитографии и химического травления формируют полость (38) в указанной покровной пластине (20) и/или в открытой поверхности слоя (32)кремния; обработкой методом фотолитографии и химического травления формируют, по меньшей мере, один канал (102; 412; 412’), проходящий насквозь через несущую пластину (36); производят химическое травление указанного слоя (34) изолирующего материала, по меньшей мере, через указанный канал (102; 412; 412’) с отделением зоны указанного слоя (32) кремния от указанного слоя (34) изолирующего материала и с формированием тем самым подвижного элемента (40); обеспечивают получение, по меньшей мере, одной покровной пластины (20); используют физико-химический метод, предпочтительно метод сварки пластин, для того, чтобы обеспечить герметичное соединение указанной покровной пластины (20) с поверхностью слоя (32) кремния, которая не была подвергнута обработке.11. A method of manufacturing a device for the passage of fluid, as claimed in any of the preceding paragraphs, characterized in that it includes the following steps: provide foot (30) containing a carrier plate (36), preferably silicon, a layer (34) of insulating material covering at least a portion of said carrier plate (36) and a single crystal or polycrystalline silicon layer (32) covering the insulating material layer (34) and having an open surface; by processing by photolithography and chemical etching, a cavity (38) is formed in the said cover plate (20) and / or in the open surface of the silicon layer (32); treatment by photolithography and chemical etching form at least one channel (102; 412; 412 ’), passing through the carrier plate (36); chemical etching of said layer (34) of insulating material is carried out at least through said channel (102; 412; 412 ') to separate the zone of said layer (32) of silicon from said layer (34) of insulating material and thereby forming a movable element (40); provide at least one cover plate (20); using the physicochemical method, preferably the method of welding plates, in order to ensure a tight connection of the specified cover plate (20) with the surface of the layer (32) of silicon, which has not been processed.
12. Компонент (100; 100’; 100”; 100”’) для управления впуском жидкости, образующий обратный клапан и содержащий перекрытую покровной пластиной (20) стопу (30), содержащую несущую пластину (36), слой (34) изолирующего материала, покрывающий, по меньшей мере, часть указанной несущей пластины (36), и слой (32) монокристаллического или поликристаллического кремния, покрывающий слой (34) изолирующего материала и перекрытый указанной покровной пластиной (20), причем в указанной покровной пластине (20) и/или в указанном слое (32) кремния сформирована полость (38), предназначенная для заполнения ее жидкостью и образующая, по меньшей мере, один зазор (104; 1041; 1042), выполненный на всю толщину слоя (32) кремния, указанная несущая пластина (36) снабжена, по меньшей мере, одним входным каналом (102) для жидкости, проходящим через нее насквозь и согласованным по положению с указанной полостью (38), указанный слой (34) изолирующего материала имеет, по меньшей мере, одну освобожденную от материала зону (35), расположенную соосно с указанным каналом (102) и указанным зазором (104; 1041; 1042) и определяющую, в сочетании с указанной полостью (38), подвижный элемент (40) в указанном слое (32) кремния, образующий тарель указанного клапана, тогда как часть слоя (32) кремния, окружающая указанный подвижный элемент (40), обладает упругостью, обеспечивающей возможность обратимого смещения подвижного элемента (40) к указанной несущей пластине (36) при наличии разности давлений жидкости между указанным входным каналом (102) для жидкости и указанной полостью (38).12. A component (100; 100 '; 100 ”; 100”) for controlling the fluid inlet, forming a non-return valve and containing a foot (30) blocked by the cover plate (20), containing the carrier plate (36), an insulating material layer (34) covering at least a portion of said carrier plate (36) and a single-crystal or polycrystalline silicon layer (32), a coating layer (34) of insulating material and covered by said cover plate (20), and in said cover plate (20) and / or a cavity (38) is formed in said silicon layer (32), intended formed to fill it with liquid and forming at least one gap (104; 104 1 ; 104 2 ) made over the entire thickness of the silicon layer (32), said carrier plate (36) is provided with at least one inlet channel ( 102) for a liquid passing through it and coordinated in position with the specified cavity (38), the specified layer (34) of insulating material has at least one material-free zone (35) located coaxially with the specified channel (102) and the specified gap (104; 104 1 ; 104 2 ) and determining, in combination with said cavity (38), a movable element (40) in said silicon layer (32) forming a plate of said valve, while part of the silicon layer (32) surrounding said movable element (40), possesses elasticity, providing the possibility of reversible displacement of the movable element (40) to the specified carrier plate (36) in the presence of a difference in fluid pressure between the specified inlet channel (102) for the liquid and the specified cavity (38).
