RU2001132932A -
METHOD FOR PRODUCING AN ELASTIC ELEMENT OF A MICROMECHANICAL DEVICE
- Google Patents
METHOD FOR PRODUCING AN ELASTIC ELEMENT OF A MICROMECHANICAL DEVICE
Info
Publication number
RU2001132932A
RU2001132932ARU2001132932/28ARU2001132932ARU2001132932ARU 2001132932 ARU2001132932 ARU 2001132932ARU 2001132932/28 ARU2001132932/28 ARU 2001132932/28ARU 2001132932 ARU2001132932 ARU 2001132932ARU 2001132932 ARU2001132932 ARU 2001132932A
Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа"
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа"filedCriticalОткрытое акционерное общество Арзамасское научно-производственное предприятие "Темп-Авиа"
Priority to RU2001132932/28ApriorityCriticalpatent/RU2209487C2/en
Priority claimed from RU2001132932/28Aexternal-prioritypatent/RU2209487C2/en
Publication of RU2001132932ApublicationCriticalpatent/RU2001132932A/en
Application grantedgrantedCritical
Publication of RU2209487C2publicationCriticalpatent/RU2209487C2/en
Способ изготовления упругого элемента микромеханического устройства, заключающийся в размерном анизотропном травлении исходного монокристалла кремния для образования геометрической формы элемента, отличающийся тем, что после травления заготовку элемента легируют германием.A method of manufacturing an elastic element of a micromechanical device, which consists in dimensional anisotropic etching of the initial silicon single crystal to form the geometric shape of the element, characterized in that after etching the element blank is alloyed with germanium.
RU2001132932/28A2001-12-032001-12-03Method for producing flexible member of micromechanical device
RU2209487C2
(en)