RU2002100657A - Pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides - Google Patents

Pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides

Info

Publication number
RU2002100657A
RU2002100657A RU2002100657/28A RU2002100657A RU2002100657A RU 2002100657 A RU2002100657 A RU 2002100657A RU 2002100657/28 A RU2002100657/28 A RU 2002100657/28A RU 2002100657 A RU2002100657 A RU 2002100657A RU 2002100657 A RU2002100657 A RU 2002100657A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
discharge circuit
capacitor
inductance
mixtures
inert gases
Prior art date
Application number
RU2002100657/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2216836C2 (en
Inventor
Евгений Хаимович Бакшт
Алексей Николаевич Панченко
Виктор Федотович Тарасенко
Андрей Валентинович Феденев
Original Assignee
Институт сильноточной электроники СО РАН
Filing date
Publication date
Application filed by Институт сильноточной электроники СО РАН filed Critical Институт сильноточной электроники СО РАН
Priority to RU2002100657/28A priority Critical patent/RU2216836C2/en
Priority claimed from RU2002100657/28A external-priority patent/RU2216836C2/en
Publication of RU2002100657A publication Critical patent/RU2002100657A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2216836C2 publication Critical patent/RU2216836C2/en

Links

Claims (4)

1. Импульсный газовый лазер на смесях инертных газов с галогенидами, содержащий лазерную камеру, заполненную газовой смесью, с резонатором и электродами с подключенным к ним полупроводниковым прерывателем тока, источник предыонизации; основной разрядный контур с конденсатором (C1), коммутатором (K1) и соединительными потенциальными и заземленными шинами, образующими индуктивность основного разрядного контура (L1); вспомогательный разрядный контур с конденсатором (С2), коммутатором (К2), индуктивностью вспомогательного разрядного контура (L2); источники высокого напряжения для зарядки конденсаторов и систему синхронного включения коммутаторов, отличающийся тем, что в основном - разрядном контуре выделена корректирующая индуктивность (Lkopp), параллельно которой дополнительно включен корректирующий конденсатор (Ckopp), величины которых удовлетворяют соотношениям1. A pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides, comprising a laser chamber filled with a gas mixture, a resonator and electrodes with a semiconductor current chopper connected to them, a preionization source; the main discharge circuit with a capacitor (C 1 ), a switch (K 1 ) and connecting potential and grounded buses forming the inductance of the main discharge circuit (L 1 ); auxiliary discharge circuit with a capacitor (C 2 ), a switch (K 2 ), the inductance of the auxiliary discharge circuit (L 2 ); high voltage sources for charging capacitors and a synchronous switching system of switches, characterized in that in the main - discharge circuit a correction inductance (L kopp ) is selected , in parallel with which a correction capacitor (C kopp ) is added , the values of which satisfy the relations L1 = L 1 1 + Lkopp; Lkopp = 0,32 х L 1 1 ;L 1 = L 1 1 + L kopp ; L kopp = 0.32 x L 1 1 ; Ckopp =(0,36- 0,55) x C1.C kopp = (0.36-0.55) x C 1 . 2. Импульсный газовый лазер на смесях инертных газов с галогенидами по п.1, отличающийся тем, что конденсатор основного разрядного контура (C1) состоит из двух одинаковых конденсаторных секций и обе секции охвачены общими потенциальной и заземленной металлической шинами, которые соединены с соответствующими выводами коммутатора (K1) и являются частью индуктивности основного разрядного контура (L1).2. A pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides according to claim 1, characterized in that the capacitor of the main discharge circuit (C 1 ) consists of two identical capacitor sections and both sections are covered by common potential and grounded metal buses, which are connected to the corresponding terminals switch (K 1 ) and are part of the inductance of the main discharge circuit (L 1 ). 3. Импульсный газовый лазер на смесях инертных газов с галогенидами по пп.1 и 2, отличающийся тем, что корректирующий конденсатор и корректирующая индуктивность выполнены из двух одинаковых секций, один из выводов которых соединен с коммутатором K1, а второй с заземленной металлической шиной.3. A pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides according to claims 1 and 2, characterized in that the correction capacitor and the correction inductance are made of two identical sections, one of the terminals of which is connected to the switch K 1 , and the second to a grounded metal bus. 4. Импульсный газовый лазер на смесях инертных газов с галогенидами по пп.1-3, отличающийся тем, что величины конденсатора (С2) и индуктивности (L2) во вспомогательном разрядном контуре выбраны из следующего соотношения π(L2C2)l/2 = τ, где τ = π(L1C1)1/2 есть длительность импульса разряда конденсатора основного разрядного контура (C1) через разрядный промежуток лазера.4. A pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides according to claims 1 to 3, characterized in that the values of the capacitor (C 2 ) and inductance (L 2 ) in the auxiliary discharge circuit are selected from the following relation π (L 2 C 2 ) l / 2 = τ, where τ = π (L 1 C 1 ) 1/2 is the duration of the discharge pulse of the capacitor of the main discharge circuit (C 1 ) through the discharge gap of the laser.
RU2002100657/28A 2002-01-04 2002-01-04 Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides RU2216836C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002100657/28A RU2216836C2 (en) 2002-01-04 2002-01-04 Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002100657/28A RU2216836C2 (en) 2002-01-04 2002-01-04 Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002100657A true RU2002100657A (en) 2003-10-10
RU2216836C2 RU2216836C2 (en) 2003-11-20

Family

ID=32027252

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002100657/28A RU2216836C2 (en) 2002-01-04 2002-01-04 Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2216836C2 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR930008356B1 (en) Discharge exciting pulse laser apparatus
EP0108299A3 (en) Excitation system for the generation of a fast, pulsed, high tension discharge, in particular for a high performance laser
DK0427592T3 (en) Plasma cutters with ignition on short circuit
US4644549A (en) Gas laser device
RU2002100657A (en) Pulsed gas laser based on mixtures of inert gases with halides
Cohn et al. HF laser excited by a capacitively coupled discharge
US6172467B1 (en) Method and device for producing series of impulse voltages to operate discharge lamps and circuit pertaining thereto
JPS63110780A (en) Gas laser oscillator
US6225758B1 (en) Method for producing impulse voltage sequences to operate discharge lamps and circuit pertaining thereto
RU2216836C2 (en) Pulse gas laser based on mixtures of inert gases with halogenides
EP0034124B1 (en) High voltage pump circuit for gas laser
JPS62249493A (en) Eximer laser device provideo with automatic preliminary ionization
JPS61216373A (en) Pulse laser apparatus
SU978330A2 (en) High-voltage pulse source
JPH03257980A (en) Laser device
JP2721887B2 (en) Laser processing equipment
RU2000125445A (en) Pulsed chemical vapor laser
JPS622678A (en) Gas laser oscillator
JPS6336587A (en) Laser oscillator
RU96108509A (en) DEVICE FOR EXCITING DISCHARGE IN A GAS LASER
SU1723591A1 (en) Pulse transformer device
RU2096881C1 (en) Device for discharge initiation in gas laser
JPS62152189A (en) Gas laser oscillator
JP3084947B2 (en) Excitation circuit of laser device
SU1707785A1 (en) Three-phase lighting unit