13. Компонент (100; 100’) для управления впуском по п.12, отличающийся тем, что указанный входной канал (102) для жидкости расположен вблизи, но не напротив указанного зазора (104), указанный подвижный элемент (40) выполнен с возможностью перемещения между положением, соответствующим закрытому состоянию, в котором подвижный элемент (40) находится в герметичном контакте с указанной несущей пластиной (36), образующей седло указанного клапана, по меньшей мере, вокруг указанного канала (102), и положением, соответствующим открытому состоянию, в котором подвижный элемент (40) не находится в герметичном контакте с указанной несущей пластиной (36) в зоне вокруг канала (102) и обеспечивает возможность протекания жидкости из указанного входного канала (102) для жидкости к указанному зазору (104).13. A component (100; 100 ') for controlling the inlet according to claim 12, characterized in that said liquid inlet channel (102) is located close to, but not opposite to said gap (104), said movable element (40) is configured to moving between a position corresponding to the closed state, in which the movable element (40) is in tight contact with the specified carrier plate (36) forming a valve seat of said valve at least around said channel (102), and the position corresponding to the open state, in which mobile the second element (40) is not in tight contact with the specified carrier plate (36) in the area around the channel (102) and allows fluid to flow from the specified liquid inlet channel (102) to the specified gap (104).
14. Компонент (100’) для управления впуском по п.13, отличающийся тем, что дополнительно содержит средство смещения (106, 110), расположенное между указанной покровной пластиной (20) и указанным подвижным элементом (40) и обеспечивающее соответствие исходного положения подвижного элемента (40) указанному закрытому состоянию.14. The inlet control component (100 ') according to claim 13, characterized in that it further comprises biasing means (106, 110) located between said cover plate (20) and said movable element (40) and ensures the initial position of the movable element (40) to the specified closed state.
15. Компонент (100”) для управления впуском по п.12, отличающийся тем, что указанная покровная пластина (20) является первой покровной пластиной, причем компонент дополнительно содержит вторую покровную пластину (20’), прикрепленную к поверхности несущей пластины (36), противоположной по отношению к ее стороне, обращенной к первой покровной пластине (20), и снабженную сквозным каналом (102”а), в несущей пластине (36), на всю ее толщину, сформирована подвижная часть (361), согласованная по положению с указанной полостью (38) и образующая ее продолжение, при этом указанный подвижный элемент (40), канал (102”а) и подвижная часть (361) расположены вблизи, но не напротив указанного зазора (1042), а на всю толщину несущей пластины (36) сформирована освобожденная от материала кольцевая зона (102”), согласованная по положению с освобожденной от материала зоной (35) в слое (34) изолирующего материала, отделяющая указанную подвижную часть (361) от остаточной части несущей пластины (36) и образующая указанный входной канал (102”) для жидкости, который сообщается с указанным зазором (1042), указанный слой (34) изолирующего материала образует соединительную зону (321), надежно присоединяющую указанную подвижную часть (361) к подвижному элементу (40), причем компонент дополнительно содержит кольцевой запирающий элемент (370), расположенный или на поверхности второй покровной пластины (20’), обращенной к указанной подвижной части (361) с возможностью образования, при максимальном приближении подвижного элемента (40) к несущей пластине (36), герметичного контакта между поверхностью подвижной части (361), обращенной ко второй покровной пластине (20’), и поверхностью запирающего элемента (370), обращенной к несущей пластине (36), с обеспечением тем самым перехода компонента (100”) для управления впуском жидкости в закрытое состояние, или на поверхности указанной подвижной части (361), обращенной к указанной второй покровной пластине (20’) с возможностью образования, при максимальном приближении подвижного элемента (40) к несущей пластине (36), герметичного контакта между поверхностью запирающего элемента (370), обращенной ко второй покровной пластине (20’), и поверхностью второй покровной пластины (20’), обращенной к несущей пластине (36), с обеспечением тем самым перехода компонента (100”) для управления впуском жидкости в закрытое состояние, в котором предотвращается течение жидкости из указанного канала (102”а) во второй покровной пластине (20’) к указанному входному каналу (102”) для жидкости в несущей пластине (36).15. The component (100 ") for controlling the inlet according to claim 12, characterized in that said cover plate (20) is a first cover plate, the component further comprising a second cover plate (20 ') attached to the surface of the carrier plate (36) opposite to its side facing the first cover plate (20), and provided with a through channel (102 ”a), in the carrier plate (36), over its entire thickness, a movable part (361) is formed, aligned with indicated cavity (38) and forming its continuation, at The indicated movable element (40), the channel (102 ”a) and the movable part (361) are located close to, but not opposite to the specified gap (104 2 ), and an annular zone (102) freed from material is formed over the entire thickness of the carrier plate (36) ”), Matched in position with the material-free zone (35) in the layer (34) of insulating material, separating the specified movable part (361) from the residual part of the carrier plate (36) and forming the specified inlet channel (102”) for the liquid, which communicates with said gap (104 2), said layer (34) of the insulating mat iala forms a connecting zone (321), securely connecting the specified movable part (361) to the movable element (40), and the component further comprises an annular locking element (370) located either on the surface of the second cover plate (20 ') facing the specified movable part (361) with the possibility of formation, with the maximum approximation of the movable element (40) to the carrier plate (36), tight contact between the surface of the movable part (361) facing the second cover plate (20 '), and the surface of the locking element ententa (370), facing the carrier plate (36), thereby ensuring the transition of the component (100 ”) for controlling the fluid inlet to the closed state, or on the surface of the specified movable part (361) facing the specified second cover plate (20 ' ) with the possibility of formation, with the maximum approximation of the movable element (40) to the carrier plate (36), tight contact between the surface of the locking element (370) facing the second cover plate (20 ') and the surface of the second cover plate (20'), facing the carrier plate (3 6), thereby ensuring the transition of the component (100 ”) for controlling the fluid inlet to the closed state, in which the flow of fluid from the specified channel (102” a) in the second cover plate (20 ′) to the specified input channel (102 ”) is prevented for fluid in the carrier plate (36).
16. Компонент (100”) для управления впуском по п.12, отличающийся тем, что указанная покровная пластина (20) является первой покровной пластиной, причем компонент дополнительно содержит вторую покровную пластину (20’), прикрепленную к поверхности несущей пластины (36), противоположной по отношению к ее стороне, обращенной к первой покровной пластине (20), и снабженную сквозным каналом (102”а), в несущей пластине (36), на всю ее толщину, сформирована кольцевая подвижная часть (361), согласованная по положению с указанной полостью (38) и расположенная соосно с ней и с указанным подвижным элементом (40), на всю толщину несущей пластины (36) сформирован освобожденный от материала первый кольцевой объем (102”’а), согласованный по положению с указанной полостью (38) и с освобожденной от материала зоной (35) в слое (34) изолирующего материала, отделяющий указанную подвижную часть (361) от остаточной части несущей пластины (36), на всю толщину несущей пластины (36), в зоне расположения указанной подвижной части, сформирован освобожденный от материала второй кольцевой объем (102”’) с образованием указанного входного канала (102) для жидкости, который сообщается с указанным зазором (1041), при этом указанный слой (34) изолирующего материала образует соединительную зону (321), надежно присоединяющую указанную подвижную часть (361) к подвижному элементу (40) вокруг указанного входного канала (102) для жидкости и указанного зазора (1041), причем компонент дополнительно содержит кольцевой запирающий элемент (370), окружающий указанный входной канал (102”’), выполненный из анти-адгезионного материала и расположенный или на поверхности второй покровной пластины (20’), обращенной к указанной подвижной части (361) с возможностью образования, при максимальном приближении подвижного элемента (40) к несущей пластине (36), герметичного контакта между поверхностью подвижной части (361), обращенной ко второй покровной пластине (20’), и поверхностью запирающего элемента (370), обращенной к несущей пластине (36), с обеспечением тем самым перехода компонента (100”’) для управления впуском жидкости в закрытое состояние, или на поверхности указанной подвижной части (361), обращенной к указанной второй покровной пластине (20’) с возможностью образования, при максимальном приближении подвижного элемента (40) к несущей пластине (36), герметичного контакта между поверхностью запирающего элемента (370), обращенной ко второй покровной пластине (20’), и поверхностью второй покровной пластины (20’), обращенной к несущей пластине (36), с обеспечением тем самым перехода компонента (100”’) для управления впуском жидкости в закрытое состояние, в котором предотвращается течение жидкости, поступающей в указанный первый кольцевой объем (102”’а) из канала (102”а) во второй покровной пластине (20’), к указанному входному каналу (102”’) для жидкости в несущей пластине (36).16. The component (100 ") for controlling the inlet according to claim 12, characterized in that said cover plate (20) is the first cover plate, the component further comprising a second cover plate (20 ') attached to the surface of the carrier plate (36) opposite to its side facing the first cover plate (20), and provided with a through channel (102 ”a), in the carrier plate (36), over its entire thickness, an annular movable part (361) is formed, coordinated by position with the specified cavity (38) and located coaxially with and with the indicated movable element (40), the first annular volume (102 "a) freed from material is formed to the entire thickness of the carrier plate (36), aligned in position with the specified cavity (38) and with the zone (35) freed from the material in the layer (34) of the insulating material that separates the specified movable part (361) from the residual part of the carrier plate (36), the entire thickness of the carrier plate (36), in the zone of location of the specified movable part, the second annular volume freed from the material is formed (102 "') with the formation of the specified input to Nala (102) for fluid which communicates with said gap (104 1), wherein said layer (34) of insulating material forms the connection zone (321) securely joins said movable part (361) to the movable member (40) around said input channel (102) for the liquid and the specified gap (104 1 ), and the component further comprises an annular locking element (370) surrounding the specified input channel (102 "), made of anti-adhesive material and located either on the surface of the second cover plate ( 20 '), reversed th to the indicated movable part (361) with the possibility of formation, with the maximum approximation of the movable element (40) to the carrier plate (36), of tight contact between the surface of the movable part (361), facing the second cover plate (20 '), and the surface of the locking element (370), facing the carrier plate (36), thereby ensuring the transition of the component (100 ″) for controlling the fluid inlet to the closed state, or on the surface of the specified movable part (361), facing the specified second cover plate (20 ') with the possibility of the formation, with the maximum approximation of the movable element (40) to the carrier plate (36), of tight contact between the surface of the locking element (370) facing the second cover plate (20 ') and the surface of the second cover plate (20') facing the carrier the plate (36), thereby ensuring the transition of the component (100 ″) to control the fluid inlet to the closed state, in which the flow of fluid entering the specified first annular volume (102 ″ a) from the channel (102 ″ a) is prevented the second cover plate (20 ') to the specified at the inlet (102 ”) for fluid in the carrier plate (36).
17. Компонент (400) для обнаружения давления жидкости, содержащий перекрытую покровной пластиной (20) стопу (30), содержащую несущую пластину (36), слой (34) изолирующего материала, покрывающий, по меньшей мере, часть указанной несущей пластины (36), и слой (32) монокристаллического или поликристаллического кремния, покрывающий слой (34) изолирующего материала и перекрытый указанной покровной пластиной (20), причем в указанной покровной пластине (20) и/или в указанном слое (32) кремния сформирована полость (38), предназначенная для заполнения ее жидкостью, указанная несущая пластина (36) снабжена, по меньшей мере, одним каналом (412, 412’), проходящим через нее насквозь и согласованным по положению с указанной полостью (38), указанный слой (34) изолирующего материала имеет, по меньшей мере, одну освобожденную от материала зону (35), расположенную соосно с указанным каналом (412, 412’) и определяющую, в сочетании с указанной полостью (38), подвижный элемент (40) в указанном слое (32) кремния, причем указанная несущая пластина (36) выполнена с частью (414), согласованной по положению с подвижным элементом (40) и образующей изолированный участок, отделенный от остаточной части несущей пластины (36) указанным каналом (412’), а указанный подвижный элемент (40) выполнен способным, за счет своей упругости, к обратимому смещению к указанной несущей пластине (36) под давлением жидкости в указанной полости (38).17. A component (400) for detecting fluid pressure, comprising a foot (30) overlapped by a cover plate (20), comprising a carrier plate (36), an insulating material layer (34) covering at least a portion of said carrier plate (36) and a single-crystal or polycrystalline silicon layer (32) covering the insulating material layer (34) and covered by said cover plate (20), and a cavity (38) is formed in said cover plate (20) and / or in said silicon layer (32) intended to be filled with liquid This carrier plate (36) is provided with at least one channel (412, 412 ') passing through it and aligned in position with the specified cavity (38), said layer (34) of insulating material has at least one the material-free zone (35), located coaxially with the specified channel (412, 412 ') and defining, in combination with the specified cavity (38), the movable element (40) in the specified layer (32) of silicon, and the specified carrier plate (36 ) is made with part (414), matched in position with the movable element (40) and forming and the coated section separated from the residual part of the carrier plate (36) by the indicated channel (412 '), and said movable element (40) is made capable, due to its elasticity, of reversible displacement to the specified carrier plate (36) under the pressure of the liquid in the specified cavity (38).
18. Компонент (400) для обнаружения давления по п.17, отличающийся тем, что указанный подвижный элемент (40) выполнен с возможностью перехода из положения, соответствующего открытому состоянию, в положение, соответствующее закрытому состоянию, в котором он находится в физическом контакте с указанной частью (414), обращенной к подвижному элементу (40) и представляющей собой приемную часть несущей пластины, причем наличие указанного контакта может быть обнаружено электрическими средствами.18. Component (400) for detecting pressure according to claim 17, characterized in that said movable element (40) is configured to transition from a position corresponding to an open state to a position corresponding to a closed state in which it is in physical contact with the specified part (414), facing the movable element (40) and representing the receiving part of the carrier plate, and the presence of the specified contact can be detected by electrical means.
19. Компонент (400) для обнаружения давления по п.18, отличающийся тем, что дополнительно содержит соединительное средство (416), расположенное между приемной частью (414) и указанным слоем (32) кремния.19. A pressure detecting component (400) according to claim 18, further comprising a connecting means (416) located between the receiving part (414) and said silicon layer (32).
20. Компонент (400”’) для обнаружения давления по п.17, отличающийся тем, что указанная покровная пластина (20) является первой покровной пластиной, причем компонент дополнительно содержит вторую покровную пластину (20’), прикрепленную к поверхности несущей пластины (36), противоположной по отношению к ее стороне, обращенной к первой покровной пластине (20), а указанная часть, образующая изолированный участок, отделенный от остаточной части несущей пластины (36), представляет собой подвижную часть (461), а слой (34) изолирующего материала образует соединительную зону (321), надежно соединяющую указанную подвижную часть (461) с подвижным элементом (40).20. A pressure detecting component (400 ″) according to claim 17, wherein said cover plate (20) is a first cover plate, the component further comprising a second cover plate (20 ′) attached to the surface of the carrier plate (36 ), opposite with respect to its side facing the first cover plate (20), and the specified part, forming an isolated area, separated from the residual part of the carrier plate (36), is a movable part (461), and the layer (34) of the insulating material forms a compound tional zone (321) securely connecting said moving portion (461) with the movable member (40).
21. Микронасос, содержащий перекрытую покровной пластиной (20) стопу (30), содержащую несущую пластину (36), слой (34) изолирующего материала, покрывающий, по меньшей мере, часть указанной несущей пластины (36), и слой (32) монокристаллического или поликристаллического кремния, покрывающий слой (34) изолирующего материала и перекрытый указанной покровной пластиной (20), причем в указанной покровной пластине (20) и/или в указанном слое (32) кремния сформирована полость (38), предназначенная для заполнения ее жидкостью и включающая в себя насосную камеру (504), указанная несущая пластина (36) снабжена, по меньшей мере, первым каналом (102, 508, 412, 412’, 204), проходящим через нее насквозь и согласованным по положению с указанной полостью (38), указанный слой (34) изолирующего материала имеет, по меньшей мере, одну первую освобожденную от материала зону (351), расположенную соосно с указанным первым каналом (102, 508, 412, 412’, 204) и определяющую, в сочетании с указанной полостью (38), первый подвижный элемент (40) в указанном слое (32) кремния, выполненный с возможностью обратимого смещения к указанной несущей пластине (36) под давлением жидкости в указанной насосной камере (504) и входящий в состав тарели клапана в компоненте (100) для управления впуском жидкости, причем микронасос дополнительно содержит насосную секцию (502), содержащую средства управления, связанные с диафрагмой (506) насоса для периодического изменения объема насосной камеры (504), и компонент (200) для управления выпуском жидкости.21. A micropump containing a foot (30) blocked by a cover plate (20), comprising a carrier plate (36), an insulating material layer (34) covering at least a portion of said carrier plate (36), and a single crystal layer (32) or polycrystalline silicon covering the layer (34) of insulating material and covered by the specified cover plate (20), and in the specified cover plate (20) and / or in the specified layer (32) of silicon formed cavity (38), designed to fill it with liquid and including a pump chamber (504), The aforementioned carrier plate (36) is provided with at least a first channel (102, 508, 412, 412 ', 204) passing through it and aligned in position with the specified cavity (38), said layer (34) of insulating material has at least one first material-free zone (35 1 ) located coaxially with said first channel (102, 508, 412, 412 ', 204) and defining, in combination with said cavity (38), the first movable element ( 40) in the specified layer (32) of silicon, made with the possibility of reversible bias to the specified carrier plate (36) under pressure the liquid in the specified pump chamber (504) and included in the valve plate in the component (100) for controlling the fluid inlet, the micropump further comprising a pump section (502) containing controls associated with the diaphragm (506) of the pump for periodically changing the volume a pump chamber (504), and a component (200) for controlling fluid discharge.
22. Микронасос по п.21, отличающийся тем, что указанный первый подвижный элемент (40) способен вступать в герметичный контакт с указанной несущей пластиной (36), образуя при этом тарель клапана в указанном компоненте (100) для управления впуском жидкости.22. A micropump according to claim 21, characterized in that said first movable element (40) is capable of making airtight contact with said carrier plate (36), thereby forming a valve disc in said component (100) for controlling the fluid inlet.
23. Микронасос по п.22, отличающийся тем, что в указанном слое (34) изолирующего материала дополнительно выполнена вторая освобожденная от материала зона (364), определяющая в сочетании с указанной полостью (38) положение второго подвижного элемента (40) в указанном слое (32) кремния, причем второй подвижный элемент выполнен с возможностью обратимого смещения к указанной несущей пластине (36) под давлением жидкости в указанной насосной камере (504) и образует тарель клапана в компоненте (200) для управления выпуском жидкости.23. A micropump according to claim 22, characterized in that in said insulating material layer (34) a second zone (364), freed from material, is additionally formed, which determines, in combination with said cavity (38), the position of the second movable element (40) in said layer (32) silicon, wherein the second movable member is reversibly biased toward said carrier plate (36) under fluid pressure in said pump chamber (504) and forms a valve disc in component (200) to control fluid discharge.
24. Микронасос по любому из пп.21-23, отличающийся тем, что указанный компонент (100) для управления впуском жидкости выполнен в соответствии с любым из пп.12-16.24. A micropump according to any one of paragraphs.21-23, characterized in that said component (100) for controlling the fluid inlet is made in accordance with any one of claims 12-16.
25. Микронасос по любому из пп.21-24, отличающийся тем, что дополнительно содержит, по меньшей мере, один компонент (400) для обнаружения давления жидкости, выполненный в соответствии с любым из пп.17-20.25. A micropump according to any one of paragraphs.21-24, characterized in that it further comprises at least one component (400) for detecting fluid pressure, made in accordance with any one of paragraphs.17-20.
26. Микронасос по любому из пп.21-25, отличающийся тем, что указанная покровная пластина (20) представляет собой первую покровную пластину (20), выполненную из стекла.26. A micropump according to any one of paragraphs.21-25, characterized in that said cover plate (20) is a first cover plate (20) made of glass.
27. Микронасос по п.26, отличающийся тем, что дополнительно содержит вторую покровную пластину (20’), выполненную из стекла и прикрепленную к поверхности несущей пластины (36), противоположной по отношению к ее стороне, обращенной к первой покровной пластине (20), выполненной из стекла.27. A micropump according to claim 26, further comprising a second cover plate (20 ') made of glass and attached to the surface of the carrier plate (36), opposite to its side facing the first cover plate (20) made of glass.
28. Микронасос по п.27, отличающийся тем, что указанные средства управления микронасосом расположены напротив насосной камеры (504) и интегрированы в микронасос, будучи закрепленными на поверхности второй покровной пластины (20’), обращенной в сторону, противоположную стопе (30).28. The micropump according to claim 27, characterized in that said micropump controls are located opposite the pump chamber (504) and integrated into the micropump, being fixed on the surface of the second cover plate (20 ’) facing the opposite side of the foot (30).
29. Микронасос по любому из пп.21-27, отличающийся тем, что указанные средства управления микронасосом выполнены внешними по отношению к микронасосу и связаны с диафрагмой (506) насоса не прямым образом.29. The micropump according to any one of paragraphs.21-27, characterized in that said micropump control means are external to the micropump and are not directly connected to the diaphragm (506) of the pump.
30. Микронасос по любому из пп.21-29, отличающийся тем, что указанные средства управления являются пьезоэлектрическими, электромагнитными или пневматическими.30. A micropump according to any one of paragraphs.21-29, characterized in that the said controls are piezoelectric, electromagnetic or pneumatic.
31. Микронасос по любому из пп.21-28, отличающийся тем, что подвижная часть (514, 514’) насоса выполнена в указанной несущей пластине (36) и согласована по положению с насосной камерой (504), кольцевым объемом (508), освобожденным от материала, выполненным в несущей пластине (36) и отделяющим подвижную часть (514, 514’) насоса от остаточной части несущей пластины (36), причем указанные средства управления микронасосом согласованы по положению с насосной камерой (504) и интегрированы в микронасос, будучи прикрепленными к указанной подвижной части (514, 514’) насоса.31. A micropump according to any one of paragraphs.21-28, characterized in that the movable part (514, 514 ') of the pump is made in the specified carrier plate (36) and aligned in position with the pump chamber (504), the annular volume (508), freed from material, made in the carrier plate (36) and separating the movable part (514, 514 ') of the pump from the residual part of the carrier plate (36), said micropump controls being positionally aligned with the pump chamber (504) and integrated into the micropump, being attached to the indicated movable part (514, 514 ') of the pump.
32. Микронасос по п.31, отличающийся тем, что диафрагма (506) насоса образована слоем (32) кремния и согласована по положению с насосной камерой (504), причем в подвижной части (514’) насоса выполнено сквозное отверстие (540), рассчитанное на ввод в него управляющего штока, один конец которого прикреплен к диафрагме (506), а второй, противоположный конец образует рукоятку.32. A micropump according to claim 31, characterized in that the diaphragm (506) of the pump is formed by a layer (32) of silicon and aligned in position with the pump chamber (504), and a through hole (540) is made in the movable part (514 ') of the pump, designed to enter the control rod into it, one end of which is attached to the diaphragm (506), and the second, opposite end forms a handle.
33. Микронасос по п.31, отличающийся тем, что указанная подвижная часть (514, 514’) насоса включает в себя, по меньшей мере, один компонент для обнаружения давления жидкости.33. The micropump according to Claim 31, wherein said movable part (514, 514 ’) of the pump includes at least one component for detecting fluid pressure.
34. Микронасос по п.33, отличающийся тем, что указанная насосная секция (502’) снабжена, по меньшей мере, двумя датчиками (400’) давления жидкости, каждый из которых образует компонент для обнаружения давления жидкости, причем указанные компоненты равномерно распределены по окружности в подвижной части (514’) насоса, в которой выполнены, по меньшей мере, два набора сквозных каналов (512’).34. The micropump according to claim 33, wherein said pump section (502 ′) is provided with at least two liquid pressure sensors (400 ′), each of which forms a component for detecting liquid pressure, said components being uniformly distributed over a circle in the movable part (514 ') of the pump, in which at least two sets of through channels (512') are made.
35. Микронасос по п.33, отличающийся тем, что указанная насосная секция (502”) насоса снабжена кольцевым датчиком (400”) давления, в котором выполнены каналы (512’), проходящие насквозь через указанную подвижную часть (514’) в ее кольцевой зоне.35. The micropump according to claim 33, characterized in that said pump section (502 ") of the pump is equipped with an annular pressure sensor (400") in which channels (512 ') are made, passing through the indicated moving part (514') into it annular zone.
36. Медицинский насос для непрерывной подачи жидкого лекарственного средства, отличающийся тем, что представляет собой микронасос по любому из пп.21-35.36. A medical pump for the continuous supply of a liquid medicine, characterized in that it is a micropump according to any one of paragraphs.21-35.
37. Медицинский насос по п.36, отличающийся тем, что представляет собой микронасос "имплантируемого" типа.37. The medical pump according to clause 36, characterized in that it is a "implantable" type micropump.
38. Медицинский насос по п.36, отличающийся тем, что представляет собой микронасос "внешнего" типа, причем компонент (100) для управления впуском жидкости, входящий в состав микронасоса, выполнен с возможностью соединения с кровеносной системой пациента посредством впускного порта, проходящего сквозь кожу пациента.38. The medical pump according to claim 36, characterized in that it is a "external" type micropump, the component (100) for controlling the fluid inlet included in the micropump is configured to connect to the patient's circulatory system through an inlet port passing through the skin of the patient.